CN112992630A - 一种微焦点射线管 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及射线管技术领域，尤其是一种微焦点射线管，包括阴极、阳极和外壳，所述阳极水平穿装在外壳上，所述阴极垂直安装在外壳的侧壁上，所述阴极包括灯丝、阴极级片和阴极罩，所述灯丝和阴极级片安装在阴极罩内部，所述阴极级片为多层级片，灯丝发出的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到阳极的靶面上形成微焦斑，本发明可以解决现有技术中X射线焦点较大无法满足需求的问题。
Description
技术领域
本发明涉及射线管技术领域，具体领域为一种微焦点射线管。
背景技术
目前公知的X射线焦点比较大，X射线成像分辨率较低，不能满足在很多领域(如医用，集成电路，科学研究)的使用。特别在航空、航天、军用类中，需对电子及微电子组装中的电子元器件内部结构微型焊点进行检测，由于被测物体具有高密度、高精度的特点，现有的X射线管已经无法满足正常需求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种微焦点射线管，以解决现有技术中X射线焦点较大无法满足需求的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种微焦点射线管，包括阴极、阳极和外壳，所述阳极水平穿装在外壳上，所述阴极垂直安装在外壳的侧壁上，所述阴极包括灯丝、阴极级片和阴极罩，所述灯丝和阴极级片安装在阴极罩内部，所述阴极级片为多层级片，灯丝发出的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到阳极的靶面上形成微焦斑。
优选的，所述壳体包括金属壳和玻壳，所述玻壳的前端通过第一可伐环与金属壳连接，所述玻壳的尾端通过第二可伐环与阳极尾端过渡连接，所述阴极罩通过钎焊与金属壳连接，所述金属壳外侧接地。
优选的，所述金属壳尾端延伸至玻壳内部。
优选的，所述阳极尾端固定有阳极罩，阳极罩将玻壳与阳极的焊接点保护在阳极罩内侧。
优选的，所述阴极级片为五层级片，五层级片至上而下依次为公共端级、栅控级、加速级、聚焦A级、聚焦B级。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：多层的阴极级片使得电子束加速、聚焦在阳极靶面上形成微焦点X射线，从而使射线管可以用于高精密成像检测设备中，满足各种检测要求；金属壳可以提供坚固稳定的工作环境，同时金属壳接地可以对射线管和操作人员起到保护作用。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中：1灯丝、2阳极罩、3阴极级片、4金属壳、5靶面、6阳极、7第一可伐环、8玻壳、9第二可伐环、10阳极罩。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种微焦点射线管，包括阴极、阳极6和外壳，阳极6水平穿装在外壳上，阴极垂直安装在外壳的侧壁上，阴极包括灯丝1、阴极级片3和阴极罩2，灯丝1和阴极级片3安装在阴极罩2内部，阴极级片3为多层级片，其中每一层级片都有导线从电极引出，可以单独控制电流电压，灯丝1与电极连接，外侧电源给灯丝1供电使灯丝1发出电子束，灯丝1发出的电子束是发散的，发散的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到微米级打在阳极6的靶面5上，然后形成微米级X射线焦斑，多层的阴极级片3可以使得电子束加速、聚焦在阳极6靶面5上形成微焦点X射线，从而使射线管可以用于高精密成像检测设备中，满足各种检测要求。
优选的，壳体包括金属壳4和玻壳8，其中阴极罩2通过钎焊与金属壳4连接，金属壳4外侧接地，电子束撞击阳极6被限制在金属壳4内，金属壳4较与玻壳8更坚固稳定，同时金属壳4本身是良好的导体，将金属壳4接地可以很好的保护射线管和操作人员，进一步的，玻壳8的前端通过第一可伐环7与金属壳4连接，在本实施例中，将第一可伐环7与玻壳8封装在一起，然后通过氩弧焊将第一可伐环7与金属壳4焊接在一起，类似的，玻壳8的尾端通过第二可伐环9与阳极6尾端过渡连接，可伐合金与玻璃的膨胀系数类似，用第一可伐环7将玻壳8与金属壳4连接、用第二可伐环9将玻壳8与阳极6连接，可以保证各部件密封封装且不易开裂分离。
优选的，金属壳4尾端延伸至玻壳8内部，金属壳4尾端的延伸保护了第一可伐环7与玻壳8之间的焊接点，防止电子束轰击靶面5时散射生二次电子撞击破坏第一可伐环7与玻壳8之间的焊接点。
优选的，阳极6尾端固定有阳极罩10，阳极罩10将玻壳8与阳极6的焊接点保护在阳极罩10内侧，防止电子束轰击靶面5时散射生二次电子撞击破坏玻壳8与阳极6的焊接点。
优选的，阴极级片3为五层级片，五层级片至上而下依次为公共端级、栅控级、加速级、聚焦A级、聚焦B级，其中公共端级作为五层级片的公共级，使五层级片成为一个大的透镜来整体作用，栅控级中间有小孔一方面控制了电子束的大小，另一方面防止高速电子撞击管壁，加速级在外部电压的控制下，使得在电子束通过中心小孔时提供一个加速度，聚焦A级和聚焦B级通过两次聚焦，将电子束汇聚到微米级撞击阳极6的靶面5，阴极级片3由多层级片构成，可以提供足够细的电子束，能够在阳极6的靶面5激发出几微米的焦斑，检测过程稳定，检测结果可靠。
本申请中的阴极级片3为多层级片，多层级片使得电子束加速、聚焦在阳极6的靶面5上形成微焦点X射线，从而使射线管可以用于高精密成像检测设备中，满足各种检测要求；金属壳4可以提供坚固稳定的工作环境，同时金属壳4接地可以对射线管和操作人员起到保护作用。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种微焦点射线管，包括阴极、阳极(6)和外壳，其特征在于：所述阳极(6)水平穿装在外壳上，所述阴极垂直安装在外壳的侧壁上，所述阴极包括灯丝(1)、阴极级片(3)和阴极罩(2)，所述灯丝(1)和阴极级片(3)安装在阴极罩(2)内部，所述阴极级片(3)为多层级片，灯丝(1)发出的电子束通过多层级片加速、聚焦后汇聚到阳极(6)的靶面(5)上形成微焦斑。
2.根据权利要求1所述的一种微焦点射线管，其特征在于：所述壳体包括金属壳(4)和玻壳(8)，所述玻壳(8)的前端通过第一可伐环(7)与金属壳(4)连接，所述玻壳(8)的尾端通过第二可伐环(9)与阳极(6)尾端过渡连接，所述阴极罩(2)通过钎焊与金属壳(4)连接，所述金属壳(4)外侧接地。
3.根据权利要求2所述的一种微焦点射线管，其特征在于：所述金属壳(4)尾端延伸至玻壳(8)内部。
4.根据权利要求2所述的一种微焦点射线管，其特征在于：所述阳极(6)尾端固定有阳极罩(10)，阳极罩(10)将玻壳(8)与阳极(6)的焊接点保护在阳极罩(10)内侧。
5.根据权利要求1所述的一种微焦点射线管，其特征在于：所述阴极级片(3)为五层级片，五层级片至上而下依次为公共端级、栅控级、加速级、聚焦A级、聚焦B级。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201911297759.XA CN112992630A (zh) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | 一种微焦点射线管 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201911297759.XA CN112992630A (zh) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | 一种微焦点射线管 |
Publications (1)
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| CN112992630A true CN112992630A (zh) | 2021-06-18 |
Family
ID=76341810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201911297759.XA Pending CN112992630A (zh) | 2019-12-17 | 2019-12-17 | 一种微焦点射线管 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN112992630A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115440553A (zh) * | 2022-09-21 | 2022-12-06 | 无锡日联科技股份有限公司 | 一种微焦点x射线源的控制系统及方法 |
-
2019
- 2019-12-17 CN CN201911297759.XA patent/CN112992630A/zh active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN115440553A (zh) * | 2022-09-21 | 2022-12-06 | 无锡日联科技股份有限公司 | 一种微焦点x射线源的控制系统及方法 |
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