CN112859526B - 扫描光刻机的同步诊断方法、装置、介质及电子设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种扫描光刻机的同步诊断方法、装置、介质及电子设备。该方法包括：根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；若测试对象为运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡发送；若为位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡发送；通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。通过执行本方案，可以快速并准确的对扫描光刻机的同步问题进行定位，无需由人工诊断消耗大量的人力成本和时间成本，达到了保证扫描光刻机运行稳定性的效果。

Description

扫描光刻机的同步诊断方法、装置、介质及电子设备

技术领域

本申请实施例涉及计算机技术领域，尤其涉及一种扫描光刻机的同步诊断方法、装置、介质及电子设备。

背景技术

目前，随着科技水平的快速发展，对于光刻机的需求越来越大。光刻机是采用光刻蚀技术制作高精度芯片的设备。目前为了满足芯片的精度高、尺寸大的发展需求，扫描光刻机成为了最受青睐的设备。

扫描光刻机最大特点在于同步扫描功能。光束通过一个狭缝并透过照明系统投影到掩模面上，掩模板以设定的匀速通过光速。同时，硅片在透镜的下方与掩模板相反方向的运动。在扫描期间，涉及的子系统模块，扫描必须在相同的时间段内完成，扫描的起始时刻和结束时刻必须相同。也就是对于扫描，要求所有涉及的子系统模块必须在扫描时序上取得严格一致。在曝光扫描过程中对涉及的子系统有严格的同步时序要求，对所有涉及的子系统模块有严格的同步时序要求。

然而由于扫描光刻机结构复杂，一旦同步出现问题，则对同步问题的排查工作量巨大，极大的影响了光刻机的同步问题诊断效率。因此，急需一种能够准确且高效的诊断方式，对扫描光刻机的同步问题进行诊断。

发明内容

本申请实施例提供一种扫描光刻机的同步诊断方法、装置、介质及电子设备，可以快速并准确的对扫描光刻机的同步问题进行定位，无需由人工诊断消耗大量的人力成本和时间成本，达到了保证扫描光刻机运行稳定性的效果。

第一方面，本申请实施例提供了一种扫描光刻机的同步诊断方法，该方法包括：

根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；

若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。

可选的，所述被测主系统还用于测试与被测分系统之间的总线的传输问题；

相应的，

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题，包括：

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题和与所述测试对象之间的传输问题。

可选的，通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题和与所述测试对象之间的传输问题，包括：

通过被测主系统的寄存器中读取被测分系统返回的同步返回值；

根据所述同步返回值与预设返回值定义表，确定同步返回值的具体信息；其中，所述同步返回值包括接线状态返回值和板卡状态返回值。

可选的，在通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值之后，所述方法还包括：

通过所述被测主系统进行同步问题属性判断；

根据同步问题属性判断的结果，将所述扫描光刻机的状态机切换为停止状态或者错误状态。

可选的，在根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例之前，所述方法还包括：

响应于自检程序启动请求，向被测主系统和被测分系统发出自检指令；

接收所述被测主系统和被测分系统的自检结果，若所述自检结果为自检不合格，则不生成同步测试用例。

可选的，在根据同步返回值诊断测试对象的同步问题之后，所述方法还包括：

若测试对象存在同步问题，则将存在同步问题的测试对象的测试中断，并生成针对所述存在同步问题的测试对象的报警信息。

第二方面，本申请实施例提供了一种扫描光刻机的同步诊断装置，该装置包括：

同步测试用例生成模块，用于根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；

同步测试用例发送模块，用于若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；

同步问题诊断模块，用于通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。

可选的，所述被测主系统还用于测试与被测分系统之间的总线的传输问题；

相应的，所述同步问题诊断模块，具体用于：

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题和与所述测试对象之间的传输问题。

第三方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如本申请实施例所述的扫描光刻机的同步诊断方法。

第四方面，本申请实施例提供了一种电子设备，包括存储器，处理器及存储在存储器上并可在处理器运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如本申请实施例所述的扫描光刻机的同步诊断方法。

本申请实施例所提供的技术方案，根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。通过采用本申请所提供的技术方案，可以快速并准确的对扫描光刻机的同步问题进行定位，无需由人工诊断消耗大量的人力成本和时间成本，达到了保证扫描光刻机运行稳定性的效果。

附图说明

图1是本申请实施例提供的扫描光刻机的同步诊断方法的流程图；

图2是本申请实施例提供的扫描光刻机的同步诊断系统的结构示意图；

图3是本申请实施例提供的FPGA逻辑设计示意图；

图4是本申请实施例提供的同步运动控制板卡板扫描状态机的示意图；

图5是本申请实施例提供的扫描光刻机的同步诊断装置的结构示意图；

图6是本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。

在更加详细地讨论示例性实施例之前应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各步骤描述成顺序的处理，但是其中的许多步骤可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各步骤的顺序可以被重新安排。当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。

图1是本申请实施例提供的扫描光刻机的同步诊断方法的流程图，本实施例可适用于扫描光刻机的诊断的情况，该方法可以由本申请实施例所提供的扫描光刻机的同步诊断装置执行，该装置可以由软件和/或硬件的方式来实现，并可集成于服务器等电子设备中。

如图1所示，所述扫描光刻机的同步诊断方法包括：

S110、根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例。

其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种。

其中，测试对象可以是被测主系统，还可以是与被测主系统连接的被测分系统，测试对象可以是被测主系统和被测分系统中的一个或者多个。测试参数可以是对各个测试对象进行测试的具体测试指令和参数，例如，可以是对各个被测分系统之间的同步性进行测试的同步扫描参数。具体的，可以通过测试参数得到各板卡的状态参数等。测试用例是根据扫描光刻机的工作特点，得到的用于对扫描光刻机的各主系统和分系统进行测试的用例。测试用例在被使用时，扫描光刻机可以是处于检测状态的，通过使用测试用例，可以对扫描光刻机的同步情况是否存在问题进行诊断。

在本实施例中，测试对象包括被测主系统和被测分系统，被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；其中，运动同步时序控制板卡是对运动同步时序进行控制的板卡，可以理解为是提供运动同步时序指令的板卡。同步伺服时钟控制板卡是提供同步伺服时钟信号的板卡。

所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种。运动控制器可以是对扫描光刻机各个运动部件进行控制的核心器件。位置采样控制器，可以是对各个运动部件进行位置采样的核心器件。其中，运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡，运动同步时序控制板卡与运动控制器连接，同步伺服时钟控制板卡与对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡连接。

S120、若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象。

其中，由于被测主系统与被测分系统之间的关系，可以根据测试对象的不同，将测试用例通过不同的被测主系统传输至被测分系统。例如，当前测试对象包括剂量同步时序控制板卡，则可以通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至剂量同步时序控制板卡。

S130、通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。

其中，被测主系统和被测分系统执行测试用例进行测试过程中，可以返回相应的数值，来作为该测试对象的测试结果。如果当前是对接线状态进行测试，则如果返回的数值的0X1，则表明接线状态没有问题，如果是对各板卡的同步性进行的测试，则如果被测对象返回的是0X0，则表示无问题。如果同时对界限状态和板卡状态进行测试，则可以通过预先定义不同的字段，根据各字段的内容来确定各个板卡的接线状态和板卡自身的板卡状态是否存在问题。

本申请实施例所提供的技术方案，根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。通过采用本申请所提供的技术方案，可以快速并准确的对扫描光刻机的同步问题进行定位，无需由人工诊断消耗大量的人力成本和时间成本，达到了保证扫描光刻机运行稳定性的效果。

图2是本申请实施例提供的扫描光刻机的同步诊断系统的结构示意图。如图2所示，扫描光刻机的同步诊断系统包括运行在上位机101的测校模块、运行在vxworks上的仿真测试驱动模块102、运行在DSP上的固件模块103、运行在FPGA上的逻辑模块104。

所述的上位机101是可运行Linux/Solaris等操作，与仿真测试驱动模块102中的运动控制CPU1、位置采样CPU2、像质控制CPU3、垂向控制CPU4、对准控制CPU5、照明控制CPU6和剂量控制CPU7与上位机Linux/Solaris之间通过100Ethernet以太网相连接。

所述分系统控制器运动控制CPU1、位置采样CPU2、像质控制CPU3、垂向控制CPU4、对准控制CPU5、照明控制CPU6和剂量控制CPU7分别与分系统控制器中的运动控制器10、位置采样控制器11、对准控制器12、剂量控制器13、像质控制器14、垂向控制器15、照明控制器16之间通过通讯总线连接。其中，通讯总线可以是Gbe/VME/PCIe/SRIO总线。例如，分系统控制器CPU通过200Gbe/VME/PCIe向各个运动控制器下发控制参数和指令，并通过总线200SRIO/VME返回结果。

所述的运动同步时序控制板卡20和同步伺服时钟控制板卡21分别与运动控制CPU1和位置采样CPU2之间通过200Gbe/VME/PCIe总线相连。

所述的运动同步时序控制板卡20和同步伺服时钟控制板卡21作为主同步控制器；运动同步时序控制板卡20与同步伺服时钟控制板卡21通过500MO-syncbus总线相连。对准同步时序控制板卡22、剂量同步时序控制板卡23、像质同步时序控制板卡24、垂向同步时序控制板卡25和照明同步时序控制板卡26都是从同步控制器。所述主同步控制器同步伺服时钟控制板卡21分别与所述分系统中的每个从同步控制器相连接，所述分系统中的每个从同步控制器均通过500syncbus总线保持连接。

运动控制CPU1按照预先设定的扫描动作下发扫描指令，通过200Gbe/VME/PCIe下发给运动同步时序控制板卡20，该板卡再通过500MO-Syncbus总线转发给同步伺服时钟控制板卡21，同步伺服时钟控制板卡21再通过500Syncbus总线转发给各个扫描相关子时序板卡，并按照指定的Syncbus总线协议格式，把与硬件相关的结构返回给同步伺服时钟控制板卡21。

其中，Syncbus总线协议格式，所述分系统按照START时刻开始计数，在计数到30开始存储同步数据，在STOP时刻完成解析，并给出同步触发下一级指令；延迟一个50us，按照固定格式返回分系统的同步扫描参数：涉及的参数有：接线状态、上次的同步状态码、板卡状态、状态参数等；这些参数是分系统同步故障的关键参数。

所述的Syncbus总线扩展了功能，以剂量时序控制板卡为例，判定正常出光时刻的Syncout信号是否与同步伺服时钟时序控制板卡的同步状态码跳变时刻(START->SCAN)时刻对齐；如果对齐，剂量控制时序控制板卡的板卡状态为0；如果不对齐，剂量控制时序控制板卡的板卡状态为0x8。

图3是本申请实施例提供的FPGA逻辑设计示意图。如图3所示，同步伺服时钟控制板卡的同步模块接收到分系统的板卡状态不为0，则产生锁存指令锁存当前板卡状态和状态参数；同时产生下降沿，产生VME中断；向总线发起VME中断请求，并把中断向量和级别放在VME总线上；采样控制CPU2响应VME中断应答，在VME背板上传递；同步伺服时钟控制板卡再设置数据应答信号，把中断向量放在VME总线上；采样控制CPU2之后执行中断服务程序，读取锁存的板卡状态和状态参数寄存器的值，并清锁存。同时通过500MO-Syncbus总线把各个分系统的状态汇总后转发给运动同步时序控制板卡20。

图4是本申请实施例提供的同步运动控制板卡板扫描状态机的示意图。如图4所示，运动同步时序控制板卡控制整个同步控制系统的状态机；正常流程是：EMPTY->START->SCAN->STOP；如果发生故障从当前任何一种状态通过仲裁机制处理：根据错误等级进行报错仲裁处理，从的同步时序控制子板卡对准同步时序控制板卡22、剂量同步时序控制板卡23、像质同步时序控制板卡24、垂向同步时序控制板卡25和照明同步时序控制板卡26的故障是等级低的；运动同步时序控制板卡20、同步伺服时钟控制板卡21的故障是等级高的同步错误；等级高的同步错误，运动同步时序控制板卡20的状态机切换为ERROR；等级低的将状态机切换为STOP。*

所述的固件模块103，主要是用来测试内同步总线交互所需的驱动和数据流；固件模块103可以运行在DSP上；接收仿真测试驱动模块102的指令，并且执行数据流，通过400SDB内同步总线与运动同步时序控制板卡20、同步伺服时钟控制板卡21进行数据交互，该总线通道可传软件流程结果。

所述上位机101和仿真测试驱动模块102通过100Ethernet下发同步指令，并可获取运动同步时序控制板卡20、同步伺服时钟控制板卡21的寄存器结果。也可获取固件模块103的测试结果。上位机101可以拿到运动控制CPU1、位置采样CPU2、像质控制CPU3、垂向控制CPU4、对准控制CPU5、照明控制CPU6、剂量控制CPU7的结果。上位机101获取返回结果之后，通过数据处理与分析模块，按照预先设置的故障树模型解析结果，并显示在界面上，方便用户直接查看诊断结果和引导排查故障。

所述的分系统控制器CPU为嵌入式处理器，其运行嵌入式操作系统。固件驱动程序是熟悉信号处理固件上的库程序。分系统控制器为数字信号处理控制板卡。

所述的诊断系统，其发生同步故障之后，会自动上报，整机也会因此STOP或者ERROR，并保存报错故障；上位机101会记录当前故障的时间。

所述的Syncbus总线的时钟频率是20K，所有分系统的时序解析板卡都应该按照统一的Syncbus总线协议来解析和触发下一级指令，或者再根据需要做倍频处理。

在上述各实施例的基础上，可选的，所述被测主系统还用于测试与被测分系统之间的总线的传输问题；相应的，通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题，包括：通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题和与所述测试对象之间的传输问题。其中，传输问题可以通过接线状态的同步返回值来确定。通过这样的设置，不仅可以对各个子系统进行同步诊断，还可以对各子系统与总线的接线状态进行诊断。

在上述各实施例的基础上，可选的，通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题和与所述测试对象之间的传输问题，包括：通过被测主系统的寄存器中读取被测分系统返回的同步返回值；根据所述同步返回值与预设返回值定义表，确定同步返回值的具体信息；其中，所述同步返回值包括接线状态返回值和板卡状态返回值。

示例性的，返回值定义表可以包括如下内容：

本实施例可以针对接线状态和板卡状态设置不同的返回值，并且每一种返回值代表着相应的一种状态，例如无错误，同步状态错误等等。通过这样的设置，可以快速并准确的确定同步存在异常的子系统，有助于实现对扫描光刻机的快速诊断。

在上述各实施例的基础上，可选的，在通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值之后，所述方法还包括：通过所述被测主系统进行同步问题属性判断；根据同步问题属性判断的结果，将所述扫描光刻机的状态机切换为停止状态或者错误状态。例如，可以根据出现问题的测试对象属于被测主系统或者被测分系统来确定，如果是被测主系统，则可以确定为需要报错的属性，如果是被测分系统，则可以确定为需要切换为停止状态的属性。通过这样的设置，可以有助于用户快速的掌握扫描光刻机诊断出的问题的严重程度。

在上述各实施例的基础上，可选的，在根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例之前，所述方法还包括：响应于自检程序启动请求，向被测主系统和被测分系统发出自检指令；接收所述被测主系统和被测分系统的自检结果，若所述自检结果为自检不合格，则不生成同步测试用例。在本技术方案中，可以在进行检测之前，优先进行自检，包括个被测主系统的自检和被测分系统的自检，其中可以根据各系统返回的数据确定检测结果，例如可以对各个系统是否能够正常上电进行自检。通过自检，可以确保后续的诊断过程的数据的真实性，提高扫描光刻机的检测效率。

在上述各实施例的基础上，可选的，在根据同步返回值诊断测试对象的同步问题之后，所述方法还包括：若测试对象存在同步问题，则将存在同步问题的测试对象的测试中断，并生成针对所述存在同步问题的测试对象的报警信息。其中，在诊断结果为存在问题之后，可以进行分析，并且得到诊断结果报告，并生成针对存在同步问题的测试对象的报警信息。例如可以通过显示屏显示相应的诊断结果，以供用户确定是否需要对扫描光刻机进行进一步的维护处理。

为了能够让本领域技术人员更加清楚的了解本方案，本申请还提供了以下具体的实施方式。

1)在测试过程中，测试人员通过人机交互界面可以设定测试流程逻辑与参数配置等操作。测试开发平台的任务是，根据需生成必要的测试用例。

测试任务	硬件配置参数	软件参数
			00 同步板卡功能测试	TMC	E/M TIME CMMD
001 同步模块也场景测试	MO-SYNCBUS\SYNCBUS	E/M TIME CMMD N

2)测试信息任务编辑后，启动测试开始，开始测试执行任务，解析其中的测试信息，将有效指令下发给软件驱动。

3)驱动软件初始化。

4)固件下载完成后，根据驱动下发指令之后，执行初始化。

5)成功初始化固件之后，系统硬件开始进行自检。

6)自检通过后，按照测试开始驱动实现测试工作。

7)测试任务执行，如果出现故障诊断，则进行诊断并给出分析结果；如过合理，则任务循环直至测试完成。

8)最后将测试结果显示出来，测试工作完成后将结果保存到服务器。

其中，如图3所示，同步伺服时钟控制板卡21收到剂量同步时序控制板卡23的板卡状态不为0时，产生VME中断，告知位置采样CPU2；同时剂量同步时序控制板卡23锁存同步缓冲区，直到软件读取参数寄存器的值，并清锁存寄存器时，再次重启VME中断；同时将板卡21的Syncbus总线的error位置为1。

同步伺服时钟控制板卡21获取到故障VME中断后，告知位置采样CPU2，再以事件的方式提供给上位机的测校模块。

在线实时诊断方案必须遵循以下几点：

1)分系统判定各自时序状态：如果出现时序不对的情况，应该通过分系统自动判定，并置板卡状态和固件状态为错误状态。

2)时序故障给出报警信息：同步伺服控制板同步硬件实时检测分系统的板卡状态信息，并检测板卡出错，立刻产生VME中断告知软件程序。软件程序给出报警信号，但不影响整机流程。

3)实时测量：分系统时序检测和同步伺服控制板卡报警上报，都应该保证实时性，由FPAG设计解析。

特别地，运动同步时序控制板卡20收到同步伺服时钟控制板卡21的同步状态码之后，将根据如图4所示，根据报错等级来仲裁，当前的同步状态机如何切换。

所述运动同步时序运动板卡的状态机，如图4所示：同步运动控制板卡的状态机。它的各状态与分系统的扫描状态一一对应，其中：

SBC_START：进入准备扫描阶段，工件台向扫描起点运动；

SBC_SCAN：进入实际扫描阶段；

SBC_STOP：实际扫描阶段结束，仅用于单场扫描及最后一次扫描，工件开始降速到速度零。

而SBC_EMPTY状态对应分系统的IDLE状态。同步运动控制板卡的扫描状态机中增加同步仲裁机制，对于同步控制架构中等级比较低的报错，状态机切换为STOP；对于同步报错级别比较高的，状态机切换为ERROR。

其中，上位机101可以根据模块功能测试，来测试同步控制模块、总线、链路的功能；也可根据硬件和实际配置情况，来实现软硬件的设备自检程序，方便整机在集成中工程中自动化检测故障。

上位机101可以通过以太网收集到所有分系统的硬件和软件参数，结合故障树可以识别出同步时序、接线故障、总线故障等问题。

本方案可以解决的技术问题是，为扫描光刻机提供整机同步硬件的自动化诊断系统，及时定位并解决分系统之间的同步时序相关问题，自动检测内外同步的接线配置和频率问题，能自动诊断内同步总线的读写/广播异常，提供减少台子容易挂伺服的频率的方法。

图5是本申请实施例提供的扫描光刻机的同步诊断装置的结构示意图。如图5所示，所述扫描光刻机的同步诊断装置，包括：

同步测试用例生成模块510，用于根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；

同步测试用例发送模块520，用于若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；

同步问题诊断模块530，用于通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。

本申请实施例所提供的技术方案，根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。通过采用本申请所提供的技术方案，可以快速并准确的对扫描光刻机的同步问题进行定位，无需由人工诊断消耗大量的人力成本和时间成本，达到了保证扫描光刻机运行稳定性的效果。

上述产品可执行本申请任意实施例所提供的方法，具备执行方法相应的功能模块和有益效果。

本申请实施例还提供一种包含计算机可执行指令的存储介质，所述计算机可执行指令在由计算机处理器执行时用于执行一种扫描光刻机的同步诊断方法，该方法包括：

根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；

若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。

存储介质——任何的各种类型的存储器设备或存储设备。术语“存储介质”旨在包括：安装介质，例如CD-ROM、软盘或磁带装置；计算机系统存储器或随机存取存储器，诸如DRAM、DDR RAM、SRAM、EDO RAM，兰巴斯(Rambus)RAM等；非易失性存储器，诸如闪存、磁介质(例如硬盘或光存储)；寄存器或其它相似类型的存储器元件等。存储介质可以还包括其它类型的存储器或其组合。另外，存储介质可以位于程序在其中被执行的计算机系统中，或者可以位于不同的第二计算机系统中，第二计算机系统通过网络(诸如因特网)连接到计算机系统。第二计算机系统可以提供程序指令给计算机用于执行。术语“存储介质”可以包括可以驻留在不同位置中(例如在通过网络连接的不同计算机系统中)的两个或更多存储介质。存储介质可以存储可由一个或多个处理器执行的程序指令(例如具体实现为计算机程序)。

当然，本申请实施例所提供的一种包含计算机可执行指令的存储介质，其计算机可执行指令不限于如上所述的扫描光刻机的同步诊断操作，还可以执行本申请任意实施例所提供的扫描光刻机的同步诊断方法中的相关操作。

本申请实施例提供了一种电子设备，该电子设备中可集成本申请实施例提供的扫描光刻机的同步诊断装置。图6是本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图。如图6所示，本实施例提供了一种电子设备600，其包括：一个或多个处理器620；存储装置610，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器620执行，使得所述一个或多个处理器620实现本申请实施例所提供的扫描光刻机的同步诊断方法，该方法包括：

根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；

若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。

当然，本领域技术人员可以理解，处理器620还实现本申请任意实施例所提供的扫描光刻机的同步诊断方法的技术方案。

图6显示的电子设备600仅仅是一个示例，不应对本申请实施例的功能和使用范围带来任何限制。

如图6所示，该电子设备600包括处理器620、存储装置610、输入装置630和输出装置640；电子设备中处理器620的数量可以是一个或多个，图6中以一个处理器620为例；电子设备中的处理器620、存储装置610、输入装置630和输出装置640可以通过总线或其他方式连接，图6中以通过总线650连接为例。

存储装置610作为一种计算机可读存储介质，可用于存储软件程序、计算机可执行程序以及模块单元，如本申请实施例中的扫描光刻机的同步诊断方法对应的程序指令。

存储装置610可主要包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需的应用程序；存储数据区可存储根据终端的使用所创建的数据等。此外，存储装置610可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非易失性存储器，例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他非易失性固态存储器件。在一些实例中，存储装置610可进一步包括相对于处理器620远程设置的存储器，这些远程存储器可以通过网络连接。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。

输入装置630可用于接收输入的数字、字符信息或语音信息，以及产生与电子设备的用户设置以及功能控制有关的键信号输入。输出装置640可包括显示屏、扬声器等设备。

本申请实施例提供的电子设备，可以快速并准确的对扫描光刻机的同步问题进行定位，无需由人工诊断消耗大量的人力成本和时间成本，达到了保证扫描光刻机运行稳定性的效果。

上述实施例中提供的扫描光刻机的同步诊断装置、介质及电子设备可执行本申请任意实施例所提供的扫描光刻机的同步诊断方法，具备执行该方法相应的功能模块和有益效果。未在上述实施例中详尽描述的技术细节，可参见本申请任意实施例所提供的扫描光刻机的同步诊断方法。

注意，上述仅为本申请的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本申请不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本申请的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本申请进行了较为详细的说明，但是本申请不仅仅限于以上实施例，在不脱离本申请构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本申请的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种扫描光刻机的同步诊断方法，其特征在于，包括：

根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；

若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述被测主系统还用于测试与被测分系统之间的总线的传输问题；

相应的，

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题，包括：

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题和与所述测试对象之间的传输问题。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题和与所述测试对象之间的传输问题，包括：

从被测主系统的寄存器中读取被测分系统返回的同步返回值；

根据所述同步返回值与预设返回值定义表，确定同步返回值的具体信息；其中，所述同步返回值包括接线状态返回值和板卡状态返回值。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值之后，所述方法还包括：

通过所述被测主系统进行同步问题属性判断；

根据同步问题属性判断的结果，将所述扫描光刻机的状态机切换为停止状态或者错误状态。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例之前，所述方法还包括：

响应于自检程序启动请求，向被测主系统和被测分系统发出自检指令；

接收所述被测主系统和被测分系统的自检结果，若所述自检结果为自检不合格，则不生成同步测试用例。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据同步返回值诊断测试对象的同步问题之后，所述方法还包括：

若测试对象存在同步问题，则将存在同步问题的测试对象的测试中断，并生成针对所述存在同步问题的测试对象的报警信息。

7.一种扫描光刻机的同步诊断装置，其特征在于，包括：

同步测试用例生成模块，用于根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；其中，所述测试对象包括被测主系统和被测分系统，所述被测主系统包括：运动同步时序控制板卡和同步伺服时钟控制板卡；所述被测分系统包括：运动控制器，位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种；

同步测试用例发送模块，用于若所述测试对象包括运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡将测试用例发送至测试对象；若所述测试对象包括位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡将测试用例发送至测试对象；

同步问题诊断模块，用于通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述被测主系统还用于测试与被测分系统之间的总线的传输问题；

相应的，所述同步问题诊断模块，具体用于：

通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题和与所述测试对象之间的传输问题。

9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1-6中任一项所述的扫描光刻机的同步诊断方法。

10.一种电子设备，包括存储器，处理器及存储在存储器上并可在处理器运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1-6中任一项所述的扫描光刻机的同步诊断方法。

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