CN112880547B - 一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法 - Google Patents

一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112880547B
CN112880547B CN202110047481.1A CN202110047481A CN112880547B CN 112880547 B CN112880547 B CN 112880547B CN 202110047481 A CN202110047481 A CN 202110047481A CN 112880547 B CN112880547 B CN 112880547B
Authority
CN
China
Prior art keywords
micro
liquid metal
layer elastomer
channel
flow channel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202110047481.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112880547A (zh
Inventor
袁烨
邓礼楠
沈逸
樊耕麟
洪杨
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huazhong University of Science and Technology
Original Assignee
Huazhong University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Huazhong University of Science and Technology filed Critical Huazhong University of Science and Technology
Priority to CN202110047481.1A priority Critical patent/CN112880547B/zh
Publication of CN112880547A publication Critical patent/CN112880547A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112880547B publication Critical patent/CN112880547B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/16—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
    • G01B7/18—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in resistance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/38—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the material or the manufacturing process
    • B29C33/3842—Manufacturing moulds, e.g. shaping the mould surface by machining
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C64/00—Additive manufacturing, i.e. manufacturing of three-dimensional [3D] objects by additive deposition, additive agglomeration or additive layering, e.g. by 3D printing, stereolithography or selective laser sintering
    • B29C64/20—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
    • B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
    • B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges

Abstract

本发明公开了一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法，属于传感技术领域，触觉传感器，包括：上层弹性体、下层弹性体，所述上层弹性体和下层弹性体粘连形成微流道；其中，所述微流道包括2N段子微流道，相邻子微流道相通且垂直排布；液态金属，所述液态金属充满所述微流道；2N+1根导线，所述2N+1根导线从所述微流道两端和中间等间距引出，并连接到数据采集设备，以同时测量相互垂直的两个方向的应变。通过检测每段子微流道中液态金属的电压变化，得到所述触觉传感器自身的变形以及接触力的位置和大小。如此，本发明的触觉传感器能够实现精确地感知和控制。

Description

一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法
技术领域
本发明属于传感技术领域，更具体地，涉及一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法。
背景技术
触觉对于生物来说是不可或缺的一部分，是生物感知外界环境作用力的重要环节。同样，对于类生物体(如仿章鱼臂、仿人手等刚体或软体操纵器)来说，触觉传感器也是它们感知环境及自身状态，完成任务的必要组件。对于刚体操纵器，市场上存在大量技术成熟的应变与触觉传感器或传感器阵列，它们基于电阻/压阻、隧道效应、电容、光学、超声波、电磁或者压电效应等原理。
但是对于软体操纵臂来说，这些刚性传感器由于材质较硬、不易变形或者体积庞大等原因，难以集成到软体操纵器上，并且会破坏软体本身柔软的特性。此外，现有的软体触觉传感器，一方面原理复杂，测量装置笨重；另一方面测量参数单一，要么只测量应变要么只测量压力。因此，设计和制造能贴合软体操纵器的柔性应变与触觉传感器阵列仍存在巨大的挑战。
发明内容
针对现有技术的缺陷和改进需求，本发明提供了一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法，其目的在于解决软体机器人缺乏自身形状感知和触觉感应的技术问题。
为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种基于液态金属的触觉传感器，包括：
上层弹性体、下层弹性体，所述上层弹性体和下层弹性体粘连形成微流道；其中，所述微流道包括2N段子微流道，相邻子微流道相通且垂直排布；
液态金属，所述液态金属充满所述微流道；
2N+1根导线，所述2N+1根导线从所述微流道两端和中间等间距引出，并连接到数据采集设备，以同时测量相互垂直的两个方向的应变。
进一步地，通过检测每段子微流道中液态金属的电压变化，得到所述触觉传感器自身的变形以及接触力的位置和大小。
进一步地，所述上层弹性体和下层弹性体采用硅胶制作而成。
进一步地，所述液态金属为镓铟合金。
本发明另一方面提供了一种基于液态金属的触觉传感器阵列，包括多个独立的上述触觉传感器。
本发明另一方面提供了一种上述触觉传感器的制备方法，包括以下步骤：
(1)制作所述上层弹性体和下层弹性体的模具；
(2)将脱泡后的硅胶分别浇注在上层弹性体模具和下层弹性体模具中，固化成型后取出；
(3)另取脱泡后的硅胶均匀涂抹在下层弹性体表面，再将上层弹性体带有微流道的一面，均匀地盖在涂抹有硅胶的下层弹性体上，待固化粘连；
(4)将液态金属注入微流道中；
(5)将细导线埋入微流道的2N+1个出口，并用同质硅胶涂抹在接口处进行密封。
进一步地，步骤(4)包括：使用一个注射器将液态金属注入微流道中，使用另一个注射器从微流道的其他出口抽出空气，直至液态金属充满微流道。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案，能够取得以下有益效果：
本发明基于液态金属的触觉传感器，通过微流道在外部环境作用下产生形变，使液态金属的长度和截面发生变化，液态金属的电阻值发生变化，从而感知自身的变形以及接触力的位置和大小；同时，由于相邻子微流道相通且垂直排布，使得通过检测每段子微流道中液态金属的电压变化，能够测量相互垂直的两个方向的应变。如此，本发明的触觉传感器在保证软体操纵器顺应性的同时，可以快速获取接触时自身的局部形状变化、接触力大小等特征，从而实现精确地感知和控制。
附图说明
图1为本发明提供的基于液态金属的触觉传感器结构图；
图2为本发明提供的基于液态金属的触觉传感器阵列结构图；
图3-1和图3-2分别为本发明提供的触觉传感器感知应变前后的原理图；
图4-1和图4-2分别为本发明提供的触觉传感器感知压力前后的原理图；
图5为本发明提供的上层弹性体浇铸模具结构图；
图6为本发明提供的下层弹性体浇铸模具结构图；
在所有附图中，相同的附图标记用来表示相同的元件或者结构，其中：
101为数据采集设备，102为连接101的导线，103为电流源，104为连接103的导线，105为上层弹性体，106为液态金属，107为下层弹性体。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
人的触觉感知主要集中在皮肤，在人的皮肤中存在许多种类不一的接受器，这些接受器对外界刺激的放电性质是热释电和压电的，在皮肤接触物体发生变形后释放出电信号，通过脊髓丘脑束、脊柱-内侧丘系等神经纤维，最终传递到丘脑和主要感觉皮质，使人能感知接触物体的接触力、形状、粗糙度、滑移、温度、粘性、纹理、硬度以及弹性等特征。另外，人的动觉可以提供身体的姿态信息，比如头部、躯干和四肢的相对位置。触觉和动觉的配合使得人能和外界环境中的物体进行良好的互动。受到人类触觉感知的启发，本发明提供了一种基于液态金属的触觉传感器，该传感器在保证软体操纵器顺应性的同时，可以快速获取接触时自身的局部形状变化、接触力大小等特征，从而实现精确的感知和控制。
参阅图1，本发明提供的基于液态金属的触觉传感器，包括：
上层弹性体105、下层弹性体107，上层弹性体105和下层弹性体107粘连形成微流道；其中，所述微流道包括2N段子微流道，相邻子微流道相通且垂直排布；
液态金属106，所述液态金属106充满所述微流道；
2N+1根导线102，2N+1根导线102从所述微流道两端和中间等间距引出，并连接到数据采集设备101，以同时测量相互垂直的两个方向的应变。
具体的，如图1所示，N＝2，整个微流道可以分为4段子微流道，相邻子微流道相通且垂直排布。需要说明的是，每一段子微流道长宽高均相同；并且每一段子微流道中可以是一条流道，也可以是多条平行的流道，在弯曲段的流道尺寸可以忽略不计。
在实际应用中，将下层弹性体107粘贴在软体机器人表面，电流源103通过导线104，给上层弹性体105的微流道中的液态金属106提供恒定电流，DAQ数据采集设备101通过导线102采集到液态金属106不同段的电压，通过差分得到不同段液态金属的电压值。在软体机器人变形运动或者与外界环境接触时，DAQ数据采集设备101测得的电压值发生变化，通过计算电压变化与应变或者压力的关系，可以得到软体机器人自身的局部形状或者接触压力。如图2所示，使用这种方法可以将N*M个传感器粘贴在软体机器人表面，组成柔性传感器阵列，实现软体机器人的自身形状感知和接触压力感应。
如图3-1和图3-2所示，分别为本发明提供的触觉传感器感知应变前后的原理图。液态金属充满在带有微流道的上层弹性体和下层弹性体中，微流道的宽度为w，高度为h，长度为L，液态金属的电阻率为ρ。在微流道两侧引出两根导线，连接到电流源，由电流源提供恒定电流，电流大小为I，在微流道的两端和中间等间距引出五根导线，连接到DAQ数据采集设备，由DAQ数据采集设备依次采集微流道中等间距的液态金属的电压值。假设每两根线之间的微流道长度为L，那么两根线之间的液态金属的电阻R为：
Figure BDA0002897891330000051
在自身变形或者外力作用下，上层弹性体和下层弹性体发生伸长，导致伸长方向的两段微流道中的液态金属变长变细，图3-1中301和图3-2中302分别为变形前后的微流道截面。令ΔL为微流道长度变化量，Δw为微流道宽度变化量，Δh为微流道高度变化量，弹性体的泊松比为υ，应变
Figure BDA0002897891330000052
弹性体变形前后液态金属的电阻变化ΔR为：
Figure BDA0002897891330000053
在电流源作用下，该段液态金属的电压变化ΔU为：
Figure BDA0002897891330000054
于是，得到了电压变化ΔU和应变∈的关系式，通过测量电压变化ΔU，可以测量出弹性体应变∈。液态金属四段中每两段交叉同向布置，同向的两段液态金属只对同向的应变敏感，因此，四段液态金属可同时测量两个方向的应变。
如图4-1和图4-2所示，分别为本发明提供的触觉传感器感知压力前后的原理图。上层弹性体的上表面接触到外界物体时，在外部压力作用下发生变形，图4-1中401和图4-2中402为变形前后的微流道截面。令E为上层弹性体的弹性模量，外部压力大小为p，则弹性体变形前后液态金属的电阻变化ΔR为：
Figure BDA0002897891330000061
在电流源作用下，该段液态金属的电压变化ΔU为：
Figure BDA0002897891330000062
于是，得到了电压变化ΔU和外部压力p的关系式，通过测量电压变化，可以测量出作用在上层弹性体上表面的外部压力p。液态金属的四段可以同时测量外部压力p，通过四段液态金属的电压变化差异可以知道外部压力的位置。
本发明实施例还提供了一种基于液态金属的触觉传感器的制备方法，本发明中的柔性应变与触觉传感器主要由3D打印的模具浇铸形成。为保证传感器的与生物体接触时的柔顺性，这里带有微流道的弹性体主要采用邵氏05D的硅胶制作而成，液态金属采用镓铟合金。
带有微流道的弹性体的制造采用先分层制作，后粘合两层的方法。
第一步，利用三维设计软件设计上层弹性体和下层弹性体的模具，并使用3D打印机打印模具，图5为上层弹性体的模具结构图，图6为下层弹性体的模具结构图；
第二步，将硅胶AB两种成分等体积混合，搅拌均匀之后放入真空室进行脱泡处理，将脱泡后的硅胶分别浇注在上层弹性体模具和下层弹性体模具中，在恒温箱60℃恒温放置20min，固化成型后取出；
第三步，将同样的硅胶AB两种成分等体积混合，均匀搅拌之后脱泡处理，然后均匀涂抹在下层弹性体表面，再将上层弹性体带有微流道的一面，均匀的盖在涂抹有硅胶的下层弹性体上，室温放置1h后固化粘连；
第四步，使用一个注射器将液态金属注入弹性体的微流道中，使用另一个注射器从微流道的其他出口抽出空气，直至液态金属充满微流道；
第五步，使用针头将细导线埋入微流道的五个出口，并用同质硅胶涂抹在接口处进行密封，至此柔性应变与触觉传感器制作完成。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种基于液态金属的触觉传感器，其特征在于，包括：
上层弹性体、下层弹性体，所述上层弹性体和下层弹性体粘连形成微流道；其中，所述微流道包括2N段子微流道，相邻子微流道相通且垂直排布；
液态金属，所述液态金属充满所述微流道；
2N+1根导线，所述2N+1根导线从所述微流道两端和中间等间距引出，并连接到数据采集设备，以同时测量相互垂直的两个方向的应变；
通过检测每段子微流道中液态金属的电压变化，得到所述触觉传感器自身的变形以及接触力的位置和大小。
2.如权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，所述上层弹性体和下层弹性体采用硅胶制作而成。
3.如权利要求1所述的触觉传感器，其特征在于，所述液态金属为镓铟合金。
4.一种基于液态金属的触觉传感器阵列，其特征在于，包括多个独立的如权利要求1至3任一项所述的触觉传感器。
5.一种如权利要求1至3任一项所述的触觉传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)制作所述上层弹性体和下层弹性体的模具；
(2)将脱泡后的硅胶分别浇注在上层弹性体模具和下层弹性体模具中，固化成型后取出；
(3)另取脱泡后的硅胶均匀涂抹在下层弹性体表面，再将上层弹性体带有微流道的一面，均匀地盖在涂抹有硅胶的下层弹性体上，待固化粘连；
(4)将液态金属注入微流道中；
(5)将细导线埋入微流道的2N+1个出口，并用同质硅胶涂抹在接口处进行密封。
6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤(4)包括：使用一个注射器将液态金属注入微流道中，使用另一个注射器从微流道的其他出口抽出空气，直至液态金属充满微流道。
CN202110047481.1A 2021-01-14 2021-01-14 一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法 Active CN112880547B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110047481.1A CN112880547B (zh) 2021-01-14 2021-01-14 一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110047481.1A CN112880547B (zh) 2021-01-14 2021-01-14 一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112880547A CN112880547A (zh) 2021-06-01
CN112880547B true CN112880547B (zh) 2022-05-20

Family

ID=76048059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110047481.1A Active CN112880547B (zh) 2021-01-14 2021-01-14 一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112880547B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114623796B (zh) * 2022-02-18 2023-12-22 东南大学 液态金属基整手应变传感器及其制备方法
CN114623958B (zh) * 2022-02-25 2023-06-20 武汉大学 一种基于电极阵列的柔性触觉传感器及其制备方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05273229A (ja) * 1992-03-25 1993-10-22 Fuji Electric Co Ltd 半導体加速度センサ
CN102928137A (zh) * 2012-11-14 2013-02-13 合肥工业大学 人工皮肤用四叉指电极式三维力触觉传感器
CN105675174A (zh) * 2016-01-26 2016-06-15 重庆大学 一种基于液态金属天线的单向应力传感器和该传感器制备方法
CN110966913A (zh) * 2019-12-12 2020-04-07 西安电子科技大学 基于液态金属的柔性大应变传感器及其制备方法
CN111551294A (zh) * 2020-05-21 2020-08-18 浙江大学 一种基于液态金属光固化打印技术的柔性压力传感器

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104406627B (zh) * 2014-11-11 2017-01-25 浙江大学 假肢手穿戴式柔性触觉传感器及其触觉检测系统
CN111609955A (zh) * 2020-05-21 2020-09-01 浙江大学 一种柔性触觉传感器阵列及其制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05273229A (ja) * 1992-03-25 1993-10-22 Fuji Electric Co Ltd 半導体加速度センサ
CN102928137A (zh) * 2012-11-14 2013-02-13 合肥工业大学 人工皮肤用四叉指电极式三维力触觉传感器
CN105675174A (zh) * 2016-01-26 2016-06-15 重庆大学 一种基于液态金属天线的单向应力传感器和该传感器制备方法
CN110966913A (zh) * 2019-12-12 2020-04-07 西安电子科技大学 基于液态金属的柔性大应变传感器及其制备方法
CN111551294A (zh) * 2020-05-21 2020-08-18 浙江大学 一种基于液态金属光固化打印技术的柔性压力传感器

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《Ultrafast, sensitive and visual sensing of copper ions by a dual-fluorescent film based on quantum dots》;Ting Han等;《The Royal Society of Chemistry》;20191231;全文 *
《Wearable strain sensor suit for infants to measure limb movements under interaction with caregiver》;Shinya Fujii，等;《Infant Behavior and Development》;20200111;全文 *
《基于MEMS电阻式压力传感器的设计》;杜志，等;《仪表技术与传感器》;20190630;全文 *
《用于人体下肢运动测量的柔性传感器研究》;杨露叶;《中国优秀硕士学位论文全文数据库》;20200115;全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN112880547A (zh) 2021-06-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112880547B (zh) 一种基于液态金属的触觉传感器、阵列及其制备方法
US8316719B2 (en) Stretchable two-dimensional pressure sensor
Park et al. Design and fabrication of soft artificial skin using embedded microchannels and liquid conductors
Truby et al. Soft robotic fingers with embedded ionogel sensors and discrete actuation modes for somatosensitive manipulation
CN111947813B (zh) 一种基于波纹管微结构的全柔性电容式三维力触觉传感器
CN108151949A (zh) 一种柔性电子压力传感装置及其制备方法
CN101512311B (zh) 用于曲面的触觉传感器及其制备方法
CN111551291B (zh) 液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器
CN111609953B (zh) 一种基于球曲面电极的全柔性电容式三维力触觉传感器
CN111751038B (zh) 基于仿生蘑菇结构的高灵敏度电容式柔性三维力触觉传感器
CN106197773A (zh) 一种柔性指尖压力传感器及其制作方法
CN106441073A (zh) 一种用于大变形和触觉压力测量的介电柔性传感器
Pei et al. A fully 3D printed electronic skin with bionic high resolution and air permeable porous structure
CN110763378A (zh) 一种可穿戴式柔性触觉力传感器
CN112857630B (zh) 一种软体机器人手的三维凸面柔性触觉传感器及制造方法
KR20160044683A (ko) 생체모방 다중감각 피부센서
CN109278050A (zh) 自主感知的柔性机器人及其应用
Kim et al. A soft three-axis load cell using liquid-filled three-dimensional microchannels in a highly deformable elastomer
CN113237420B (zh) 一种高灵敏度柔性电阻式应变传感器及其制备方法
Li et al. Assemblies of microfluidic channels and micropillars facilitate sensitive and compliant tactile sensing
Chen et al. Matrix-addressed flexible capacitive pressure sensor with suppressed crosstalk for artificial electronic skin
Wang et al. A flexible tactile sensor with dual-interlocked structure for broad range force sensing and gaming applications
CN111473904A (zh) 一体式柔性三维力触觉传感器及其制作方法
Chen et al. Recognition of contact force and position of a flexible array-less capacitive tactile sensor
Liu et al. A novel intrinsically strain sensor for large strain detection

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant