CN113218559B - 一种柔性三维力传感器及其制备方法 - Google Patents

一种柔性三维力传感器及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开一种柔性三维力传感器及其制备方法，该传感器包括固定在PCB电路板的柔性排线和四个霍尔感应芯片，霍尔感应芯片以90°×4的圆周阵列分布，且传感器芯片的供电及信号输出端口均由柔性排线引出；固定在PCB电路板中部的平行板电容的下电极；导电薄膜‑圆形永磁体‑橡胶半球组件，其中，导电薄膜位于整个组件的下部，通过导线与PCB电路板连接，并与下电极组成平行板电容；支撑层，用于包裹PCB电路板、霍尔感应芯片和下电极，给予导电薄膜‑圆形永磁体‑橡胶半球组件支撑作用；弹性层，用于包裹导电薄膜、圆形永磁体和橡胶半球，使得组件发生切向位移，外力卸载后，组件能够复位。本发明传感器精度高，制造成本低。

Description

一种柔性三维力传感器及其制备方法
技术领域
本发明涉及机器人传感器技术领域，具体涉及一种柔性三维力传感器及其制备方法。
背景技术
在操纵和探索任务期间，通常需要机械手对未知物体和障碍物进行有效响应。在传统的工业应用中，机器人对末端执行器的控制是通过将仿真对象和环境的数据模型嵌入到控制算法中实现的，故机械手只能操纵已知的物体，并在结构化的环境中工作，这意味着它们对意外事件的反应较慢，如果没有详细的操作环境模型，则接触力的实时测量对于机器人能否有效安全地执行任务至关重要。力觉感知是机器人自主灵巧手操作的重要组成部分，它提供了机械手与物体接触点的作用力和表面特性等信息。普通的机器人力觉传感器往往只能测量单轴的法向力信息，但是根据人手研究的理论，切向力信息对于灵巧手的抓取控制以及滑动检测至关重要。目前许多国内外科研工作者设计了各种各样的三维力传感器，但是由于法向力和切向力的传感器信号耦合的影响，很难做到精确识别法向力和切向力的大小，因此三维力测量的精度普遍较低。
发明内容
为了克服现有技术中力觉传感器无法检测切向作用力且传感精度较低，制作成本较高的技术问题，本发明提出一种柔性三维力传感器及其制备方法，该传感器可实现对三维接触力的检测且制造成本较低，无需通过算法进行力的解耦，为后续多灵巧手实现灵巧操作打下基础。
本发明的目的通过如下的技术方案来实现：
一种柔性三维力传感器，该传感器包括：
PCB电路板；
固定在所述PCB电路板的柔性排线和四个霍尔感应芯片，所述霍尔感应芯片以90°×4的圆周阵列分布，且传感器芯片的供电及信号输出端口均由柔性排线引出；
固定在所述PCB电路板中部的平行板电容的下电极；
导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件，其中，所述导电薄膜位于整个组件的下部，通过导线与PCB电路板连接，并与所述下电极组成平行板电容，且所述导电薄膜的面积大于所述下电极，以保证在发生切向位移时，平行板电容的正对面积始终是下电极的面积；所述圆形永磁体为轴向充磁；
支撑层，用于包裹所述PCB电路板、霍尔感应芯片和下电极，给予导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件支撑作用；
弹性层，位于所述支撑层上方，用于包裹导电薄膜、圆形永磁体和橡胶半球，使得组件发生切向位移，外力卸载后，组件能够复位。
进一步地，所述导电薄膜优选铜箔。
进一步地，所述弹性层由Ecoflex0030硅橡胶制成。
进一步地，所述支撑层由环氧树脂制成。
进一步地，所述圆形永磁体采用钕铁硼和轴向充磁。
一种柔性三维力传感器的制备方法，该方法包括如下步骤：
(1)在所述PCB电路板表面布置所述平行板电容的下电极；
(2)在所述PCB电路板相应位置焊接所述霍尔感应芯片，并焊接所述柔性排线，作为引出线；
(3)在所述导电薄膜上焊接导线，与PCB电路板相应焊盘焊接，并将所述导电薄膜粘在圆形永磁体下表面；
(4)制备橡胶半球，往模具中浇筑按照1:1比例调配的橡胶，然后放入消泡桶内抽真空去除气泡，最后进行室温固化；
(5)支撑层浇注：将步骤(3)组装好的组件放入模具中，浇注按照1:0.5比例调配的环氧树脂，且保证圆形永磁体避免接触浇筑液体，浇筑至霍尔芯片表面1～2mm，放入消泡桶内抽真空去除气泡，然后进行室温固化；
(6)将步骤(4)制备得到的橡胶半球与圆形永磁体上面进行粘接，使导电薄膜、永磁体和橡胶半球粘为一体，形成导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件；
(7)弹性层浇注：将导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件放在模具中，保证组件的轴线与霍尔感应芯片分布的轴线相同，往模具中浇筑硅橡胶，覆盖过橡胶半球底面后，放入消泡桶内抽真空去除气泡，然后加热固化，最后取出并进行冷却脱模。
本发明的有益效果如下：
(1)本发明的力传感器可实现对三维作用力的检测且制造成本较低；
(2)通过多传感融合的方式避免了力的解耦过程，使得传感器精度与灵敏度大幅提升；
(3)采用柔性硅胶亲肤，与人体皮肤特性具有良好的一致性，同时也能对传感器内部的电路起到绝缘作用；
(4)制作简单，可以通过制备不同弹性模量的弹性层来调节三维力传感器的量程和灵敏度。
附图说明
图1为本发明的霍尔传感器安装示意图；
图2为本发明的圆形永磁体安装的示意图；
图3是本发明的柔性三维力传感器的总成图；
图4为本发明的传感器受到法向力作用下电容值的变化图；
图5为本发明的传感器受到切向力作用下四个霍尔芯片所输出的模拟量的变化图；
图中，霍尔感应芯片1、下电极2、PCB电路板3、柔性排线4、圆形永磁体5，导电薄膜6、橡胶半球7、支撑层8、弹性层9。
具体实施方式
下面根据附图和优选实施例详细描述本发明，本发明的目的和效果将变得更加明白，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1～3所示，本发明的柔性三维力传感器，包括霍尔感应芯片1、下电极2、PCB电路板3、柔性排线4、圆形永磁体5、导电薄膜6、橡胶半球7、支撑层8、弹性层9；
其中，PCB电路板3在最下层，柔性排线4和四个霍尔感应芯片1固定在PCB电路板3上，四个霍尔感应芯片1以90°×4的圆周阵列分布，且霍尔感应芯片1的供电及信号输出端口均由柔性排线4引出。平行板电容的下电极2固定在PCB电路板3中部，被四个霍尔感应芯片1围绕。导电薄膜6、圆形永磁体5和橡胶半球7组成导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件，其中，导电薄膜6位于整个组件的下部，通过导线与PCB电路板3连接，并与下电极2组成平行板电容，导电薄膜6的面积大于下电极2，以保证在发生切向位移时，平行板电容的正对面积始终是下电极2的面积；圆形永磁体5为轴向充磁。
支撑层8，包裹PCB电路板3、四个霍尔感应芯片1和下电极2，为上部的导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件提供稳固的支撑，使组件受到法向力后，不会引起导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件上下浮动，只能做水平方向运动，消除了圆形永磁体5上下浮动对切向力检测的影响。所述支撑层优选由1:0.5比例调配的环氧树脂制成，合适的比例有利于环氧树脂的快速凝固。
弹性层9，位于支撑层8上方，用于包裹导电薄膜6、圆形永磁体5和橡胶半球7，使得组件发生切向位移，外力卸载后，组件能够复位。弹性层9并不覆盖整个橡胶半球7，必须使其顶部露出，从而使外界负载作用在橡胶半球7上，形成应力集中。弹性层9优选由Ecoflex0030硅橡胶制成，Ecoflex0030硅橡胶是一种超弹性硅橡胶，有利于增加切向力检测的灵敏度。
作为其中一种实施方式，导电薄膜6选自铜箔、铝箔或石墨烯薄膜，优选铜箔。
所述圆形永磁体5优选钕铁硼，轴向充磁，钕铁硼磁体为强磁类型，在距离所述霍尔芯片1一定高度下，相对于普通磁体，磁场强度变化更容易被检测。
本发明所提出的柔性三维力传感器，不仅可以测量Z轴的法向力信息，还可测量x轴和y轴的切向力信息。
法向力测量原理：当柔性传感器橡胶半球7受到法向力时，会给予支撑层8压力，使其产生微小的形变，由于电容两极板的间距发生变化，导致电容大小发生变化，进一步可测出法向力的大小。
切向力测量原理：轴向充磁的圆形永磁体由于结构的对称性，其磁场强度的分布也具有一定的规律，在磁力线范围内，在表面磁极高度h且半径R的圆形磁面同心圆上各点的磁场强度近似相等，通过霍尔感应芯片1测量其磁场强度变化就能表征磁体发生的水平位移。当传感器受到切向力时，内置的圆形永磁体发生水平位移，引起霍尔感应芯片1的表面磁场力大小发生改变，进而改变霍尔感应芯片1的模拟量输出值，进一步测出x、y方向的剪切力，而且切向力越大，传感器的模拟量变化量越大，更重要的是通过四个传感器变化量，还能进一步计算切向力的方向。如图4所示，在传感器受到法向力阶段，由于支撑层的微小变形，使得下电极2和导电薄膜6所构成的平行板电容极距发生微小的变化，引起电容值的微小改变。在法向力卸载阶段，传感器也能很快响应，电容值恢复到初始状态。如图5所示，在传感器受到不同方向的切向力时，四个霍尔芯片1所输出的模拟量是有所不同，但也有一定的规律，处在永磁体偏移象限的两个霍尔芯片1表现为模拟量输出值增大，相反方向的2个霍尔传感器表现为模拟量输出值减小，同时伴随着切向力的增大，圆形永磁体5偏移量增加，霍尔芯片1的模拟量变化幅值也增大。
本发明的传感器通过多传感融合的方式将切向力与法向力的检测分开，使得最终输出时无需再通过算法进行法向力和切向力信号的解耦，大大提高了传感器的灵敏度与精度。而且由于组成部件均为常见的元器件或材料，故而制造成本较低。
本发明的柔性三维力传感器的制备方法，包括如下步骤：
(1)在PCB电路板3表面布置平行板电容的下电极2；
(2)在PCB电路板3相应位置焊接霍尔感应芯片1，并焊接柔性排线4，作为引出线；
(3)在导电薄膜6上焊接导线，与PCB电路板3相应焊盘焊接，并将导电薄膜6粘在圆形永磁体5下表面；
(4)制备橡胶半球7，往模具中浇筑按照1:1比例调配的橡胶，然后放入消泡桶内抽真空去除气泡，最后进行室温固化；
(5)支撑层浇注：将步骤(3)组装好的组件放入模具中，浇注按照1:0.5比例调配的环氧树脂，且保证圆形永磁体5避免接触浇筑液体，浇筑至霍尔芯片1表面1～2mm，放入消泡桶内抽真空去除气泡，然后进行室温固化；
(6)将步骤(4)制备得到的橡胶半球7与圆形永磁体5上面进行粘接，使导电薄膜6、永磁体5和橡胶半球7粘为一体，形成导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件；
(7)弹性层浇注：将导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件放在模具中，保证组件的轴线与四个霍尔感应芯片1分布的轴线相同，往模具中浇筑硅橡胶，覆盖过橡胶半球底面后，放入消泡桶内抽真空去除气泡，然后放入烘箱中在50℃下加热2小时，最后取出并进行冷却脱模。
本领域普通技术人员可以理解，以上所述仅为发明的优选实例而已，并不用于限制发明，尽管参照前述实例对发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实例记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在发明的精神和原则之内，所做的修改、等同替换等均应包含在发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种柔性三维力传感器的制备方法，其特征在于，该柔性三维力传感器包括：
PCB电路板；
固定在所述PCB电路板的柔性排线和四个霍尔感应芯片，所述霍尔感应芯片以90°×4的圆周阵列分布，且传感器芯片的供电及信号输出端口均由柔性排线引出；
固定在所述PCB电路板中部的平行板电容的下电极；
导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件，其中，所述导电薄膜位于整个组件的下部，通过导线与PCB电路板连接，并与所述下电极组成平行板电容，且所述导电薄膜的面积大于所述下电极，以保证在发生切向位移时，平行板电容的正对面积始终是下电极的面积；所述圆形永磁体为轴向充磁；
支撑层，用于包裹所述PCB电路板、霍尔感应芯片和下电极，给予导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件支撑作用；
弹性层，位于所述支撑层上方，用于包裹导电薄膜、圆形永磁体和橡胶半球，使得组件发生切向位移，外力卸载后，组件能够复位；
该方法包括如下步骤：
（1）在所述PCB电路板表面布置所述平行板电容的下电极；
（2）在所述PCB电路板相应位置焊接所述霍尔感应芯片，并焊接所述柔性排线，作为引出线；
（3）在所述导电薄膜上焊接导线，与PCB电路板相应焊盘焊接，并将所述导电薄膜粘在圆形永磁体下表面；
（4）制备橡胶半球，往模具中浇筑按照1:1比例调配的橡胶，然后放入消泡桶内抽真空去除气泡，最后进行室温固化；
（5）支撑层浇注：将步骤（3）组装好的组件放入模具中，浇注按照1:0.5比例调配的环氧树脂，且保证圆形永磁体避免接触浇筑液体，浇筑至霍尔芯片表面1~2mm，放入消泡桶内抽真空去除气泡，然后进行室温固化；
（6）将步骤（4）制备得到的橡胶半球与圆形永磁体上面进行粘接，使导电薄膜、永磁体和橡胶半球粘为一体，形成导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件；
（7）弹性层浇注：将导电薄膜-圆形永磁体-橡胶半球组件放在模具中，保证组件的轴线与霍尔感应芯片分布的轴线相同，往模具中浇筑硅橡胶，覆盖过橡胶半球底面后，放入消泡桶内抽真空去除气泡，然后加热固化，最后取出并进行冷却脱模。
2.根据权利要求1所述的柔性三维力传感器的制备方法，其特征在于，所述导电薄膜为铜箔。
3.根据权利要求1所述的柔性三维力传感器的制备方法，其特征在于，所述弹性层由Ecoflex0030硅橡胶制成。
4.根据权利要求1所述的柔性三维力传感器的制备方法，其特征在于，所述支撑层由环氧树脂制成。
5.根据权利要求1所述的柔性三维力传感器的制备方法，其特征在于，所述圆形永磁体采用钕铁硼材质，轴向充磁。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115727978A (zh) * 2022-11-23 2023-03-03 中山大学 一种基于霍尔效应的触觉传感器、传感器阵列及方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4951510A (en) * 1988-07-14 1990-08-28 University Of Hawaii Multidimensional force sensor
JPH05118942A (ja) * 1991-10-25 1993-05-14 Kazuhiro Okada 多次元方向に関する力・加速度・磁気の検出装置
JP2018009792A (ja) * 2016-07-11 2018-01-18 学校法人早稲田大学 近接触覚センサ
CN110911548A (zh) * 2019-11-29 2020-03-24 大连理工大学 具有工作温度实时监控功能的高温三维霍尔传感器及其制作方法
CN110954250A (zh) * 2018-12-05 2020-04-03 奇异平台股份有限公司 多轴力量感测器
CN111397773A (zh) * 2019-12-17 2020-07-10 浙江工业大学 一种柔性指尖接触传感器及其制备方法
CN111947813A (zh) * 2020-08-10 2020-11-17 安徽大学 一种基于波纹管微结构的全柔性电容式三维力触觉传感器
CN112345146A (zh) * 2020-10-23 2021-02-09 华中科技大学 一种基于霍尔元件的三维柔性力传感器及其制备方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7701202B2 (en) * 2006-11-02 2010-04-20 Massachusetts Institute Of Technology Compliant tactile sensor that delivers a force vector
US8952684B2 (en) * 2009-12-15 2015-02-10 Canon Kabushiki Kaisha Magnetic force sensor sensing magnetic flux to calculate forces
GB201219632D0 (en) * 2012-10-31 2012-12-12 Univ Southampton Apparatus for sensing and measuring pressure and shear components of a force at an interface between two surfaces
CN103424214B (zh) * 2013-08-26 2015-05-13 中国科学院合肥物质科学研究院 柔性电容式触觉传感器及其柔性电容单元的制备方法
CN103698721A (zh) * 2013-12-30 2014-04-02 南京大学 一种cmos片上三维微型磁检测传感器的霍尔传感单元
EP3229634A1 (en) * 2014-12-10 2017-10-18 HCI Viocare Technologies Ltd. Force sensing device
CN107655392B (zh) * 2017-07-31 2022-06-14 东南大学 一种准确定位末端位置的三维触须传感器

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4951510A (en) * 1988-07-14 1990-08-28 University Of Hawaii Multidimensional force sensor
JPH05118942A (ja) * 1991-10-25 1993-05-14 Kazuhiro Okada 多次元方向に関する力・加速度・磁気の検出装置
JP2018009792A (ja) * 2016-07-11 2018-01-18 学校法人早稲田大学 近接触覚センサ
CN110954250A (zh) * 2018-12-05 2020-04-03 奇异平台股份有限公司 多轴力量感测器
CN110911548A (zh) * 2019-11-29 2020-03-24 大连理工大学 具有工作温度实时监控功能的高温三维霍尔传感器及其制作方法
CN111397773A (zh) * 2019-12-17 2020-07-10 浙江工业大学 一种柔性指尖接触传感器及其制备方法
CN111947813A (zh) * 2020-08-10 2020-11-17 安徽大学 一种基于波纹管微结构的全柔性电容式三维力触觉传感器
CN112345146A (zh) * 2020-10-23 2021-02-09 华中科技大学 一种基于霍尔元件的三维柔性力传感器及其制备方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
An Artificial Skin for Detecting Pressure and Shear Forces;Jung-Tang Huang 等;《2019 IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics (AIM)》;20191231;第266-271页 *
柔性可穿戴电子传感器研究进展;钱鑫 等;《化学学报》;20160526(第07期);第565-575页 *

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