CN112879687B - 隔离挡板的检漏连接头及检漏方法 - Google Patents

Abstract

本公开提供了一种隔离挡板的检漏连接头及检漏方法，属于金属有机化合物化学气相沉淀设备领域。所述检漏连接头包括：安装端子和接头端子，所述安装端子包括安装主体，所述安装主体上设有第一连接部以及用于套装在隔离挡板的冷却液管上的安装部，所述接头端子包括接头主体，所述接头主体上设有第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部可拆卸连接以使所述接头端子套装在所述冷却液管的管口上，所述接头主体上还设有用于将所述冷却液管的管口与检漏仪密封连通的接头部。本公开能够检测Shutter上是否存在漏点。

Description

隔离挡板的检漏连接头及检漏方法

技术领域

本公开涉及金属有机化合物化学气相沉淀设备领域，特别涉及一种隔离挡板的检漏连接头及检漏方法。

背景技术

LED(Light Emitting Diode，发光二极管)具有高效节能、绿色环保的优点，在交通指示，户外全色显示等领域有着广泛的应用。尤其是利用大功率LED可实现半导体固态照明，有望成为新一代光源进入千家万户，引起人类照明史的革命。

目前，一般采用MOCVD(Metal-organic Chemical Vapor Deposition，金属有机化合物化学气相沉淀)设备制备LED外延片。因为设备、工艺、生产等异常因素会导致在MOCVD设备生长的外延片的生长质量达不到标准要求。以MOCVD设备的反应腔内的Shutter(隔离挡板)为例，Shutter在长时间使用后，在Shutter内部的冷却液通道内循环的冷却水的水质会由弱碱性逐步变成酸性，酸性冷却水将对Shutter造成腐蚀而出现漏点，Shutter从漏点泄漏冷却水将影响外延片的生长质量，导致外延片的生长质量达不到标准要求而报废。

发明内容

本公开实施例提供了一种隔离挡板的检漏连接头及检漏方法，能够检测Shutter上是否存在漏点。所述技术方案如下：

一方面，提供了一种隔离挡板的检漏连接头，所述检漏连接头包括：安装端子和接头端子，

所述安装端子包括安装主体，所述安装主体上设有第一连接部以及用于套装在隔离挡板的冷却液管上的安装部，

所述接头端子包括接头主体，所述接头主体上设有第二连接部，所述第一连接部与所述第二连接部可拆卸连接以使所述接头端子套装在所述冷却液管的管口上，所述接头主体上还设有用于将所述冷却液管的管口与检漏仪密封连通的接头部。

可选地，所述安装部包括设置在所述安装主体上的安装块，所述安装块上设有安装孔，所述安装孔的内壁设有用于与所述冷却液管的外螺纹相匹配的内螺纹。

可选地，所述安装块的横截面为直边椭圆形。

可选地，所述第一连接部包括设置在所述安装主体上的套筒，所述套筒的一端与所述安装孔的一端连通以套设在所述冷却液管上，所述套筒的内孔的轴线与所述安装孔的轴线重合，所述套筒的外周壁设有外螺纹。

可选地，所述第二连接部包括设置在所述接头主体上的连接块，所述连接块上设有可套设在所述冷却液管上的连接孔，所述连接孔的内壁设有与所述套筒的外周壁上的外螺纹相匹配的内螺纹。

可选地，所述连接块在所述连接孔的另一端的周壁上设有下陷台阶。

可选地，所述接头部包括设置在所述接头主体上的圆筒，所述圆筒的内孔与所述冷却液管的管口相匹配，所述圆筒的内孔的一端与所述连接孔的一端连通，所述圆筒的内孔的轴线与所述连接孔的轴线重合，所述圆筒的内孔的另一端的外周壁上设有连接法兰。

可选地，所述检漏连接头还包括密封圈，所述密封圈设置在所述套筒的端面上且与所述连接孔的内壁接触。

可选地，所述套筒的另一端在所述套筒的内孔内壁沿轴线方向设有用于安装所述密封圈的凸环。

另一方面，提供了一种隔离挡板的检漏方法，所述检漏方法包括：

提供检漏仪和两个检漏连接头，所述检漏连接头为前述检漏连接头；

将所述两个检漏连接头分别安装在待测隔离挡板的两根冷却液管的管口；

将其中一个检漏连接头的接头部与所述检漏仪相连，将另一个检漏连接头的接头部密封；

启动所述检漏仪，对所述待测隔离挡板进行检漏。

本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

通过隔离挡板的检漏连接头包括安装端子和接头端子；安装端子包括安装主体，安装主体上设有第一连接部以及用于套装在隔离挡板的冷却液管上的安装部；通过安装端子的安装部，检漏连接头可以套装在冷却液管上；接头端子包括接头主体，接头主体上设有第二连接部，第一连接部与第二连接部可拆卸连接以使接头端子套装在冷却液管的管口上，接头主体上还设有用于将冷却液管的管口与检漏仪密封连通的接头部；检漏仪能够通过接头部与冷却液管连通，从而检测Shutter上是否存在漏点，能够及时发现Shutter问题，实现对Shutter从根本上判断异常，减少对于因为硬件异常而导致外延片的报废问题。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本公开实施例提供的隔离挡板的结构示意图；

图2是本公开实施例提供的一种隔离挡板的检漏连接头的爆炸图；

图3和图4是本公开实施例提供的安装端子的结构示意图；

图5是图4的A-A剖视图；

图6是本公开实施例提供的接头端子的结构示意图；

图7是图6的A-A剖视图；

图8是本公开实施例提供的接头端子的结构示意图；

图9和图10是本公开实施例提供的密封圈的结构示意图；

图11是本公开实施例提供的一种隔离挡板的检漏方法的流程图；

图12是本公开实施例提供的检漏连接头与隔离挡板的装配示意图。

附图中，各零部件的标号如下：

8隔离挡板，

81环形板体，

82冷却液管，

10检漏连接头，

1安装端子，

11安装主体，

12第一连接部，

121套筒，

122凸环，

13安装部，

131安装块，

132安装孔，

2接头端子，

21接头主体，

22第二连接部，

221连接块，

222连接孔，

223下陷台阶，

23接头部，

231圆筒，

232连接法兰，

3密封圈。

具体实施方式

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开实施方式作进一步地详细描述。

为便于理解本公开实施例提供的技术方案，首先对Shutter的结构进行介绍。

图1是本公开实施例提供的隔离挡板的结构示意图。参见图1，该隔离挡板8包括环形板体81和两根冷却液管82。

两根冷却液管82中每根冷却液管82的一端连在环形板体81上，并且，两根冷却液管82所在平面与环形板体81的纵截面重合。环形板体81的内部设有冷却液通道(图未示出)，冷却液通道分别与两根冷却液管82连通。

一根冷却液管82通入冷却液(如水)，冷却液流入冷却液通道，再从另一根冷却液管82排出。

冷却液管82除了注入和排出冷却液外，还用于在驱动源的驱动下升降，以带动隔离板体升降。冷却液管82的外壁上靠近管口的位置设有外螺纹，冷却液管82通过外螺纹与驱动源连接。

Shutter安装在MOCVD设备的反应腔内，主要通过冷热交换设备(chiller/TCU)，在高温段(如1100℃～1300℃)通过Shutter内部自身冷却液通道对MOCVD设备的反应腔体进行水冷冷却，防止高温，同时保证LED外延薄膜层在对应温度下生长，最终形成GaN/AlN外延产品。

但在周期性使用中，Shutter本身性能会发生变化，如冷却液通道内循环的冷却水的水质会由弱碱性逐步变成酸性，酸性冷却水将对Shutter造成腐蚀，那么Shutter可能在使用过程中存在漏水，漏气现象，这个情况会导致外延片在性能上存在PI/PD偏多，导致无法投料，同时会导致整炉外延片异常，雾片的情况。如果周期使用中能够实现Shutter的检漏，能够很大程度的避免此类情况的发生，减少因为硬件异常导致的报废外延片问题，实现对Shutter问题根本上的解决和管理。基于此，本公开实施例提供了一种隔离挡板8的检漏连接头10及检漏方法，能够实现对Shutter的检漏，及时发现Shutter上的漏点。

图2是本公开实施例提供的一种隔离挡板的检漏连接头的爆炸图，参见图2，该检漏连接头10包括：安装端子1和接头端子2。

安装端子1包括安装主体11，安装主体11上设有第一连接部12以及用于套装在隔离挡板8的冷却液管82上的安装部13。

接头端子2包括接头主体21，接头主体21上设有第二连接部22，第一连接部12与第二连接部22可拆卸连接以使接头端子2套装在冷却液管82的管口上，接头主体21上还设有用于将冷却液管82的管口与检漏仪密封连通的接头部23。

本公开实施例中，通过隔离挡板8的检漏连接头10包括安装端子1和接头端子2；安装端子1包括安装主体11，安装主体11上设有第一连接部12以及用于套装在隔离挡板8的冷却液管82上的安装部13；通过安装端子1的安装部13，检漏连接头10可以套装在冷却液管82上；接头端子2包括接头主体21，接头主体21上设有第二连接部22，第一连接部12与第二连接部22可拆卸连接以使接头端子2套装在冷却液管82的管口上，接头主体21上还设有用于将冷却液管82的管口与检漏仪密封连通的接头部23；检漏仪能够通过接头部23与冷却液管82连通，从而检测Shutter上是否存在漏点，能够及时发现Shutter问题，实现对Shutter从根本上判断异常，减少对于因为硬件异常而导致外延片的报废问题。

下面详细介绍一下该检漏连接头10的结构。

图3-图5是本公开实施例提供的安装端子的结构示意图。

示例性地，参见图3-图5，安装端子1中，安装部13包括设置在安装主体11上的安装块131，安装块131上设有安装孔132，安装孔132的内壁设有用于与冷却液管82的外螺纹相匹配的内螺纹。

如前述，冷却液管82的外壁设有外螺纹，本公开实施例利用该外螺纹设计了检漏连接头10。通过安装块131上设有安装孔132，安装端子1可以套装到冷却液管82上；由于安装孔132的内壁设有的内螺纹能够与冷却液管82的外螺纹螺纹连接，从而将安装端子1可拆卸地安装在冷却液管82上。

示例性地，安装块131的横截面为直边椭圆形。

当安装块131的横截面为直边椭圆形时，安装块131具有四条侧边，分别是两条直边和两条弧形边。两条直边可以作为扳手等安装和拆卸工具夹持的位置，方便采用扳手等安装和拆卸工具将安装端子1安装到冷却液管82或者将安装端子1从冷却液管82上拆卸下来。

可选地，安装孔132设置在安装块131的中心位置。

示例性地，第一连接部12包括设置在安装主体11上的套筒121，套筒121的一端与安装孔132的一端连通以套设在冷却液管82上，套筒121的内孔的轴线与安装孔132的轴线重合，套筒121的外周壁设有外螺纹。

套筒121用于连接安装端子1和接头端子2。

通过套筒121的一端与安装孔132的一端连通，套筒121的内孔的轴线与安装孔132的轴线重合，套筒121可以套设在冷却液管82上。套筒121外周壁上的外螺纹用于连接接头端子2。

可选地，套筒121的外径小于安装块131的宽度。

示例性地，安装块131的长为35mm。

可选地，安装端子1中，安装块131的外径为φ65mm，高为48mm。

图6-图8是本公开实施例提供的接头端子的结构示意图。

示例性地，参见图6-图8，第二连接部22包括设置在接头主体21上的连接块221，连接块221上设有可套设在冷却液管82上的连接孔222，连接孔222的内壁设有与套筒121的外周壁上的外螺纹相匹配的内螺纹。

通过套筒121外周壁上的外螺纹和连接孔222的内壁设有的内螺纹相匹配，连接块221可以与套筒121螺纹连接，连接块221套装在套筒121上。安装端子1与接头端子2的连接方式为螺纹连接，在安装与拆卸时都较为方便。

可选地，套筒121外周壁上的外螺纹和连接孔222的内壁设有的内螺纹，满足上下器件衔接，设计尺寸为M48*3，螺纹总高为23mm～24mm。

示例性地，连接块221在连接孔222的另一端的周壁上设有下陷台阶223。

下陷台阶223可以作为扳手等安装和拆卸工具夹持的位置，方便采用扳手等安装和拆卸工具将接头端子2安装到安装端子1或者将接头端子2从安装端子1上拆卸下来。

可选地，连接块221为圆柱体。

相应地，下陷台阶223的数量为多个，如4个，多个下陷台阶223等间距地间隔分布在连接孔222的另一端的周壁上。

可选地，连接块221的外径为φ65mm，下陷台阶223的宽度为5mm。

示例性地，接头部23包括设置在接头主体21上的圆筒231，圆筒231的内孔与冷却液管82的管口相匹配，圆筒231的内孔的一端与连接孔222的一端连通，圆筒231的内孔的轴线与连接孔222的轴线重合，圆筒231的内孔的另一端的外周壁上设有连接法兰232。

圆筒231用于套装在冷却液管82的管口上，圆筒231作为冷却液管82的“延长管”。

连接法兰232与检漏仪相匹配，用于与检漏仪连接。

可选地，圆筒231的内孔的内径与冷却液管82的管口的内径相同。由于连接孔222内可以套装在套筒121上，套筒121内插装冷却液管82，那么，圆筒231的内孔内径远远小于连接孔222的内径，圆筒231的内孔与连接孔222可以形成阶梯轴孔。这时，在圆筒231的内孔与连接孔222的连接处，圆筒231的端面形成连接孔222的端盖。这样的结构能够起到一定的密封作用。

可选地，连接法兰232的规格可以是KF25(φ40mm)。

可选地，接头端子的高度为100～110mm。

示例性地，参见图2，检漏连接头10还包括密封圈3，密封圈3设置在套筒121的端面上且与连接孔222的内壁接触。

当圆筒231的内孔与连接孔222形成阶梯轴孔时，密封圈3将夹设在套筒121的端面于圆筒231的端面之间，从而密闭圆筒231的内孔与连接孔222连接处的空间。

图9和图10是本公开实施例提供的密封圈的结构示意图。参见9和图10，密封圈3可以是O型密封圈3，密封圈3可以为扁平状。

可选地，密封圈3为实心结构。

示例性地，参见图3，套筒121的另一端在套筒121的内孔内壁沿轴线方向设有用于安装密封圈3的凸环122。

密封圈3套设在凸环122上，这样，凸环122可以确保密封圈3位于连接孔222的中心位置。

凸环122的内径为φ30mm，高为1.3mm。

可选地，检漏连接头10中各零部件的材质可以是黄铜。

在制作检漏连接头10时，先单独制备安装端子1、接头端子2和密封圈3，安装端子1、接头端子2和密封圈3均可以一体成型；再将安装端子1、接头端子2和密封圈3装配起来。

在装配检漏连接头10时，首先，将密封圈3套装在安装端子1中套筒121的凸环122上；其次，将接头端子2中连接块221套装到安装端子1中套筒121上，可以采用扳手夹持连接块221上的下陷台阶223并用力拧紧连接块221与套筒121，完成装配。

示例性地，装配后的检漏连接头10，内径尺寸为φ14～φ15.8mm，外径φ20～φ21mm，能够横穿冷却液管。

可选地，操作不同shutter型号时，对于shutter的冷却液管的尺寸在＜φ15.8mm时都可以用此类新型检漏器件进行检漏。

本实施例中，shutter的检漏连接头符合shutter检漏功能，能够满足对于shutter性能及水路漏点判断，满足当前工艺生长要求，满足设备要求，从而提高稳定性，减少工艺异常炉次，减少产出报废率，提高稼动率。

图11是本公开实施例提供的一种隔离挡板的检漏方法的流程图，参见图11，该检漏方法流程包括如下步骤。

步骤101、提供检漏仪和两个检漏连接头。

步骤102、将两个检漏连接头分别安装在待测隔离挡板的两个冷却液管的管口。

步骤103、将其中一个检漏连接头的接头部与检漏仪相连，将另一个检漏连接头的接头部密封。

步骤104、启动检漏仪，对待测隔离挡板进行检漏。

下面对各个步骤进行详细介绍。

步骤101中，提供的检漏仪可以是氦气检漏仪。

示例性地，该检漏连接头包括：安装端子和接头端子。安装端子包括安装主体，安装主体上设有第一连接部以及用于套装在隔离挡板的冷却液管上的安装部。接头端子包括接头主体，接头主体上设有第二连接部，第一连接部与第二连接部可拆卸连接以使接头端子套装在冷却液管的管口上，接头主体上还设有用于将冷却液管的管口与检漏仪密封连通的接头部。

检漏连接头可以为图2示出的检漏连接头。检漏连接头的结构如前述，在此不再赘述。

步骤102中，将一个检漏连接头安装到一根冷却液管的管口，将另一个检漏连接头安装到另一根冷却液管的管口。

图12是本公开实施例提供的检漏连接头与隔离挡板的装配示意图。参见图12，冷却液管的管口完全位于接头部的圆筒的内孔内部。在装配时，可以用扳手夹持检漏连接头中安装端子的安装块的直边，将检漏连接头套设到冷却液管上，然后拧紧安装块，使得安装块与冷却液管牢固连接在一起。

步骤103中，将其中一个检漏连接头的接头部与检漏仪的接口相连。

可以采用端盖或塞子将另一个检漏连接头的接头部密封。

步骤104中，可以采用氦气检漏仪的工作原理对待测隔离挡板进行检漏。

本公开实施例中，通过隔离挡板的检漏连接头包括安装端子和接头端子；安装端子包括安装主体，安装主体上设有第一连接部以及用于套装在隔离挡板的冷却液管上的安装部；通过安装端子的安装部，检漏连接头可以套装在冷却液管上；接头端子包括接头主体，接头主体上设有第二连接部，第一连接部与第二连接部可拆卸连接以使接头端子套装在冷却液管的管口上，接头主体上还设有用于将冷却液管的管口与检漏仪密封连通的接头部；检漏仪能够通过接头部与冷却液管连通，从而检测Shutter上是否存在漏点，能够及时发现Shutter问题，实现对Shutter从根本上判断异常，减少对于因为硬件异常而导致外延片的报废问题。

以上所述仅为本公开的可选实施例，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种隔离挡板的检漏连接头，其特征在于，所述检漏连接头（10）包括：安装端子（1）、接头端子（2）和密封圈（3），

所述安装端子（1）包括安装主体（11），所述安装主体（11）上设有第一连接部（12）以及用于套装在隔离挡板（8）的冷却液管（82）上的安装部（13），所述第一连接部（12）包括设置在所述安装主体（11）上的套筒（121），所述安装部（13）包括设置在所述安装主体（11）上的安装块（131），所述安装块（131）上设有安装孔（132），所述安装孔（132）的内壁设有用于与所述冷却液管（82）的外螺纹相匹配的内螺纹，所述套筒（121）的一端与所述安装孔（132）的一端连通以套设在所述冷却液管（82）上，

所述接头端子（2）包括接头主体（21），所述接头主体（21）上设有第二连接部（22），所述第一连接部（12）与所述第二连接部（22）可拆卸连接以使所述接头端子（2）套装在所述冷却液管（82）的管口上，所述第二连接部（22）包括设置在所述接头主体（21）上的连接块（221），所述连接块（221）上设有可套设在所述冷却液管（82）上的连接孔（222），所述连接孔（222）的内壁设有与所述套筒（121）的外周壁上的外螺纹相匹配的内螺纹，所述接头主体（21）上还设有接头部（23），所述接头部（23）用于与检漏仪相连，或用于被端盖或塞子密封，所述接头部（23）包括设置在所述接头主体（21）上的圆筒（231），所述圆筒（231）的内孔与所述冷却液管（82）的管口相匹配，所述圆筒（231）的内孔的一端与所述连接孔（222）的一端连通，

所述检漏连接头（10）与所述冷却液管（82）相连时，所述冷却液管（82）的管口位于所述圆筒（231）的内孔内，

所述密封圈（3）设置在所述套筒（121）的端面上且与所述连接孔（222）的内壁接触。

2.根据权利要求1所述的检漏连接头，其特征在于，所述安装块（131）的横截面为直边椭圆形。

3.根据权利要求2所述的检漏连接头，其特征在于，所述套筒（121）的内孔的轴线与所述安装孔（132）的轴线重合，所述套筒（121）的外周壁设有外螺纹。

4.根据权利要求1所述的检漏连接头，其特征在于，所述连接块（221）在所述连接孔（222）的另一端的周壁上设有下陷台阶（223）。

5.根据权利要求4所述的检漏连接头，其特征在于，所述圆筒（231）的内孔的轴线与所述连接孔（222）的轴线重合，所述圆筒（231）的内孔的另一端的外周壁上设有连接法兰（232）。

6.根据权利要求1所述的检漏连接头，其特征在于，所述套筒（121）的另一端在所述套筒（121）的内孔内壁沿轴线方向设有用于安装所述密封圈（3）的凸环（122）。

7.一种隔离挡板的检漏方法，其特征在于，所述检漏方法包括：

提供检漏仪和两个检漏连接头，所述检漏连接头为权利要求1-6中任一项所述的检漏连接头；

将所述两个检漏连接头分别安装在待测隔离挡板的两根冷却液管的管口；

将其中一个检漏连接头的接头部与所述检漏仪相连，将另一个检漏连接头的接头部密封；

启动所述检漏仪，对所述待测隔离挡板进行检漏。

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