CN112963391A - 一种适用于砂轮划片机的气路控制系统 - Google Patents
一种适用于砂轮划片机的气路控制系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112963391A CN112963391A CN202110538153.1A CN202110538153A CN112963391A CN 112963391 A CN112963391 A CN 112963391A CN 202110538153 A CN202110538153 A CN 202110538153A CN 112963391 A CN112963391 A CN 112963391A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- air
- vacuum
- communicated
- branch
- microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 41
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 28
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
- F15B11/06—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor involving features specific to the use of a compressible medium, e.g. air, steam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
- F15B11/16—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with two or more servomotors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B21/00—Common features of fluid actuator systems; Fluid-pressure actuator systems or details thereof, not covered by any other group of this subclass
- F15B21/04—Special measures taken in connection with the properties of the fluid
- F15B21/048—Arrangements for compressed air preparation, e.g. comprising air driers, air condensers, filters, lubricators or pressure regulators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
本发明提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，包括：空气过滤元件、排风口、真空气路、显微镜气路、刀片气路、气枪气路、NCS气路、门锁气缸气路；空气过滤元件输出端分别连通并联的真空气路输入端、显微镜气路输入端、刀片气路输入端、气枪气路输入端、NCS气路输入端、门锁气缸气路输入端和主轴进气端；真空气路真空端连通中心盘，真空气路排气端连通排风口；空气过滤元件和主轴之间还设置有气压表。本发明优点：可以实现自动控制划片机气路的各项功能，真空发生器进水后，真空表不会进水，避免损坏。主轴进气有气压表保护，非接触测高时，刀片吹气清洁刀片。喷水罩可分别调节流量，压缩空气进气前有空气过滤元件过滤，避免损坏元件。
Description
技术领域
本发明涉及砂轮划片机，特别提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统。
背景技术
砂轮划片机是一种应用于如半导体、LED封装、QFN、BGA、光学光电、通讯等多个行业，综合了水气电、高速气浮主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。
其主要用于硅集成电路，发光二极管，铌酸锂，压电陶瓷，砷化镓，蓝宝石，石英，玻璃，陶瓷，太阳能电池片等材料的精密划切加工。
砂轮划片机，其功能是通过气浮主轴带动刀具砂轮高速旋转，实现高速精密加工，就必须使用压缩空气和水，来实现各项功能。
因此合理的气路控制系统对划片机的性能至关重要。为了使气浮主轴安全的工作，就必须时刻保证气路清洁、稳定、压力足够，否则极易使主轴损坏。即便在突然断电、空压机自带的过滤器失效，冷干机异常等极端情况下，也要保证主轴气路正常。
划片机需要用真空来固定待加工的工件，但是在划片过程中，切割腔内一直弥漫着水雾和粉尘，工况十分恶劣，因此很难避免这些干扰进入真空气路，若真空气路因此不稳定，而很有可能损坏刀片和待加工的件。
在划片过程中，需要时刻对刀片喷水，既是冷却刀片，又是排出切屑，但是在进行接触式测高和非接触式测高即NCS的时候，若喷水罩滴下水来，那么就直接影响测高值，很有可能导致设备损坏。
发明内容
本发明的目的在于提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，可以实现自动控制划片机气路的各项功能。
本发明技术方案如下：提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，包括：空气过滤元件、排风口、真空气路、显微镜气路、刀片气路、气枪气路、NCS气路、门锁气缸气路；
真空气路是利用真空把粘有待加工件的膜吸附在工作盘上。但是在划片过程中，切割腔内一直弥漫着水雾和粉尘，工况十分恶劣，因此很难避免这些干扰进入真空气路，若真空气路因此不稳定，而很有可能损坏刀片和待加工的件。
显微镜气路一方面要在切割过程中保证显微镜部件内部从环境恶劣的切割腔隔离出来，另一方面要在切割间隔的时候，吹干工件表面的水，以便显微镜可以观察到切割效果。同时，还要避免剧烈气流造成显微镜晃动。
刀片气路要在进行接触式测高和NCS的时候，防止喷水罩滴下水来，影响测高值。
气枪气路是用来在切割间隔或者切割完成的时候，进行手动吹干工件上的水。虽然该气路的使用频率不高，但仍是必须存在的。
NCS气路的作用是在切割间隔的时候，重新校准刀片基准，以抵消刀片模式对切割深度的影响。在NCS过程中，周围环境充满了水汽和粉尘，因此就需要用气路保证光纤头处的清洁。
门锁气缸气路是为了避免设备伤人而增加的必要的安全防护，通过气缸，以及气缸伸缩杠固定的钣金件，锁死切割腔和上料区的门。
空气过滤元件输出端分别连通并联的真空气路输入端、显微镜气路输入端、刀片气路输入端、气枪气路输入端、NCS气路输入端、门锁气缸气路输入端和主轴进气端；真空气路真空端连通中心盘，真空气路排气端连通排风口；空气过滤元件和主轴之间还设置有气压表。
进一步地，真空气路包括并联的工件真空支路、反吹气支路和工件盘真空支路；
工件真空支路中设置有依次连通的工件真空阀和第一真空发生器进气端；反吹气支路中设置有依次连通的反气吹阀和第一节流阀；工件盘真空支路中设置有依次连通的工件盘真空阀和第二真空发生器进气端；
第一真空发生器的真空端通过单向阀连通第一节流阀输出端和中心盘；第一真空发生器真空端还设置有依次连通的真空过滤器和真空表；
第二真空发生器真空端与中心盘连通；第一真空发生器和第二真空发生器排气端均与排风口相通。
进一步地，显微镜气路包括并联的显微镜下吹气支路与显微镜挡板气缸支路；
显微镜下吹气支路中设置有依次连通的显微镜下吹气阀、第二节流阀和吹气管；显微镜挡板气缸支路中设置有依次连通的显微镜挡板阀和显微镜挡板气缸。
进一步地，刀片气路中设置有依次连通的刀片吹气阀和第三节流阀。
进一步地，气枪气路中设置有依次连通的第四节流阀和气枪。
进一步地，NCS气路中设置有依次连通的NCS气阀、第五节流阀和NCS吹气口。
进一步地，门锁气缸气路包括并联设置的左支路和右支路；左支路中设置有依次连通的左门锁气阀和左门锁气缸；右支路中设置有依次连通的右门锁气阀和右门锁气缸；
本发明所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统可以实现自动控制划片机气路的各项功能，可以分别控制工件真空，工作盘真空和反向吹气；能够在真空发生器进水后，真空不间断，真空表不会进水，避免损坏；带可控制的反向吹气系统能破坏真空状态，便于切割结束后，取下工件；主轴进气有气压表保护；左右门锁分别控制，安全且方便；非接触测高（NCS）时，可以先吹气，清洁光纤表面，刀片吹气清洁刀片。显微镜有下吹气，可以自动吹干刀口位置的水；配有气枪，可以手动吹干任意位置的水。
本发明配有数字量的真空表，在真空不足的时候，可报警，进而暂停切割，防止损坏待加工的工件，显微镜下吹气支路中设置有依次连通的显微镜下吹气阀、第二节流阀和吹气管；显微镜挡板气缸支路中设置有依次连通的显微镜挡板阀和显微镜挡板气缸，刀片气路中设置有依次连通的刀片吹气阀和第三节流阀，气枪气路中设置有依次连通的第四节流阀和气枪，NCS气路中设置有依次连通的NCS气阀、第五节流阀和NCS吹气口共同作用，，可以调整进气的气压，并一定程度上改善进气品质，延迟气动元件使用寿命。气路安装及气管布置经过设计，既方便安装和维护，又能保证功能正常实施。
本发明优点：可以实现自动控制划片机气路的各项功能，真空气路可以分别控制工件真空，工作盘具有能真空和反吹功能，真空发生器进水后，真空不间断，真空表不会进水，避免损坏。带反吹破坏真空环境，便于取片，主轴进气有气压表保护，进水有流量计检测保护，左右门锁分别控制，安全且方便，非接触测高时，可以先吹水吹气，清洁光纤表面，刀片吹气清洁刀片。排出流量计的存水，显微镜有挡板保护，避免切割时进水损坏；显微镜有下吹气，可以自动吹干刀口位置的水，配有气枪，可以手动吹干任意位置的水，喷水罩分为前后喷水和侧面喷水，可分别调节流量，压缩空气进气前有空气过滤元件过滤，避免损坏元件。
附图说明
图1为本发明所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统示意图；
附图标记：1-空气过滤元件；2-排风口；3-主轴；31-气压表；41-工件真空阀；42-第一真空发生器；43-反吹气阀；44-第一节流阀；45-工件盘真空阀；46-第二真空发生器；47-单向阀；48-真空过滤器；49-真空表；5-中心盘；61-显微镜下吹气阀；62-第二节流阀；63-吹气管；64-显微镜挡板阀；65-显微镜挡板气缸；71-刀片吹气阀；72-第三节流阀；81-第四节流阀；82-气枪；91-NCS气阀；92-第五节流阀；93-NCS吹气口；101-左门锁气阀；102-左门锁气缸；103-右门锁气阀；104-右门锁气缸。
具体实施方式
实施例1
本实施例提供一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，参见图1，包括：空气过滤元件1、排风口2、真空气路、显微镜气路、刀片气路、气枪气路、NCS气路、门锁气缸气路；
空气过滤元件1输出端分别连通并联的真空气路输入端、显微镜气路输入端、刀片气路输入端、气枪气路输入端、NCS气路输入端、门锁气缸气路输入端和主轴3进气端；真空气路真空端连通中心盘5，真空气路排气端连通排风口2；空气过滤元件1和主轴3之间还设置有气压表31。
进一步地，真空气路包括并联的工件真空支路、反吹气支路和工件盘真空支路；
工件真空支路中设置有依次连通的工件真空阀41和第一真空发生器42进气端；反吹气支路中设置有依次连通的反气吹阀43和第一节流阀44；工件盘真空支路中设置有依次连通的工件盘真空阀45和第二真空发生器46进气端；
第一真空发生器42的真空端通过单向阀47连通第一节流阀44输出端和中心盘5；第一真空发生器42真空端还设置有依次连通的真空过滤器48和真空表49；
第二真空发生器46真空端与中心盘5连通；第一真空发生器42和第二真空发生器46排气端均与排风口2相通。
进一步地，显微镜气路包括并联的显微镜下吹气支路与显微镜挡板气缸支路；
显微镜下吹气支路中设置有依次连通的显微镜下吹气阀61、第二节流阀62和吹气管63；压缩空气从吹气管63的吹气口吹出，吹干切割道的水分，便于机器视觉观察；
显微镜挡板气缸支路中设置有依次连通的显微镜挡板阀64和显微镜挡板气缸65。
进一步地，刀片气路中设置有依次连通的刀片吹气阀71和第三节流阀72；可以在主轴停转后吹干刀片上的水分。
进一步地，气枪气路中设置有依次连通的第四节流阀81和气枪82。气枪82可以吹干工件表面水分。
进一步地，NCS气路中设置有依次连通的NCS气阀91、第五节流阀92和NCS吹气口93；可以吹干NCS光纤表面的水分。
进一步地，门锁气缸气路包括并联设置的左支路和右支路；左支路中设置有依次连通的左门锁气阀101和左门锁气缸102；右支路中设置有依次连通的右门锁气阀103和右门锁气缸104；可以实现安全锁定。
本发明未尽事宜为公知技术。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于，包括：空气过滤元件（1）、排风口（2）、真空气路、显微镜气路、刀片气路、气枪气路、NCS气路、门锁气缸气路；
空气过滤元件（1）输出端分别连通并联的真空气路输入端、显微镜气路输入端、刀片气路输入端、气枪气路输入端、NCS气路输入端、门锁气缸气路输入端和主轴（3）进气端；真空气路真空端连通中心盘（5），真空气路排气端连通排风口（2）；空气过滤元件（1）和主轴（3）之间还设置有气压表（31）。
2.根据权利要求1所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于：真空气路包括并联的工件真空支路、反吹气支路和工件盘真空支路；
工件真空支路中设置有依次连通的工件真空阀（41）和第一真空发生器（42）进气端；反吹气支路中设置有依次连通的反气吹阀（43）和第一节流阀（44）；工件盘真空支路中设置有依次连通的工件盘真空阀（45）和第二真空发生器（46）进气端；
第一真空发生器（42）的真空端通过单向阀（47）同时连通第一节流阀（44）输出端和中心盘（5）；第一真空发生器（42）真空端还设置有依次连通的真空过滤器（48）和真空表（49）；
第二真空发生器（46）真空端与中心盘（5）连通；第一真空发生器（42）和第二真空发生器（46）排气端均与排风口（2）相通。
3.根据权利要求1所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于：显微镜气路包括并联的显微镜下吹气支路与显微镜挡板气缸支路；
显微镜下吹气支路中设置有依次连通的显微镜下吹气阀（61）、第二节流阀（62）和吹气管（63）；显微镜挡板气缸支路中设置有依次连通的显微镜挡板阀（64）和显微镜挡板气缸（65）。
4.根据权利要求1所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于：刀片气路中设置有依次连通的刀片吹气阀（71）和第三节流阀（72）。
5.根据权利要求1所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于：气枪气路中设置有依次连通的第四节流阀（81）和气枪（82）。
6.根据权利要求1所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于：NCS气路中设置有依次连通的NCS气阀（91）、第五节流阀（92）和NCS吹气口（93）。
7.根据权利要求1所述的适用于砂轮划片机的气路控制系统，其特征在于：门锁气缸气路包括并联设置的左支路和右支路；左支路中设置有依次连通的左门锁气阀（101）和左门锁气缸（102）；右支路中设置有依次连通的右门锁气阀（103）和右门锁气缸（104）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110538153.1A CN112963391A (zh) | 2021-05-18 | 2021-05-18 | 一种适用于砂轮划片机的气路控制系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110538153.1A CN112963391A (zh) | 2021-05-18 | 2021-05-18 | 一种适用于砂轮划片机的气路控制系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112963391A true CN112963391A (zh) | 2021-06-15 |
Family
ID=76279735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110538153.1A Pending CN112963391A (zh) | 2021-05-18 | 2021-05-18 | 一种适用于砂轮划片机的气路控制系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112963391A (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11300184A (ja) * | 1998-04-21 | 1999-11-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 混合水生成装置 |
| CN201181695Y (zh) * | 2008-04-22 | 2009-01-14 | 苏州固锝电子股份有限公司 | 划片机真空稳压吸附装置 |
| CN208937806U (zh) * | 2018-04-11 | 2019-06-04 | 沈阳和研科技有限公司 | 显微镜挡板组件 |
| CN210243180U (zh) * | 2020-01-19 | 2020-04-03 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种划片机空气悬浮式主轴的检测装置 |
-
2021
- 2021-05-18 CN CN202110538153.1A patent/CN112963391A/zh active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11300184A (ja) * | 1998-04-21 | 1999-11-02 | Disco Abrasive Syst Ltd | 混合水生成装置 |
| CN201181695Y (zh) * | 2008-04-22 | 2009-01-14 | 苏州固锝电子股份有限公司 | 划片机真空稳压吸附装置 |
| CN208937806U (zh) * | 2018-04-11 | 2019-06-04 | 沈阳和研科技有限公司 | 显微镜挡板组件 |
| CN210243180U (zh) * | 2020-01-19 | 2020-04-03 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种划片机空气悬浮式主轴的检测装置 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| 李异河 等: "《液压与气动技术》", 28 February 2006, 国防工业出版社 * |
| 杨宏亮: "全自动划片机关键技术及工艺研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技Ⅱ辑》 * |
| 焦洋洋等: "真空夹具系统的设计", 《真空科学与技术学报》 * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101559428B (zh) | 旋转清洗装置和加工装置 | |
| US5332343A (en) | Cooling and dust collecting apparatus for machine tool | |
| US6676491B2 (en) | Semiconductor wafer dividing method | |
| KR102094047B1 (ko) | 절삭 장치 | |
| CN201006580Y (zh) | 切削加工冷却装置 | |
| CN201181695Y (zh) | 划片机真空稳压吸附装置 | |
| CN112963391A (zh) | 一种适用于砂轮划片机的气路控制系统 | |
| KR20010092422A (ko) | 다이싱 날에 대한 모니터링 장치 | |
| CN104626376A (zh) | 切削装置 | |
| CN110000940B (zh) | 切削装置 | |
| CN207303045U (zh) | 一种划片机非接触测高装置 | |
| KR20010104701A (ko) | 다이싱 날에 대한 모니터링 장치 | |
| CN113560495A (zh) | 一种冷冻砂型切削用低温气流随动辅助排砂装置及方法 | |
| CN102456625A (zh) | 异形晶片的激光切割制造方法 | |
| CN109986461A (zh) | 切削装置 | |
| JP2014003186A (ja) | 加工装置 | |
| CN112606234A (zh) | 划片机刀片监测装置及划片机 | |
| CN101332571A (zh) | 具备雾处理构造的机床 | |
| CN207900899U (zh) | 精密砂轮划片机搭载微型芯片吸盘 | |
| JP6301728B2 (ja) | 搬送装置 | |
| JPH02212045A (ja) | ブレード不良を検出する検出装置 | |
| KR20230021587A (ko) | 절삭 장치 | |
| CN112589675A (zh) | 一种划片机在线实时刀具磨损检测装置 | |
| CN220548495U (zh) | 刀轮切削校准装置及晶圆修边设备 | |
| CN211890349U (zh) | 封闭式抛光机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 110 000 No. 53 Buyunshan Road, Huanggu District, Shenyang City, Liaoning Province Applicant after: Shenyang Heyan Technology Co.,Ltd. Address before: 110 000 No. 53 Buyunshan Road, Huanggu District, Shenyang City, Liaoning Province Applicant before: SHENYANG HEYAN TECHNOLOGY CO.,LTD. |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210615 |