CN112816488A - 用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备 - Google Patents

用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备 Download PDF

Info

Publication number
CN112816488A
CN112816488A CN202110178612.XA CN202110178612A CN112816488A CN 112816488 A CN112816488 A CN 112816488A CN 202110178612 A CN202110178612 A CN 202110178612A CN 112816488 A CN112816488 A CN 112816488A
Authority
CN
China
Prior art keywords
assembly
water
product
detected
catching
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110178612.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN112816488B (zh
Inventor
张立光
杨涛
焦贺尧
曹葵康
周明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tztek Technology Co Ltd
Original Assignee
Tztek Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tztek Technology Co Ltd filed Critical Tztek Technology Co Ltd
Priority to CN202110178612.XA priority Critical patent/CN112816488B/zh
Publication of CN112816488A publication Critical patent/CN112816488A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112816488B publication Critical patent/CN112816488B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
    • G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

本发明提供一种用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备，该装置包括起雾装置本体，起雾装置本体包括连接管、供给组件、温湿度发生组件和余雾捕抓组件；温湿度发生组件包括水容器与喷头组件，余雾捕抓组件包括抽风机与捕抓口，待检测产品位于捕抓口与喷头组件之间；在抽风机的驱动下，从喷头组件排出的水雾向捕抓口流动，以使得一部分水雾覆盖于待检测产品表面，另一部分水雾从待检测产品的侧边流入捕抓口内；该装置将待检测产品置于温湿度发生组件与余雾捕抓组件之间，利用温湿度发生组件与余雾捕抓组件之间的配合以控制水雾的温度、流向以及流速，以使得水雾均匀的覆盖于待检测产品表面，提高检测的准确率。

Description

用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备
技术领域
本发明涉及屏幕表面缺陷检测领域，尤其涉及用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备。
背景技术
如今电子产品已广泛被人们使用，大多数电子产品都需要通过电子屏幕将信息呈现给使用者，比如：手机。一般的，电子屏幕表面都会有一层透明导电薄膜，因为薄膜是纳米级的且是透明的，人们无法通过肉眼进行区分是否存在缺陷。
在生产过程中一般通过在屏幕表面均匀的覆盖一层雾，再通过光学系统进行取样以确定屏幕表面是否存在缺陷。在现有技术中，可通过多种方式对屏幕表面进行起雾，比如沸腾的方法，即将水加热到沸腾产生蒸汽，蒸汽覆盖于屏幕表面。该装置成本低起雾连续，但是现有技术中的装置无法使得雾均匀的覆盖于屏幕表面且容易在屏幕表面形成水滴，降低检测的准确率。
发明内容
有鉴于此，本发明提供用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备，该装置将待检测产品置于温湿度发生组件与余雾捕抓组件之间，并通过二者之间的配合来控制水雾的流向与流速，以使得水雾均匀覆盖于屏幕表面。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
根据本发明实施例的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，包括起雾装置本体，所述起雾装置本体包括：
连接管；
供给组件，所述供给组件包括水箱与水泵，所述水箱通过所述连接管与所述水泵连接；
温湿度发生组件，所述温湿度发生组件通过所述连接管与所述水泵连接，所述温湿度发生组件包括水容器、加热组件和喷头组件；其中，
所述水箱中的水在所述水泵的驱动下经所述连接管流入所述水容器内，所述加热组件固定安装于所述水容器内；所述喷头组件连通所述水容器，所述水容器中产生的水雾通过所述喷头组件排出；
余雾捕抓组件，所述余雾捕抓组件包括抽风机与捕抓口，所述捕抓口位于所述喷头组件的下方，待检测产品位于所述捕抓口与所述喷头组件之间；在所述抽风机的驱动下，从所述喷头组件排出的水雾向所述捕抓口流动，以使得一部分水雾覆盖于待检测产品表面，另一部分水雾从待检测产品的侧边流入所述捕抓口内。
优选地，所述喷头组件包括若干叠加的过滤网，相邻的所述过滤网之间有设定阈值的间距。
优选地，所述过滤网上设有若干通孔，相邻所述过滤网上的所述通孔的圆心不在一条直线上。
优选地，所述喷头组件还包括吸水组件，所述吸水组件固定安装于若干所述过滤网的侧边。
优选地，所述待检测产品位于所述捕抓口与喷头组件之间时，所述捕抓口与待检测产品之间存在间隙，以使得所述水雾同时从待检测产品的四周进入所述捕抓口内。
优选地，所述待检测产品位于所述捕抓口与喷头组件之间时，所述捕抓口的面积大于所述待检测产品在所述捕抓口上的投影面积。
优选地，所述捕抓口内安装有导向板，所述导向板上设有若干导向孔，从所述喷头组件排出的水雾从所述捕抓口流经若干所述导向孔。
优选地，所述余雾捕抓组件还包括余雾回收组件，所述余雾回收组件连通所述水箱；从所述喷头组件排出的水雾经过所述捕抓口及所述导向板后进入所述余雾回收组件并流入所述水箱。
优选地，所述温湿度发生组件还包括温度传感器，所述温度传感器安装于所述水容器内，以使得所述水容器内的水在设定阈值温度，所述设定阈值温度范围为大于65℃且小于95℃。
本发明还提供一种用于屏幕表面缺陷的检测设备，包括所述的一种用于屏幕表面缺陷的起雾装置。
本发明的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：
本发明公开的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及用于屏幕表面缺陷的检测设备，该装置将待检测产品置于温湿度发生组件与余雾捕抓组件之间，利用温湿度发生组件与余雾捕抓组件之间的配合以控制水雾的温度、流向以及流速，以使得水雾均匀的覆盖于待检测产品表面，提高检测的准确率。
附图说明
图1为本发明实施例的整体结构示意图；
图2为本发明实施例的局部结构示意图；
图3为本发明实施例的局部结构示意图；
图4为本发明实施例一实施例的局部结构示意图；
图5为本发明实施例的用于屏幕表面缺陷的检测设备的整体结构示意图；
图6为图5中A处的放大图。
附图标记：
10、起雾装置本体；11、温湿度生成组件；111、喷头组件；12、连接管；131、水箱；132、水泵；14、余雾捕抓组件；141、捕抓口；1411、导向板；20、传输机构；30、光学机构；40、基台；50、待检测产品。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在现有技术中，对电子产品屏幕表面的检测利用将水加热到沸腾产生蒸汽的方法，水沸腾后产生的水雾量大无法控制水雾的流动量、流动速度和流动方向，且容易在屏幕表面形成水滴，降低检测的准确率。
针对上述问题，本发明实施例提供了一种起雾装置，该装置将待检测产品50置于温湿度发生组件11与余雾捕抓组件14之间，通过温湿度发生组件11与余雾捕抓组件14之间的相互作用来调节水雾的温度、流量、流速以及流动方向，以使得水雾均匀的覆盖于待检测产品50表面，提高检测的准确率。
具体地，下面首先结合附图具体描述根据本发明实施例的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置。如图1所示，图1为本发明实施例提供的气雾装置本体10的整体结构示意图，图1中的气雾装置本体10包括连接管12、供给组件、温湿度发生组件11和余雾捕抓组件14；其中，供给组件包括水箱131与水泵132，水箱131通过连接管12与水泵132连接。温湿度发生组件11通过连接管12与水泵132连接，温湿度发生组件11包括水容器、加热组件和喷头组件111；水箱131中存储的水在水泵132的驱动力下经连接管12流入水容器内，加热组件固定安装于水容器内，加热组件用于对水容器内存储的水进行加热以产生水雾。喷头组件111连通水容器，水容器中产生的水雾通过喷头组件111排出，喷头组件111位于温湿度发生组件11的底部。
如图2所示，余雾捕抓组件14包括抽风机与捕抓口141，捕抓口141位于喷头组件111的下方，优选地捕抓口141位于喷头组件111的正下方，待检测产品50位于捕抓口141与喷头组件111之间。在抽风机的驱动下，从喷头组件111排出的水雾流向捕抓口141，在水雾流向捕抓口141的过程中将有部分水雾覆盖于待检测产品50表面，另外一部分水雾从待检测产品50的侧边流入捕抓口141内以进行回收再利用。该装置将待检测产品50置于温湿度发生组件11与余雾捕抓组件14之间，利用温湿度发生组件11与余雾捕抓组件14之间的配合以控制水雾的温度、流向以及流速，以使得水雾均匀的覆盖于待检测产品50表面，提高检测的准确率。
在本发明一实施例中，喷头组件111包括若干叠加的过滤网，相邻的过滤网之间有设定阈值的间距。相邻的过滤网之间的设定阈值的间距可根据具体的情况进行调节，若干过滤网以及相邻过滤网之间的间距一方面用于调节水雾排出的流量，另一方面用于控制水雾排出的流速，并且可以使得从喷头组件111排出的水雾更加均匀。
进一步的，过滤网上设有若干通孔，相邻过滤网上的通孔的圆心不在一条直线上，应当理解为，相邻过滤网上的通孔在竖直方向上错开，相邻过滤网上的通孔的交错度即相邻过滤网上的通孔的重叠面积可根据具体的情况进行设定，相邻过滤网上的通孔在竖直方向上的重叠面积用于调节水雾排出的流量，以及排除的速度。优选地，过滤网的材质为金属，当不仅限定为金属。
在本发明一实施例中，喷头组件111还包括吸水组件，吸水组件固定安装于若干过滤网的侧边。吸水组件优选为海绵，当然并不仅限定为海绵。海绵用于吸收过滤网上冷凝的水滴，避免水滴滴入待检测产品50上。
在本发明一实施例中，待检测产品50位于捕抓口141与喷头组件111之间时，捕抓口141与待检测产品50之间存在间隙，以使得水雾同时从待检测产品50的四周进入捕抓口141内。在本实施例中，一方面外部支撑件使得捕抓口141与待检测产品50之间存在间隙，比如：用于传送待检测产品50的传送导轨，传送导轨起到支撑件的作用，传送导轨使得待检测产品50从捕抓口141与喷头组件111之间运动通过。还比如：用于将待检测产品50进行支撑的支撑架，待检测产品50置于支撑架上，待检测产品50静止于捕抓口141与喷头组件111，待水雾覆盖于待检测产品50后通过人工的方式将其取走。另一方面，如图4所示，可通过在捕抓口141上设置缺口以使得捕抓口141与待检测产品50之间存在间隙。捕抓口141与待检测产品50之间存在间隙，使得从喷头组件111排出的水雾同时从待检测产品50的四周进入捕抓口141内，从而使得待检测产品50的表面均匀接收水雾的覆盖。
在本发明一实施例中，待检测产品50位于捕抓口141与喷头组件111之间时，捕抓口141的面积大于待检测产品50在捕抓口141上的投影面积。在本实施例中，不管待检测产品50是静止于捕抓口141与喷头组件111之间进行水雾覆盖，还是在运动过程中进行水雾覆盖，在待检测产品50位于捕抓口141上方时，捕抓口141的部分未被待检测产品50覆盖，以使得从喷头组件111排出的水雾从该部分未被覆盖的部分流入捕抓口141内，以更好的控制水雾的流动方向、速度和流量。
在本发明一实施例中，如图3所示，捕抓口141内安装有导向板1411，导向板1411上设有若干导向孔，从喷头组件111排出的水雾从捕抓口141流经若干导向孔。导向孔为通孔，在捕抓口141内设置导向板1411使得喷头组件111流向捕抓口141的气流更加的均匀，以使得覆盖于待检测产品50表面上的水雾更加的均匀。
进一步的，余雾捕抓组件14还包括余雾回收组件，余雾回收组件连通水箱131；从喷头组件111排出的水雾经过捕抓口141及导向板1411后进入余雾回收组件并流入水箱131。余雾捕抓组件14不仅可以调节水雾的流向、流量和流速，还可以利用余雾回收组件对回收的余雾进行循环再利用，在余雾回收组件的底部通过连接管12与水箱131连通，以使得回收的余雾排入水箱131。
在本发明一实施例中，温湿度发生组件11还包括温度传感器，温度传感器安装于水容器内，以使得水容器内的水在设定阈值温度，设定阈值温度范围为大于65℃且小于95℃。水的温度越高蒸发的越快且蒸发量也越大，结合喷头组件111与余雾捕抓组件14的结构，设定温度传感器的温度阈值范围。本实施例优选温度阈值范围为大于65℃且小于95℃，当温度为65℃时水雾蒸发的较慢且蒸发量也较小，对待检测产品50进行水雾覆盖的时间较长，降低检测效率；当温度为95℃时水雾蒸发的较快且蒸发量较大，对喷头组件111与余雾捕抓组件14的结构要求较高即对水雾的流速、流量和流动方向的控制难度较大。而温度在65℃与95℃之间的水温在不增加喷头组件111与余雾捕抓组件14结构的复杂度的情况下使得水雾均匀的覆盖于待检测产品50的表面。
本发明还提供一种用于屏幕表面缺陷的检测设备，如图5和图6所示，该检测设备还包括传输机构20、光学机构30和基台40，传输机构20、光学机构30、气雾装置本体10均固定安装于基台40上，光学机构30与气雾装置本体10相邻设置。传输机构20用于驱动待检测产品50从温湿度发生组件11与余雾捕抓组件14之间在运动的过程中完成水雾覆盖操作，即待检测产品50在运动的过程中，气雾装置本体10使得待检测产品50的表面覆盖水雾。在待检测产品50的表面覆盖好水雾后，传输机构20驱动待检测产品50运动至光学机构30处，光学机构30位于待检测产品50的上方，用于对覆盖好水雾的待检测产品50进行拍照，以确定待检测产品50表面是否存在缺陷。该设备利用传输机构20将经过气雾装置本体10的待检测产品50立即通过光学机构30进行拍照，以避免屏幕表面覆盖的雾蒸发影响检测效果。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，包括起雾装置本体(10)，所述起雾装置本体(10)包括：
连接管(12)；
供给组件，所述供给组件包括水箱(131)与水泵(132)，所述水箱(131)通过所述连接管(12)与所述水泵(132)连接；
温湿度发生组件(11)，所述温湿度发生组件(11)通过所述连接管(12)与所述水泵(132)连接，所述温湿度发生组件(11)包括水容器、加热组件和喷头组件(111)；其中，
所述水箱(131)中的水在所述水泵(132)的驱动下经所述连接管(12)流入所述水容器内，所述加热组件固定安装于所述水容器内；所述喷头组件(111)连通所述水容器，所述水容器中产生的水雾通过所述喷头组件(111)排出；
余雾捕抓组件(14)，所述余雾捕抓组件(14)包括抽风机与捕抓口(141)，所述捕抓口(141)位于所述喷头组件(111)的下方，待检测产品(50)位于所述捕抓口(141)与所述喷头组件(111)之间；在所述抽风机的驱动下，从所述喷头组件(111)排出的水雾向所述捕抓口(141)流动，以使得一部分水雾覆盖于待检测产品(50)表面，另一部分水雾从待检测产品(50)的侧边流入所述捕抓口(141)内。
2.如权利要求1所述的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，所述喷头组件(111)包括若干叠加的过滤网，相邻的所述过滤网之间有设定阈值的间距。
3.如权利要求2所述的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，所述过滤网上设有若干通孔，相邻所述过滤网上的所述通孔的圆心不在一条直线上。
4.如权利要求2所述的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，所述喷头组件(111)还包括吸水组件，所述吸水组件固定安装于若干所述过滤网的侧边。
5.如权利要求1所述的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，所述待检测产品(50)位于所述捕抓口(141)与喷头组件(111)之间时，所述捕抓口(141)与待检测产品(50)之间存在间隙，以使得所述水雾同时从待检测产品(50)的四周进入所述捕抓口(141)内。
6.如权利要求1或5所述的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，所述待检测产品(50)位于所述捕抓口(141)与喷头组件(111)之间时，所述捕抓口(141)的面积大于所述待检测产品(50)在所述捕抓口(141)上的投影面积。
7.如权利要求1所述的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，所述捕抓口(141)内安装有导向板(1411)，所述导向板(1411)上设有若干导向孔，从所述喷头组件(111)排出的水雾从所述捕抓口(141)流经若干所述导向孔。
8.如权利要求7所述的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，所述余雾捕抓组件(14)还包括余雾回收组件，所述余雾回收组件连通所述水箱(131)；从所述喷头组件(111)排出的水雾经过所述捕抓口(141)及所述导向板(1411)后进入所述余雾回收组件并流入所述水箱(131)。
9.如权利要求1所述的用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置，其特征在于，所述温湿度发生组件(11)还包括温度传感器，所述温度传感器安装于所述水容器内，以使得所述水容器内的水在设定阈值温度，所述设定阈值温度范围为大于65℃且小于95℃。
10.一种用于屏幕表面缺陷的检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的一种用于屏幕表面缺陷的起雾装置。
CN202110178612.XA 2021-02-09 2021-02-09 用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备 Active CN112816488B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110178612.XA CN112816488B (zh) 2021-02-09 2021-02-09 用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110178612.XA CN112816488B (zh) 2021-02-09 2021-02-09 用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112816488A true CN112816488A (zh) 2021-05-18
CN112816488B CN112816488B (zh) 2022-05-17

Family

ID=75864725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110178612.XA Active CN112816488B (zh) 2021-02-09 2021-02-09 用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112816488B (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5163617A (en) * 1990-10-03 1992-11-17 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Low-cost ultrasonic nebulizer for atomic spectrometry
US20080292498A1 (en) * 2007-05-22 2008-11-27 Vapex Technologies, Inc. Disinfection System for Surfaces and Enclosed Spaces And Associated Methods
WO2010079855A1 (ko) * 2009-01-09 2010-07-15 (주)파이온텍 기능성 콜드스팀 미용기
CN106370401A (zh) * 2016-09-05 2017-02-01 佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司 一种用于检测车灯在雨天行驶环境下起雾状况的雾化装置
CN106644390A (zh) * 2016-09-05 2017-05-10 佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司 一种用于检测车灯在急冷洗车环境下起雾状况的雾化装置
CN109001231A (zh) * 2018-10-15 2018-12-14 芜湖东旭光电装备技术有限公司 一种表面缺陷检测设备
CN109654628A (zh) * 2019-01-25 2019-04-19 上海名护机器人有限公司 一种新风系统及其空气处理方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5163617A (en) * 1990-10-03 1992-11-17 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Low-cost ultrasonic nebulizer for atomic spectrometry
US20080292498A1 (en) * 2007-05-22 2008-11-27 Vapex Technologies, Inc. Disinfection System for Surfaces and Enclosed Spaces And Associated Methods
WO2010079855A1 (ko) * 2009-01-09 2010-07-15 (주)파이온텍 기능성 콜드스팀 미용기
CN106370401A (zh) * 2016-09-05 2017-02-01 佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司 一种用于检测车灯在雨天行驶环境下起雾状况的雾化装置
CN106644390A (zh) * 2016-09-05 2017-05-10 佛山赛宝信息产业技术研究院有限公司 一种用于检测车灯在急冷洗车环境下起雾状况的雾化装置
CN109001231A (zh) * 2018-10-15 2018-12-14 芜湖东旭光电装备技术有限公司 一种表面缺陷检测设备
CN109654628A (zh) * 2019-01-25 2019-04-19 上海名护机器人有限公司 一种新风系统及其空气处理方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN112816488B (zh) 2022-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9832428B2 (en) Fast measurement of droplet parameters in industrial printing system
KR101342341B1 (ko) 3ｄ 프린터를 보수하기 위한 장치 및 방법
KR102344403B1 (ko) 미스트 발생장치, 성막장치, 미스트 발생 방법, 성막 방법, 및 디바이스 제조 방법
CN103026199B (zh) 微粒组成分析方法及微粒组成分析装置
CN109030501A (zh) 一种手机玻璃af膜表面瑕疵检测装置及检测方法
JP2006069739A (ja) 記録装置
US20220040719A1 (en) Cleaning device for an application device
CN112945977B (zh) 用于屏幕表面缺陷的检测设备
CN112816488B (zh) 用于屏幕表面缺陷检测的起雾装置及检测设备
CN107584900B (zh) 数码印花机的定位方法及定位数码印花机
WO2020027324A1 (ja) 清掃装置
CN110930400A (zh) 一种喷头喷嘴异常的检测方法及检测装置
CN214552163U (zh) 废气净化系统
CN109946204A (zh) 一种利用相机快门原理的雾滴采集方法
TW201127502A (en) Priming processing method and priming processing device
CN209303350U (zh) 一种外观检测设备制品自动清洁装置
KR100697559B1 (ko) 기판 검사 장치
JPH01320455A (ja) 帯状体のエッジ割れ、穴明き検出装置
DE69600876D1 (de) Schablonenreinigungsvorrichtung mit hin- und her-bewegungseinrichtung
JPH06142573A (ja) 塗装方法および装置
CN107433103A (zh) 湿式处理设备及湿式处理设备腔体内除雾方法
CN214987987U (zh) 一种液晶面板运输装置
CN214276297U (zh) 一种改性沥青防水卷材冷却装置
CN109331588A (zh) 一种气体超细颗粒物捕捉处理装置及其使用方法
TWI690691B (zh) 表面量測系統

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant