CN112897508A - 一种碳纳米梨状结构材料的制备方法 - Google Patents
一种碳纳米梨状结构材料的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112897508A CN112897508A CN202110264192.7A CN202110264192A CN112897508A CN 112897508 A CN112897508 A CN 112897508A CN 202110264192 A CN202110264192 A CN 202110264192A CN 112897508 A CN112897508 A CN 112897508A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pear
- carbon
- buffer gas
- growth promoter
- mixed solution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 86
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 78
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 25
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 50
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 27
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 239000007952 growth promoter Substances 0.000 claims abstract description 25
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 21
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 7
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N monobenzene Natural products C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 36
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 36
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical group C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 8
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 claims description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical group [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 claims description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 abstract description 26
- 239000007787 solid Substances 0.000 abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 3
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 37
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 12
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 8
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 8
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 4
- 238000003917 TEM image Methods 0.000 description 3
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 239000002717 carbon nanostructure Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000011540 sensing material Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000012983 electrochemical energy storage Methods 0.000 description 1
- 238000004146 energy storage Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000005087 graphitization Methods 0.000 description 1
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002102 nanobead Substances 0.000 description 1
- 239000002110 nanocone Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000011232 storage material Substances 0.000 description 1
- 239000010902 straw Substances 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
Abstract
本发明公开了一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,包括以下步骤:(1)制备镀有镍膜的硅基底放入石英舟,再放入CVD管式炉;(2)常温下,通入缓冲气体,去除CVD管式炉内空气;(3)在缓冲气体的气氛中,将CVD管式炉从室温快速升温至1080℃,再从1080℃升温至1100℃;(4)在缓冲气体气氛下,维持CVD管式炉在1100℃,同时通入经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体,在石英舟上沉积30‑50min;(5)仅通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体,CVD管式炉冷却至室温。本发明制备工艺简单,能耗低,产物纯度高可大规模生产,所制备的梨状的碳纳米材料具有纳米尺寸尖端、纳米尺寸根部以及实心内部,直接用来进行物理特性检测,运用到各种应用产品中。
Description
技术领域
本发明涉及功能性材料技术领域,具体为一种碳纳米梨状结构材料的制备方法。
背景技术
碳纳米材料是指分散相尺度至少有一维小于100nm的碳材料。分散相既可以由碳原子组成,也可以有非碳原子组成。文献最多报道的碳纳米材料是碳纳米管。自从日本的Iijima在1991年发现碳纳米管以来,由于其奇特的一维结构、物理、化学特性和潜在的应用前景,而一直备受世界各国物理化学界和材料学界的科学家的关注。碳纳米管是有单层或多层石墨片围绕中心轴按一定的螺旋角卷绕而成的中空、无缝的“微管”,每层由一个碳原子通过sp2杂化与周围3个碳原子完全键合后所构成的六边形组成的圆柱面。
碳纳米材料的应用研究主要涉及医疗传感材料(生物传感器等),能源储存材料(锂电池、超级电容器和其它的电化学能量储存等),能源转化材料(燃料电池等),环境检测及修复材料(应用于化学及物理传感材料、吸附材料等)。目前,碳纳米材料的主要合成方法有电弧法、化学气相沉积(CVD)法、固相热解法和激光法等。其中化学气相沉积(CVD)法不但制备方法简便,工艺条件容易控制,原料便宜,适合大规模生产等优点,所得的产品杂质含量低,石墨化程度高,所以成为制备碳纳米材料的主要方法。由于控制条件的不同,除通常的线性管状纳米碳管之外,也得到了许多其他形状的纳米碳管。由于独特的形貌,而具有特殊的性能。
其中梨状的碳纳米材料具有独特的纳米结构——纳米尺寸尖端、纳米尺寸根部以及实心内部。不同于纳米锥、纳米螺旋体、纳米串珠、纳米吸管等含有中空结构形状,展现出良好的力学性能,同时其特殊的梨状结构在复合材料中可改善物质的传热性能,吸附性能以及导电性能。梨状碳纳米材料比表面积较大,具有特殊的电子效应和表面活性,可作为催化剂载体展现出优异的催化性能,较大的改善催化剂的催化效率、稳定性和催化寿命,从而降低使用催化剂的成本。同时,相比较其它的纳米碳管,具有梨状结构的新型碳纳米结构,具有大的长径比、高比强度、良好导电导热性、良好化学稳定性等优点,是复合材料领域的增强相,可制备合成碳纳米管-聚合物复合材料、碳纳米管-金属复合材料、碳纳米管-陶瓷复合材料,可使复合材料表现出良好的强度、弹性、抗疲劳性及各向同性,给复合材料的性能带来极大的改善。
发明内容
本发明的目的是提供一种梨状的碳纳米材料的制备方法,具有设备简单,操作容易,能耗低,产物纯度高等优点。
为实现上述目的,本发明的技术方案如下:
一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,包括如下步骤:
(1)制备镀有镍膜的硅基底放入石英舟中,再将石英舟放入CVD管式炉内;
(2)常温下,通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体至CVD管式炉内,去除CVD管式炉内空气;
(3)将去除了空气的CVD管式炉在通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的气氛中,从室温快速升温至1080℃,升温时间38min内,再从1080℃升温至1100℃,升温时间2min内;
(4)维持CVD管式炉在1100℃和通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的气氛中,同时通入20-40sccm经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体,在石英舟上沉积30-50min碳纳米梨状结构材料;
(5)停止通入经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体,在通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的气氛中,将CVD管式炉从1100℃冷却至室温;
其中,碳源为含碳的有机分子,生长促进剂为含硫生长促进剂,缓冲气体为氢气,氩气、氮气中的一种或几种混合气体。
优选地,缓冲气体为高纯度氢气。
优选地,通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的流量为20-80sccm。
优选地,混合溶液中含碳的有机分子为苯,含硫生长促进剂为噻吩。
优选地,混合溶液中噻吩与苯的体积比为1:1000。
优选地,步骤(1)中利用磁控溅射法制备所述镀有镍膜的硅基底,制备步骤为:硅基底经过氢氟酸清洗后,放入乙醇中超声震荡清洗15min后,放入磁控溅射仪内,镍靶被固定在溅射室10W直流功率溅射源上,磁控溅射仪内样品台以20r/min运转,在550℃和20mTorr氩气的气氛下,制得镀有2.5nm厚镍薄膜的硅基底。
优选地,步骤(4)通入经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的流量为20sccm,在石英舟上沉积50min碳纳米梨状结构材料。
优选地,步骤(5)中CVD管式炉在2h内从1100℃冷却至室温。
本发明在气液固生长机理下催化化学气相沉积。金属镍膜作为催化剂充当碳原子的溶剂,苯气态分子与镍膜表面的碰撞生长,促进苯气态分子的分解,使镍膜内溶解的碳原子更易达到饱和,镍膜更易析出碳原子,碳原子聚集而形成碳纳米结构。苯气态分子靠近镍膜表面后产生较低雷诺数,此时苯气态分子流速较慢,造成苯气态分子与镍膜表面的大量碰撞,促进了苯气态分子分解。因此,在靠近镍膜表面有厚碳层,远离镍膜表面有薄碳层,从而形成梨状结构。在催化化学气相沉积中,镍膜表面会进行拉长形变,进一步促进梨状结构形成。
本发明具有以下有益的效果:
(1)本发明制备工艺简单,耗能低,产物纯度高可大规模生产;
(2)本发明所制备梨状的碳纳米材料具有纳米尺寸尖端、纳米尺寸根部以及实心内部等优点;
(3)本发明采用含硫化学物作为生长促进剂,可以提高碳纳米梨状结构材料的形成;
(4)本发明采用调节各种实验参数如生长时间、缓冲气体的流量等,能控制梨状碳纳米材料的生长;
(5)本发明得到的碳纳米梨状结构材料可以直接用来进行物理特性检测,并运用到各种应用产品中;
(6)本发明得到的碳纳米梨状结构材料制备合成碳纳米管-聚合物复合材料、碳纳米管-金属复合材料、碳纳米管-陶瓷复合材料,使复合材料表现出良好的强度、弹性、抗疲劳性及各向同性,给复合材料的性能带来极大的改善。
附图说明
图1为本发明制备梨状的碳纳米材料的实验装置结构示意图;
图2为实施例2制备的梨状的碳纳米材料的场发射扫描电镜图(SEM图);
图3为实施例2制备的梨状的碳纳米材料的透射电镜图(TEM图);
图4为实施例3制备的梨状的碳纳米材料的场发射扫描电镜图(SEM图);
图5为实施例4制备的梨状的碳纳米材料的场发射扫描电镜图(SEM图);
图6为实施例5制备的梨状的碳纳米材料的场发射扫描电镜图(SEM图)。
具体实施方式
为了进一步理解本发明,下面结合实施例对本发明提供的一种碳纳米梨状结构材料的制备方法及其制备方法和应用进行说明。
下面实施例中所述方法,如无特殊说明,均为常规方法;所述材料实际,如无特殊说明,均可从商业途径获得。
实施例1:
镀有镍膜的硅基底的制备:
用氢氟酸清洗硅基底后,放入乙醇中超声震荡清洗15min后,放入磁控溅射仪内,镍靶被固定在溅射室10W直流功率溅射源上,磁控溅射仪内样品台以20r/min运转,在550℃和20mTorr氩气的气氛下,获得镀有2.5nm厚镍薄膜的硅基底。
实施例2:
将制备的镀有镍膜的硅基底放入石英舟中,再将石英舟放入管式炉石英管中如图1的位置上。常温下,通入50sccm高纯度氢气至CVD管式炉内以去除炉内空气,2分钟后,整个CVD管式炉处于高纯度氢气氛围下。之后CVD管式炉从室温快速升温至1080℃,升温时间38min,再从1080℃升温至1100℃,升温时间2min,升温期间高纯度氢气流量调为80sccm。维持CVD管式炉温度在1100℃,将高纯度氢气流量调为50sccm,同时通入经过噻吩与苯体积比为1:1000的混合溶液的高纯度氢气20sccm,恒温沉积50min。之后停止通入经过混合溶液的高纯度氢气,将高纯度氢气调为20sccm,在2小时内将CVD管式炉从1100℃降温至室温。最后停止通入高纯度氢气,打开CVD管式炉炉管,取出石英舟,即可得到梨状的碳纳米材料。
所得的梨状的碳纳米材料的SEM图和TEM图为图2和图3。
实施例3:
将制备的镀有镍膜的硅基底放入石英舟中,再将石英舟放入管式炉石英管中如图1的位置上。常温下,通入50sccm高纯度氢气至CVD管式炉内以去除炉内空气,2分钟后,整个CVD管式炉处于高纯度氢气氛围下。之后CVD管式炉从室温快速升温至1080℃,升温时间38min,再从1080℃升温至1100℃,升温时间2min,升温期间高纯度氢气流量调为80sccm。维持CVD管式炉温度在1100℃,将高纯度氢气流量调为50sccm,同时通入经过苯溶液的高纯度氢气20sccm,恒温沉积50min。之后停止通入经过混合溶液的高纯度氢气,将高纯度氢气调为20sccm,在2小时内将CVD管式炉从1100℃降温至室温。最后停止通入高纯度氢气,打开CVD管式炉炉管,取出石英舟,即可得到梨状的碳纳米材料。
所得的梨状的碳纳米材料的SEM图为图4。
实施例4:
将制备的镀有镍膜的硅基底放入石英舟中,再将石英舟放入管式炉石英管中如图1的位置上。常温下,通入50sccm高纯度氢气至CVD管式炉内以去除炉内空气,2分钟后,整个CVD管式炉处于高纯度氢气氛围下。之后CVD管式炉从室温快速升温至1080℃,升温时间38min,再从1080℃升温至1100℃,升温时间2min,升温期间高纯度氢气流量调为80sccm。维持CVD管式炉温度在1100℃,将高纯度氢气流量调为50sccm,同时通入经过噻吩与苯体积比为1:1000的混合溶液的高纯度氢气20sccm,恒温沉积30min。之后停止通入经过混合溶液的高纯度氢气,将高纯度氢气调为20sccm,在2小时内将CVD管式炉从1100℃降温至室温。最后停止通入高纯度氢气,打开CVD管式炉炉管,取出石英舟,即可得到梨状的碳纳米材料。
所得的梨状的碳纳米材料的SEM图为图5。
实施例5:
将制备的镀有镍膜的硅基底放入石英舟中,再将石英舟放入管式炉石英管中如图1的位置上。常温下,通入50sccm高纯度氢气至CVD管式炉内以去除炉内空气,2分钟后,整个CVD管式炉处于高纯度氢气氛围下。之后CVD管式炉从室温快速升温至1080℃,升温时间38min,再从1080℃升温至1100℃,升温时间2min,升温期间高纯度氢气流量调为80sccm。维持CVD管式炉温度在1100℃,将高纯度氢气流量调为50sccm,同时通入经过噻吩与苯体积比为1:1000的混合溶液的高纯度氢气40sccm,恒温沉积50min。之后停止通入经过混合溶液的高纯度氢气,将高纯度氢气调为20sccm,在2小时内将CVD管式炉从1100℃降温至室温。最后停止通入高纯度氢气,打开CVD管式炉炉管,取出石英舟,即可得到梨状的碳纳米材料。
所得的梨状的碳纳米材料的SEM图为图6。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)制备镀有镍膜的硅基底放入石英舟中,再将石英舟放入CVD管式炉内;
(2)常温下,通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体至CVD管式炉内,去除CVD管式炉内空气;
(3)将去除了空气的CVD管式炉在通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的气氛中,从室温快速升温至1080℃,升温时间38min内,再从1080℃升温至1100℃,升温时间2min内;
(4)维持CVD管式炉在1100℃和通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的气氛中,同时通入20-40sccm经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体,在石英舟上沉积30-50min碳纳米梨状结构材料;
(5)停止通入经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体,在通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的气氛中,将CVD管式炉从1100℃冷却至室温;
其中,所述碳源为含碳的有机分子,所述生长促进剂为含硫生长促进剂,所述缓冲气体为氢气,氩气、氮气中的一种或几种混合气体。
2.根据权利要求1所述的一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,其特征在于,所述缓冲气体为高纯度氢气。
3.根据权利要求1所述的一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,其特征在于,所述通入未经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的流量为20-80sccm。
4.根据权利要求1所述的一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,其特征在于,所述含碳的有机分子为苯,所述含硫生长促进剂为噻吩。
5.根据权利要求4所述的一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,其特征在于,所述噻吩与所述苯的体积比为1:1000。
6.根据权利要求1所述的一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,其特征在于,步骤(1)中利用磁控溅射法制备所述镀有镍膜的硅基底,制备步骤为:硅基底经过氢氟酸清洗后,放入乙醇中超声震荡清洗15min后,放入磁控溅射仪内,镍靶被固定在溅射室10W直流功率溅射源上,磁控溅射仪内样品台以20r/min运转,在550℃和20mTorr氩气的气氛下,制得镀有2.5nm厚镍薄膜的硅基底。
7.根据权利要求1所述的一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,其特征在于,步骤(4)通入经过生长促进剂与碳源混合溶液的缓冲气体的流量为20sccm,在石英舟上沉积50min碳纳米梨状结构材料。
8.根据权利要求1所述的一种碳纳米梨状结构材料的制备方法,其特征在于,步骤(5)中CVD管式炉在2h内从1100℃冷却至室温。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110264192.7A CN112897508A (zh) | 2021-03-11 | 2021-03-11 | 一种碳纳米梨状结构材料的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110264192.7A CN112897508A (zh) | 2021-03-11 | 2021-03-11 | 一种碳纳米梨状结构材料的制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112897508A true CN112897508A (zh) | 2021-06-04 |
Family
ID=76104855
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110264192.7A Pending CN112897508A (zh) | 2021-03-11 | 2021-03-11 | 一种碳纳米梨状结构材料的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112897508A (zh) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070253889A1 (en) * | 2002-06-19 | 2007-11-01 | Yuji Awano | Carbon nanotubes, process for their production, and catalyst for production of carbon nanotubes |
US20080199696A1 (en) * | 2007-02-15 | 2008-08-21 | Hee-Yeon Kim | Carbon nano tube electrode formed by directly growing carbon nano tube on surface of carbon paper and supporting platinum-based nano catalyst on carbon nano tube using cvd method and manufacturing method thereof |
CN102704351A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-10-03 | 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 | 一种碳纳米管无纺布的制备方法 |
US20130203862A1 (en) * | 2010-06-07 | 2013-08-08 | Centre National De La Recherche Scientifique -Cnrs | Solutions of carbon nanohorns, method for maiking same and uses thereof |
CN104760946A (zh) * | 2015-03-20 | 2015-07-08 | 中国科学院金属研究所 | 一种混合气态碳源制备单壁碳纳米管纤维的方法 |
CN105347326A (zh) * | 2015-11-19 | 2016-02-24 | 南昌大学 | 一种碳纳米葫芦结构材料的制备方法 |
CN105645375A (zh) * | 2015-12-17 | 2016-06-08 | 天津工业大学 | 一种在纳米多孔铜上直接生长多孔碳纳米管的方法 |
WO2016092267A1 (en) * | 2014-12-09 | 2016-06-16 | University Of Surrey | Carbon nanotube |
-
2021
- 2021-03-11 CN CN202110264192.7A patent/CN112897508A/zh active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070253889A1 (en) * | 2002-06-19 | 2007-11-01 | Yuji Awano | Carbon nanotubes, process for their production, and catalyst for production of carbon nanotubes |
US20080199696A1 (en) * | 2007-02-15 | 2008-08-21 | Hee-Yeon Kim | Carbon nano tube electrode formed by directly growing carbon nano tube on surface of carbon paper and supporting platinum-based nano catalyst on carbon nano tube using cvd method and manufacturing method thereof |
US20130203862A1 (en) * | 2010-06-07 | 2013-08-08 | Centre National De La Recherche Scientifique -Cnrs | Solutions of carbon nanohorns, method for maiking same and uses thereof |
CN102704351A (zh) * | 2012-05-18 | 2012-10-03 | 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 | 一种碳纳米管无纺布的制备方法 |
WO2016092267A1 (en) * | 2014-12-09 | 2016-06-16 | University Of Surrey | Carbon nanotube |
CN104760946A (zh) * | 2015-03-20 | 2015-07-08 | 中国科学院金属研究所 | 一种混合气态碳源制备单壁碳纳米管纤维的方法 |
CN105347326A (zh) * | 2015-11-19 | 2016-02-24 | 南昌大学 | 一种碳纳米葫芦结构材料的制备方法 |
CN105645375A (zh) * | 2015-12-17 | 2016-06-08 | 天津工业大学 | 一种在纳米多孔铜上直接生长多孔碳纳米管的方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
WANG, CHEN ET AL: "Synthesis,characterization and growth mechanism of carbon nanopears", 《CHEMICAL PHYSICS》 * |
汪晨: "新型碳纳米结构材料的制备研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技Ⅰ辑》 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Wang et al. | Synthesis of carbon nanotubes by catalytic chemical vapor deposition | |
Shah et al. | Synthesis of carbon nanotubes by catalytic chemical vapour deposition: A review on carbon sources, catalysts and substrates | |
Mubarak et al. | An overview on methods for the production of carbon nanotubes | |
Teo et al. | Catalytic synthesis of carbon nanotubes and nanofibers | |
Endo et al. | Large-scale production of carbon nanotubes and their applications | |
Li et al. | Effect of temperature on growth and structure of carbon nanotubes by chemical vapor deposition | |
Endo et al. | Applications of carbon nanotubes in the twenty–first century | |
JP3363759B2 (ja) | カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法 | |
Hou et al. | Large-scale synthesis and characterization of helically coiled carbon nanotubes by use of Fe (CO) 5 as floating catalyst precursor | |
JP7303795B2 (ja) | グラフェンナノリボン、グラフェンナノプレートレット及びこれらの混合物並びに合成の方法 | |
Luo et al. | Solvothermal preparation of amorphous carbon nanotubes and Fe/C coaxial nanocables from sulfur, ferrocene, and benzene | |
WO2011016616A2 (ko) | 신규한 구조의 탄소계 나노복합체 및 이의 제조방법 | |
Zeng et al. | Synthesis and application of carbon nanotubes | |
Rümmeli et al. | Carbon nanotubes and related structures: production and formation | |
CN105645375A (zh) | 一种在纳米多孔铜上直接生长多孔碳纳米管的方法 | |
Mahanandia et al. | A one-step technique to prepare aligned arrays of carbon nanotubes | |
Rakhi | Preparation and properties of manipulated carbon nanotube composites and applications | |
CN110182788A (zh) | 一种高收率制备碳纳米管的装置及方法 | |
Xu et al. | Synthesis of multiwall carbon nanotubes via an inert atmosphere absent autogenetic-pressure method for supercapacitor | |
Wu et al. | One-step synthesis of hierarchical metal oxide nanosheet/carbon nanotube composites by chemical vapor deposition | |
Lin et al. | Self-assembling of multi-walled carbon nanotubes on a porous carbon surface by catalyst-free chemical vapor deposition | |
CN115057429A (zh) | 一种氮掺杂木质素基碳纳米管和生物炭联产的方法 | |
Jou et al. | Preparation of carbon nanotubes from vacuum pyrolysis of polycarbosilane | |
Sharma | Current Synthetic Methodologies of Carbon Nanotubes: A Review | |
Khatri et al. | Synthesis of single walled carbon nanotubes by ultrasonic spray pyrolysis method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210604 |