CN113064368B - 一种大功率射频电源系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提出了一种大功率射频电源系统。所述大功率射频电源系统包括射频信号发生模块和射频功能模块，所述射频信号发生模块和射频功能模块之间进行电连接。所述射频信号发生模块包括数字控制模块、转换模块、第一V/I检测模块和射频信号处理模块；所述射频功能模块包括功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块。所述大功率射频电源系统还包括控制面板模块、状态显示模块、匹配通讯模块、接口扩展模块、温度检测模块、散热模块和电源模块。

Description

一种大功率射频电源系统
技术领域
本发明提出了一种大功率射频电源系统，属于射频电路技术领域。
背景技术
目前我国的射频电源大多采用电子管或电子管晶体管混合电路，体积较大，限制了它的应用。并且使用的晶体管大多为国外进口，因此，导致现有的射频电源的体积比较大。同时，国内现有射频电源直接频率合成(DS)，其明显缺点是体积大、电路结构复杂，成本高，易受混频/倍频电路的影响，且杂波干扰难以抑制。并且，当前很多射频电源使用的还是阻抗手动匹配器，阻抗手动匹配器只能依靠使用者凭经验进行调节，匹配精度低、匹配时间长，容易受环境因素的影响。
发明内容
本发明提供了一种大功率射频电源系统，用以解决现有射频电源体积大，电路结构复杂、易受混频/倍频电路且杂波干扰难以抑制，以及阻抗匹配调节精度较低的问题：
本发明提出的一种大功率射频电源系统，所述大功率射频电源系统包括射频信号发生模块和射频功能模块，所述射频信号发生模块和射频功能模块之间进行电连接。
进一步地，所述射频信号发生模块包括数字控制模块、转换模块、第一V/I检测模块和射频信号处理模块；所述数字控制模块与所述转换模块之间进行电连接；所述转换模块与所述第一V/I检测模块之间进行电连接；所述射频信号处理模块与数字控制模块之间进行电连接；
所述数字控制模块通过以太网与PC机建立连接，所述数字控制模块包括以FPGA芯片为核心的电路模块，所述以FPGA芯片为核心的电路模块用于发出双8为的射频数字信号；
所述转换模块，用于进行数字信号和模拟信号之间的转换；
所述第一V/I检测模块，用于在射频输出端口检测到射频信号过流过压时，触发过流过压保护机制；
所述射频信号处理模块，用于对输出的射频信号进行信号放大、倍频和阻抗匹配处理。
进一步地，所述转换模块包括AD转换模块和DA转换模块；
所述AD转换模块，用于将FPGA芯片为核心的数字控制模块输出的双8位数字量进行转换，输出两路射频信号；
所述DA转换模块，用于将射频输出端口检测到的射频信号转化为数字信号发送至以FPGA芯片为核心的数字控制模块，进行射频信号的实时显示。
进一步地，所述射频信号处理模块包括放大电路模块、倍频电路模块、LC阻抗匹配电路模块和射频开关电路模块；所述放大电路模块、倍频电路模块、LC阻抗匹配电路模块和射频开关电路模块之间依次进行电连接。
进一步地，所述射频功能模块包括功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块；所述功率分配器的射频信号输入端与所述射频信号发生模块的射频信号输出端相连；所述功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块之间依次进行电连接。
进一步地，所述功率分配器包括一个Driver Bd电路模块和三个LDOMS PAQuad Bd电路模块；所述一个Driver Bd电路模块的信号输入端与所述射频信号发生模块的射频信号输出端相连；所述一个Driver Bd电路模块的信号输出端分别与所述三个LDOMS PAQuadBd电路模块进行电连接。
进一步地，所述Driver Bd电路模块包括电源电路组、RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路；所述电源电路组的电源信号输出端分别与RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路的电源信号输入端相连；所述RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路依次进行电连接。
进一步地，所述LDOMS PAQuad Bd电路模块包括三个第三推挽放大电路和一个3路功分输出电路；所述三个第三推挽放大电路的信号输入端分别与Driver Bd电路模块的信号输出端相连；所述三个第三推挽放大电路的信号输出端分别与所述3路功分输出电路的信号输入端对应相连。
进一步地，所述大功率射频电源系统还包括控制面板模块、状态显示模块、匹配通讯模块、接口扩展模块、温度检测模块、散热模块和电源模块。
进一步地，所述散热模块的运行过程包括：
当温度检测模块检测到射频信号发生模块和射频功能模块的温度均为超过第一温度阈值时，所述散热模块以初始转速进行散热；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度超过第一温度阈值，但射频功能模块的温度没有超过第一温度阈值时，所述散热模块调整为第一散热转速来进行散热，其中，所述第一散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000031
其中，V1表示第一散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度没有超过第一温度阈值，但射频功能模块的温度超过第一温度阈值时，所述散热模块调整为第二散热转速来进行散热，其中，所述第二散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000032
其中，V2表示第二散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T12表示射频功能模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度和射频功能模块的温度均超过第一温度阈值，但未超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第三散热转速来进行散热，其中，所述第三散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000033
其中，V3表示第三散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T12表示射频功能模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度超过第二温度阈值，但射频功能模块的温度没有超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第四散热转速来进行散热，其中，所述第四散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000041
其中，V4表示第四散热转速；T02表示第二温度阈值；T21表示射频信号发生模块超过第二温度阈值时的当前温度值；T2表示射频功能模块没有超过第二温度阈值时的当前温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度没有超过第二温度阈值，但射频功能模块的温度超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第五散热转速来进行散热，其中，所述第五散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000042
其中，V5表示第五散热转速；T02表示第二温度阈值；T22表示射频功能模块超过第二温度阈值时的当前温度值；T1表示射频信号发生模块没有超过第二温度阈值时的当前温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度和射频功能模块的温度均超过第二温度阈值，所述散热模块调整为第六散热转速来进行散热，其中，所述第六散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000043
其中，V6表示第六散热转速。
本发明有益效果：
本发明提出的一种大功率射频电源系统，能够有效缩小射频电源整体的体积以及电路复杂度。同时，通过采用直接数字频率合成方式能够输出稳定的(40.68-60MHZ)/10KW射频信号，并且连续可调；同时，有效提高了信号的输出效率。所述射频电源系统采用阻抗自动匹配电路，能够有效提高阻抗匹配精确度。
附图说明
图1为本发明所述数字控制模块的结构图；
图2为本发明所述DA转换模块的结构图；
图3为本发明所述AD转换模块的结构图；
图4为本发明所述射频信号处理模块的结构图；
图5为本发明所述功率分配器的结构图；
图6为本发明所述Driver Bd电路模块的结构图；
图7为本发明所述RF输入信号处理模块的结构图；
图8为本发明所述第一推挽放大电路与晶体管放大电路的结构图；
图9为本发明所述第二推挽放大电路与4路功分输出电路的结构图；
图10为本发明所述第三推挽放大电路的结构图；
图11为本发明所述3路功分输出电路的结构图；
图12为本发明所述λ/4变换器模块的结构图；
图13为本发明所述隔离电阻模块的结构图；
图14为本发明所述第二V/I检测模块的结构图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明提供了一种大功率射频电源系统，用以解决现有射频电源体积大，电路结构复杂、易受混频/倍频电路且杂波干扰难以抑制，以及阻抗匹配调节精度较低的问题：
本发明实施例提出的一种大功率射频电源系统，所述大功率射频电源系统包括射频信号发生模块和射频功能模块，所述射频信号发生模块和射频功能模块之间进行电连接。
所述射频信号发生模块包括数字控制模块、转换模块、第一V/I检测模块和射频信号处理模块；所述数字控制模块与所述转换模块之间进行电连接；所述转换模块与所述第一V/I检测模块之间进行电连接；所述射频信号处理模块与数字控制模块之间进行电连接；
其中，所述数字控制模块通过以太网与PC机建立连接，如图1所示，所述数字控制模块的电路主要由以下4个部分组成，分别为EtherCATBd(6层)、SNAC CORE Bd(12层)、ORKBd(12层)、60MHz BACK PORCH Bd(12层)。本电路是基于FPGA(XC6SLX100-3FGG484C)为核心设计的射频电源控制系统。设备通过以太网与PC机建立连接，实现设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数，同时还可以显示匹配器的运行参数。并且通过数字通讯技术连接阻抗匹配器，从而实现在射频电源面板上就可以操作匹配器。所述大功率射频电源系统还融合了工业应用所需的大部份功能，包括：控制方式选择：面板控制、模拟口控制、数字通讯控制。可以设定通讯参数，通讯地址等。脉冲参数：脉冲频率、占空比等。全数字控制可以提供大功率的输出，并确保性能的稳定性。
其中，所述以FPGA芯片为核心的电路模块用于发出双8为的射频数字信号；
所述转换模块，用于进行数字信号和模拟信号之间的转换；其中，所述转换模块包括AD转换模块和DA转换模块；所述AD转换模块，用于将FPGA芯片为核心的数字控制模块输出的双8位数字量进行转换，输出两路射频信号。
所述DA转换模块，用于将射频输出端口检测到的射频信号转化为数字信号发送至以FPGA芯片为核心的数字控制模块，进行射频信号的实时显示。
其中，DA转换模块采用AD9767ASTZ和AD9709ASTZ芯片，电路具体结构如图2所示。，AD转换模块采用LTC2298UP芯片。AD转换模块具体电路结构如图3所示。
所述第一V/I检测模块，用于在射频输出端口检测到射频信号过流过压时，触发过流过压保护机制。
所述射频信号处理模块，用于对输出的射频信号进行信号放大、倍频和阻抗匹配处理，具体电路结构如图4所示。所述射频信号处理模块包括放大电路模块、倍频电路模块、LC阻抗匹配电路模块和射频开关电路模块；所述放大电路模块、倍频电路模块、LC阻抗匹配电路模块和射频开关电路模块之间依次进行电连接。通过射频信号处理模块能够对射频信号进行高精度处理，提高主动匹配精确度，同时，有效降/倍频电路对整体射频信号的影响，同时提高射频电路对杂波干扰的抑制能力。
本实施例中，所述射频电源系统所采用的关键元器件包括：
FPGA:XC6SLX100-3FGG484C；CPLD：XC2C128VQG100BMS；MCU：MCF5480；DSP：ADSP-21371；存储器：MT48LC4M32B2P-6A(SDRAM)、MX29LV640EBTI-70G(FLASH)、MT46V16M16CY-5B(SDRAM)、MX29LV320EBXEI-70G(FLASH)、MT29F8G08ABABAWP-IT(FLASH)。D/A转换器：AD9767ASTZ、AD9709ASTZ；A/D转换器：LTC2298UP；网口控制器：ET1100-0003；以太网收发器：DP83849CVS。
所述射频功能模块包括功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块；所述功率分配器的射频信号输入端与所述射频信号发生模块的射频信号输出端相连；所述功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块之间依次进行电连接。
如图5所示，所述功率分配器包括一个Driver Bd电路模块和三个LDOMS PAQuadBd电路模块；所述一个Driver Bd电路模块的信号输入端与所述射频信号发生模块的射频信号输出端相连；所述一个Driver Bd电路模块的信号输出端分别与所述三个LDOMSPAQuad Bd电路模块进行电连接。
如图6所示，所述Driver Bd电路模块包括电源电路组、RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路；所述电源电路组的电源信号输出端分别与RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路的电源信号输入端相连；所述RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路依次进行电连接。
其中，电源电路组包括24V/28V电源电路，24V/28V->5V电源电路和50V供电电路。
如图7所示，所述RF输入信号处理模块包括增益斜率网络电路、PI型衰减电路和T型可调衰减电路。所述增益斜率网络电路、PI型衰减电路和T型可调衰减电路依次电连接。
如图8所示，所述第一推挽放大电路采用以芯片58740280为核心的电路模块。所述晶体管放大电路包括输入匹配电路模块和直流偏置电路模块。
如图9所示，所述第二推挽放大电路的信号输出端与4路功分输出电路的信号输入端相连。
所述LDOMS PA Quad Bd电路模块包括三个第三推挽放大电路和一个3路功分输出电路；所述三个第三推挽放大电路的信号输入端分别与Driver Bd电路模块的信号输出端相连；所述三个第三推挽放大电路的信号输出端分别与所述3路功分输出电路的信号输入端对应相连。其中，所述三个第三推挽放大电路的结构如图10所示，3路功分输出电路的电路结构如图11所示。
其中，λ/4变换器模块的电路结构如图12所示，所述隔离电阻模块的电路结构如图13所示，隔离电阻的作用：当其中一路出现开路或者短路时，反射回的功率被隔离电阻吸收。所述第二V/I检测模块的电路结构如图14所示。
上述技术方案的效果为：本实施例提出的一种大功率射频电源系统，能够有效缩小射频电源整体的体积以及电路复杂度。同时，通过采用直接数字频率合成方式能够输出稳定的(40.68-60MHZ)/10KW射频信号，并且连续可调；同时，有效提高了信号的输出效率。所述射频电源系统采用阻抗自动匹配电路，能够有效提高阻抗匹配精确度。
本发明的一个实施例，所述大功率射频电源系统还包括控制面板模块、状态显示模块、匹配通讯模块、接口扩展模块、温度检测模块、散热模块和电源模块。
其中，所述散热模块包括旋转风扇和风扇控制模块，所述散热模块的运行过程包括：
当温度检测模块检测到射频信号发生模块和射频功能模块的温度均为超过第一温度阈值时，所述散热模块以初始转速进行散热；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度超过第一温度阈值，但射频功能模块的温度没有超过第一温度阈值时，所述散热模块调整为第一散热转速来进行散热，其中，所述第一散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000081
其中，V1表示第一散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度没有超过第一温度阈值，但射频功能模块的温度超过第一温度阈值时，所述散热模块调整为第二散热转速来进行散热，其中，所述第二散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000082
其中，V2表示第二散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T12表示射频功能模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度和射频功能模块的温度均超过第一温度阈值，但未超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第三散热转速来进行散热，其中，所述第三散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000083
其中，V3表示第三散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T12表示射频功能模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度超过第二温度阈值，但射频功能模块的温度没有超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第四散热转速来进行散热，其中，所述第四散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000091
其中，V4表示第四散热转速；T02表示第二温度阈值；T21表示射频信号发生模块超过第二温度阈值时的当前温度值；T2表示射频功能模块没有超过第二温度阈值时的当前温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度没有超过第二温度阈值，但射频功能模块的温度超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第五散热转速来进行散热，其中，所述第五散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000092
其中，V5表示第五散热转速；T02表示第二温度阈值；T22表示射频功能模块超过第二温度阈值时的当前温度值；T1表示射频信号发生模块没有超过第二温度阈值时的当前温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度和射频功能模块的温度均超过第二温度阈值，所述散热模块调整为第六散热转速来进行散热，其中，所述第六散热转速通过如下公式获取：
Figure BDA0002983020240000093
其中，V6表示第六散热转速。
上述技术方案的工作原理为：根据射频电源系统的实际运行指标，预先设置第一温度阈值和第二温度阈值。通过射频信号发生模块的温度和射频功能模块的温度与第一温度阈值和第二温度阈值之间的关系，调节散热模块的风扇旋转速度。
上述技术方案的效果为：通过上述方式进行温度检测，能够通过设置两个温度阈值，提高射频电源系统运行温度检测的预警性，并增加了温度散热运行模式，使温度散热运行具有7个散热模式，通过7个散热模式的设置，使采用一个风扇的情况下，有效提高对两个电路主模块(射频信号发生模块和射频功能模块)同时散热的有效散热性和散热效率，同时，能够有效降低散热模块的功耗，而温度较高模块需要较大散热力度时，防止在两个电路主模块出现较大温度差异时，温度较低的电路模块无需过大散热，一个或少数(例如，两三个)散热模式导致散热力度与两个主电路模块不匹配而导致的散热功耗过大的问题发生。同时，本实施例提出的六个散热转速能够在两个电路主模块出现不同的温度情况下，在只有一个散热风扇的情况下，有效提高当前散热转速对应的散热力度与两个电路主模块的温度所需的散热力度之间的匹配性，进而在一个散热风扇对应两个电路主模块的情况下，并且在两个电路主模块因不同的运行情况产生多种温度差异的情况下，有效提高两个电路主模块的散热效率。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (7)

1.一种大功率射频电源系统，其特征在于，所述大功率射频电源系统包括射频信号发生模块和射频功能模块，所述射频信号发生模块和射频功能模块之间进行电连接；
所述射频信号发生模块包括数字控制模块、转换模块、第一V/I检测模块和射频信号处理模块；所述数字控制模块与所述转换模块之间进行电连接；所述转换模块与所述第一V/I检测模块之间进行电连接；所述射频信号处理模块与数字控制模块之间进行电连接；
所述数字控制模块通过以太网与PC机建立连接，所述数字控制模块包括以FPGA芯片为核心的电路模块，所述以FPGA芯片为核心的电路模块用于发出双8为的射频数字信号；
所述转换模块，用于进行数字信号和模拟信号之间的转换；
所述第一V/I检测模块，用于在射频输出端口检测到射频信号过流过压时，触发过流过压保护机制；
所述射频信号处理模块，用于对输出的射频信号进行信号放大、倍频和阻抗匹配处理；
所述射频功能模块包括功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块；所述功率分配器的射频信号输入端与所述射频信号发生模块的射频信号输出端相连；所述功率分配器、滤波式合成器、λ/4变换器模块、隔离电阻模块和第二V/I检测模块之间依次进行电连接；
所述大功率射频电源系统还包括控制面板模块、状态显示模块、匹配通讯模块、接口扩展模块、温度检测模块、散热模块和电源模块。
2.根据权利要求1所述大功率射频电源系统，其特征在于，所述转换模块包括AD转换模块和DA转换模块；
所述AD转换模块，用于将FPGA芯片为核心的数字控制模块输出的双8位数字量进行转换，输出两路射频信号；
所述DA转换模块，用于将射频输出端口检测到的射频信号转化为数字信号发送至以FPGA芯片为核心的数字控制模块，进行射频信号的实时显示。
3.根据权利要求1所述大功率射频电源系统，其特征在于，所述射频信号处理模块包括放大电路模块、倍频电路模块、LC阻抗匹配电路模块和射频开关电路模块；所述放大电路模块、倍频电路模块、LC阻抗匹配电路模块和射频开关电路模块之间依次进行电连接。
4.根据权利要求1所述大功率射频电源系统，其特征在于，所述功率分配器包括一个Driver Bd电路模块和三个LDOMS PA Quad Bd电路模块；所述一个Driver Bd电路模块的信号输入端与所述射频信号发生模块的射频信号输出端相连；所述一个Driver Bd电路模块的信号输出端分别与所述三个LDOMS PA Quad Bd电路模块进行电连接。
5.根据权利要求4所述大功率射频电源系统，其特征在于，所述Driver Bd电路模块包括电源电路组、RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路；所述电源电路组的电源信号输出端分别与RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路的电源信号输入端相连；所述RF输入信号处理模块、第一推挽放大电路、晶体管放大电路、第二推挽放大电路和4路功分输出电路依次进行电连接。
6.根据权利要求4所述大功率射频电源系统，其特征在于，所述LDOMS PA Quad Bd电路模块包括三个第三推挽放大电路和一个3路功分输出电路；所述三个第三推挽放大电路的信号输入端分别与Driver Bd电路模块的信号输出端相连；所述三个第三推挽放大电路的信号输出端分别与所述3路功分输出电路的信号输入端对应相连。
7.根据权利要求1所述大功率射频电源系统，其特征在于，所述散热模块的运行过程包括：
当温度检测模块检测到射频信号发生模块和射频功能模块的温度均为超过第一温度阈值时，所述散热模块以初始转速进行散热；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度超过第一温度阈值，但射频功能模块的温度没有超过第一温度阈值时，所述散热模块调整为第一散热转速来进行散热，其中，所述第一散热转速通过如下公式获取：
Figure FDA0003434273040000021
其中，V1表示第一散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度没有超过第一温度阈值，但射频功能模块的温度超过第一温度阈值时，所述散热模块调整为第二散热转速来进行散热，其中，所述第二散热转速通过如下公式获取：
Figure FDA0003434273040000031
其中，V2表示第二散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T12表示射频功能模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度和射频功能模块的温度均超过第一温度阈值，但未超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第三散热转速来进行散热，其中，所述第三散热转速通过如下公式获取：
Figure FDA0003434273040000032
其中，V3表示第三散热转速；V0表示初始转速；T11表示射频信号发生模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T12表示射频功能模块超过第一温度阈值时的当前温度值；T01表示第一温度阈值；n表示当前温度检测的温度采集次数；T1i表示第i次温度采集时，采集到的射频信号发生模块对应的温度值；T2i表示第i次温度采集时，采集到的射频功能模块对应的温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度超过第二温度阈值，但射频功能模块的温度没有超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第四散热转速来进行散热，其中，所述第四散热转速通过如下公式获取：
Figure FDA0003434273040000033
其中，V4表示第四散热转速；T02表示第二温度阈值；T21表示射频信号发生模块超过第二温度阈值时的当前温度值；T2表示射频功能模块没有超过第二温度阈值时的当前温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度没有超过第二温度阈值，但射频功能模块的温度超过第二温度阈值时，所述散热模块调整为第五散热转速来进行散热，其中，所述第五散热转速通过如下公式获取：
Figure FDA0003434273040000041
其中，V5表示第五散热转速；T02表示第二温度阈值；T22表示射频功能模块超过第二温度阈值时的当前温度值；T1表示射频信号发生模块没有超过第二温度阈值时的当前温度值；
当温度检测模块检测到射频信号发生模块的温度和射频功能模块的温度均超过第二温度阈值，所述散热模块调整为第六散热转速来进行散热，其中，所述第六散热转速通过如下公式获取：
Figure FDA0003434273040000042
其中，V6表示第六散热转速。
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