CN113188472A - 一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法 - Google Patents
一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113188472A CN113188472A CN202110470803.3A CN202110470803A CN113188472A CN 113188472 A CN113188472 A CN 113188472A CN 202110470803 A CN202110470803 A CN 202110470803A CN 113188472 A CN113188472 A CN 113188472A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- low
- optical
- image sensor
- temperature
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 148
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 73
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 49
- 238000012876 topography Methods 0.000 claims description 17
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 4
- 239000004579 marble Substances 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 5
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法，其装置包括：低温杜瓦，低温杜瓦的一侧设置有光学窗口；平面玻璃，平面玻璃与光学窗口平行设置；导向装置，导向装置设置于低温杜瓦和平面玻璃之间；导向装置上安装有第一光学探头和第二光学探头，第一光学探头垂直朝向平面玻璃设置，第二光学探头垂直朝向光学窗口设置；方法包括：将大面阵图像传感器感光面平行面向低温杜瓦的光学窗口设置；将平面玻璃平行的设置在光学窗口正前方；将导向装置安装在平面玻璃和光学窗口之间；启动三维形貌仪，进行面形检测。本发明具消除了导轨误差，具有面形测量精度高、系统装调简单、检测方法普适性好等优点。
Description
技术领域
本发明涉及图像传感器封装技术领域，尤其涉及一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法。
背景技术
图像传感器是一种能够感受外部光线并将其转换成电信号的半导体器件装置。目前利用集成电路工艺可以在同一晶圆上制作成百上千个图像传感器芯片，图像传感器芯片制作完成后，要对其进行封装形成图像传感器封装结构。
大面阵图像传感器封装后的面形是图像传感器的重要指标之一，面形好坏影响图像传感器的性能和拼接效果。因此图像传感器完成封装后，需要对图像传感器的面形进行工况温度下的测试。在很多应用场景中，例如天文探测、科学研究等领域，图像传感器在低温状态(如-80℃)下工作。目前的面形检测方法通常有两种：一种是将图像传感器放置于低温杜瓦内，整体放在三维形貌仪的台面上，检测过程中通过台面下方的导轨实现二维运动，三维形貌仪探头竖直放置且保持不动；第二种方法是将图像传感器放置于低温杜瓦内，检测过程中保持低温杜瓦不动，三维形貌仪探头跟随导轨二维运动以实现面形测试。这两种方法都会引入导轨的误差，如何能够减少导轨误差是图像传感器低温面形测试亟需解决的问题。
发明内容
本发明提供了解决现有面形检测技术中存在的因导轨误差而影响检测结果的问题的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法。
为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，该装置包括：
低温杜瓦，所述低温杜瓦的一侧设置有光学窗口，所述低温杜瓦的内部的支架上设置有待检测的大面阵图像传感器，且大面阵图像传感器朝向光学窗口设置，大面阵图像传感器的中心线与光学窗口的中心线相同；
平面玻璃，所述平面玻璃与光学窗口平行设置，且平面玻璃的中心线与光学窗口的中心线相同；
导向装置，所述导向装置设置于低温杜瓦和平面玻璃之间；所述导向装置上安装有第一光学探头和第二光学探头，所述第一光学探头垂直朝向平面玻璃设置，所述第二光学探头垂直朝向光学窗口设置，且第一光学探头和第二光学探头能够同步运动，所述第一光学探头和第二光学探头均通过线路与三维形貌仪连接。
进一步的，所述低温杜瓦、平面玻璃和导向装置分别通过调整机构设置在光学平台上。
进一步的，所述调整机构包括第一位姿调整机构、第二位姿调整机构和第三位姿调整机构，所述第一位姿调整机构调整低温杜瓦与光学平台之间的位置姿态；所述第二位姿调整机构调整平面玻璃与光学平台之间的位置姿态；所述第三位姿调整机构调整导向装置与光学平台之间的位置姿态。
进一步的，所述导向装置包括横向导轨和纵向导轨，所述横向导轨安装在光学平台上，所述纵向导轨能够沿着横向导轨的宽度方向移动，所述第一光学探头和第二光学探头能够在纵向导轨的长度方向移动。
进一步的，所述低温杜瓦通过管路与制冷机连通。
优选的，所述光学平台为气浮平台，该气浮平台的台面由不锈钢或大理石制成。
一种大面阵图像传感器低温面形检测方法，包括以下步骤：
S1、将光学平台调平调稳放置备用；
S2、将大面阵图像传感器安装在低温杜瓦内部的支架上，且大面阵图像传感器感光面平行面向低温杜瓦的光学窗口，之后将低温杜瓦安装在光学平台上；
S3、将平面玻璃安装在光学平台上，且位于低温杜瓦的光学窗口正前方，保持平面玻璃和光学窗口平行；
S4、将导向装置安装在光学平台上，且位于平面玻璃和光学窗口之间，再将与三维形貌仪连接的第一光学探头和第二光学探头安装在导向装置的纵向导轨上，且第一光学探头垂直朝向平面玻璃，第二光学探头垂直朝向光学窗口；
S5、启动制冷机对低温杜瓦内部进行降温，使得大面阵图像传感器的温度达到低温工况温度并保持稳定；
S6、启动三维形貌仪，设定面形检测起始点，对大面阵图像传感器的面形进行检测；
进一步的，步骤S6中，当导向装置中的横向导轨和纵向导轨在工作过程中发生误差时，第一光学探头在平面玻璃上检测到一个跳度，并将检测到的信息传输给三维形貌仪，与此同时，三维形貌仪在接收第二光学探头传输的信息会根据跳度进行修正，避免横向导轨和纵向导轨移动产生的误差影响三维形貌仪输出的结果。
在上述技术方案中，本发明提供的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法，具有以下有益效果：
1、采用第一光学探头在平面玻璃上检测得到因导向装置工作误差而产生的一个跳度，并将检测到的信息传输给三维形貌仪，与此同时，三维形貌仪在接收第二光学探头传输的信息会根据跳度进行修正，避免横向导轨和纵向导轨移动产生的误差影响三维形貌仪输出的结果。
2、消除了导轨误差，具有面形测量精度高、系统装调简单、检测方法普适性好。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例1提供的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置的结构示意图；
图2为本发明实施例2提供的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置的结构示意图。
附图标记说明：
10、低温杜瓦；11、光学窗口；12、支架；13、大面阵图像传感器；14、制冷机；
20、平面玻璃；
30、导向装置；31、横向导轨；32、纵向导轨；
40、三维形貌仪；41、第一光学探头；42、第二光学探头；
50、调整机构；51、第一位姿调整机构；52、第二位姿调整机构；53、第三位姿调整机构；
60、光学平台。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面将结合附图对本发明作进一步的详细介绍。
参见图1所示；
本发明实施例1所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，该装置包括：
低温杜瓦10，所述低温杜瓦10采用不锈钢材料制成，低温杜瓦10的一侧设置有光学窗口11，光学窗口11可内置窗口玻璃，窗口玻璃透过率应满足图像传感器测试需求，所述低温杜瓦10的内部的支架12上设置有待检测的大面阵图像传感器13，大面阵图像传感器13朝向光学窗口11设置，且大面阵图像传感器13的中心线与光学窗口11的中心线相同，大面阵图像传感器13的感光面尺寸为60mm*60mm；
平面玻璃20，所述平面玻璃20与光学窗口11平行设置，且平面玻璃20的中心线与光学窗口11的中心线相同，所述平面玻璃20的尺寸为120mm*120mm；
导向装置30，所述导向装置30设置于低温杜瓦10和平面玻璃20之间；所述导向装置30上安装有第一光学探头41和第二光学探头42，所述第一光学探头41垂直朝向平面玻璃20设置，所述第二光学探头42垂直朝向光学窗口11设置，且第一光学探头41和第二光学探头42能够同步运动，所述第一光学探头41和第二光学探头42均通过线路与三维形貌仪40连接，第一光学探头41和第二光学探头42的测量范围均为10mm，导向装置30具有二维移动功能。
具体的，导向装置30带动第一光学探头41和第二光学探头42移动，当导向装置30在工作过程中发生误差时，第一光学探头41在平面玻璃20上检测到一个跳度，并将检测到的信息传输给三维形貌仪40，与此同时，三维形貌仪40在接收第二光学探头42传输的信息会根据跳度进行修正，避免横向导轨31和纵向导轨32移动产生的误差影响三维形貌仪40输出的结果。
所述导向装置30包括横向导轨31和纵向导轨32，所述横向导轨31安装在光学平台60上，所述纵向导轨32能够沿着横向导轨31的宽度方向移动，所述第一光学探头41和第二光学探头42能够在纵向导轨32的长度方向移动；横向导轨31为正方形框架，纵向导轨32的顶端和底端分别与该正方形框架的顶梁和底梁滑动连接，并能够沿着顶梁和底梁往复运动。
所述低温杜瓦10通过管路与制冷机14连通，制冷机14还可采用液氮等方式替代。所述光学平台60为气浮平台，该气浮平台的台面由不锈钢或大理石制成。
一种大面阵图像传感器低温面形检测方法，包括以下步骤：
S1、将光学平台60调平调稳放置备用；
S2、将大面阵图像传感器13安装在低温杜瓦10内部的支架12上，且大面阵图像传感器13的感光面平行面向低温杜瓦10的光学窗口11，之后将低温杜瓦10安装在光学平台60上；
S3、将平面玻璃20安装在光学平台60上，且位于低温杜瓦10的光学窗口11正前方，保持平面玻璃20和光学窗口11平行；
S4、将导向装置30安装在光学平台60上，且位于平面玻璃20和光学窗口11之间，再将与三维形貌仪40连接的第一光学探头41和第二光学探头42安装在导向装置30的纵向导轨32上，且第一光学探头41垂直朝向平面玻璃20，第二光学探头42垂直朝向光学窗口11；
S5、启动制冷机14对低温杜瓦10内部进行降温，使得大面阵图像传感器13的温度达到低温工况温度并保持稳定；
S6、启动三维形貌仪40，设定面形检测起始点，对大面阵图像传感器13的面形进行检测；
步骤S6中，当导向装置30中的横向导轨31和纵向导轨32在工作过程中发生误差时，第一光学探头41在平面玻璃20上检测到一个跳度，并将检测到的信息传输给三维形貌仪40，与此同时，三维形貌仪40在接收第二光学探头42传输的信息会根据跳度进行修正，避免横向导轨31和纵向导轨32移动产生的误差影响三维形貌仪40输出的结果。
参见图2所示；
本发明实施例2所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，与实施例1的区别为：
所述低温杜瓦10、平面玻璃20和导向装置30分别通过调整机构50设置在光学平台60上。
所述调整机构50包括第一位姿调整机构51、第二位姿调整机构52和第三位姿调整机构53，所述第一位姿调整机构51调整低温杜瓦与光学平台60之间的位置姿态；所述第二位姿调整机构52调整平面玻璃20与光学平台60之间的位置姿态；所述第三位姿调整机构53调整导向装置30与光学平台60之间的位置姿态。
工作时，可分别通过第一位姿调整机构51、第二位姿调整机构52和第三位姿调整机构53调整低温杜瓦10的光学窗口11、平面玻璃20和导向装置30之间的位置姿态，使光学窗口11、平面玻璃20和导向装置30相平行，对光学窗口11、平面玻璃20和导向装置30之间的距离微调，且中心轴线相同，以保证检测精度。
本发明实施例2所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测方法，与实施例1的区别在于：
在启动三维形貌仪40前，通过第一位姿调整机构51、第二位姿调整机构52和第三位姿调整机构53调整低温杜瓦10的光学窗口11、平面玻璃20和导向装置30之间的距离进行微头条，同时使其相平行，且中心轴线相同。
本发明通过增设平面玻璃20，并通过第一光学探头41以检测出导向装置30工作过程中出现的误差，当第二光学探头42测得大面阵图像传感器13的面形，会在三维形貌仪40内将该误差修正，即第一光学探头41与第二光学探头42同步运动，当导向装置30在工作过程中发生误差时，第一光学探头41在平面玻璃20上检测到一个跳度，并将检测到的信息传输给三维形貌仪40，与此同时，三维形貌仪40在接收第二光学探头42传输的信息会根据跳度进行修正(根据该第一光学探头41测得跳度变化，三维形貌仪40将第二光学探头42测得数据减去第二光学探头42对应该跳度的数据)，避免导向装置30移动产生的误差影响三维形貌仪40输出的结果，保证输出的结果精确。
以上只通过说明的方式描述了本发明的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本发明的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本发明权利要求保护范围的限制。
Claims (8)
1.一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，其特征在于，该装置包括
低温杜瓦(10)，所述低温杜瓦(10)的一侧设置有光学窗口(11)，所述低温杜瓦(10)内部的支架(12)上设置有待检测的大面阵图像传感器(13)，且大面阵图像传感器(13)朝向光学窗口(11)设置，大面阵图像传感器(13)的中心线与光学窗口(11)的中心线相同；
平面玻璃(20)，所述平面玻璃(20)与光学窗口(11)平行设置，且平面玻璃(20)的中心线与光学窗口(11)的中心线相同；
导向装置(30)，所述导向装置(30)设置于低温杜瓦(10)和平面玻璃(20)之间；所述导向装置(30)上安装有第一光学探头(41)和第二光学探头(42)，所述第一光学探头(41)垂直朝向平面玻璃(20)设置，所述第二光学探头(42)垂直朝向光学窗口(11)设置，且第一光学探头(41)和第二光学探头(42)能够同步运动，所述第一光学探头(41)和第二光学探头(42)均通过线路与三维形貌仪(40)连接。
2.根据权利要求1所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，其特征在于，所述低温杜瓦(10)、平面玻璃(20)和导向装置(30)分别通过调整机构(50)设置在光学平台(60)上。
3.根据权利要求1所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，其特征在于，所述调整机构(50)包括第一位姿调整机构(51)、第二位姿调整机构(52)和第三位姿调整机构(53)，所述第一位姿调整机构(51)调整低温杜瓦(10)与光学平台(60)之间的位置姿态；所述第二位姿调整机构(52)调整平面玻璃(20)与光学平台(60)之间的位置姿态；所述第三位姿调整机构(53)调整导向装置(30)与光学平台(60)之间的位置姿态。
4.根据权利要求1所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，其特征在于，所述导向装置(30)包括横向导轨(31)和纵向导轨(32)，所述横向导轨(31)安装在光学平台(60)上，所述纵向导轨(32)能够沿着横向导轨(31)的宽度方向移动，所述第一光学探头(41)和第二光学探头(42)能够在纵向导轨(32)的长度方向移动。
5.根据权利要求1所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，其特征在于，所述低温杜瓦(10)通过管路与制冷机(14)连通。
6.根据权利要求1所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测装置，其特征在于，所述光学平台(60)为气浮平台，该气浮平台的台面由不锈钢或大理石制成。
7.一种大面阵图像传感器低温面形检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将光学平台(60)调平调稳放置备用；
S2、将大面阵图像传感器(13)安装在低温杜瓦(10)内部的支架(12)上，且大面阵图像传感器(13)的感光面平行面向低温杜瓦(10)的光学窗口(11)，之后将低温杜瓦(10)安装在光学平台(60)上；
S3、将平面玻璃(20)安装在光学平台(60)上，且位于低温杜瓦(10)的光学窗口(11)正前方，保持平面玻璃(20)和光学窗口(11)平行；
S4、将导向装置(30)安装在光学平台(60)上，且位于平面玻璃(20)和光学窗口(11)之间，再将与三维形貌仪(40)连接的第一光学探头(41)和第二光学探头(42)安装在导向装置(30)的纵向导轨(32)上，且第一光学探头(41)垂直朝向平面玻璃(20)，第二光学探头(42)垂直朝向光学窗口(11)；
S5、启动制冷机(14)对低温杜瓦(10)内部进行降温，使得大面阵图像传感器(13)的温度达到低温工况温度并保持稳定；
S6、启动三维形貌仪(40)，设定面形检测起始点，对大面阵图像传感器(13)的面形进行检测。
8.根据权利要求7所述的一种大面阵图像传感器低温面形检测方法，其特征在于，步骤S6中，当导向装置(30)中的横向导轨(31)和纵向导轨(32)在工作过程中发生误差时，第一光学探头(41)在平面玻璃(20)上检测到一个跳度，并将检测到的信息传输给三维形貌仪(40)，与此同时，三维形貌仪(4)在接收第二光学探头(42)传输的信息会根据跳度进行修正，避免横向导轨(31)和纵向导轨(32)移动产生的误差影响三维形貌仪(40)输出的结果。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110470803.3A CN113188472A (zh) | 2021-04-29 | 2021-04-29 | 一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110470803.3A CN113188472A (zh) | 2021-04-29 | 2021-04-29 | 一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113188472A true CN113188472A (zh) | 2021-07-30 |
Family
ID=76980292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110470803.3A Pending CN113188472A (zh) | 2021-04-29 | 2021-04-29 | 一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113188472A (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080072442A1 (en) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd | Contour measuring device with error correcting unit |
| CN102042808A (zh) * | 2010-11-05 | 2011-05-04 | 北京交通大学 | 一种无缝钢轨纵向、横向位移同时测量装置、系统及其方法 |
| CN103308008A (zh) * | 2013-06-21 | 2013-09-18 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种低温状态下元件平面度的测量装置及方法 |
| CN109059806A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-12-21 | 河北工业大学 | 一种基于红外条纹的镜面物体三维面形测量装置及方法 |
| CN110553605A (zh) * | 2019-09-18 | 2019-12-10 | 苏州华兴源创科技股份有限公司 | 一种激光雷达偏转角误差的测量系统及方法 |
| CN110849299A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-28 | 东南大学 | 基于图像处理的轨道不平整度测量装置及测量方法 |
-
2021
- 2021-04-29 CN CN202110470803.3A patent/CN113188472A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20080072442A1 (en) * | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd | Contour measuring device with error correcting unit |
| CN102042808A (zh) * | 2010-11-05 | 2011-05-04 | 北京交通大学 | 一种无缝钢轨纵向、横向位移同时测量装置、系统及其方法 |
| CN103308008A (zh) * | 2013-06-21 | 2013-09-18 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种低温状态下元件平面度的测量装置及方法 |
| CN109059806A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-12-21 | 河北工业大学 | 一种基于红外条纹的镜面物体三维面形测量装置及方法 |
| CN110553605A (zh) * | 2019-09-18 | 2019-12-10 | 苏州华兴源创科技股份有限公司 | 一种激光雷达偏转角误差的测量系统及方法 |
| CN110849299A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-28 | 东南大学 | 基于图像处理的轨道不平整度测量装置及测量方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10036786B2 (en) | Magnetic field measuring apparatus and manufacturing method of magnetic field measuring apparatus | |
| CN102629566B (zh) | 加工装置 | |
| CN111192837A (zh) | 一种晶圆片翘曲度的测试方法 | |
| CN112781529B (zh) | 一种对入射角不敏感的直线度干涉测量装置 | |
| CN104597841A (zh) | 一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法 | |
| CN105066939A (zh) | 球棒球心距检测装置及其检测方法 | |
| JP2001108408A (ja) | レーザ干渉装置 | |
| CN117537727B (zh) | 一种用于光学镜片多厚度检测装置 | |
| CN113771093B (zh) | 基于直线运动台的机械臂标定与精度测量装置 | |
| CN113188472A (zh) | 一种大面阵图像传感器低温面形检测装置及方法 | |
| CN115128522B (zh) | 一种霍尔探头的封装结构、检测设备及封装精度管控方法 | |
| CN115533675A (zh) | 一种光学元件控时磨削面形测量系统及面形测量方法 | |
| CN113432563B (zh) | 一种极端环境直线式传感器校准装置及方法 | |
| JP2005024567A (ja) | 位置測定装置 | |
| Weichert et al. | Integration of a step gauge measurement capability at the PTB Nanometer Comparator–concept and preliminary tests | |
| CN115435699A (zh) | 一种球列校准装置 | |
| CN110360927B (zh) | 一种长大部件挠度快速测量装置及测量方法 | |
| CN204757963U (zh) | 球棒球心距检测装置 | |
| CN110307794B (zh) | 一种高精度智能孔径测试装置与测试方法 | |
| CN204988208U (zh) | 一种高精度大行程螺纹测量仪 | |
| CN103499309A (zh) | 一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法 | |
| CN203396357U (zh) | 影像测量仪z轴线性精度检测装置 | |
| CN109115826B (zh) | 一种热膨胀测量仪及使用方法 | |
| CN102564613A (zh) | 一种波长跟踪器 | |
| JP2000124232A (ja) | 平行度測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20210730 |