CN112659694A - 柔性致动器及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种柔性致动器，包括依次层叠设置的磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，柔性衬底设有线圈，线圈通电时与磁性膜层相互作用，带动多孔柔性膜层变形。柔性致动器的制作方法，包括：提供磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，柔性衬底设有线圈；将磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底依次层叠，使得线圈可在通电时与磁性膜层相互作用，带动多孔柔性膜层变形；得到柔性致动器。本申请的致动器包括三层柔性结构，柔性好，制备工艺简单，并可以通过改变线圈电流实现驱动力精准调控，让医生准确感知手术器械与组织之间的作用力。
Description
技术领域
本申请涉及可穿戴设备技术领域，具体涉及一种柔性致动器及其制作方法。
背景技术
传统手术过程中，医生可以通过皮肤感知与组织或者器官之间作用力的大小，这种触觉交互使得医生可以对病人组织进行精确的操作。然而，微创手术和机器人辅助外科手术无法通过皮肤接触提供力反馈，医生无法保证器械与组织的接触力，在进行钝化切割和缝合的时候容易对组织和器官造成损伤，因此，能让医生感知手术器械与组织之间的作用力具有重要的意义，可穿戴的致动器是使医生感知这种作用的关键器件。传统致动器一般采用机械致动、电机致动、液压致动，存在响应时间长、机械结构复杂、柔性差、驱动力难以精准调控等问题，无法让医生准确感知手术器械与组织之间的作用力。
发明内容
针对上述技术问题，本申请提供一种柔性致动器及其制作方法，柔性好，制备工艺简单，并可以通过改变线圈电流实现驱动力精准调控，让医生准确感知手术器械与组织之间的作用力。
为解决上述技术问题，本申请提供一种柔性致动器，包括依次层叠设置的磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，所述柔性衬底设有线圈，所述线圈通电时与所述磁性膜层相互作用，带动所述多孔柔性膜层变形。
可选地，所述磁性膜层的厚度为20μm～500μm，所述多孔柔性膜层的厚度为20μm～500μm，所述柔性衬底的厚度为10μm～100μm。
可选地，所述线圈的线宽为10μm～500μm，圈数为50～10000圈。
可选地，所述多孔柔性膜层的孔径小于或等于500μm。
可选地，所述磁性膜层包括硬磁性材料，所述硬磁性材料的添加质量比为50～90％。
本申请还提供一种柔性致动器的制作方法，包括：
S1.提供磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，所述柔性衬底设有线圈；
S2.将所述磁性膜层、所述多孔柔性膜层及所述柔性衬底依次层叠，使得所述线圈可在通电时与所述磁性膜层相互作用，带动所述多孔柔性膜层变形；
S3.得到柔性致动器。
可选地，步骤S1，包括：
制备包括高分子材料预聚物、固化剂与硬磁性材料的混合物；
将所述混合物装入模板中固化成型，得到一薄膜；
脱模并将所述薄膜磁化，得到所述磁性膜层。
可选地，步骤S1，包括：
制备包括高分子材料预聚物、固化剂与造孔剂的混合物；
将所述混合物装入模板中固化成型，得到一薄膜；
脱模并除去所述造孔剂，得到所述多孔柔性膜层。
可选地，步骤S1，包括：
提供一柔性衬底，并在所述柔性衬底的一侧表面打印所述线圈；或，
提供一表面具有金属层的柔性衬底，对所述金属层进行图案化形成所述线圈。
可选地，步骤S2，包括：
在所述多孔柔性膜层的上下两侧表面涂覆与所述多孔柔性膜层相同材料的高分子预聚物；
将所述多孔柔性膜层的上下两侧表面分别与所述磁性膜层、所述柔性衬底贴合；
固化所述高分子预聚物，使所述磁性膜层、所述多孔柔性膜层及所述柔性衬底相互粘合。
本申请的柔性致动器，包括依次层叠设置的磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，柔性衬底设有线圈，线圈通电时与磁性膜层相互作用，带动多孔柔性膜层变形。柔性致动器的制作方法，包括：提供磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，柔性衬底设有线圈；将磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底依次层叠，使得线圈可在通电时与磁性膜层相互作用，带动多孔柔性膜层变形；得到柔性致动器。本申请的致动器包括三层柔性结构，柔性好，制备工艺简单，并可以通过改变线圈电流实现驱动力精准调控，让医生准确感知手术器械与组织之间的作用力。
附图说明
图1是根据第一实施例示出的柔性致动器的结构示意图；
图2是根据第二实施例示出的柔性致动器的制作方法的流程示意图。
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。
在下述描述中，参考附图，附图描述了本申请的若干实施例。应当理解，还可使用其他实施例，并且可以在不背离本申请的精神和范围的情况下进行机械组成、结构、电气以及操作上的改变。下面的详细描述不应该被认为是限制性的，这里使用的术语仅是为了描述特定实施例，而并非旨在限制本申请。
虽然在一些实例中术语第一、第二等在本文中用来描述各种元件，但是这些元件不应当被这些术语限制。这些术语仅用来将一个元件与另一个元件进行区分。
再者，如同在本文中所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在也包括复数形式，除非上下文中有相反的指示。应当进一步理解，术语“包含”、“包括”表明存在所述的特征、步骤、操作、元件、组件、项目、种类、和/或组，但不排除一个或多个其他特征、步骤、操作、元件、组件、项目、种类、和/或组的存在、出现或添加。此处使用的术语“或”和“和/或”被解释为包括性的，或意味着任一个或任何组合。因此，“A、B或C”或者“A、B和/或C”意味着“以下任一个：A；B；C；A和B；A和C；B和C；A、B和C”。仅当元件、功能、步骤或操作的组合在某些方式下内在地互相排斥时，才会出现该定义的例外。
第一实施例
图1是根据第一实施例示出的柔性致动器的结构示意图。如图1所示，本实施例的柔性致动器，包括依次层叠设置的磁性膜层11、多孔柔性膜层12及柔性衬底13，柔性衬底13设有线圈131，线圈131通电时与磁性膜层11相互作用，带动多孔柔性膜层12变形。
磁性膜层11采用生物相容性好的材料作为基体材料，如聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚氨酯弹性体(TPU)、聚三亚甲基碳酸酯(PTMC)中的一种，其中，由于PDMS具有最好的生物相容性和热稳定性，所以优选PDMS。磁性膜层11中包括硬磁性材料，硬磁性材料加入制作膜层的基体材料中，硬磁性材料包括但不限于钕铁硼、铝镍钴合金，优选钕铁硼，其磁化后具有稳定、较高的磁性能。可选地，磁性膜层11的厚度为20μm～500μm，硬磁性材料的添加质量比为50～90％，具体视所需的磁性大小进行选择。磁性膜层11的厚度越大，致动性更好，为确保性能，磁性膜层11的厚度不宜太小，而厚度过大则影响穿戴性能，因此磁性膜层11的厚度以前述范围作为优选。
多孔柔性膜层12采用易变形的柔性材料制成，如PDMS、TPU、PTMC中的一种，其中，由于PDMS具有最好的生物相容性和热稳定性，所以优选PDMS。多孔柔性膜层12的多孔结构可通过使用造孔剂造孔得到，造孔剂为可溶解或化学反应除去的颗粒，其中，造孔剂可以为高分子微球，如聚苯乙烯(PS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)等，可溶解除去；造孔剂也可以为无机盐颗粒，如NaCl、NaCO3等，可溶解除去；造孔剂还可以为金属颗粒，如Ag、Cu等，可化学反应除去。可选地，多孔柔性膜层12的厚度为20μm～500μm，多孔柔性膜层12的孔径小于或等于500μm。多孔柔性膜层12的厚度过小或厚度过大，均影响穿戴性能，因此多孔柔性膜层12的厚度以前述范围作为优选，多孔柔性膜层12的孔径小于多孔柔性膜层12的厚度。
柔性衬底13可采用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)或者聚酰亚胺(PI)薄膜，柔性衬底13的朝向多孔柔性膜层12的一侧表面具有线圈131，可选地，柔性衬底13的厚度为10μm～100μm，线圈131的线宽为10μm～500μm，圈数为50～10000圈，线圈131的材料为金、银、铜中的至少一种。线圈131可采用3D打印的方法形成于柔性衬底13的表面；或者，可以采用激光刻蚀技术在柔性覆铜板上刻蚀形成金属线圈131，超快激光具有明显的非线性吸收效应，刻蚀微结构边缘热影响区域小，质量好，所以优选超快激光刻蚀柔性覆铜板制作线圈131。线圈131的圈数越多、线宽越大，致动性更好，为确保性能，线圈131的圈数不宜太少、线宽不宜太小，而圈数过多或线宽太大则影响穿戴性能，因此线圈131的圈数及线宽以前述范围作为优选。
在本实施例中，磁性膜层11、多孔柔性膜层12及柔性衬底13之间采用粘接的方式固定在一起。以多孔柔性膜层12采用PDMS为例，先在多孔柔性膜层12上下表面旋涂PDMS预聚物，然后上下表面分别与磁性膜层11、柔性衬底13贴合，在一定温度下将PDMS预聚物固化，使磁性膜层11、多孔柔性膜层12及柔性衬底13之间粘接在一起，形成柔性致动器。在多孔柔性膜层12上下表面旋涂的高分子预聚物优选采用与多孔柔性膜层12相同的材料，以可提高粘接性能。
使用时，柔性衬底13上的线圈131中通入的电流变化产生磁场，该磁场与磁性膜层11相互作用，例如相斥，从而拉动多孔柔性膜层12的两侧，使多孔柔性膜层12发生形变。采用本申请的结构，线圈131所需的驱动电压可小于20V，不会因电压太大而造成佩戴部位的不适或受伤。
在一种可穿戴的设计中，柔性衬底13制作成条带状，柔性衬底13一侧表面的指定区域设置线圈131，多孔柔性膜层12、磁性膜层11依次粘接在线圈131所在位置上，通过在柔性衬底13的制作线圈131的一侧表面设置粘贴层，可以将柔性致动器类似创口贴一样带在手指上，使磁性膜层11接触手指皮肤，当多孔柔性膜层12两侧被拉动而发生形变时，即可产生挤压手指的力。
在一种力反馈的实现中，手术器械装有压力传感器，手术过程中，手术器械与手术部位组织之间的作用力变化造成压力传感器电流的变化，此电流的变化通过无线传输由柔性致动器的驱动电路接收，从而此电流的变化可以驱动线圈131产生变化的磁场，该磁场与磁性膜层11相互作用，例如相斥，从而拉动多孔柔性膜层12的两侧，使多孔柔性膜层12发生对应的形变，挤压手指，此时，医生手指感知到手术器械与手术部位组织之间不同的作用力。此过程中，通过改变线圈131的电流即可实现力反馈的精准调控，可以让医生准确感知手术器械与组织之间的作用力。
第二实施例
图2是根据第二实施例示出的柔性致动器的制作方法的流程示意图。如图2所示，本实施例的柔性致动器的制作方法，包括：
步骤210，提供磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，柔性衬底设有线圈。
制备磁性膜层时，先制备包括高分子材料预聚物、固化剂与硬磁性材料的混合物，再将该混合物装入模板中固化成型，得到一薄膜，然后，脱模并将该薄膜磁化，即可得到磁性膜层。
具体地，磁性膜层采用生物相容性好的材料作为基体，如聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚氨酯弹性体(TPU)、聚三亚甲基碳酸酯(PTMC)中的一种，其中，由于PDMS具有最好的生物相容性和热稳定性，所以优选PDMS。制备时，PDMS预聚物与固化剂按10：1.1～10：0.9的比例混合均匀，当固化剂与PDMS预聚物质量比变化不超过10％时，对PDMS的固化时间以及固化后的性能几乎没有影响；当固化剂的质量比下降超过10％时，PDMS变软，拉伸性能下降；当固化剂的质量增加超过10％时，PDMS变硬，拉伸性能同样下降。然后，在PDMS预聚物与固化剂的混合物中加入钕铁硼等硬磁性颗粒材料，硬磁性颗粒材料的质量占硬磁性颗粒材料、固化剂、PDMS预聚物总质量的50～90％。搅拌均匀后，将混合物置于1～0.1Torr真空条件下10～30min，除去其中的气泡备用。接着，将混合物置于PMMA模具中，在25～150℃的条件下固化，得到厚度约为20～500μm的柔性薄膜。最后，将柔性薄膜置于磁化机中磁化，即可得到磁性膜层。
制备多孔柔性膜层时，先制备包括高分子材料预聚物、固化剂与造孔剂的混合物，再将该混合物装入模板中固化成型，得到一薄膜，然后，脱模并除去造孔剂，即可得到多孔柔性膜层。
具体地，多孔柔性膜层采用易变形的柔性材料制成，如PDMS、TPU、PTMC中的一种，其中，由于PDMS具有最好的生物相容性和热稳定性，所以优选PDMS。制备时，PDMS预聚物与固化剂按10：1.1～10：0.9的比例混合均匀后，加入水溶性无机盐颗粒，无机盐可以为NaCl、KCl、NaCO3等，优选最常用的NaCl颗粒，NaCl颗粒的粒径小于或等于500μm，NaCl的质量占总质量的40～80％，当NaCl的质量分数小于40％时，后续工序中NaCl颗粒难以完全除去；当NaCl的质量分数大于80％时，则混合物难以形成薄膜。接着，将混合物搅拌均匀，在1～0.1Torr真空条件下10～30min除去其中的气泡备用。然后，将混合物置于PMMA模具中，在25～150℃的条件下固化，得到厚度约为20～500μm的薄膜。最后，将制备的薄膜浸入去离子水中12～24h，除去其中的NaCl颗粒，得到多孔柔性膜层。实际实现时，造孔剂为可溶解或化学反应除去的颗粒，其中，造孔剂可以为高分子微球，如聚苯乙烯(PS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)等，可溶解除去；造孔剂也可以为无机盐颗粒，如NaCl、NaCO3等，可溶解除去；造孔剂还可以为金属颗粒，如Ag、Cu等，可化学反应除去。
制备线圈时，可以是提供一柔性衬底，并在柔性衬底的一侧表面打印线圈。具体地，柔性衬底可采用聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)或者聚酰亚胺(PI)薄膜，柔性衬底的厚度为10μm～100μm。采用3D打印的方法在柔性衬底的表面打印金属圆形线圈，线圈的线宽为10μm～500μm，圈数为50～10000圈，线圈的材料为金、银、铜中的至少一种，然后，在80～120℃条件下固化，即可在柔性衬底上形成线圈。
或者，制备线圈时，可提供一表面具有金属层的柔性衬底，对金属层进行图案化形成线圈。具体地，可以采用激光刻蚀技术在柔性覆铜板上刻蚀形成金属线圈，超快激光具有明显的非线性吸收效应，刻蚀微结构边缘热影响区域小，质量好，所以优选超快激光刻蚀柔性覆铜板制作线圈。其中，随着激光波长的增加，光热作用越明显，为了减小热效应，激光波长优选355nm。激光单脉冲能量范围为20～300μJ，当单脉冲能量小于20μJ时，刻蚀时间长，效率低；当单脉冲能量大于300μJ时，热影响增加，影响刻蚀质量。激光扫描速度范围为100～3000mm/s，当扫描速度小于100mm/s时，在累积热作用同样会影响刻蚀质量；当扫描速度大于3000mm/s时，激光光斑搭接率较低，刻蚀边缘质量同样较差。
步骤220，将磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底依次层叠，使得线圈可在通电时与磁性膜层相互作用，带动多孔柔性膜层变形。
步骤230，得到柔性致动器。
在本实施例中，磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底之间采用粘接的方式固定在一起。其中，先在多孔柔性膜层的上下两侧表面涂覆与多孔柔性膜层相同材料的高分子预聚物，接着，将多孔柔性膜层的上下两侧表面分别与磁性膜层、柔性衬底贴合，最后，固化高分子预聚物，即可使磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底相互粘合。在多孔柔性膜层上下表面旋涂的高分子预聚物采用与多孔柔性膜层相同的材料，以可提高粘接性能。以多孔柔性膜层采用PDMS为例，先在多孔柔性膜层上下表面旋涂PDMS预聚物，然后上下表面分别与磁性膜层、柔性衬底贴合，在25～150℃的条件下将PDMS预聚物固化，使磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底之间粘接在一起，即可得到柔性致动器。
使用时，柔性衬底上的线圈中通入的电流变化产生磁场，该磁场与磁性膜层相互作用，例如相斥，从而拉动多孔柔性膜层的两侧，使多孔柔性膜层发生形变。采用本申请的结构，线圈所需的驱动电压可小于20V，不会因电压太大而造成佩戴部位的不适或受伤。
以下介绍基于本实施例的柔性致动器的制作方法，采用不同参数的制作工艺制作柔性致动器的过程。
工艺1：
将PDMS预聚物与固化剂按10：1混合均匀，加入钕铁硼颗粒材料，钕铁硼颗粒材料的质量占PDMS预聚物、固化剂与钕铁硼颗粒材料总质量的50％。搅拌均匀后，将混合物置于0.1Torr真空条件下30min除去其中的气泡备用。接着，将混合物置于PMMA模具中，在80℃的条件下固化5h，形成厚度约为200μm的柔性薄膜。然后，将柔性薄膜置于磁化机中磁化，得到磁性膜层。
将PDMS预聚物与固化剂按10：1混合均匀，加入粒径为50μm的NaCl颗粒，NaCl的质量占PDMS预聚物、固化剂与NaCl总质量的60％。混合物搅拌均匀后，在0.1Torr真空条件下30min除去其中的气泡备用。接着，将混合物置于PMMA模具中，在80℃的条件下固化5h，得到厚度约为100μm的薄膜。最后，将制备的薄膜浸入去离子水中24h，除去其中的NaCl颗粒，得到多孔柔性膜层。
采用3D打印的方法在厚度为25μm的柔性PET薄膜表面打印银金属圆形线圈，线圈的线宽为100μm，圈数为1000。打印完成后，将柔性金属线圈置于90℃的条件下固化0.5h。
在多孔柔性膜层的上下表面旋涂PDMS预聚物，旋涂速度为1000rpm，然后，将多孔柔性膜层的上下表面分别与磁性膜层、柔性衬底的线圈处贴合，在80℃的条件下固化，形成柔性致动器。
工艺2：
将PDMS预聚物与固化剂按10：1混合均匀，加入钕铁硼颗粒材料，钕铁硼的质量占PDMS预聚物、固化剂与钕铁硼颗粒材料总质量的80％。搅拌均匀后，将混合物置于0.1Torr真空条件下30min除去其中的气泡备用。接着，将混合物置于PMMA模具中，在80℃的条件下固化5h，形成厚度约为200μm的柔性薄膜。然后，将柔性薄膜置于磁化机中磁化，得到磁性膜层。
将PDMS预聚物与固化剂按10：1混合均匀，加入粒径为80μm的NaCl颗粒，NaCl的质量占PDMS预聚物、固化剂与NaCl总质量的80％，将混合物搅拌均匀，然后在0.1Torr真空条件下30min除去其中的气泡备用。接着，将混合物置于PMMA模具中，在80℃的条件下固化5h，得到厚度约为100μm的薄膜。最后，将制备的薄膜浸入去离子水中24h，除去其中的NaCl颗粒，得到多孔柔性膜层。
采用3D打印的方法在厚度为50μm的柔性PET薄膜表面打印银金属圆形线圈，线圈的线宽为100μm，圈数为1000，打印完成后，将柔性金属线圈置于90℃的条件下固化0.5h。
在多孔柔性膜层的上下表面旋涂PDMS预聚物，旋涂速度为1000rpm，然后，将多孔柔性膜层的上下表面分别与磁性膜层、柔性衬底的线圈处贴合，在80℃的条件下固化，形成柔性致动器。
工艺3：
将PDMS预聚物与固化剂按10：1混合均匀，加入钕铁硼颗粒材料，钕铁硼的质量占PDMS预聚物、固化剂与钕铁硼颗粒材料总质量的50％。搅拌均匀后，将混合物置于0.1Torr真空条件下30min除去其中的气泡备用。接着，将混合物置于PMMA模具中，在80℃的条件下固化5h，形成厚度约为200μm的柔性薄膜。然后，将柔性薄膜置于磁化机中磁化，得到磁性膜层。
将PDMS预聚物与固化剂按10：1混合均匀，加入粒径为20μm的NaCl颗粒，NaCl的质量占PDMS预聚物、固化剂与NaCl总质量的60％，将混合物搅拌均匀，然后在0.1Torr真空条件下30min除去其中的气泡备用。接着，将混合物置于PMMA模具中，在80℃的条件下固化5h，形成厚度约为100μm的薄膜。最后，将制备的薄膜浸入去离子水中24h，除去其中的NaCl颗粒，得到多孔柔性膜层。
采用激光刻蚀技术在厚度为12.5μm的柔性覆铜板上刻蚀形成金属线圈，激光波长为355nm，激光单脉冲能量为100μJ，激光扫描速度范围为600mm/s，所得线圈的线宽为100μm，圈数为1000。
在多孔柔性膜层的上下表面旋涂PDMS预聚物，旋涂速度为1000rpm，然后，将多孔柔性膜层的上下表面分别与磁性膜层、柔性衬底的线圈处贴合，在80℃的条件下固化，形成柔性致动器。
本申请的柔性致动器，包括依次层叠设置的磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，柔性衬底设有线圈，线圈通电时与磁性膜层相互作用，带动多孔柔性膜层变形。柔性致动器的制作方法，包括：提供磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，柔性衬底设有线圈；将磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底依次层叠，使得线圈可在通电时与磁性膜层相互作用，带动多孔柔性膜层变形；得到柔性致动器。本申请的致动器包括三层柔性结构，柔性好，制备工艺简单，并可以通过改变线圈电流实现驱动力精准调控，让医生准确感知手术器械与组织之间的作用力。
上述实施例仅例示性说明本申请的原理及其功效，而非用于限制本申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本申请的权利要求所涵盖。
Claims (10)
1.一种柔性致动器，其特征在于，包括依次层叠设置的磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，所述柔性衬底设有线圈，所述线圈通电时与所述磁性膜层相互作用，带动所述多孔柔性膜层变形。
2.根据权利要求1所述的柔性致动器，其特征在于，所述磁性膜层的厚度为20μm～500μm，所述多孔柔性膜层的厚度为20μm～500μm，所述柔性衬底的厚度为10μm～100μm。
3.根据权利要求1或2所述的柔性致动器，其特征在于，所述线圈的线宽为10μm～500μm，圈数为50～10000圈。
4.根据权利要求1或2所述的柔性致动器，其特征在于，所述多孔柔性膜层的孔径小于或等于500μm。
5.根据权利要求1所述的柔性致动器，其特征在于，所述磁性膜层包括硬磁性材料，所述硬磁性材料的添加质量比为50～90％。
6.一种柔性致动器的制作方法，其特征在于，包括：
S1.提供磁性膜层、多孔柔性膜层及柔性衬底，所述柔性衬底设有线圈；
S2.将所述磁性膜层、所述多孔柔性膜层及所述柔性衬底依次层叠，使得所述线圈可在通电时与所述磁性膜层相互作用，带动所述多孔柔性膜层变形；
S3.得到柔性致动器。
7.根据权利要求6所述的柔性致动器的制作方法，其特征在于，步骤S1，包括：
制备包括高分子材料预聚物、固化剂与硬磁性材料的混合物；
将所述混合物装入模板中固化成型，得到一薄膜；
脱模并将所述薄膜磁化，得到所述磁性膜层。
8.根据权利要求6所述的柔性致动器的制作方法，其特征在于，步骤S1，包括：
制备包括高分子材料预聚物、固化剂与造孔剂的混合物；
将所述混合物装入模板中固化成型，得到一薄膜；
脱模并除去所述造孔剂，得到所述多孔柔性膜层。
9.根据权利要求6所述的柔性致动器的制作方法，其特征在于，步骤S1，包括：
提供一柔性衬底，并在所述柔性衬底的一侧表面打印所述线圈；或，
提供一表面具有金属层的柔性衬底，对所述金属层进行图案化形成所述线圈。
10.根据权利要求6所述的柔性致动器的制作方法，其特征在于，步骤S2，包括：
在所述多孔柔性膜层的上下两侧表面涂覆与所述多孔柔性膜层相同材料的高分子预聚物；
将所述多孔柔性膜层的上下两侧表面分别与所述磁性膜层、所述柔性衬底贴合；
固化所述高分子预聚物，使所述磁性膜层、所述多孔柔性膜层及所述柔性衬底相互粘合。
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