CN113034620A - 校正方法、校正装置、计算机可读存储介质及计算机设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种校正方法、校正装置、计算机可读存储介质及计算机设备，其中一实施例的校正方法包括：接收待校正设备输出的检测数据文本，检测数据文本包括多组检测坐标数据，检测坐标数据为待校正设备的采集器件采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值；导入预设样本片的标准数据文本；比对检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件；根据坐标对比文件获取所述采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值；根据器件中心值和光学中心坐标偏差值校正待校正设备。本发明提供的校正方法通过比对预设样本点的检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件，从而能够自动获取采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，提高了校正效率和精确性。

Description

校正方法、校正装置、计算机可读存储介质及计算机设备

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种校正方法、校正装置、计算机可读存储介质及计算机设备。

背景技术

在半导体厂(FAB，FABRICATION)的制程中，设备种类多，产品工艺多，在满产的情况下，企业很难给予充裕的财力、人力和时间进行生产设备的机差验证、检出率验证和坐标校正。

因此每一个主工艺均需经过检测设备，例如自动光学检测设备(Auto OpticalInspection，AOI)、激光制样设备、激光切补维修设备等。为了精准，这些检测设备的机差调试需要精细到每一个镜头，而传统校正方法需要人为对各个镜头拍摄的大量数据进行人为数据处理，校正一台设备坐标通常需要10小时以上，效率低下且很难精细到每个镜头。

发明内容

为了解决上述问题至少之一，本发明第一个方面提供一种校正方法，包括：

接收待校正设备输出的检测数据文本，检测数据文本包括多组检测坐标数据，检测坐标数据为待校正设备的采集器件采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值，检测坐标值为相对于预设样本片的样本坐标系的坐标值；

导入预设样本片的标准数据文本，标准数据文本包括预设样本片的多个样本点相对于样本坐标系的标准坐标值；

比对检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件；

根据坐标对比文件获取采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，其中，器件中心值为采集器件的中心点相对于样本坐标系的数值，光学中心坐标偏差值为光学中心坐标相对于样本坐标系的原点坐标的偏差值，光学中心坐标为检测坐标值的中心值；

根据器件中心值和光学中心坐标偏差值校正待校正设备。

在一些可选的实施例中，

比对检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件进一步包括：

根据预设比较距离分别识别检测数据文本的多组检测坐标数据的各样本点的检测坐标值、以及标准数据文本的各样本点的标准坐标值；

匹配检测坐标值和标准坐标值并获取匹配样本点和偏差样本点；

根据匹配样本点和偏差样本点生成坐标对比文件；

根据坐标对比文件获取采集器件的中心值和光学中心坐标偏差值进一步包括：

根据匹配样本点和偏差样本点获取采集器件的中心值和光学中心坐标偏差值。

在一些可选的实施例中，根据器件中心值和光学中心坐标偏差值校正待校正设备包括以下校正操作的至少一项：

根据光学中心坐标偏差值进行光学中心坐标自动补偿；

利用部分重合的检测坐标值和标准坐标值，根据器件中心值对采集器件的位置进行自动调整；

将光学中心坐标对准预设样本片的几何中心坐标；

利用部分重合的光学中心坐标和预设样本片的几何中心坐标，根据器件中心值对采集器件的位置进行自动调整。

在一些可选的实施例中，采集器件包括至少两个物镜，各物镜的成像尺寸不同；

校正方法进一步包括：分别校正各物镜；或者同时校正各物镜。

在一些可选的实施例中，预设样本片包括形状不同、面积不同且图案不同的样本点，并且各样本点包括数字、文字、字母、符号和图形中的至少一个，预设样本片的各样本点的分布与物镜的视野范围相对应；和/或

预设样本片为激光切补维修设备根据预设激光制样规则制备的。

在一些可选的实施例中，检测数据文本为待校正设备的采集器件根据预设灰阶采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值。

在一些可选的实施例中，比对检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件进一步包括：

存储坐标对比文件，并解析该坐标对比文件并生成坐标解析文件。

在一些可选的实施例中，在比对检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件之后，校正方法还包括：

根据坐标解析文件生成采集器件的偏差度可视化图像；

输出偏差度可视化图像，包括：

显示偏差度可视化图像；

和/或

将偏差度可视化图像传输至外部设备。

在一些可选的实施例中，预设样本片的各样本点包括数字、文字、字母、符号、图形和图案中的至少一个。

本发明第二个方面提供一种上文所述的校正方法的校正装置，包括控制器件，其中，控制器件配置为：

接收待校正设备输出的检测数据文本，检测数据文本包括多组检测坐标数据，检测坐标数据为待校正设备的采集器件采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值，检测坐标值为相对于预设样本片的样本坐标系的坐标值；

导入预设样本片的标准数据文本，标准数据文本包括预设样本片的多个样本点相对于样本坐标系的标准坐标值；

比对检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件；

根据坐标对比文件获取采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，其中，器件中心值为采集器件的中心点相对于样本坐标系的数值，光学中心坐标偏差值为光学中心坐标相对于样本坐标系的原点坐标的偏差值，光学中心坐标为检测坐标值的中心值；

根据器件中心值和光学中心坐标偏差值校正待校正设备。

本发明第三个方面提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上文所述的方法。

本发明第四个方面提供一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行程序时实现上文所述的方法。

本发明的有益效果如下：

本发明针对目前现有的问题，制定一种校正方法、校正装置、计算机可读存储介质及计算机设备，基于预设样本片，根据获取的预设样本片的预设样本点的检测数据文本和标准数据文本，通过对两个数据文本的文件级比对操作生成坐标对比文件，从而能够自动获取待校正设备的采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，并根据该器件中心值和光学中心坐标偏差值完成设备校正，无需人为数据处理，提高了待校正设备的校正效率和校正精确性，同时降低了生产成本，具有广泛的应用前景。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1示出根据本发明的一个实施例所述的校正方法的示意性流程图；

图2示出根据本发明的实施例的校正方法校正的设备的示意图；

图3示出根据本发明的实施例的校正方法的校正装置；

图4示出本发明的实施例所述校正装置的示例性显示界面；

图5示出本发明的另一个实施例所述的一种计算机设备的结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明，下面结合优选实施例和附图对本发明做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本发明的保护范围。

现有技术中，在对待校正设备进行校正时，根据镜头采集到的多个样本点坐标图像得到GLS文件，需要人为将GLS文件导入到Excel表格；技术人员将Excel表格中分列的数据删除不相关项，并对相关项进行数据匹配和比对处理，得到坐标差值表格；根据该坐标差值表格校正待校正设备坐标，再人工撰写校正报告。因为人力处理数据，因此需要逐张处理多个样本点坐标图像，作业时间以天为单位计算，耗时长；且需要间歇性作业，成本高。同时因为人工完成各处理步骤，处理比对只能以缺陷作为依据，处理误差大，设备校正不精确。

为了解决以上问题之一，参照图1示，本发明的实施例提供一种校正方法，包括：

S1、接收待校正设备输出的检测数据文本，所述检测数据文本包括多组检测坐标数据，所述检测坐标数据为所述待校正设备的采集器件采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值，所述检测坐标值为相对于所述预设样本片的样本坐标系的坐标值；

S2、导入所述预设样本片的标准数据文本，所述标准数据文本包括所述预设样本片的多个样本点相对于所述样本坐标系的标准坐标值；

S3、比对所述检测数据文本和所述标准数据文本生成坐标对比文件；

S4、根据所述坐标对比文件获取所述采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，其中，所述器件中心值为所述采集器件的中心点相对于所述样本坐标系的数值，所述光学中心坐标偏差值为光学中心坐标相对于所述样本坐标系的原点坐标的偏差值，所述光学中心坐标为所述检测坐标值的中心值；

S5、根据所述器件中心值和所述光学中心坐标偏差值校正所述待校正设备。

在本实施例中，通过对两个数据文本的文件级比对操作生成坐标对比文件，从而能够自动获取待校正设备的采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，并根据该器件中心值和光学中心坐标偏差值完成设备校正，无需人为数据处理，提高了待校正设备的校正效率和校正精确性，同时降低了生产成本，具有广泛的应用前景。

下面结合具体的示例详细描述本发明的校正方法。首先结合图2简要描述本发明实施例中的待校正设备的图像采集结构原理。图2给出了AOI设备的图像采集部分的示意性结构图。

AOI设备的图像采集部分包括光源和采集器件，在AOI设备中，采集器件可以为CCD(Charge coupled Device，电荷耦合元件/成像传感器)镜头，在一台AOI设备中可以包括多个CCD镜头，多个CCD镜头可以同时或分时采集待检测的面板图像，这里面板可以为半导体电路板或半导体芯片生产中各道工艺制程中的面板。在执行自动检测时，AOI设备控制CCD镜头扫描拍摄镜头视野范围内的面板，并通过对拍摄的图像进行图像处理获取面板中各个图像点的坐标数据。通过将拍摄图像与正常的电路图案对比确定面板中是否存在缺陷，并基于获取的坐标数据确定缺陷位置，从而完成检测过程。因此AOI设备的坐标需要定期校正以保证检测的精确性。本发明旨在利用AOI设备的图像采集功能，提出一种设备坐标的自动校正方法。

需要说明的是，尽管图2示出为AOI设备，但其它例如激光制样设备、激光切补维修设备等通过物镜镜头进行图像采集的设备也同样适用本发明的校正方法，即，本发明的方法对包括光栅尺(Grating ruler，光栅尺位移传感器)设备均是适用的。为了便于描述，以下均以AOI设备为例进行说明。

另外，如图3所示，本发明实施例的校正方法通过搭载在能够与待校正设备进行通信的校正装置300实现，该校正装置300例如可以为计算机、工控机、平板电脑等。本校正方法可以具体实现为以各种软件或硬件语言编程的程序应用而搭载在校正装置上。

此外，校正装置300与AOI设备既可以通过有线方式通信也可以通过各种无线方式通信，本发明不做特别限制，通信方式以适应AOI的硬件结构为准。除此以外，校正装置300还可以通过互联网或局域网与服务器通信以获取其它数据支持。

校正装置300包括控制器件，以控制校正方法各个步骤的执行，还可以包括具有显示功能的显示器件303，以显示程序的程序界面或者显示需要示出给操作人员的图表图像等。

下面以一个具体的示例详细描述本发明的校正方法。

当准备对AOI设备进行校正时，需要预先制备预设的标准样板，即预设样本片。该预设样本片按照预设的制样规则和坐标制作，例如，可以通过在玻璃基板上的预设位置激光打点得到多个样本点。因为本发明旨在获得具有多个已知坐标的样本点，可以理解的是，各样本点在该预设样本片上形成的图案不作限制，可以包括数字、文字、字母、符号、和图形中的至少一个即可。另外，多个样本点也可以形状不同、面积不同且图案不同，预设样本片的各样本点的分布与物镜的视野范围相对应。

此外，为了能够具体标注出样本点坐标在玻璃基板中的位置，使用颜色在映射(MAP)图标记和区分各样本点的点位激光制样尺寸。例如，在预设样本片上标注绿色、紫色、黄色、蓝色和红色中的一种或多种颜色的颜色标定；对于各颜色标定分别具有不同范围的标定尺寸，例如绿色标定的尺寸为大于等于0μm小于3μm、紫色标定的尺寸为大于等于3μm小于等于10μm、黄色标定的尺寸为大于等于10μm小于等于20μm、蓝色标定的尺寸为大于等于20μm小于等于100μm、红色标定的尺寸为大于等于100μm小于等于9999μm；各CCD镜头视野内每种颜色的颜色标定具有预定数量，例如绿色标定30个、紫色标定30个、黄色标定30个、蓝色标定7个、红色标定3个，通过该制样规则从而使操作者能够快速知晓制样大小和具体在玻璃基板中的位置。

比较优选地，在本发明中，利用激光切补维修设备进行制样。激光切补维修设备的切补维修原理为：以物镜镜头识别的实际图样与标准板的标准图样进行对比确定需要切补维修的位置并进行切补维修，该设置利用现有产线制作具有数量庞大的样本点的预设样本片，需要通过文件级别的数据处理才能够实现数据比对，完成远大于人力处理的工作量，使得能够以最低的成本实现本发明的校正方法。

预设样本片在制作时生成标准数据文本，该标准数据文本包括预设样本片的多个样本点相对于样本坐标系的标准坐标值，该样本坐标系是以预设样本片的中心点为坐标原点的坐标系。该文本可以是GLS格式的文件也可以是其它格式的文件，通过下载而存储在校正装置300中或上传到服务器，例如TMS BD服务器，需要时下载使用，在此不做特别限定。

进一步具体地，开始校正时，校正装置300启动校正软件，建立校正任务。在步骤S1中，接收待校正的AOI设备输出的检测数据文本，校正装置300通过与AOI设备的通信连接接收AOI设备输出的检测数据文本。

在本实施例中，利用具有多个样本点的预设样本片进行校正检测。首先，通过待校正的AOI设备的多个CCD镜头分别采集预设样本片并获取多张图像。然后，对各张图像进行图像处理识别并获取各图像中的各样本点的检测坐标值并生成检测数据文本，其中，检测坐标值为相对于预设样本片的样本坐标系的坐标值。

可见，检测坐标值为待校正设备采集的检测值，因为未经过校正，对于基于相同预设样本片获取的样本点坐标值，这些检测坐标值为与标准坐标值处于同一坐标系下可能具有偏差的坐标值。

可选地，检测数据文本为AOI设备的CCD镜头根据预设灰阶采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值。检测采集时，对于同一玻璃基板使用不同颜色的光扫描图像会有差异，对以图形对比为基础的AOI设备来说将带来检测误差，因而以对比度来区分光源。对比度表示最高灰阶与最低灰阶之差，因此需要设定灰阶范围以满足不同对比度需求，从而提高检测准确性。

应理解，CCD镜头对预设样本片进行拍摄得到多个图像，图像经过图像处理后得到多个样本点的检测坐标值。为了采集数据的精确性，每个CCD镜头可以采集几十张或上百张图像，均经过图像处理得到多组样本点的检测坐标值后，取平均值后生成该CCD镜头采集的该组检测坐标数据的检测数据文本。

具体地，例如，可选择LED直光为照明条件、光色选择白光、光度在大于等于400小于等于1500的范围内、最小扫描尺寸为1μm、明场阈值大于等于18小于等于23、暗场阈值大于等于18小于等于23作为为测试条件，对设备AOI上的厚度为0.5μm的预设样本片1次测试扫描5次，重复3次，每个镜头采集200张图像。针对硬件条件不同的AOI设备，也可以选择不同的测试条件，例如，可选择LED直光为照明条件、光色选择白光、光度在大于等于800小于等于3000的范围内、最小扫描尺寸为1μm、明场阈值大于等于225小于等于255、暗场阈值大于等于70小于等于80作为测试条件，对设备AOI上的厚度为0.5μm的预设样本片1次测试扫描3次，重复3次，每个镜头采集30张图像。通过以上设置，能够针对AOI设备的特性，进行精确的数据采集，提高检测准确性。

进一步，在步骤S2中，导入预设样本片的标准数据文本。

该标准数据文本可以是预先存储在校正装置300的存储器中而导入的，也可以是存储在服务器，例如TMS BD上，通过互联网下载而导入的。在本发明中不做具体限制。

在步骤S3中，比对检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件。

参照图4所示，操作人员通过显示界面的显示指引选择路径一键导入检测数据文本，通常校正装置中存在多个AOI设备的检测数据文本，则可以根据AOI设备的设备ID选择接收相应设备输出的检测数据文本，并一键导入。类似地，操作人员通过在显示界面的显示指引选择路径一键导入标准数据文本，同理，通常标准数据文本对应不同AOI设备，可以根据待校正的AOI设备的设备ID选择接收相应设备输出的检测数据文本，并一键导入。

校正装置300检测数据文本中的检测坐标值与对应的标准坐标值进行自动比对生成坐标比对文件，因为标准坐标值与检测坐标值同属于一个坐标系，利用计算机对文件数据进行数据处理，例如对各文件数据中的多个坐标值进行匹配比对，从而显著提升数据处理速度。

具体地，根据预设比较距离分别识别所述检测数据文本的多组检测坐标数据的各样本点的检测坐标值、以及标准数据文本的各样本点的标准坐标值；匹配检测坐标值和标准坐标值并获取匹配样本点和偏差样本点；根据匹配样本点和偏差样本点生成坐标对比文件。

坐标对比文件包括各种坐标值的比对参数。参照图5的示例可知，预设样本片上的原始数量为277个，检测文本中的目标数量为276个，比对后已匹配数量为253个，未匹配数量为24个，并相应的包括已匹配和未匹配的坐标值，当然坐标对比文件还包括各样本点的其它比对参数。

可选地，校正装置300存储坐标对比文件，解析该坐标对比文件并生成坐标解析文件。校正装置300也可以将坐标对比文件上传到服务器，例如，TMS BD，利用服务器解析文件。解析后的文件用于对得到的坐标比对结果进行可视化显示和进一步处理。

具体地，校正装置300可集成有可视化工具，利用空间和时间信息建立数据模型，并根据坐标解析文件基于数据模型生成所述采集器件的偏差度可视化图像，以实现比对结果的可视化图表、图形输出。例如，可以控制校正装置300的具有显示功能的显示器件显示偏差度可视化图像。也可以将偏差度可视化图像传输至外部设备，以待后续用于生成报告或其它项目应用。

在步骤S4中，根据坐标对比文件获取采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值。

其中，器件中心值为采集器件的中心点相对于样本坐标系的数值，在该示例中即CCD镜头的中心点在样本坐标系中的坐标值。光学中心坐标偏差值为光学中心坐标相对于样本坐标系的原点坐标的偏差值，光学中心坐标为检测坐标值的中心值。

在步骤S5中，根据器件中心值和光学中心坐标偏差值校正待校正的AOI设备。

应理解，对于获取的器件中心值和光学中心坐标偏差值包含一种情况，即，当判断光学中心坐标偏差值在设备偏差可接受的误差范围内，则不作校正处理。

当判断光学中心坐标偏差值超出设备偏差可接受的误差范围时，可以采取以下方法之一对AOI设备进行校正。

方法一，根据光学中心坐标偏差值对AOI设备进行光学中心自动补偿。该步骤为光学补偿，旨在通过对光学坐标的数值补偿，使光学中心坐标与采集器件的器件中心值一致。

方法二，利用部分重合的检测坐标值和标准坐标值，根据器件中心值对采集器件的位置进行自动调整。具体地，当光学中心坐标与采集器件的器件中心值部分重合时，通过调整采集器件的物理位置，使得光学中心坐标与采集器件的器件中心值重合。通过该方法，在检测坐标值和标准坐标值部分重合时，通过自动进行物理微调，完成最终的精确校正。

方法三，将光学中心坐标对准预设样本片的几何中心坐标，通过光学中心坐标与预设样本片的自动调整，能够进一步提高校正精确度。

方法四，利用部分重合的光学中心坐标和预设样本片的几何中心坐标，根据器件中心值对采集器件的位置进行自动调整。通过该方法，在光学中心坐标和预设样本片的几何中心坐标部分重合时，通过自动进行物理微调，完成最终的精确校正。

本领域技术人员应理解，本发明的校正方法，因为通过校正装置300自动控制AOI设备的自动校正过程，使得以上方法可以不分先后顺序，甚至可以同时进行，若采取以上4个校正步骤中的多个步骤，因为调整之间的连带关系，可以并行达到最终的校正目的。相较于现有技术的人为校正方法，显著提高校正效率。当需要采取以上4个校正步骤时，可以从光学中心坐标的光学补偿，到采集器件的物理中心坐标，再到预设样本片的几何中心坐标，达到三个维度的自动校正处理，显著提高了设备校正的精确性。

另外需要说明的是，不论本示例中的待校正设备AOI设备，还是可以应用本发明实施例的校正方法的激光制样设备、激光切补维修设备等设备，往往包括采集器件包括至少两个物镜，且各物镜的成像尺寸不同。在校正过程中，可以分别校正各物镜，例如针对每个物镜分别进行本发明实施例中的步骤S1-S5。在一些可选地实施例中，对于各个物镜，可以在校正装置300的控制下同时校正各物镜，并行处理各物镜的检测数据文本，并行执行光学补偿校正和物理调整校正，在此不再赘述。

在实际应用中，可以根据设备的使用频率定期进行以上校正过程，本领域技术人员应理解，预设样本片可以在后续设备校正中重复使用，本文不再赘述。

通过以上设置，对检测数据文本和标准数据文本进行自动比对，并根据坐标对比文件获取待校正设备的采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，并根据该器件中心值和光学中心坐标偏差值自动完成设备光学校正和物理校正，无需人为数据处理，提高了待校正设备的校正效率和校正精确性，同时降低了生产成本。

基于同一发明构思，参照图3所示，本发明的实施例还提供一种上文实施例的校正方法的校正装置300，包括控制器件301，其中，控制器件301配置为：

接收待校正设备输出的检测数据文本，检测数据文本包括多组检测坐标数据，检测坐标数据为待校正设备的采集器件采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值，检测坐标值为相对于预设样本片的样本坐标系的坐标值；

导入预设样本片的标准数据文本，标准数据文本包括预设样本片的多个样本点相对于样本坐标系的标准坐标值；

比对检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件；

根据坐标对比文件获取采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，其中，器件中心值为采集器件的中心点相对于样本坐标系的数值，光学中心坐标偏差值为光学中心坐标相对于样本坐标系的原点坐标的偏差值，光学中心坐标为检测坐标值的中心值；

根据器件中心值和光学中心坐标偏差值校正待校正设备。

在本实施例中，通过提供校正装置，并设置该校正装置比对预设样本点的检测数据文本和标准数据文本生成坐标对比文件，从而能够自动获取待校正设备的采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，并根据该器件中心值和光学中心坐标偏差值完成设备校正，无需人为数据处理，提高了待校正设备的校正效率和校正精确性，同时降低了生产成本，具有广泛的应用前景。

本发明的另一个实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现：

接收待校正设备输出的检测数据文本，所述检测数据文本包括多组检测坐标数据，所述检测坐标数据为所述待校正设备的采集器件采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值，所述检测坐标值为相对于所述预设样本片的样本坐标系的坐标值；

导入所述预设样本片的标准数据文本，所述标准数据文本包括所述预设样本片的多个样本点相对于所述样本坐标系的标准坐标值；

比对所述检测数据文本和所述标准数据文本生成坐标对比文件；

根据所述坐标对比文件获取所述采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，其中，所述器件中心值为所述采集器件的中心点相对于所述样本坐标系的数值，所述光学中心坐标偏差值为光学中心坐标相对于所述样本坐标系的原点坐标的偏差值，所述光学中心坐标为所述检测坐标值的中心值；

根据所述器件中心值和所述光学中心坐标偏差值校正所述待校正设备。

在实际应用中，所述计算机可读存储介质可以采用一个或多个计算机可读的介质的任意组合。计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质。计算机可读存储介质例如可以是但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括：具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本实施例中，计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。

计算机可读的信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读的信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。

计算机可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、电线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。

可以以一种或多种程序设计语言或其组合来编写用于执行本发明操作的计算机程序代码，所述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、Smalltalk、C++，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务器上执行。在涉及远程计算机的情形中，远程计算机可以通过任意种类的网络——包括局域网(LAN)或广域网(WAN)—连接到用户计算机，或者，可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。

如图5所示，本发明的另一个实施例提供的一种计算机设备的结构示意图。图5显示的计算机设备12仅仅是一个示例，不应对本发明实施例的功能和使用范围带来任何限制。

如图5所示，计算机设备12以通用计算设备的形式表现。计算机设备12的组件可以包括但不限于：一个或者多个处理器或者处理单元16，系统存储器28，连接不同系统组件(包括系统存储器28和处理单元16)的总线18。

总线18表示几类总线结构中的一种或多种，包括存储器总线或者存储器控制器，外围总线，图形加速端口，处理器或者使用多种总线结构中的任意总线结构的局域总线。举例来说，这些体系结构包括但不限于工业标准体系结构(ISA)总线，微通道体系结构(MAC)总线，增强型ISA总线、视频电子标准协会(VESA)局域总线以及外围组件互连(PCI)总线。

计算机设备12典型地包括多种计算机系统可读介质。这些介质可以是任何能够被计算机设备12访问的可用介质，包括易失性和非易失性介质，可移动的和不可移动的介质。

系统存储器28可以包括易失性存储器形式的计算机系统可读介质，例如随机存取存储器(RAM)30和/或高速缓存存储器32。计算机设备12可以进一步包括其它可移动/不可移动的、易失性/非易失性计算机系统存储介质。仅作为举例，存储系统34可以用于读写不可移动的、非易失性磁介质(图5未显示，通常称为“硬盘驱动器”)。尽管图5中未示出，可以提供用于对可移动非易失性磁盘(例如“软盘”)读写的磁盘驱动器，以及对可移动非易失性光盘(例如CD-ROM，DVD-ROM或者其它光介质)读写的光盘驱动器。在这些情况下，每个驱动器可以通过一个或者多个数据介质接口与总线18相连。存储器28可以包括至少一个程序产品，该程序产品具有一组(例如至少一个)程序模块，这些程序模块被配置以执行本发明各实施例的功能。

具有一组(至少一个)程序模块42的程序/实用工具40，可以存储在例如存储器28中，这样的程序模块42包括但不限于操作系统、一个或者多个应用程序、其它程序模块以及程序数据，这些示例中的每一个或某种组合中可能包括网络环境的实现。程序模块42通常执行本发明所描述的实施例中的功能和/或方法。

计算机设备12也可以与一个或多个外部设备14(例如键盘、指向设备、显示器24等)通信，还可与一个或者多个使得用户能与该计算机设备12交互的设备通信，和/或与使得该计算机设备12能与一个或多个其它计算设备进行通信的任何设备(例如网卡，调制解调器等等)通信。这种通信可以通过输入/输出(I/O)接口22进行。并且，计算机设备12还可以通过网络适配器20与一个或者多个网络(例如局域网(LAN)，广域网(WAN)和/或公共网络，例如因特网)通信。如图5所示，网络适配器20通过总线18与计算机设备12的其它模块通信。应当明白，尽管图5中未示出，可以结合计算机设备12使用其它硬件和/或软件模块，包括但不限于：微代码、设备驱动器、冗余处理单元、外部磁盘驱动阵列、RAID系统、磁带驱动器以及数据备份存储系统等。

处理器单元16通过运行存储在系统存储器28中的程序，从而执行各种功能应用以及数据处理，例如实现本发明实施例所提供的校正方法。

本发明针对目前现有的问题，制定一种校正方法、校正装置、计算机可读存储介质及计算机设备，基于预设样本片，根据获取的预设样本片的预设样本点的检测数据文本和标准数据文本，通过对两个数据文本的文件级比对操作生成坐标对比文件，从而能够自动获取待校正设备的采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，并根据该器件中心值和光学中心坐标偏差值完成设备校正，无需人为数据处理，提高了待校正设备的校正效率和校正精确性，同时降低了生产成本，具有广泛的应用前景。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。

Claims (11)

1.一种校正方法，其特征在于，包括：

接收待校正设备输出的检测数据文本，所述检测数据文本包括多组检测坐标数据，所述检测坐标数据为所述待校正设备的采集器件采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值，所述检测坐标值为相对于所述预设样本片的样本坐标系的坐标值；

导入所述预设样本片的标准数据文本，所述标准数据文本包括所述预设样本片的多个样本点相对于所述样本坐标系的标准坐标值；

比对所述检测数据文本和所述标准数据文本生成坐标对比文件；

根据所述坐标对比文件获取所述采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，其中，所述器件中心值为所述采集器件的中心点相对于所述样本坐标系的数值，所述光学中心坐标偏差值为光学中心坐标相对于所述样本坐标系的原点坐标的偏差值，所述光学中心坐标为所述检测坐标值的中心值；

根据所述器件中心值和所述光学中心坐标偏差值校正所述待校正设备。

2.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，

所述比对所述检测数据文本和所述标准数据文本生成坐标对比文件，进一步包括：

根据预设比较距离分别识别所述检测数据文本的多组检测坐标数据的各样本点的检测坐标值、以及所述标准数据文本的各样本点的标准坐标值；

匹配所述检测坐标值和所述标准坐标值并获取匹配样本点和偏差样本点；

根据所述匹配样本点和偏差样本点生成坐标对比文件；

所述根据所述坐标对比文件获取所述采集器件的中心值和光学中心坐标偏差值进一步包括：

根据所述匹配样本点和偏差样本点获取所述采集器件的中心值和光学中心坐标偏差值。

3.根据权利要求2所述的校正方法，其特征在于，所述根据所述器件中心值和所述光学中心坐标偏差值校正所述待校正设备包括以下校正操作的至少一项：

根据所述光学中心坐标偏差值进行光学中心坐标自动补偿；

利用部分重合的所述检测坐标值和标准坐标值，根据所述器件中心值对所述采集器件的位置进行自动调整；

将所述光学中心坐标对准所述预设样本片的几何中心坐标；

利用部分重合的所述光学中心坐标和所述预设样本片的几何中心坐标，根据所述器件中心值对所述采集器件的位置进行自动调整。

4.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述采集器件包括至少两个物镜，各物镜的成像尺寸不同；

所述校正方法进一步包括：分别校正各物镜；或者同时校正各物镜。

5.根据权利要求4所述的校正方法，其特征在于，

所述预设样本片包括形状不同、面积不同且图案不同的样本点，并且各样本点包括数字、文字、字母、符号和图形中的至少一个，所述预设样本片的各样本点的分布与所述物镜的视野范围相对应；和/或

所述预设样本片为激光切补维修设备根据预设激光制样规则制备的。

6.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述检测数据文本为所述待校正设备的采集器件根据预设灰阶采集的所述预设样本片的多个样本点的检测坐标值。

7.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述比对所述检测数据文本和所述标准数据文本生成坐标对比文件进一步包括：

存储所述坐标对比文件并解析该坐标对比文件并生成坐标解析文件。

8.根据权利要求7所述的校正方法，其特征在于，在所述比对所述检测数据文本和所述标准数据文本生成坐标对比文件之后，所述校正方法还包括：

根据所述坐标解析文件生成所述采集器件的偏差度可视化图像；

输出所述偏差度可视化图像，包括：

显示所述偏差度可视化图像；

和/或

将所述偏差度可视化图像传输至外部设备。

9.一种如权利要求1-8中任一项所述的校正方法的校正装置，其特征在于，包括控制器件，其中，所述控制器件配置为：

接收待校正设备输出的检测数据文本，所述检测数据文本包括多组检测坐标数据，所述检测坐标数据为所述待校正设备的采集器件采集的预设样本片的多个样本点的检测坐标值，所述检测坐标值为相对于所述预设样本片的样本坐标系的坐标值；

导入所述预设样本片的标准数据文本，所述标准数据文本包括所述预设样本片的多个样本点相对于所述样本坐标系的标准坐标值；

比对所述检测数据文本和所述标准数据文本生成坐标对比文件；

根据所述坐标对比文件获取所述采集器件的器件中心值和光学中心坐标偏差值，其中，所述器件中心值为所述采集器件的中心点相对于所述样本坐标系的数值，所述光学中心坐标偏差值为光学中心坐标相对于所述样本坐标系的原点坐标的偏差值，所述光学中心坐标为所述检测坐标值的中心值；

根据所述器件中心值和所述光学中心坐标偏差值校正所述待校正设备。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1-8中任一项所述的方法。

11.一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1-8中任一项所述的方法。

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