CN112670210A - 半导体贴膜设备废膜监控装置和监控方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体贴膜设备废膜监控装置，包括：传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方或侧方，其用于实时量测指定距离；根据所述指定距离，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出或停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出或停止输出第二类报警信号。本发明还公开一种半导体贴膜设备废膜监控方法。本发明通过传感器实时监测废膜卷厚度，通过合理的设置指定距离能提前发现废膜堆积，进而发出声光报警。工作人员尽快清除废膜卷并复位声光报警，避免由于废膜卷堆积造成的生产停机，有利于提高生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路生产制造领域，特别是涉及一种半导体贴膜设备废膜监控装置。本发明还涉及一种半导体贴膜设备废膜监控方法。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。在晶圆生产过程中，需要对成品进行贴膜以进行保护。在晶圆贴膜过程中普遍使用的是半导体贴膜设备-贴膜机。
贴膜机通常可以划分为三大部分：送膜部、贴膜执行机构和收废部(收集废膜)。自动贴膜设备自带废膜回收系统，废膜收集过满后，机台会产生报警；废膜过满报警时，设备停机不能继续工艺，必须更换废膜桶后才能继续作业；因此，需要开发一种提前预警废膜过满的方法，来避免机台down机和wafer被系统暂停影响工效率。
发明内容
在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念,该简化形式的概念均为本领域现有技术简化，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
本发明要解决的技术问题是提供一种能避免由于废品膜堆积造成生产停工的半导体贴膜设备废膜监控装置。
本发明要解决的另一技术问题是提供一种能避免由于废品膜堆积造成生产停工的半导体贴膜设备废膜监控方法。
为解决上述技术问题，本发明提供的半导体贴膜设备废膜监控装置，包括：
传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方或侧方，其用于实时量测指定距离；
根据所述指定距离，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出或停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出或停止输出第二类报警信号。
可选择的，进一步改进所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，所述传感器为光电传感器。
可选择的，进一步改进所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方时，其实时量测传感器与废膜卷之间距离作为指定距离；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出第二类报警信号；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元停止输出第二类报警信号。
可选择的，进一步改进所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷侧方时，其实时量测废膜卷轴边缘和废膜卷边缘之间距离作为指定距离；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出第二类报警信号；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元停止输出第二类报警信号。
可选择的，进一步改进所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，所述第一类报警信号是声音报警信号，所述第二类报警信号是光报警信号。
可选择的，进一步改进所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，所述控制回路包括：
电源，其经过保护器件分别连接蜂鸣器、第一开关和第二开关；
蜂鸣器，其经过第三开关连接传感器；
第一开关，其经过控制线圈和报警指示灯连接传感器；
报警指示灯，其连接在第二开关和传感器之间；
为解决上述技术问题，本发明提供一种半导体贴膜设备废膜监控方法，包括以下步骤：
S1，实时量测传感器和废膜卷之间指定距离；
S2，根据所述指定距离，输出或停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
可选择的，进一步改进所述的半导体贴膜设备废膜监控方法，当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方时，其实时量测传感器与废膜卷之间距离作为指定距离；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器控制输出第一类报警信号和第二类报警信号；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器控制第停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
可选择的，进一步改进所述的半导体贴膜设备废膜监控方法，当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷侧方时，其实时量测废膜卷轴边缘和废膜卷边缘之间距离作为指定距离；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器控制输出第一类报警信号和第二类报警信号；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器控制停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
可选择的，进一步改进所述的半导体贴膜设备废膜监控方法，所述第一类报警信号是声音报警信号，所述第二类报警信号是光报警信号。
本发明通过传感器实时监测废膜卷厚度，通过合理的设置指定距离能提前发现废膜堆积，进而发出声光报警。工作人员尽快清除废膜卷并复位声光报警，避免由于废膜卷堆积造成的生产停机，有利于提高生产效率。
附图说明
本发明附图旨在示出根据本发明的特定示例性实施例中所使用的方法、结构和/或材料的一般特性，对说明书中的描述进行补充。然而，本发明附图是未按比例绘制的示意图，因而可能未能够准确反映任何所给出的实施例的精确结构或性能特点，本发明附图不应当被解释为限定或限制由根据本发明的示例性实施例所涵盖的数值或属性的范围。下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1是本发明第二实施例结构示意图
图2是本发明第三实施结构示意图。
图3是本发明提供控制回路的一种可行实施例示意图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容充分地了解本发明的其他优点与技术效果。本发明还可以通过不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点加以应用，在没有背离发明总的设计思路下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。本发明下述示例性实施例可以多种不同的形式来实施，并且不应当被解释为只限于这里所阐述的具体实施例。应当理解的是，提供这些实施例是为了使得本发明的公开彻底且完整，并且将这些示例性具体实施例的技术方案充分传达给本领域技术人员。
应当理解的是，当元件被称作“连接”或“结合”到另一元件时，该元件可以直接连接或结合到另一元件，或者可以存在中间元件。不同的是，当元件被称作“直接连接”或“直接结合”到另一元件时，不存在中间元件。在全部附图中，相同的附图标记始终表示相同的元件。
第一实施例；
本发明提供一种半导体贴膜设备废膜监控装置，包括：
传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方或侧方，其用于实时量测指定距离；
根据所述指定距离，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出或停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出或停止输出第二类报警信号。
第二实施例；
如图1所示，本发明提供一种半导体贴膜设备废膜监控装置，包括：
光电传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷侧方，其用于实时量测废膜卷轴边缘和废膜卷边缘之间距离A作为指定距离；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出第二类报警信号；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元停止输出第二类报警信号。
第三实施例；
如图2所示，本发明提供一种半导体贴膜设备废膜监控装置，包括：
当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方时，其实时量测传感器与废膜卷之间距离B作为指定距离；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出第二类报警信号；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元停止输出第二类报警信号。
可选择的，上述第一实施例～第三实施例任意一项所述第一类报警信号是声音报警信号，所述第二类报警信号是光报警信号。
第四实施例；
如图3所示，本发明提供控制回路的一种可行实施例，其能应用于上述第一实施例～第三实施例任意一项所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，所述控制回路包括：
电源，其经过保护器件分别连接蜂鸣器、第一开关和第二开关；
蜂鸣器，其经过第三开关连接传感器；
第一开关，其经过控制线圈和报警指示灯连接传感器；
报警指示灯，其连接在第二开关和传感器之间；
控制回路工作时，通过光电传感器自动检测废膜厚度；当废膜达到设定厚度时，光电传感器被触发，蜂鸣器报警，报警指示灯常亮；具有消音功能，点击第一开关可以消除报警音；报警指示灯为自保持回路，线圈吸合后电路自锁，指示灯常亮；当更换新的废膜桶后，废膜检测光电传感器不触发时，自锁回路复位，指示灯熄灭。
第五实施例；
本发明提供一种半导体贴膜设备废膜监控方法，包括以下步骤：
S1，实时量测传感器和废膜卷之间指定距离；
S2，根据所述指定距离，输出或停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
第六实施例；
本发明提供一种半导体贴膜设备废膜监控方法，包括以下步骤：
S1，实时量测传感器和废膜卷之间指定距离；
S2，当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方时，其实时量测传感器与废膜卷之间距离作为指定距离；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器控制输出第一类报警信号和第二类报警信号；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器控制第停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
第七实施例；
本发明提供一种半导体贴膜设备废膜监控方法，包括以下步骤：
S1，实时量测传感器和废膜卷之间指定距离；
S2，当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷侧方时，其实时量测废膜卷轴边缘和废膜卷边缘之间距离作为指定距离；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器控制输出第一类报警信号和第二类报警信号；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器控制停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
可选择的，上述第五实施例～第七实施例任意一项所述第一类报警信号是声音报警信号，所述第二类报警信号是光报警信号。
除非另有定义，否则这里所使用的全部术语(包括技术术语和科学术语)都具有与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的意思相同的意思。还将理解的是，除非这里明确定义，否则诸如在通用字典中定义的术语这类术语应当被解释为具有与它们在相关领域语境中的意思相一致的意思，而不以理想的或过于正式的含义加以解释。
以上通过具体实施方式和实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种半导体贴膜设备废膜监控装置，其特征在于，包括：
传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方或侧方，其用于实时量测指定距离；
根据所述指定距离，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出或停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出或停止输出第二类报警信号。
2.如权利要求1所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，其特征在于：所述传感器为光电传感器。
3.如权利要求1所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，其特征在于：当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方时，其实时量测传感器与废膜卷之间距离作为指定距离；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出第二类报警信号；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元停止输出第二类报警信号。
4.如权利要求1所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，其特征在于：当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷侧方时，其实时量测废膜卷轴边缘和废膜卷边缘之间距离作为指定距离；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元输出第一类报警信号，控制第二报警单元输出第二类报警信号；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器通过控制回路控制第一报警单元停止输出第一类报警信号，控制第二报警单元停止输出第二类报警信号。
5.如权利要求1所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，其特征在于：所述第一类报警信号是声音报警信号，所述第二类报警信号是光报警信号。
6.如权利要求1-5任意一项所述的半导体贴膜设备废膜监控装置，其特征在于，所述控制回路包括：
电源，其经过保护器件分别连接蜂鸣器、第一开关和第二开关；
蜂鸣器，其经过第三开关连接传感器；
第一开关，其经过控制线圈和报警指示灯连接传感器；
报警指示灯，其连接在第二开关和传感器之间。
7.一种半导体贴膜设备废膜监控方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，实时量测传感器和废膜卷之间指定距离；
S2，根据所述指定距离，输出或停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
8.如权利要求7所述的半导体贴膜设备废膜监控方法，其特征在于：当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷上方时，其实时量测传感器与废膜卷之间距离作为指定距离；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器控制输出第一类报警信号和第二类报警信号；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器控制第停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
9.如权利要求7所述的半导体贴膜设备废膜监控方法，其特征在于：当所述传感器设置在半导体贴膜设备废膜卷侧方时，其实时量测废膜卷轴边缘和废膜卷边缘之间距离作为指定距离；
当所述指定距离大于距离阈值，传感器控制输出第一类报警信号和第二类报警信号；
当所述指定距离小于等于距离阈值，传感器控制停止输出第一类报警信号和第二类报警信号。
10.如权利要求7所述的半导体贴膜设备废膜监控方法，其特征在于：所述第一类报警信号是声音报警信号，所述第二类报警信号是光报警信号。
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5311031A (en) * | 1992-03-27 | 1994-05-10 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method and device for detecting full condition in a receiving magazine of a film handling apparatus |
| CN204315523U (zh) * | 2014-12-04 | 2015-05-06 | 南通富士通微电子股份有限公司 | 半自动贴膜机 |
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2020
- 2020-12-23 CN CN202011535712.5A patent/CN112670210A/zh not_active Withdrawn
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