CN113118127A - 一种mems技术用石英基片的清洗装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于石英基片清洗技术领域，尤其是涉及一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，包括超声波清洗机、清洗槽体和清洗水箱，超声波清洗机的上端固定连接有竖直的龙门支架，龙门支架的侧壁上固定连接有两个竖直的电动滑轨，且两个电动滑轨的外侧滑动连接有同一块电动滑块，电动滑块的侧壁上固定连接有两个L形支杆，清洗槽体对应连接在两个L形支杆的下端，清洗槽体的下端为开口式结构，且清洗槽体内底壁上转动连接有水平的承载板。本发明能够避免清洗过程中多块石英基片出现粘接的情况，助于石英基片的稳定清洗，并且可以对清洗架内的石英基片进行吹风处理，助于清洗液的沥干操作，以达到干燥的目的助于后续的使用。

Description

一种MEMS技术用石英基片的清洗装置

技术领域

本发明涉及石英基片清洗技术领域，尤其涉及一种MEMS技术用石英基片的清洗装置。

背景技术

石英片通常由石英熔炼并切割磨制而成，石英片硬度为莫氏七级，具有耐高温、热膨胀系数低、耐热震性和电绝缘性能良好等特点，通常为无色透明类，可见光透过率85％以上，石英片在生产加工时需要对其进行清洗，然而市面上出现的清洗装置仍存在各种各样的不足，不能够满足生产的需求。

具体的问题如下：现有的石英片在进行清洗时时，由于石英片较薄，从而导致石英片在清洗时会导致两个石英片之间会产生吸附，从而造成清洗不彻底；同时石英片在进行清洗完成后，清洗机内会残留有杂质，需要及时的对其进行清理，以保证清洗机的整洁，而且石英基片在清洗完成后需要将其表面残留的清洗液进行沥干，以提高清洗的效果，才能满足后续使用的需要。

为此，我们提出一种MEMS技术用石英基片的清洗装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，包括超声波清洗机、清洗槽体和清洗水箱，所述超声波清洗机的上端固定连接有竖直的龙门支架，所述龙门支架的侧壁上固定连接有两个竖直的电动滑轨，且两个电动滑轨的外侧滑动连接有同一块电动滑块，所述电动滑块的侧壁上固定连接有两个L形支杆，所述清洗槽体对应连接在两个L形支杆的下端，所述清洗槽体的下端为开口式结构，且清洗槽体内底壁上转动连接有水平的承载板，所述承载板的上端均布开设有多个上下连通的清洗口，所述清洗槽体的上端设置有与承载板连接的转动调节机构，且超声波清洗机的内壁上设置有与承载板对应的冲刷机构，所述清洗槽体的内壁上开设有竖直的条形开口，所述条形开口内滑动连接有用于放置石英基片的清洗架，且清洗架内底壁上均布设置有多个用于分隔石英基片的隔网，所述清洗架对应设置在清洗槽体内，且清洗槽体的上端设置有两个与清洗架对应的吹风机构。

在上述的MEMS技术用石英基片的清洗装置中，所述龙门支架的侧壁上设置有与电动滑轨和电动滑块连接的控制器，且控制器对应设置在远离电动滑轨的一侧。

在上述的MEMS技术用石英基片的清洗装置中，所述转动调节机构包括转动连接在承载板侧壁上的转轴，且转轴远离承载板的一端延伸至清洗槽体的外侧，所述清洗槽体的上端固定连接有竖直的安装板，且安装板的侧壁上固定连接有驱动电机，所述驱动电机的驱动轴与转轴平行设置，所述驱动轴的外侧固定套接有第一带轮，所述转轴的外侧壁上固定套接有第二带轮，且第一带轮与第二带轮之间通过皮带连接。

在上述的MEMS技术用石英基片的清洗装置中，所述驱动电机下侧的清洗槽体侧壁上固定连接有竖直的电动推杆，且电动推杆的伸缩端固定连接有横板，所述横板远离电动推杆的一端延伸至条形开口内并与清洗架连接，所述清洗架的侧壁上固定连接有与横板对应的连接件，且连接件与横板之间通过紧固螺栓固定连接。

在上述的MEMS技术用石英基片的清洗装置中，所述冲刷机构包括固定连接在超声波清洗机外侧壁上的水箱，所述水箱的外侧壁上固定连接有与其连通的进水管，所述水箱的侧壁上连接有水平的出水管，且出水管远离水箱的一端对应设置在超声波清洗机的内侧，所述出水管的侧壁上均布设置有多个出水喷头，且多个出水喷头与旋转的承载板对应设置，所述超声波清洗机的侧壁上固定连接有内外连通的排水管。

在上述的MEMS技术用石英基片的清洗装置中，所述吹风机构包括固定连接在清洗槽体上端的弧形板，所述弧形板的侧壁上转动连接有与驱动电机驱动轴平行的横轴，且两根横轴与驱动电机之间通过传动机构连接，所述弧形板内侧的横轴外均布连接有多个扇形叶片，且扇形叶片可与升起的清洗架对应设置。

在上述的MEMS技术用石英基片的清洗装置中，所述传动机构包括固定套接在驱动轴外侧的第一链轮，所述横轴的外侧壁上固定套接有第二链轮，且第一链轮与两个第二链轮之间通过同一根链条连接，所述第一链轮对应设置在第一带轮的内侧。

在上述的MEMS技术用石英基片的清洗装置中，所述MEMS技术用石英基片的清洗装置的工作原理为：

S1、在对石英基片进行清洗操作前，可以将多个石英基片对应置于清洗架内，并且通过设置多个隔网，能够避免石英基片在清洗时出现粘接的情况；

S2、然后启动电动滑轨，使得电动滑块移动，待清洗槽体移动至超声波清洗机内部后再启动电动推杆，使得清洗架活动至与承载板接触的位置，之后启动超声波清洗机对多个石英基片进行清洗操作；

S3、清洗完成后启动电动推杆，使得清洗架活动至条形开口上侧，并且控制电动滑轨使得清洗槽体活动至与冲洗机构对应的位置，然后启动驱动电机，在皮带的传动下，使得转轴转动，进而能够带动承载板旋转，并利用多个出水喷头对承载板进行冲洗，能够对超声波清洗机清洗过程中残留的杂质进行清理；

S4、承载板在清洗过程的同时，驱动电机的驱动轴在链条的传动下使得两根横轴同时转动，并且利用横轴外侧的多个扇形叶片能够产生风能，进而可以对清洗架内的石英基片进行吹风处理，即助于清洗后石英基片的干燥。

与现有技术相比，本一种MEMS技术用石英基片的清洗装置的优点在于：

1、本发明中的清洗架内底壁上均布设置有多个用于分隔石英基片的隔网，能够避免清洗过程中多块石英基片出现粘接的情况，助于石英基片的稳定清洗，并且在转动调节机构的使用下，能够对承载板的使用角度进行调整，即方便对超声波清洗机清洗后残留的杂质进行清理，以保证超声波清洗机内部的整洁性，助于长期稳定的使用。

2、本发明在对承载板进行冲洗的同时，利用驱动电机的驱动可以同时使得两根横轴外侧的扇形叶片转动，进而可以对清洗架内的石英基片进行吹风处理，助于清洗液的沥干操作，以达到干燥的目的助于后续的使用。

附图说明

图1为本发明提出的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置的外部结构示意图；

图2为本发明提出的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置的俯视结构图；

图3为本发明提出的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置的背面结构示意图；

图4为本发明提出的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置的内部结构示意图；

图5为本发明提出的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置的清洗槽体仰视结构图；

图6为本发明提出的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置的冲刷机构侧面结构图；

图7为图4中A处局部放大图。

图中，1超声波清洗机、2清洗槽体、3链条、4龙门支架、5电动滑轨、6电动滑块、7L形支杆、8承载板、9条形开口、10清洗架、11隔网、12转轴、13安装板、14驱动电机、15第一带轮、16第二带轮、17皮带、18电动推杆、19横板、20连接件、21水箱、22进水管、23出水管、24出水喷头、25排水管、26弧形板、27横轴、28扇形叶片、29第一链轮、30第二链轮。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例

参照图1-7，一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，包括超声波清洗机1、清洗槽体2和清洗水箱3，超声波清洗机1的上端固定连接有竖直的龙门支架4，龙门支架4的侧壁上固定连接有两个竖直的电动滑轨5，且两个电动滑轨5的外侧滑动连接有同一块电动滑块6，龙门支架4的侧壁上设置有与电动滑轨5和电动滑块6连接的控制器，且控制器对应设置在远离电动滑轨5的一侧，控制器与电动滑轨5和电动滑块6的控制过程为现有技术，在此不再赘述，电动滑块6的侧壁上固定连接有两个L形支杆7，清洗槽体2对应连接在两个L形支杆7的下端，清洗槽体2的下端为开口式结构，且清洗槽体2内底壁上转动连接有水平的承载板8，承载板8的上端均布开设有多个上下连通的清洗口，清洗槽体2的上端设置有与承载板8连接的转动调节机构，转动调节机构包括转动连接在承载板8侧壁上的转轴12，且转轴12远离承载板8的一端延伸至清洗槽体2的外侧，清洗槽体2的上端固定连接有竖直的安装板13，且安装板13的侧壁上固定连接有驱动电机14，驱动电机14的驱动轴与转轴12平行设置，驱动轴的外侧固定套接有第一带轮15，转轴12的外侧壁上固定套接有第二带轮16，且第一带轮15与第二带轮16之间通过皮带17连接，在转动调节机构的使用下，能够对承载板8的使用角度进行调整，即方便对超声波清洗机清洗后残留的杂质进行清理，以保证超声波清洗机1内部的整洁性，助于长期稳定的使用。

进一步的，超声波清洗机1的内壁上设置有与承载板8对应的冲刷机构，冲刷机构包括固定连接在超声波清洗机1外侧壁上的水箱21，水箱21的外侧壁上固定连接有与其连通的进水管22，水箱21的侧壁上连接有水平的出水管23，且出水管23远离水箱21的一端对应设置在超声波清洗机1的内侧，出水管23的侧壁上均布设置有多个出水喷头24，且多个出水喷头24与旋转的承载板8对应设置，超声波清洗机1的侧壁上固定连接有内外连通的排水管25，冲刷机构与转动调节机构相互配合，即实现对承载板8的清理工作，保证承载板8的整洁性，另外水箱21内设置有泵体，即保证出水喷头24能够顺利的将清洗液冲刷至承载板8上。

其中，清洗槽体2的内壁上开设有竖直的条形开口9，条形开口9内滑动连接有用于放置石英基片的清洗架10，且清洗架10内底壁上均布设置有多个用于分隔石英基片的隔网11，清洗架10对应设置在清洗槽体2内，具体的，驱动电机14下侧的清洗槽体2侧壁上固定连接有竖直的电动推杆18，且电动推杆18的伸缩端固定连接有横板19，横板19远离电动推杆18的一端延伸至条形开口9内并与清洗架10连接，清洗架10的侧壁上固定连接有与横板19对应的连接件20，且连接件20与横板19之间通过紧固螺栓固定连接，清洗架10与横板19之间采用拆卸式连接，方便对使用后的清洗架10进行拆除，另外清洗架10内纵向设置多个隔网11，能够避免清洗过程中多块石英基片出现粘接的情况，助于石英基片的稳定清洗。

其中，清洗槽体2的上端设置有两个与清洗架10对应的吹风机构，吹风机构包括固定连接在清洗槽体2上端的弧形板26，弧形板26的侧壁上转动连接有与驱动电机14驱动轴平行的横轴27，且两根横轴27与驱动电机14之间通过传动机构连接，弧形板26内侧的横轴27外均布连接有多个扇形叶片28，且扇形叶片28可与升起的清洗架10对应设置，具体的，传动机构包括固定套接在驱动轴外侧的第一链轮29，横轴27的外侧壁上固定套接有第二链轮30，且第一链轮29与两个第二链轮30之间通过同一根链条3连接，第一链轮29对应设置在第一带轮15的内侧。

本发明在使用时，具体的在对石英基片进行清洗操作前，可以将多个石英基片对应置于清洗架10内，并且通过设置多个隔网11，能够避免石英基片在清洗时出现粘接的情况；然后启动电动滑轨5，使得电动滑块6移动，待清洗槽体2移动至超声波清洗机1内部后再启动电动推杆18，使得清洗架10活动至与承载板8接触的位置，之后启动超声波清洗机1对多个石英基片进行清洗操作；清洗完成后启动电动推杆18，使得清洗架10活动至条形开口9上侧，并且控制电动滑轨使得清洗槽体2活动至与冲洗机构对应的位置，然后启动驱动电机14，在皮带17的传动下，使得转轴12转动，进而能够带动承载板8旋转，并利用多个出水喷头24对承载板8进行冲洗，能够对超声波清洗机1清洗过程中残留的杂质进行清理；承载板8在清洗过程的同时，驱动电机14的驱动轴在链条3的传动下使得两根横轴27同时转动，并且利用横轴27外侧的多个扇形叶片28能够产生风能，进而可以对清洗架10内的石英基片进行吹风处理，即助于清洗后石英基片的干燥。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，包括超声波清洗机(1)和清洗槽体(2)，其特征在于，所述超声波清洗机(1)的上端固定连接有竖直的龙门支架(4)，所述龙门支架(4)的侧壁上固定连接有两个竖直的电动滑轨(5)，且两个电动滑轨(5)的外侧滑动连接有同一块电动滑块(6)，所述电动滑块(6)的侧壁上固定连接有两个L形支杆(7)，所述清洗槽体(2)对应连接在两个L形支杆(7)的下端，所述清洗槽体(2)的下端为开口式结构，且清洗槽体(2)内底壁上转动连接有水平的承载板(8)，所述承载板(8)的上端均布开设有多个上下连通的清洗口，所述清洗槽体(2)的上端设置有与承载板(8)连接的转动调节机构，且超声波清洗机(1)的内壁上设置有与承载板(8)对应的冲刷机构，所述清洗槽体(2)的内壁上开设有竖直的条形开口(9)，所述条形开口(9)内滑动连接有用于放置石英基片的清洗架(10)，且清洗架(10)内底壁上均布设置有多个用于分隔石英基片的隔网(11)，所述清洗架(10)对应设置在清洗槽体(2)内，且清洗槽体(2)的上端设置有两个与清洗架(10)对应的吹风机构。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，其特征在于，所述龙门支架(4)的侧壁上设置有与电动滑轨(5)和电动滑块(6)连接的控制器，且控制器对应设置在远离电动滑轨(5)的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，其特征在于，所述转动调节机构包括转动连接在承载板(8)侧壁上的转轴(12)，且转轴(12)远离承载板(8)的一端延伸至清洗槽体(2)的外侧，所述清洗槽体(2)的上端固定连接有竖直的安装板(13)，且安装板(13)的侧壁上固定连接有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的驱动轴与转轴(12)平行设置，所述驱动轴的外侧固定套接有第一带轮(15)，所述转轴(12)的外侧壁上固定套接有第二带轮(16)，且第一带轮(15)与第二带轮(16)之间通过皮带(17)连接。

4.根据权利要求3所述的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，其特征在于，所述驱动电机(14)下侧的清洗槽体(2)侧壁上固定连接有竖直的电动推杆(18)，且电动推杆(18)的伸缩端固定连接有横板(19)，所述横板(19)远离电动推杆(18)的一端延伸至条形开口(9)内并与清洗架(10)连接，所述清洗架(10)的侧壁上固定连接有与横板(19)对应的连接件(20)，且连接件(20)与横板(19)之间通过紧固螺栓固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，其特征在于，所述冲刷机构包括固定连接在超声波清洗机(1)外侧壁上的水箱(21)，所述水箱(21)的外侧壁上固定连接有与其连通的进水管(22)，所述水箱(21)的侧壁上连接有水平的出水管(23)，且出水管(23)远离水箱(21)的一端对应设置在超声波清洗机(1)的内侧，所述出水管(23)的侧壁上均布设置有多个出水喷头(24)，且多个出水喷头(24)与旋转的承载板(8)对应设置，所述超声波清洗机(1)的侧壁上固定连接有内外连通的排水管(25)。

6.根据权利要求3所述的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，其特征在于，所述吹风机构包括固定连接在清洗槽体(2)上端的弧形板(26)，所述弧形板(26)的侧壁上转动连接有与驱动电机(14)驱动轴平行的横轴(27)，且两根横轴(27)与驱动电机(14)之间通过传动机构连接，所述弧形板(26)内侧的横轴(27)外均布连接有多个扇形叶片(28)，且扇形叶片(28)可与升起的清洗架(10)对应设置。

7.根据权利要求6所述的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，其特征在于，所述传动机构包括固定套接在驱动轴外侧的第一链轮(29)，所述横轴(27)的外侧壁上固定套接有第二链轮(30)，且第一链轮(29)与两个第二链轮(30)之间通过同一根链条(3)连接，所述第一链轮(29)对应设置在第一带轮(15)的内侧。

8.根据权利要求1所述的一种MEMS技术用石英基片的清洗装置，其特征在于，所述MEMS技术用石英基片的清洗装置的工作原理为：

S1、在对石英基片进行清洗操作前，可以将多个石英基片对应置于清洗架(10)内，并且通过设置多个隔网(11)，能够避免石英基片在清洗时出现粘接的情况；

S2、然后启动电动滑轨(5)，使得电动滑块(6)移动，待清洗槽体(2)移动至超声波清洗机(1)内部后再启动电动推杆(18)，使得清洗架(10)活动至与承载板(8)接触的位置，之后启动超声波清洗机(1)对多个石英基片进行清洗操作；

S3、清洗完成后启动电动推杆(18)，使得清洗架(10)活动至条形开口(9)上侧，并且控制电动滑轨使得清洗槽体(2)活动至与冲洗机构对应的位置，然后启动驱动电机(14)，在皮带(17)的传动下，使得转轴(12)转动，进而能够带动承载板(8)旋转，并利用多个出水喷头(24)对承载板(8)进行冲洗，能够对超声波清洗机(1)清洗过程中残留的杂质进行清理；

S4、承载板(8)在清洗过程的同时，驱动电机(14)的驱动轴在链条(3)的传动下使得两根横轴(27)同时转动，并且利用横轴(27)外侧的多个扇形叶片(28)能够产生风能，进而可以对清洗架(10)内的石英基片进行吹风处理，即助于清洗后石英基片的干燥。

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