CN113067496A - 一种压电驱动器及其制造方法和成像模组 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种压电驱动器及其制造方法和成像模组，其中所述压电启动器包括：压电元件，所述压电元件包括可动端和固定端；支撑块，用于固定所述压电元件的固定端；移动部件，设置于所述压电元件的可动端，所述移动部件设有滑槽，所述可动端至少部分伸入所述滑槽内，所述移动部件设有限位孔，所述限位孔沿所述压电元件的翘曲方向延伸；固定的导向杆，所述导向杆的至少一部分伸入所述限位孔，所述压电元件在通电的状态下，所述可动端能够带动所述移动部件相对于所述导向杆向上或向下移动。

Description

一种压电驱动器及其制造方法和成像模组

技术领域

本发明涉及运动控制技术领域，尤其涉及一种压电驱动器及其制造方法和成像模组。

背景技术

在一些电子终端中，通常会需要让其中的某些部件发生平移、竖直移动或者倾斜，进而实现某些特殊功能。例如目前在一些具有镜头模组的摄像机、照相机和手机等各种电子终端中，通常会通过VCM马达(Voice Coil Actuator/Voice Coil Motor，音圈马达)等驱动机构来使得可移动透镜或图像传感器，在光轴方向上位移以聚焦或变焦，或者，在垂直于光轴方向的方向上位移以防止光学抖动。然而，不同于传统单反相机，在空间体积狭小的手机、微型摄像机、照相机等电子终端实现该功能，是一项巨大工程挑战。参考图1A和1B，为一种制动器的主要结构图，图1A为牺牲层释放后的理想状态情形，移动部件30处于平衡状态，图1B为牺牲层释放后的实际状态，牺牲层释放后移动部件30受重力作用发生旋转。在某些场合需要制动器先释放支撑牺牲层后再与需制动的元件键合，移动部件30的旋转，影响后续元件键合。另外，参考图2A和图2B，图2A理想状态下被移动元件50向上移动的结构示意图，图2B为被移动元件50发生横向移动的的结构示意图，因此，如何解决上述两个问题，是目前需要解决的课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种压电驱动器及其制造方法和成像模组，能够解决牺牲层释放后移动部件受重力作用发生旋转和被驱动部件在向上或向下运动时发生水平移动的问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种压电驱动器，包括：

压电元件，所述压电元件包括可动端和固定端；

支撑块，用于固定所述压电元件的固定端；

移动部件，设置于所述压电元件的可动端，所述移动部件设有滑槽，所述可动端至少部分伸入所述滑槽内，所述移动部件设有限位孔，所述限位孔沿所述压电元件的翘曲方向延伸；

固定的导向杆，所述导向杆的至少一部分伸入所述限位孔，所述压电元件在通电的状态下，所述可动端能够带动所述移动部件相对于所述导向杆向上或向下移动。

本发明还提供了一种成像模组，包括上述的压电驱动器，还包括被移动元件，所述被移动元件包括：透镜组、成像传感元件、光圈或透镜片；

电连接端，与所述压电驱动器电极连接。

本发明还提供了一种压电驱动器的形成方法，包括：

提供第一衬底；

在所述第一衬底上形成支撑块以及所述支撑块围成区域的第一牺牲层，在所述第一牺牲层上形成第二牺牲层，以及位于所述第二牺牲层中的所述移动部件的下半部分，所述移动部件的下半部分包括滑槽的底壁和滑槽侧壁的下半部分；

提供压电元件，包括可动端和固定端，将所述固定端键合在所述支撑块上，所述可动端伸入所述滑槽；

在所述压电元件上、所述第二牺牲层上形成第三牺牲层，以及位于所述牺牲层中的所述移动部件的上半部分，所述移动部件的上半部分包括滑槽侧壁的上半部分和滑槽的顶壁；

在形成所述移动部件时或形成所述移动部件后，还包括：在所述移动部件中形成限位孔，以及在所述限位孔中形成导向杆；

形成完所述移动部件和所述导向杆后还包括：

在所述支撑块的表面与所述导向杆的端部之间形成连接所述支撑块与所述导向杆的连接部。

本发明的有益效果在于：在移动部件中设置限位孔，先限位孔中设置导电杆，所述导向杆的至少一端固定，限位孔和导向杆限制了移动部件的横向移动；

进一步地，当压电元件的可动端设有滑杆时，解决了释放牺牲层后，滑杆在滑槽内自由运动，移动部件受重力作用产生转动的问题；

进一步地，在支撑块的上表面设置上封盖，在支撑块的下表面设置下封盖，一方面可以固定导向杆，另一方面还可以保护压电元件不受外界环境的污染；

进一步的，滑槽沿压电元件长度方向的长度与压电元件上下移动的高度相适应，即当压电元件处于平衡态时，滑杆位于远离所述可动端一侧的滑槽的端部，当压电元件向上或向下移动到最高或最低处时，滑杆位于靠近所述可动端一侧的滑槽的端部。这种设置方式，在升降被驱动部件时，尽量减少被驱动部件沿滑槽长度方向上的水平移动。尤其当滑杆滑动至滑槽的端部时，可以完全制约被驱动部件在滑槽长度方向上的移动；

进一步的，滑槽沿压电元件宽度方向上的长度与滑杆的长度相匹配，被驱动部件在压电元件宽度方向上的横向移动被制约，以此限制被驱动部件沿压电元件宽度方向上的水平移动。

附图说明

图1A为一实例中压电驱动器牺牲层释放后的理想状态情况。

图1B为一实例中压电驱动器牺牲层释放后的移动部件发生旋转的情况。

图2A为一实例中压电驱动器驱动被驱动部件向上移动时的理想情况。

图2B为一实例中压电驱动器驱动被驱动部件向上移动时发生横向移动的情况。

图3为本发明一实施例中一种压电驱动器的结构示意图。

图4为本发明一实施例中一种压电元件的结构示意图。

图5为本发明一实施例中限位孔和导向杆限制移动部件横向移动的原理图。

图6为本发明另一实施例的一种压电驱动器的结构示意图。

图7为本发明另一实施例的一种压电驱动器的结构示意图。

图8为本发明另一实施例的一种压电驱动器的结构示意图。

图9为本发明另一实施例的压电元件带有滑杆的示意图。

图10为本发明另一实施例的压电元件带有滑杆的示意图。

图11为一实例中滑槽结构的示意图。

图12为本发明一实施例中滑槽的结构示意图。

图13为本发明一实施例中一种压电元件的结构示意图。

图14为本发明一实施例中一种成像模组的结构示意图。

图15为本发明一实施例中一种成像模组的结构示意图。

图16为本发明一实施例中一种成像模组的结构示意图。

图17为本发明一实施例中一种成像模组的结构示意图。

图18为本发明一实施例中一种成像模组的结构示意图。

图19为本发明一实施例中一种成像模组的结构示意图。

图20为本发明一实施例中一种成像模组的结构示意图。

图21至图25为本发明一实施例中一种压电驱动器制造方法不同阶段的结构示意图

附图标记说明：

10-支撑块；20-压电元件；201-滑杆；21-第一电极；22-第二电极；23-压电膜；24-支撑层；25-绝缘层；211-奇数层电极；221-偶数层电极；26-导电结构；251-第一电极引出端；252-第二电极引出端；30-移动部件；311-第一膜层；312-第二膜层；313-第三膜层；31-滑槽；32-凸出部；40-限位孔；41-导向杆；411-纵向部分；412-横向部分；401-第一侧壁；402-第二侧壁；50-被驱动部件；60-上封盖；70-下封盖；71-下封盖的侧壁；61-第一电连接端；62-第二电连接端；63-导电插塞；80-引线；81-电连接端；82-电连接端；83-电连接端；84-引线；85-电连接端；86-引线；87-引线；88-电连接端；89-电连接端；90-引线；100-线路板；200-第一衬底；4111-导向杆第一部分；4112-导向杆第二部分；4113-导向杆第三部分；313-滑槽底壁；3121-滑槽侧壁的下半部分；3122-滑槽侧壁的上半部分；311-滑槽顶壁；321-凸出部；322-凸出部

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明的成像模组及其制造方法作进一步详细说明。根据下面的说明和附图，本发明的优点和特征将更清楚，然而，需说明的是，本发明技术方案的构思可按照多种不同的形式实施，并不局限于在此阐述的特定实施例。附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

应当明白，当元件或层被称为“在...上”、“与...相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在...上”、“与...直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本发明教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。

空间关系术语例如“在...下”、“在...下面”、“下面的”、“在...之下”、“在...之上”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在...下面”和“在...下”可包括上和下两个取向。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。

在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本发明的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

如果本文的方法包括一系列步骤，且本文所呈现的这些步骤的顺序并非必须是可执行这些步骤的唯一顺序，且一些的步骤可被省略和/或一些本文未描述的其他步骤可被添加到该方法。若某附图中的构件与其他附图中的构件相同，虽然在所有附图中都可轻易辨认出这些构件，但为了使附图的说明更为清楚，本说明书不会将所有相同构件的标号标于每一图中。

本发明一实施例提供了一种压电驱动器，图3示出了根据本发明一实施的一种压电驱动器的结构示意图，请参考图3，所述压电驱动器包括：

压电元件20，所述压电元件20包括可动端和固定端；

支撑块10，用于固定所述压电元件20的固定端；

移动部件30，设置于所述压电元件20的可动端，所述移动部件30设有滑槽31，所述可动端至少部分伸入所述滑槽31内，所述移动部件30设有限位孔40，所述限位孔40沿所述压电元件20的翘曲方向延伸；

固定的导向杆41，所述导向杆41的至少一部分伸入所述限位孔40，所述压电元件20在通电的状态下，所述可动端能够带动所述移动部件30相对于所述导向杆41向上或向下移动。

首先介绍压电驱动器的工作原理：压电驱动器的驱动部件为压电元件20，压电元件20与支撑块10固定的一端为固定端，另一端为可动端，压电元件在通电状态下，可动端产生向上或向下的移动。具体地，参考图4，本实施例中，压电元件20具体结构包括支撑层24，位于支撑层24上的压电叠层结构，压电叠层结构包括从下至上依次堆叠的第二电极22、压电膜23和第一电极21，第一电极21上方还设有绝缘层25，第一电极21和第二电极22分别连接于第一电极引出端251和第二电极引出端252，第一电极引出端251和第二电极引出端252均位于绝缘层25中。

对第一电极引出端251和第二电极引出端252通电，压电膜23的上表面和下表面之间产生压差，从而使得压电膜23收缩，而由于支撑层24无法伸缩，所以导致压电元件20在通电后向上或向下翘曲(翘曲的方向、翘曲的程度视在压电膜23上下表面施加的电压而定)，从而使压电元件20可动端向上或者向下弯曲。当压电元件20的可动端设置有元件时，可以带动元件的上下移动。

压电膜23需要采用通电可发生形变的压电材料制成，例如是石英晶体、氮化铝、氧化锌、锆钛酸铅、钛酸钡、镓酸锂、锗酸锂或锗酸钛等材料。支撑层24的材料则为不导电的介质材料，例如是氧化硅、氮化硅等。

本实施例中，所述移动部件30设有限位孔40，所述限位孔40沿所述压电元件20的翘曲方向延伸；固定的导向杆41，所述导向杆41的至少一部分伸入所述限位孔40，所述压电元件20在通电的状态下，所述可动端能够带动所述移动部件30相对于所述导向杆41向上或向下移动。

如背景技术中所述，所述移动部件30在上下移动的过程中，容易出现水平移动的问题，为了防止水平移动，在移动部件的设置限位孔40，设置固定的导向杆41，将导向杆的至少一部分伸入限位孔40中。参考图5，图5为导向杆41限制移动部件30沿横向移动(X-X方向)的结构原理剖视图。位于所述导向杆41外周的限位孔40的第一侧壁401和限位孔40的第二侧壁402沿压电元件20的长度方向(X-X方向)上分布。当移动部件30沿X-X方向移动时，被导向杆41阻挡，导向杆是固定不动的，因此限制了移动部件30的移动。

参考图6，在一个实施例中，所述限位孔40位于所述移动部件30的上表面或下表面(图中所示为限位孔40位于移动部件30的上表面)，所述限位孔40的深度大于所述移动部件30上下移动的高度，所述导向杆包括纵向部分411和横向部分412，所述纵向部分411伸入所述限位孔40中，所述横向部分412连接于所述支撑块10。

参考图7，在另一实施例中，所述限位孔40贯穿所述移动部件30，所述导向杆包括纵向部分411和横向部分412，所述纵向部分411贯穿所述限位孔40，所述横向部分412连接所述支撑块10。

参考图8，在另一实施例中，还包括下封盖70，设置于所述支撑块10的下表面，所述下封盖70覆盖所述压电元件20和所述移动部件30的下方区域，所述导向杆41为竖向杆，所述限位孔(图中未示出)位于所述移动部件30的下表面或贯穿所述移动部件30，所述竖向杆41的下端固定于所述下封盖70。

此实施例中，导向杆41固定于所述下封盖70包括两种情况。第一种：导向杆41与下封盖70的侧壁71(下封盖70与移动部件30连接的纵向墙体)连接。第二种情况：导向杆41连接于下封盖包围区域的内部，即导向杆连接于下封盖的横向部分，并且与下封盖70的侧壁71设有一定的距离，这种情况下下封盖70的侧壁可以完全封闭。

继续参考图8，在另一个实施例中，还包括上封盖60，设置于所述支撑块10的上表面，所述上封盖60覆盖所述压电元件20和所述移动部件30的上方区域，所述导向杆41为竖向杆，所述限位孔(未示出)位于所述移动部件30的上表面或贯穿所述移动部件30，所述竖向杆41的上端固定于所述上封盖60。

此实施例在上个实施例的基础上增加了上封盖60，和上一实施例相同，导向杆41固定于所述上封盖60也包括两种情况，此处不在赘述。需要说明的是，当导向杆41位于上封盖60和下封盖70包围的空间内时，所述压电驱动器可以完全封闭。可以保护压电元件20不受外界环境的污染。

以上实施例中，以限位孔和导向杆均为一个进行说明，应当理解，限位孔的数量不限于1个，还可以是多个，所述限位孔可以设置于所述压电元件沿长度方向的延长线上。当所述限位孔为一个时，可以设置于所述移动部件的中间位置，当限位孔为多个时，可以在压电元件宽度方向上对称设置，多个限位孔可以是规则排列也可以不规则排列。伸入限位孔的导向杆的横截面形状可以为直线或弧形，或者直线与弧形的组合，如导向杆的横截面可以为矩形，梯形或圆角矩形等，限位孔的尺寸并不做限定，限位孔的外周和导向杆的外周形状相配合，两者之间设有较小的间隙，以更好的限制移动部件的横向移动。

继续参见图3，在一个实施例中，所述移动部件30设有凸出部32(虚线框中所示)，所述凸出部32用于粘合被移动元件，所述凸出部32设置于所述限位孔40远离所述可动端的一侧。

参见图9和图10，在一个实施例中，所述压电元件20设有滑杆201，所述滑杆201设置于所述可动端的两侧或中间，所述滑杆201伸入所述滑槽，并能够沿所述压电元件的长度方向滑动。需要说明的是，在其他实例中，当可动端设有滑杆，所述滑杆伸入所述滑槽，在制造压电驱动器时，牺牲层释放后，滑杆能够在滑槽中自由移动，移动部件在重力的作用下，容易产生旋转，本发明中，在移动部件中设置限位孔，所述限位孔需要贯穿所述移动部件，导向杆贯穿所述限位孔，这种设置方式，在释放牺牲层时，导向杆制约了移动部件因重力作用产生的旋转。

参考图11，在一个实施例中，所述移动部件30设有由上至下依次堆叠的第一膜层311、第二膜层312和第三膜层313，所述第一膜层311、第三膜层313的两侧相对所述第二膜层312向外伸出以形成伸出部，所述伸出部与所述第二膜层312的端部围成所述滑槽31。滑槽31在沿压电元件20伸缩的方向设有开口，压电元件20翘曲时，滑杆201向滑槽31开口方向移动，有掉落出滑槽31的风险，参考图12，为滑槽31结构示意图，结合图11，滑槽31设有沿压电元件20长度方向(箭头X方向)的开口，滑杆201移动到开口处有从开口处掉落的风险，图11为将所述开口封闭后，沿压电元件宽度方向(箭头Y方向)看滑槽31截面的结构示意图。滑槽31的横截面为环形，滑杆201滑动到滑槽31边缘时，由于受到阻挡，不会从滑槽31掉落。

另外，所述滑槽31沿压电元件长度方向上的长度与所述压电元件上下移动的高度相适应。即当压电元件20处于平衡态时，所述滑杆201位于远离所述可动端一侧的滑槽31的端部，当压电元件20向上或向下移动到最高或最低处时，所述滑杆201位于靠近所述可动端一侧的滑槽31的端部。这种设置方式，在升降被驱动部件时，尽量减少被驱动部件沿滑槽长度方向上的水平移动。尤其当滑杆201滑动至滑槽31的端部时，可以完全制约被驱动部件在滑槽31长度方向上的移动。

继续参考图11，在一个实施例中，所述滑杆设置于所述可动端的两侧，所述滑槽包括相对设置的第一子滑槽和第二子滑槽(两个虚线椭圆中所示)，所述第一子滑槽和所述第二子滑槽分别设有沿所述压电元件宽度方向(沿Y方向)相对设置的第一开口，所述滑杆从所述第一开口伸入所述滑槽内。

在一个实施例中，所述滑槽31深度和高度与所述滑杆的长度和高度相匹配。所述滑槽31深度为滑槽沿压电元件宽度方向上的长度，所述深度与滑杆201的长度相匹配，意味着滑杆201的端部与其相对的滑槽31的内壁的间隙很小，本实施例中，滑杆201伸出可动端的两侧，两侧滑杆201的顶端均与滑槽31内壁设有较小间隙，因此可以制约被驱动部件沿压电元件宽度方向上的水平移动。当滑杆201位于压电元件可动端的中间时，滑杆201的两端和滑槽31的两个相对的侧壁之间的间隙也很微小，以此控制被驱动部件沿压电元件宽度方向上的水平移动。

本一个实施例中，所述压电元件20固定于所述支撑块10的上表面，在另一个实施例中，所述支撑块10包括上下分布的上层支撑块和下层支撑块，所述压电元件固定于所述上层支撑块和下层支撑块之间。当压电元件20固定于上层支撑块和下层支撑块之间时，更有利于固定压电元件的固定端。

在一个实施例中，所述压电元件整体位于支撑块上或者，所述压电元件的可动端悬空设置。当压电元件整体位于支撑块上时，适用于压电元件只需要向上翘曲的情况；当所述压电元件的可动端悬空设置时，可以同时适用于压电元件向上或者向下移动的情况。

参考图13，压电元件20的压电叠层结构不限于只有一层压电膜23，参考图10，为具有三层压电膜23的压电叠层结构，每一层压电膜23上表面和下表面均分布有电极，相邻两层压电膜23共用位于两者之间的电极，所以三层压电膜23共计4层电极，电极从下至上依次计数，奇数层电极211利用导电结构26电连接在一起，偶数层电极221利用另一导电结构26电连接在一起，导电结构26伸入压电叠层结构的部分需要位于绝缘层25中，仅端部与需要电连接的电极接触。两个导电结构26的顶部可以分别作为第一电极引出端251和第二电极引出端252，使得第一电极引出端251、第二电极引出端252均位于压电元件20的顶面。

其他实施例中，压电叠层结构不限于包括三层压电膜，还可以包括两层、四层、五层或六层等，通过增加压电膜23的数量可以提升压电元件20翘曲的能力，使得压电元件20能够移动质量更大的被移动元件30。

进一步，奇数层电极211和偶数层电极221电连接的方式不限于图10所示的导电结构26，还可以通过导电插塞和互联线的方式电连接。两个导电结构26还可以将奇数层电极211和偶数层电极221都引至支撑层24底面，以使第一电极引出端251、第二电极引出端252均位于压电元件20的底面，或者将奇数层电极211和偶数层电极221分别引至压电元件20的顶面及支撑层24底面，使得第一电极引出端251、第二电极引出端252分别位于压电元件20的顶面和底面，在此不再一一举例说明。

应理解，为了保证三层压电膜的翘曲方向相同，相邻的两层压电膜的极性相反。

本发明一实施例还提供了一种成像模组，参考图14和图15，图14示出了根据本发明一实施例中一种成像模组的结构示意图，图15为图14的俯视图。请参考图14和图15，所述成像模组包括上述的压电驱动器和被驱动部件50，所述被驱动部件50包括透镜组、成像传感元件、光圈或透镜片，所述被驱动部件固定于所述移动部件的表面；电连接端，与所述压电驱动器电连接。

参考图14，本实施例中，压电驱动器为两个，相对于被移动元件50对称设置，被移动元件50设置于移动部件的上表面。在其他实施例中，被移动元件50也可以固定于移动部件的下表面。所述固定方式包括干膜粘合或黏胶粘合。

在另一个实施例中，所述压电驱动器为多个，多个所述压电驱动器设置于所述被驱动部件的外周。优选方案中，多个所述压电驱动器对称设置。

当然，所述压电驱动器也可以不对称设置，应该理解，当压电驱动器对称设置时，有利于被驱动部件的平衡，否则被驱动部件在上升或者下降的过程中容易出现倾斜。

参考图16，被驱动部件50的两侧对称设有两个压电驱动器，压电驱动器包括上封盖60和下封盖70，所述下封盖70设置于线路板100上，被驱动部件粘合于两个压电驱动器凸出部的上表面。压电元件20的第一电极引出端251和第二电极引出端252(图中未示出)均位于压电元件20的底面，下封盖70的下表面设有第一电连接端61和第二电连接端62，位于压电元件20的正下方。压电元件20下方的支撑块10、及下封盖70中设有连接第一电连接端61的导电插塞63，所述导电插塞63的另一端与压电元件20的第一电极引出端电连接，第二电连接端62通过另一个导电插塞63与压电元件20的第二电极引出端电连接。第一电连接端61、第二电连接端62与线路板10电连接，以实现对压电驱动部件的供电。

参考图17，当所述第一电极引出端和所述第二电极引出端(图中未示出)均位于所述压电元件的顶面，所述第一电极引出端和所述第二电极引出端可分别通过一根引线80与线路板100电连接，使得所述线路板100可以为所述压电驱动器施加电压。

本发明不限于直接通过引线连接所述第一电极引出端、所述第二电极引出端和线路板，还可以在所述支撑块的顶面设置一个电连接端，将所述第一电极引出端、所述第二电极引出端与所述电连接端采用引线电连接，然后再用另外的互联结构(如引线或导电插塞)将所述支撑块顶面的电连接端与所述线路板电连接即可，这样可以缩短引线的长度。

当所述压电元件的固定端固定于上层支撑块和下层支撑块之间，压电元件的第一电极引出端和第二电极引出端位于压电元件的上表面，可以在上层支撑块的上表面、所述压电元件的正上方设置第一电连接端和第二电连接端，第一电极引出端和第二电极引出端分别通过穿过上层支撑块的导电插塞连接于第一电连接端和第二电连接端，第一电连接端和第二电连接端可以通过引线连接于线路板100。

当所述压电元件的固定端固定于上层支撑块和下层支撑块之间，所述第一电极引出端和所述第二电极引出端其中之一位于所述压电元件的上表面，另一位于所述压电元件的下表面。所述上层支撑块的上表面和所述下层支撑块的下表面分别设有电连接端，所述电极引出端通过导电插塞与电连接端电连接，位于支撑块下表面的电连接端直接与线路板100电连接，位于支撑块上表面的电连接端，通过引线与线路板电连接。

在另一个实施例中，所述被驱动部件50为成像传感元件，成像传感元件需要电连接。

继续参考图17，被驱动部件50的电连接端82位于被驱动部件50的上表面，在压电驱动器的上封盖60上设有电连接端81，电连接端81与电连接端82通过引线84电连接。压电驱动器的还设有贯穿所述上封盖60、移动部件30、下封盖70的导电插塞85，下封盖70的底面设有电连接端83，电连接端83与线路板100电连接。

参考图18，成像传感元件与线路板的另外一种连接方式，被驱动部件50的电连接端82位于被驱动部件50的上表面，支撑块的上表面设有电连接端85，电连接端82和电连接端85通过引线86连接，电连接端85和线路板100通过引线87电连接。当然也可以形成贯穿支撑块10和下封盖的导电插塞，通过导电插塞将电连接端85与线路板100电连接。

参考图19，成像传感元件的下表面设有电连接端88，移动部件30的上表面设有电连接端89，电连接端88和电连接端89相接触，电连接端89通过压电元件20的布线层与线路板电连接，图中省略电连接端88与线路板10的电连接结构。

参考图20，成像传感元件的上表面设有电连接端88，移动部件30的上表面设有电连接端89，电连接端88和电连接端89通过引线90电连接，电连接端89通过压电元件20的布线层与线路板电连接，图中省略电连接端88与线路板10的电连接结构。

在另一个实施例中，所述被驱动部件为反射镜。

压电驱动器的移动部件与所述反射镜的一侧相连，所述反射镜相对的另一侧与一支撑面转动连接，当所述压电元件通电向上或向下翘曲时，所述反射镜发生倾斜，实现改变反射角度的目的。

本发明中，所述反射镜的一侧不限于设置一个所述压电驱动器，也可以设置两个或多个。

应理解，所述反射镜不限于仅一侧分布所述压电驱动器，还可以在两侧、四侧、周向分布所述压电驱动器。

本发明一实施例还提供了一种压电驱动器的制造方法，图21至图25示出了根据本发明一实施例的一种压电驱动器的制造方法不同步骤对应的结构示意图，以下将参考图21至图25以及图3详细说明压电驱动器的制作方法。

压电驱动器的制造方法包括：

S01：提供第一衬底200；

S02：在所述第一衬底200上形成支撑块10以及所述支撑块10围成区域的第一牺牲层，在所述第一牺牲层上形成第二牺牲层，以及位于所述第二牺牲层中的所述移动部件30的下半部分，所述移动部件30的下半部分包括滑槽的底壁313和滑槽侧壁的下半部分3121；

S03：提供压电元件20，包括可动端和固定端，将所述固定端键合在所述支撑块10上，所述可动端伸入所述滑槽；

S04：在所述压电元件20上、所述第二牺牲层上形成第三牺牲层，以及位于所述牺牲层中的所述移动部件30的上半部分，所述移动部件30的下上半部分包括滑槽侧壁的上半部分3122和滑槽的顶壁311；

S05：在形成所述移动部件30时或形成所述移动部件30后，还包括：在所述移动部件30中形成限位孔40，以及在所述限位孔中形成导向杆41；

S06：形成完所述移动部件30和所述导向杆41后还包括：

在所述支撑块10的表面与所述导向杆41的端部之间形成连接所述支撑块10与所述导向杆41的连接部。

参考图21和图22，执行步骤S01：提供第一衬底200；步骤S02：在所述第一衬底200上形成支撑块10以及所述支撑块10围成区域的第一牺牲层，在所述第一牺牲层上形成第二牺牲层，以及位于所述第二牺牲层中的所述移动部件30的下半部分，所述移动部件30的下半部分包括滑槽的底壁313和滑槽侧壁的下半部分3121。

本实施例中，形成支撑块10、滑槽的底壁313和滑槽侧壁的下半部分时，还包括形成限位孔40和导向杆41第一部分4111，具体方法为：在所述第一衬底200上形成介质薄膜，图形化所述介质薄膜，形成支撑块10(需要说明的是本步骤中只形成支撑块10的底部，在后期工艺中，形成其他层介质薄膜，图形化介质薄膜时，保留支撑块10上方的介质薄膜，以形成完整的支撑块，在后续描述中，不再对支撑块10的形成进行描述)以及导向杆的第一部分4111。在所述导向杆第一部分4111的外周、所述支撑块10围成的空间内部形成第一牺牲层。

形成第一介质层，覆盖所述第一牺牲层，图形化所述第一介质层，形成所述滑槽的底壁313和所述滑槽侧壁的下半部分3121，本实施例中，图形化所述第一介质层时还包括在导向杆第一部分4111上方形成导向杆的第二部分4112。去除第一区域的所述第一介质层形成第一限位孔(图中未做标号)；本实施例中，在第一限位孔与所述滑槽相对的一侧还形成有凸出部321(凸出部321和后期工艺中形成的凸出部用于粘合被驱动部件)。

参考图23，执行步骤S03：提供压电元件20，包括可动端和固定端，将所述固定端键合在所述支撑块10上，所述可动端伸入所述滑槽；步骤S04：在所述压电元件20上、所述第二牺牲层上形成第三牺牲层，以及位于所述牺牲层中的所述移动部件30的上半部分，所述移动部件30的下上半部分包括滑槽侧壁的上半部分3122和滑槽顶壁311。

具体地，通过干膜粘合或黏胶粘合将所述压电元件20的固定端键合在支撑块10上，所述可动端伸入所述滑槽，所述可动端位于滑槽底壁313的第二牺牲层上。

本实施例中形成滑槽侧壁的上半部分3122和滑槽顶壁311时，还包括形成限位孔40和导向杆41第三部分4113，具体方法为：

形成第二介质层，覆盖所述第二牺牲层，图形化所述第二介质层，形成所述滑槽侧壁的上半部分3122和滑槽顶壁311，去除第一区域的所述第二介质层形成第二限位孔，所述第一限位孔与所述第二限位孔连通，所述第一限位孔和所述第二限位孔构成所述限位孔40，本实施例中，图形化所述第二介质层时，还包括在导向杆第二部分4112上形成导向杆41第三部分4113。本实施例中在图形化第二介质层时还包括在凸出部321上方形成凸出部322。

需要说明的是，在本实施例中，步骤S05在执行步骤S01、S02、S03、S04时一同完成。

在另一个实施例中，在所述移动部件30中形成限位孔的方法包括：形成所述移动部件30后，通过刻蚀工艺或者打孔工艺在所述移动部件30中形成限位孔。

参考图23和图24，执行步骤S06：形成完所述移动部件30和所述导向杆41后还包括：在所述支撑块10的表面与所述导向杆41的端部之间形成连接所述支撑块10与所述导向杆41的连接部。

本实施例中，形成的支撑块10为环形，形成所述连接部包括：图形化所述第一衬底200，形成环形墙体，所述环形墙体连接所述支撑块10和所述导向杆41；提供上盖60，将所述上盖60键合在所述环形墙体上，所述上盖60和所述环形墙体构成所述连接部。

在另一个实施例中，所述连接部可以为非封闭的纵向杆和横向杆，纵向杆伸入限位孔中，横向杆与支撑块10连接。

参考图25，本实施例中还包括：提供下封盖70，将所述下封盖70键合在所述支撑块的另一面，并使所述下封盖70与所述导向杆41连接。

本实施例中形成的限位孔贯穿移动部件30，在其他实施例中，限位孔可以位于移动部件的上表面或下表面，当移动部件上下移动时，导向杆不从限位孔中滑出即可，当限位孔位于移动部件的下表面时，导向杆可以直接连接在线路板上。

需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于结构实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (20)

1.一种压电驱动器，其特征在于，包括：

压电元件，所述压电元件包括可动端和固定端；

支撑块，用于固定所述压电元件的固定端；

移动部件，设置于所述压电元件的可动端，所述移动部件设有滑槽，所述可动端至少部分伸入所述滑槽内，所述移动部件设有限位孔，所述限位孔沿所述压电元件的翘曲方向延伸；

固定的导向杆，所述导向杆的至少一部分伸入所述限位孔，所述压电元件在通电的状态下，所述可动端能够带动所述移动部件相对于所述导向杆向上或向下移动。

2.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述限位孔位于所述移动部件的上表面或下表面，所述限位孔的深度大于所述移动部件上下移动的高度，所述导向杆包括纵向部分和横向部分，所述纵向部分伸入所述限位孔中，所述横向部分连接于所述支撑块。

3.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述限位孔贯穿所述移动部件，所述导向杆包括纵向部分和横向部分，所述纵向部分贯穿所述限位孔，所述横向部分连接所述支撑块。

4.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，还包括下封盖，设置于所述支撑块的下表面，所述下封盖覆盖所述压电元件和所述移动部件的下方区域，所述导向杆为竖向杆，所述限位孔位于所述移动部件的下表面或贯穿所述移动部件，所述竖向杆的下端固定于所述下封盖。

5.根据权利要求4所述的压电驱动器，其特征在于，还包括上封盖，设置于所述支撑块的上表面，所述上封盖覆盖所述压电元件和所述移动部件的上方区域，所述导向杆为竖向杆，所述限位孔位于所述移动部件的上表面或贯穿所述移动部件，所述竖向杆的上端固定于所述上封盖。

6.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述限位孔为一个或多个，所述限位孔设置于所述压电元件沿长度方向的延长线上。

7.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述移动部件设有凸出部，所述凸出部用于粘合被移动元件，所述凸出部设置于所述限位孔远离所述可动端的一侧。

8.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述移动部件设有由上至下依次堆叠的第一膜层、第二膜层和第三膜层，所述第一膜层、第三膜层的两侧相对所述第二膜层向外伸出以形成伸出部，所述伸出部与所述第二膜层的端部围成所述滑槽。

9.根据权利要求1所述的压电驱动器，其特征在于，所述压电元件设有滑杆，所述滑杆设置于所述可动端的两侧或中间，所述滑杆伸入所述滑槽，并能够沿所述压电元件的长度方向滑动。

10.根据权利要求9所述的压电驱动器，其特征在于，所述滑槽的深度和高度与所述滑杆的长度和高度相匹配。

11.根据权利要求9所述的压电驱动器，其特征在于，所述滑槽在所述压电元件长度方向上的两端设有阻挡的墙体，所述阻挡墙体之间的距离与所述压电元件上下移动的高度相适应。

12.一种成像模组，其特征在于，包括权利要求1至11任意一项所述的压电驱动器，还包括被移动元件，所述被移动元件包括：透镜组、成像传感元件、光圈或透镜片；

电连接端，与所述压电驱动器电极连接。

13.根据权利要求12所述的成像模组，其特征在于，所述压电驱动器为多个，分布于所述被移动元件的外周。

14.根据权利要求13所述的成像模组，其特征在于，多个所述压电驱动器对称设置。

15.一种权利要求1所述的压电驱动器的制造方法，其特征在于，包括：

提供第一衬底；

在所述第一衬底上形成支撑块以及所述支撑块围成区域的第一牺牲层，在所述第一牺牲层上形成第二牺牲层，以及位于所述第二牺牲层中的所述移动部件的下半部分，所述移动部件的下半部分包括滑槽的底壁和滑槽侧壁的下半部分；

提供压电元件，包括可动端和固定端，将所述固定端键合在所述支撑块上，所述可动端伸入所述滑槽；

在所述压电元件上、所述第二牺牲层上形成第三牺牲层，以及位于所述牺牲层中的所述移动部件的上半部分，所述移动部件的上半部分包括滑槽侧壁的上半部分和滑槽的顶壁；

在形成所述移动部件时或形成所述移动部件后，还包括：在所述移动部件中形成限位孔，以及在所述限位孔中形成导向杆；

形成完所述移动部件和所述导向杆后还包括：

在所述支撑块的表面与所述导向杆的端部之间形成连接所述支撑块与所述导向杆的连接部。

16.根据权利要求15所述的压电驱动器的制造方法，其特征在于，在所述移动部件中形成限位孔包括：

形成所述移动部件后，通过刻蚀工艺或者打孔工艺在所述移动部件中形成限位孔。

17.根据权利要求15所述的压电驱动器的制造方法，其特征在于，在所述移动部件中形成限位孔包括：

形成所述移动部件的下半部分包括：

形成第一介质层，覆盖所述第一牺牲层，图形化所述第一介质层，形成所述滑槽的底壁和所述滑槽侧壁的下半部分，去除第一区域的所述第一介质层形成第一限位孔；

形成所述移动部件的上半部分包括：

形成第二介质层，覆盖所述第二牺牲层，图形化所述第二介质层，形成所述滑槽侧壁的上半部分和滑槽顶壁，去除第一区域的所述第二介质层形成第二限位孔，所述第一限位孔与所述第二限位孔连通，所述第一限位孔和所述第二限位孔构成所述限位孔。

18.根据权利要求15所述的压电驱动器的制造方法，其特征在于，形成所述导向杆包括：

在所述第一牺牲层、所述第二牺牲层、所述第三牺牲层的第二区域依次形成所述导向杆的第一部分、导向杆的第二部分、导向杆的第三部分，所述所述导向杆的第一部分、导向杆的第二部分、导向杆的第三部分构成所述导向杆。

19.根据权利要求15所述的压电驱动器的制造方法，其特征在于，形成所述连接部包括：

图形化所述第一衬底，形成环形墙体，所述环形墙体连接所述支撑块和所述导向杆；

提供上盖，将所述上盖键合在所述环形墙体上，所述上盖和所述环形墙体构成所述连接部。

20.根据权利要求19所述的压电驱动器的制造方法，其特征在于，还包括：提供下封盖，将所述下封盖键合在所述支撑块的另一面，并使所述下封盖与所述导向杆连接。

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