CN113125387A - 一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法 - Google Patents
一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113125387A CN113125387A CN202110410656.0A CN202110410656A CN113125387A CN 113125387 A CN113125387 A CN 113125387A CN 202110410656 A CN202110410656 A CN 202110410656A CN 113125387 A CN113125387 A CN 113125387A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- microscope objective
- beams
- phase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 title claims abstract description 15
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 44
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 claims description 28
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000001093 holography Methods 0.000 claims description 3
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 2
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 32
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 10
- 238000009647 digital holographic microscopy Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000012984 biological imaging Methods 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
- G01N21/553—Attenuated total reflection and using surface plasmons
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
本发明公开了一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,激光器发出的光经过扩束准直后被分光器件分成强度相同的两束,经不同路径调制,最终以相同入射角入射到油浸物镜的后焦面,但其入射面是正交的。经样品反射后被物镜重新收集,并利用偏振分光器件将两束光的物参光分开,然后在两个相机靶面互相干涉形成两幅全息图,并由计算机进行数值重建和图像配准,得到两幅像素对应的相位图。将配准后的相位图像沿SPR激发方向进行低通滤波,最后用提出的加权平均滤波算法进行图像合成,得到分辨率增强的相位图像。相比传统表面等离子体共振相位成像显微镜的质量,双光束激发极大提升了成像的分辨率,具有与传统光学显微镜相近的成像质量。
Description
技术领域
本发明涉及光学领域,数字图像处理领域,特别涉及表面等离子体共振显微成像和定量相位成像技术领域。
背景技术
表面等离子体共振(SPR,Surface Plasmon Resonance)显微术是近年来新兴的一种近场显微成像技术,利用表面等离子体共振的原理可以探测出近场区域微弱的折射率等物理参量的变化。定量相位成像是一种光学领域常用的三维成像方式,尤其在生物分子层面成像应用广泛,其中数字全息显微术是发展比较成熟的一种方式。数字全息显微术以其快速实时、非破坏性、非侵入性、全场测量等优点,被广泛用于流场测量、形变测量、形貌分析、显微成像等领域。表面等离子体共振全息显微术将数字全息显微术和表面等离子体共振显微术相结合,可以实现对近场样品物理参数的微小变化进行实时测量和成像。但是由于表面等离子体波在传播过程中与样品发生相互作用导致成像过程中会产生严重的图像模糊现象,也称为拖尾现象,使得表面等离子体共振全息显微术的成像分辨率低于传统光学显微镜(H.Yu,X.Shan,S.Wang,H.Chen,and N.Tao,"Molecular scale origin ofsurface plasmon resonance biosensors,"Anal.Chem.86,8992-8997(2014).)。
目前,针对表面等离子体共振显微术分辨率改善的工作比较少,比如利用数字图像处理技术对产生拖尾的图像进行优化以改善分辨率(I.I.Smolyaninov,J.Elliott,G.Wurtz,A.V.Zayats,and C.C.Davis,"Digital resolution enhancement in surfaceplasmon microscopy,"Appl.Phys.B 84,253-256(2006).);利用高精度压电驱动的位移台实现逐点扫描成像,牺牲时间分辨率增强空间分辨率(C.Zhang,R.Wang,Y.Wang,S.Zhu,C.Min,and X.C.Yuan,"Phase-stepping technique for highly sensitive microscopicsurface plasmon resonance biosensor,"Appl.Opt.53,836-840(2014).);尽管这些方法对表面等离子体共振显微术的分辨率有一定的提升,但是对于需要干涉记录全息图的表面等离子体共振全息显微术并不适用。
到目前为止尚未出现一种能应用于表面等离子体共振全息显微术的分辨率增强方法,提升表面等离子体共振全息显微术的成像分辨率对于进一步推广其在生物成像、微纳结构检测等领域的应用具有重要的意义。
发明内容
为实现上述目的,本发明提出一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,主要是利用双通道照明激发表面等离子体共振,并互相提供干涉显微的参考光束,从而实现双角度成像,并将双通道拍摄的图像进行数字滤波合成,最终得到分辨率增强的表面等离子体共振相位图像。
技术方案
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于包括如下步骤:
1.一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于包括如下步骤:
步骤1、调整光路,使得两束入射面正交的线偏振光束Eh1和Ev1,以相同的SPR激发角θ入射到样品的下表面;经样品反射和显微物镜收集之后两束反射光束Eh2和Ev2分别被偏振分光棱镜分成偏振态正交的两束物光和参考光Eho,Ehr,Evo和Evr,其中Eho,和Evr偏振态相同,Ehr,和Evo偏振态相同,偏振态相同的两束光发生干涉后形成全息图,用两个相同的图像采集器件进行记录;
步骤2、在不放置样品时记录两幅全息图作为背景全息图,然后放置样品再次记录全息图,根据波动光学理论和二次曝光原理,数值模拟光波的衍射重建过程,对全息图进行数值重建,最终获得近场区域样品折射率分布对应的相位分布图像和
所述步骤1包含以下步骤:
a.调整光学元件获得扩束准直后的线偏振光束,然后经过分光棱镜获得两束强度相同的线偏振光束;
b.其中一束光Eh1依次经过反射镜,半波片,透镜和分光棱镜会聚入射到显微物镜的后焦平面,调节显微物镜与会聚透镜的距离,使从显微物镜出射的光束为近似平行光;
c.调整反射镜和分光棱镜的方向,使从显微物镜出射的平行光与显微物镜的光轴呈1度左右的夹角;
d.重新调整会聚透镜和显微物镜的距离,使出射光仍然为近似平行光,并调整半波片使从显微物镜出射的光束偏振方向与其入射面呈45度夹角;
e.将另一束光Ev1先经过反射镜抬升高度,然后重复第一束光的调节步骤,最终使其入射面与Eh1的入射面正交,且偏振方向与其入射面呈45度夹角;
f.分别平移分光棱镜,调整两束光入射到样品下表面的入射角θ1,θ2,使两束光的入射角同时满足表面等离子体共振激发角度,即θ1=θ2=θ;
g.携带样品信息的两束光Eh2和Ev2经过显微物镜收集并通过准直透镜成像,最后被偏振分光棱镜各自分为两束偏振态正交的光束Eho,Ehr,Evo和Evr,其中Eho和Evr偏振态相同,Ehr和Evo偏振态相同,Ehr和Evr是没有激发SPR的偏振分量,不携带样品信息作为参考光;
所述步骤2包含以下步骤:
a.记录无样品时的背景全息图I01和I02,然后记录有样品时的全息图I1和I2;
b.对两幅数字全息图分别利用数字全息术中通用的数值重建算法进行数值重建,获得对应的复振幅分布Eh、Ev,Eh0,Ev0;对获取的复振幅分别做二次曝光处理,得到去掉背景噪声的物光场复振幅分布Eh1,Ev1,其中Eh1=Eh/Eh0,Ev1=Ev/Ev0;对获得的复振幅进行如下运算,获得对应的相位分布和
所述步骤3包含以下步骤:
c.对于去噪后的相位分布图像,利用加权平均滤波算法进行图像合成,所用的加权平均滤波算法公式如下面所示:
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:包括一个激光器,一扩束准直装置,一偏振片,两半波片,三透镜,一显微物镜,一样品装置,三反射镜,三非偏振分束镜,一偏振分束镜,两图像采集器件和一计算机。其中,所述激光器发出的光经过所述准直装置准直后被所述非偏振分束镜分成两束,其中光束1先经所述反射镜抬升高度,再经过所述反射镜,半波片,透镜以及非偏振分束镜,最终入射到所述显微物镜的后焦平面,经所述显微物镜准直后以特定的SPR激发角入射到所述样品装置的下表面,记其入射面为zox平面;被所述样品装置反射后又被所述显微物镜收集,从所述显微物镜下方出射依次透过所述非偏振分束镜和透镜,然后被所述偏振分束镜分为携带样品信息的物光和不携带样品信息的参考光;光束2经所述反射镜反射,再经所述半波片调制,再经所述透镜会聚,经所述非偏振分束镜反射进入所述显微物镜的后焦平面,经所述显微物镜准直后,以和光束1相同的激发角入射到所述样品装置的下表面,其入射面与光束1的入射面正交,记为zoy平面;同样,被所述样品装置反射后又被所述显微物镜收集,从所述显微物镜下方出射依次透过所述非偏振分束镜和透镜,然后被所述偏振分束镜分为携带样品信息的物光和不携带样品信息的参考光;光束1的物光和光束2的参考光具有相同的偏振态,透射出所述非偏振分束镜后在所述图像采集器件的靶面发生干涉形成全息图,光束1的参考光和光束2的物光具有相同的偏振态,反射出所述非偏振分束镜后在所述图像采集器件的靶面发生干涉形成另一张全息图被记录。由所述计算机将两幅全息图进行数值重建并进行图像配准,使两幅图像像素一一对应,然后将配准后的相位图像沿SPR激发方向进行低通滤波,最后用加权平均滤波算法将两幅图像进行合成,最终得到分辨率增强的相位图像。
有益效果
本发明克服了传统表面等离子体共振相位成像显微镜由于表面等离子体波的传播引起的分辨率低的缺点,通过两个相机同时记录两幅激发方向正交的全息图,并结合所提出的加权平均滤波算法对两幅低分辨率的相位图像进行数值合成,最终获取分辨率增强的相位图像,提高传统表面等离子体共振相位成像的成像分辨率,尤其对于生物样品、微纳结构等成像具有重要意义。
附图说明
图1为一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的原理光路;
图2为实例样品装置示意图;
图3为一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的图像处理流程;
图1中:1-激光器,2-非偏振分束镜,3-反射镜,4-反射镜,5-半波片,6-透镜,7-非偏振分束镜,8-显微物镜,9-样品装置,10-反射镜,11-半波片,12-透镜,13-非偏振分束镜,14-透镜,15-偏振分束镜,16-相机,17-相机。
图2中:1-盖玻片,2-1.5nm厚铬层,3-48nm厚金层,4-光刻胶,5-光刻胶中刻蚀的空气隙结构。
具体实施方式
现结合实施例、附图对本发明作进一步描述:
实施例1:本发明设计的一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的系统如图1所示,工作流程如下:
激光器1发出的光经过准直后被非偏振分束镜2分成两束,其中一束光19经反射镜3抬升,再经反射镜4反射,依次经过半波片5调制,再经透镜6会聚,经非偏振分束镜7反射进入显微物镜8的后焦平面,经显微物镜准直后,以特定的SPR激发角入射到样品装置9的下表面,其入射面为zox平面;被样品装置9反射后又被显微物镜8收集,从下方出射依次透过非偏振分束镜7,非偏振分束,13,和透镜14,然后被偏振分束镜15分为携带样品信息的物光和不携带样品信息的参考光Evo和Evr;另一束光18经反射镜10反射,依次经过半波片11调制,再经透镜12会聚,经非偏振分束镜13反射后入射到显微物镜8的后焦平面,经显微物镜准直后以和光束19同样的SPR激发角入射到样品装置9的下表面,其入射面为zoy平面;同样,被样品装置9反射后又被显微物镜8收集,从下方出射后依次透过非偏振分束镜7,非偏振分束镜13和透镜14,然后被偏振分束镜15分为携带样品信息的物光和不携带样品信息的参考光Eho和Ehr;光束18的物光和光束19的参考光具有相同的偏振态,透射出非偏振分束镜15后在图像采集器件16的靶面发生干涉形成全息图I1,光束18的参考光和光束19的物光具有相同的偏振态,反射出非偏振分束镜15后在图像采集器件17的靶面发生干涉形成另一张全息图I2被记录。其中,
首先记录无样品结构时的背景全息图I01和I02,然后记录有样品结构时的全息图I1和I2,分别利用数字全息术中通用的数值重建算法进行数值重建,获得对应的复振幅分布Eh0,Ev0,Eh,Ev,对获取的复振幅分别做二次曝光处理,得到去掉背景噪声的物光场复振幅分布Eh1,Ev1,其中Eh1=Eh/Eh0,Ev1=Ev/Ev0;对获得的复振幅进行如下运算,获得对应的相位分布和
对于去噪后的相位分布图像,利用加权平均滤波算法进行图像合成,所用的加权平均滤波算法如下:
Claims (7)
1.一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于包括如下步骤:
步骤1、调整光路,使得两束入射面正交的线偏振光束Eh1和Ev1,以相同的SPR激发角θ入射到样品的下表面;经样品反射和显微物镜收集之后两束反射光束Eh2和Ev2分别被偏振分光棱镜分成偏振态正交的两束物光和参考光Eho,Ehr,Evo和Evr,其中Eho,和Evr偏振态相同,Ehr,和Evo偏振态相同,偏振态相同的两束光发生干涉后形成全息图,用两个相同的图像采集器件进行记录;
步骤2、在不放置样品时记录两幅全息图作为背景全息图,然后放置样品再次记录全息图,根据波动光学理论和二次曝光原理,数值模拟光波的衍射重建过程,对全息图进行数值重建,最终获得近场区域样品折射率分布对应的相位分布图像和
所述步骤1包含以下步骤:
a.调整光学元件获得扩束准直后的线偏振光束,然后经过分光棱镜获得两束强度相同的线偏振光束;
b.其中一束光Eh1依次经过反射镜,半波片,透镜和分光棱镜会聚入射到显微物镜的后焦平面,调节显微物镜与会聚透镜的距离,使从显微物镜出射的光束为近似平行光;
c.调整反射镜和分光棱镜的方向,使从显微物镜出射的平行光与显微物镜的光轴呈1度左右的夹角;
d.重新调整会聚透镜和显微物镜的距离,使出射光仍然为近似平行光,并调整半波片使从显微物镜出射的光束偏振方向与其入射面呈45度夹角;
e.将另一束光Ev1先经过反射镜抬升高度,然后重复第一束光的调节步骤,最终使其入射面与Eh1的入射面正交,且偏振方向与其入射面呈45度夹角;
f.分别平移分光棱镜,调整两束光入射到样品下表面的入射角θ1,θ2,使两束光的入射角同时满足表面等离子体共振激发角度,即θ1=θ2=θ;
g.携带样品信息的两束光Eh2和Ev2经过显微物镜收集并通过准直透镜成像,最后被偏振分光棱镜各自分为两束偏振态正交的光束Eho,Ehr,Evo和Evr,其中Eho和Evr偏振态相同,Ehr和Evo偏振态相同,Ehr和Evr是没有激发SPR的偏振分量,不携带样品信息作为参考光;
所述步骤2包含以下步骤:
a.记录无样品时的背景全息图I01和I02,然后记录有样品时的全息图I1和I2;
b.对两幅数字全息图分别利用数字全息术中通用的数值重建算法进行数值重建,获得对应的复振幅分布Eh、Ev,Eh0,Ev0;对获取的复振幅分别做二次曝光处理,得到去掉背景噪声的物光场复振幅分布Eh1,Ev1,其中Eh1=Eh/Eh0,Ev1=Ev/Ev0;对获得的复振幅进行如下运算,获得对应的相位分布和
所述步骤3包含以下步骤:
c.对于去噪后的相位分布图像,利用加权平均滤波算法进行图像合成,所用的加权平均滤波算法公式如下面所示:
2.根据权利要求1所述的一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于:解决其技术问题所采用的技术方案包括一个激光器,一扩束准直装置,一偏振片,两半波片,三透镜,一显微物镜,一样品装置,三反射镜,三非偏振分束镜,一偏振分束镜,两图像采集器件和一计算机;其中,所述激光器发出的光经过所述准直装置准直后被所述非偏振分束镜分成两束,其中光束1先经所述反射镜抬升高度,再经过所述反射镜,半波片,透镜以及非偏振分束镜,最终入射到所述显微物镜的后焦平面,经所述显微物镜准直后以特定的SPR激发角入射到所述样品装置的下表面,记其入射面为zox平面;被所述样品装置反射后又被所述显微物镜收集,从所述显微物镜下方出射依次透过所述非偏振分束镜和透镜,然后被所述偏振分束镜分为携带样品信息的物光和不携带样品信息的参考光;光束2经所述反射镜反射,再经所述半波片调制,再经所述透镜会聚,经所述非偏振分束镜反射进入所述显微物镜的后焦平面,经所述显微物镜准直后,以和光束1相同的激发角入射到所述样品装置的下表面,其入射面与光束1的入射面正交,记为zoy平面;同样,被所述样品装置反射后又被所述显微物镜收集,从所述显微物镜下方出射依次透过所述非偏振分束镜和透镜,然后被所述偏振分束镜分为携带样品信息的物光和不携带样品信息的参考光;光束1的物光和光束2的参考光具有相同的偏振态,透射出所述非偏振分束镜后在所述图像采集器件的靶面发生干涉形成全息图,光束1的参考光和光束2的物光具有相同的偏振态,反射出所述非偏振分束镜后在所述图像采集器件的靶面发生干涉形成另一张全息图被记录;由所述计算机将两幅全息图进行数值重建并进行图像配准,使两幅图像像素一一对应,然后将配准后的相位图像沿SPR激发方向进行低通滤波,最后用加权平均滤波算法将两幅图像进行合成,最终得到分辨率增强的相位图像。
3.根据权利要求2所述的一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于:所述扩束准直装置为一透镜组和针孔。
4.根据权利要求2所述的一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于:所述显微物镜为一高倍、大数值孔径的油浸物镜。
5.根据权利要求2所述的一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于:所述非偏振分束镜用于将光的能量分为两部分。
6.根据权利要求2所述的一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于:所述偏振分束镜用于产生两组空间分离,偏振方向正交的全息图。
7.根据权利要求2所述的一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法,其特征在于:所述图像采集器件为CCD或CMOS等电荷耦合的图像采集设备。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110410656.0A CN113125387A (zh) | 2021-04-14 | 2021-04-14 | 一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110410656.0A CN113125387A (zh) | 2021-04-14 | 2021-04-14 | 一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113125387A true CN113125387A (zh) | 2021-07-16 |
Family
ID=76777170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110410656.0A Pending CN113125387A (zh) | 2021-04-14 | 2021-04-14 | 一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113125387A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114544552A (zh) * | 2021-11-16 | 2022-05-27 | 西北工业大学 | 一种改善表面等离子体共振全息显微术像质的方法 |
CN115452774A (zh) * | 2022-09-07 | 2022-12-09 | 西北工业大学 | 一种基于多向激发的高分辨率表面等离子体共振全息显微成像方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015121853A1 (en) * | 2014-02-13 | 2015-08-20 | B. G. Negev Technologies And Applications Ltd., At Ben-Gurion University | Real time dual mode full-field optical coherence microscopy with full range imaging |
CN105204310A (zh) * | 2015-10-19 | 2015-12-30 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于光学扫描全息技术的复振幅物体重建装置 |
CN105628655A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-06-01 | 温州生物材料与工程研究所 | 一种基于表面等离子体共振的光学显微镜 |
CN107907983A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-04-13 | 昆明理工大学 | 基于局域空心光束照明的数字全息显微装置及其工作方法 |
-
2021
- 2021-04-14 CN CN202110410656.0A patent/CN113125387A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015121853A1 (en) * | 2014-02-13 | 2015-08-20 | B. G. Negev Technologies And Applications Ltd., At Ben-Gurion University | Real time dual mode full-field optical coherence microscopy with full range imaging |
CN105204310A (zh) * | 2015-10-19 | 2015-12-30 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 基于光学扫描全息技术的复振幅物体重建装置 |
CN105628655A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-06-01 | 温州生物材料与工程研究所 | 一种基于表面等离子体共振的光学显微镜 |
CN107907983A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-04-13 | 昆明理工大学 | 基于局域空心光束照明的数字全息显微装置及其工作方法 |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
JIAZHEN DOU等: "Dual-channel illumination surface Plasmon resonance holographic microscopy for resolution improvement", 《OPTICS LETTERS》 * |
张继巍: "基于数字全息术的近场测量方法研究" * |
戴思清 等: "基于数字全息术的近场成像与应用", 《光学学报》 * |
戴思清等: "基于数字全息术的近场成像与应用" * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114544552A (zh) * | 2021-11-16 | 2022-05-27 | 西北工业大学 | 一种改善表面等离子体共振全息显微术像质的方法 |
CN114544552B (zh) * | 2021-11-16 | 2024-04-30 | 西北工业大学 | 一种改善表面等离子体共振全息显微术像质的方法 |
CN115452774A (zh) * | 2022-09-07 | 2022-12-09 | 西北工业大学 | 一种基于多向激发的高分辨率表面等离子体共振全息显微成像方法 |
CN115452774B (zh) * | 2022-09-07 | 2024-05-10 | 西北工业大学 | 一种基于多向激发的高分辨率表面等离子体共振全息显微成像方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108971747B (zh) | 一种具备在线监测功能的超快激光微纳加工装置 | |
US7880891B1 (en) | Total internal reflection holographic microscope | |
TWI644098B (zh) | 透明基板之瑕疵檢測方法與裝置 | |
CN111650203B (zh) | 一种微球内表面缺陷测量方法 | |
CN111121675B (zh) | 一种用于微球表面显微干涉测量的视场扩展方法 | |
KR102697547B1 (ko) | 표면 형상 계측 장치 및 표면 형상 계측 방법 | |
CN113125387A (zh) | 一种增强表面等离子体共振相位成像横向分辨率的方法 | |
CN108562241B (zh) | 基于光纤束的数字全息柔性测量的装置与方法 | |
CN111257227A (zh) | 基于偏振自相关的暗场共焦显微测量装置和方法 | |
CN115930773A (zh) | 轻离轴数字全息检测装置 | |
CN116183568B (zh) | 一种三维结构光照明超分辨显微成像的高保真重构的方法和装置 | |
CN114858759A (zh) | 一种测量低维材料面内光学各向异性的方法 | |
CN114459620A (zh) | 通过单一波片在双干涉通道间产生π相移的装置及方法 | |
TWI632361B (zh) | 數位全像顯微斷層之方法及裝置 | |
CN115452774B (zh) | 一种基于多向激发的高分辨率表面等离子体共振全息显微成像方法 | |
CN114184553B (zh) | 一种基于环形光照明的落射式定量相位显微装置和方法 | |
CN113418470B (zh) | 光谱扫描共焦单次曝光数字全息测量系统及测量方法 | |
CN113984771B (zh) | 基于矢量偏振光的深度学习暗场共焦显微测量装置与方法 | |
CN115598147A (zh) | 基于白光显微干涉的微球内外表面缺陷检测装置及方法 | |
CN112630232B (zh) | 差动共焦定面干涉靶丸内、外表面缺陷检测方法与装置 | |
CN107589096B (zh) | 一种用于表面等离子体共振成像的数字全息记录方法 | |
CN114544552B (zh) | 一种改善表面等离子体共振全息显微术像质的方法 | |
CN108051089B (zh) | 一种基于渥拉斯顿棱镜的测量样品偏振态的方法与系统 | |
US12111453B1 (en) | Differential dark-field confocal microscopic measurement apparatus and method based on polarized vector light beam | |
CN115469522A (zh) | 一种基于双波长透视式数字全息成像系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20210716 |
|
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |