CN112596144A - 基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜/偏振分光棱镜 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜/偏振分光棱镜,偏振棱镜的材料为溴化亚汞Hg2Br2晶体,包括单块溴化亚汞晶体棱镜或多块溴化亚汞晶体棱镜,多块溴化亚汞晶体棱镜为由多个单块溴化亚汞晶体棱镜通过空气隙、光胶或深化光胶方式形成的光线依次入射、两两之间以斜面相连接的堆叠结构。本发明采用正单轴晶Hg2Br2晶体作为棱镜基质,实现了基于Hg2Br2晶体的偏振棱镜和偏振分光棱镜,拓展了应用于可见到红外波段,特别是中远红外波段的棱镜基质材料范围。
Description
技术领域
本发明涉及基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜/偏振分光棱镜,属于光学元件的材料选用和结构设计领域。
背景技术
光入射到各向异性晶体中将发生双折射,分为两束分别沿不同方向传播的偏振光。利用晶体的双折射现象制作成的棱镜称为偏振棱镜,可用于获得偏振光。偏振棱镜在光谱分析、光学成像、激光调制等光学领域具有重要应用。根据具体的应用需求,偏振棱镜可分为格兰-泰勒棱镜、格兰-汤普逊棱镜、沃拉斯顿棱镜、分束棱镜等。单轴晶偏振棱镜所利用的双折射为两主折射率之差,即光束沿垂直c轴方向入射时获得的(ne-no)。
受材料透光范围所限,偏振棱镜一般只能用于特定波段。目前,广泛应用于制作偏振棱镜的材料主要为不可再生的方解石晶体、α-BBO晶体以及YVO4等单轴晶晶体。α-BBO晶体在紫外波段具有良好的透过性能,并且具有较大的双折射,可以用于制作0.19-3.5μm紫外-近红外波段的格兰棱镜;YVO4晶体在0.5-4.0μm具有良好的透过率和大的双折射,可用于制作可见-中红外波段的棱镜;方解石晶体是应用于0.35-2.5μm可见、近红外波段最主要的偏振棱镜材料,然而,方解石晶体属于天然的不可再生资源,随着开采量的逐年增加,价格日趋昂贵。此外,在波长大于5μm的中长波红外区域,较少有合适的材料可用于制作偏振棱镜。
因此寻找从可见到长波红外波段具有宽透光范围、大的双折射、物理化学性能优异且价格便宜的棱镜基质材料,是高质量偏振棱镜研究的一个重要方向。
溴化亚汞晶体(分子式:Hg2Br2)属四方晶系I4/mmm空间群,为正单轴晶。此晶体具有透光范围宽(0.415-30μm)、双折射大(0.724@1.064μm)、易获得大尺寸高质量单晶等特点,是一类潜在的从可见光到长波红外波段宽带宽应用的偏振棱镜材料。
发明内容
针对现有技术中偏振棱镜基质材料短缺的难题,本发明提供基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜。
本发明的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜特别应用于中长波红外波段。
为达到以上目的,本发明是通过如下技术方案实现的:
基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,所述偏振棱镜的材料为溴化亚汞Hg2Br2晶体,包括单块溴化亚汞晶体棱镜或多块溴化亚汞晶体棱镜。
根据本发明优选的,Hg2Br2晶体的双折射率为0.724@1.064μm,红外透过波长为0.415-30μm。
根据本发明优选的,单块溴化亚汞晶体棱镜的顶角根据目标应用波长、Hg2Br2晶体折射率色散关系、折射定律n1sinθ1=n2sinθ2、全反射条件θ1≥arcsin(n2/n1)确定。
根据本发明优选的,在0.415-30μm范围内,Hg2Br2晶体在以下波长下两偏振光的折射率、双折射、全反射角如下所示:
进一步优选的,单块溴化亚汞晶体棱镜的顶角为21.75°-25.70°,实现在0.415-30μm范围内e光的全反射,用于实现o光的偏振输出。
进一步优选的,单块溴化亚汞晶体棱镜的顶角为21.69°-29.42°,实现8-12μm范围内e光的全反射。
本发明的单块溴化亚汞晶体棱镜的形状不受形状限制,只要能实现本发明即可。
优选的,单块溴化亚汞晶体棱镜的形状为直角三角形、三角形、直角梯形、等腰梯形或四边形,四边形为规则四边形或不规则四边形。
根据本发明优选的,单块溴化亚汞晶体棱镜光轴方向平行或垂直于棱镜的直角面,光源垂直于单块溴化亚汞晶体棱镜侧面入射,入射光方向平行或垂直于晶体结晶学c轴(光轴),光线入射后发生全反射从而获得偏振光输出,或经过一次或多次双折射实现两偏振光的分束。
根据本发明优选的,多块溴化亚汞晶体棱镜为由多个单块溴化亚汞晶体棱镜通过空气隙、光胶或深化光胶方式形成的光线依次入射、两两之间以斜面相连接的堆叠结构。
根据本发明优选的,多个单块溴化亚汞晶体棱镜的个数为2-6块。
最为优选的,多块溴化亚汞晶体棱镜为由两个形状相同、顶角为24°的四边形棱镜堆叠构成的格兰-付科棱镜,获得0.415-30μm波长范围内的偏振光。
本发明的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜适用于可见到长波红外波段。
本发明的基于Hg2Br2晶体的偏振棱镜的设计原理如下:
当光线不沿光轴正入射时,在各向异性晶体中将发生双折射,分为两束偏振方向互相垂直的偏振光,分别为偏振方向垂直于光轴的o光和平行于光轴的e光,实际应用中常将两偏振光按照偏振方向垂直和平行于入射面分为s光和p光。根据折射定律n1sinθ1=n2sinθ2,当入射角度θ1满足θ1≥arcsin(n2/n1)时,折射光线消失而发生全反射。控制Hg2Br2棱镜顶角θ使折射率较大的光全反射可用于获得偏振光。利用双折射现象中两光沿不同方向传播特性,调整Hg2Br2棱镜角度θ可实现偏振分光。如图1所示的负单轴晶格兰-付科棱镜,光线垂直于与光轴平行的表面入射后,分为偏振互相垂直的两偏振光,其中折射率较大的p光满足θ1≥arcsin(n2/n1),发生全发射从而获得纯的s偏振光。
本发明中的Hg2Br2晶体为正单轴晶,其中ne垂直于晶体学c轴,其折射率的Sellmeier色散方程为:
ne 2=7.32550+0.47722/(λ2-0.09749)-4.47721×10-5λ2
no 2=4.14094+0.12147/(λ2-0.06849)-1.15854×10-5λ2
式中ne及no分别为e光及o光的折射率,λ为波长,其单位为μm。在0.415-30μm范围内,Hg2Br2晶体在部分重要波长下两偏振光的折射率、双折射、全反射角如下表:
本发明还提供一种基于溴化亚汞晶体的偏振分光棱镜,所述偏振分光棱镜的材料为溴化亚汞Hg2Br2晶体,包括单块溴化亚汞晶体偏振分光棱镜或多块溴化亚汞晶体偏振分光棱镜。
单块溴化亚汞晶体偏振分光棱镜的结构及顶角同上述偏振棱镜,多块溴化亚汞晶体偏振分光棱镜的结构组成同上述多块溴化亚汞晶体棱镜。
基于溴化亚汞晶体的偏振分光棱镜,可根据实际工作环境不同波长下折射率及折射定律获得目标分束角,需注意当Hg2Br2晶体棱镜顶角取值大于等于全反射角时无法在输出端获得该光输出。
此外,Hg2Br2晶体质量在不同生产批次中或存在差异,将导致折射率的微小偏差,此时棱镜设计角度也需根据实际情况进行细微调整。
本发明采用正单轴晶Hg2Br2晶体作为棱镜基质,实现了基于Hg2Br2晶体的偏振棱镜和偏振分光棱镜,拓展了应用于可见到红外波段,特别是中远红外波段的棱镜基质材料范围。
附图说明
图1为格兰-付科型偏振棱镜分光示意图。其中棱镜基质晶体为负单轴晶,光轴垂直于所示平面。图中带箭头的线表示光路,黑点表示s光,双向短箭头表示p光。
图2为实施例1中基于Hg2Br2晶体的格兰-付科棱镜的分光示意图,其中晶体光轴垂直于所示平面。图中带箭头的线表示光路,黑点表示s光,双向短箭头表示p光。
图3为实施例2中基于Hg2Br2晶体的单元式微角分束棱镜的分光示意图,其中晶体光轴垂直于所示平面。图中带箭头的线表示光路,黑点表示s光,双向短箭头表示p光。
图4为实施例3中基于Hg2Br2晶体的洛匈棱镜的分光示意图,其中左侧晶体光轴平行于所示平面沿双向箭头方向,右侧晶体光轴垂直于所示平面。图中带箭头的线表示光路,黑点表示s光,双向短箭头表示p光。
图5为实施例4中基于Hg2Br2晶体的沃拉斯顿棱镜的分光示意图,其中左侧晶体光轴平行于所示平面沿双向箭头方向,右侧晶体光轴垂直于所示平面。图中带箭头的线表示光路,黑点表示s光,双向短箭头表示p光。
图6为实施例5中基于Hg2Br2晶体的双沃拉斯顿棱镜式分束棱镜分光示意图,其中第1、3块晶体光轴平行于所示平面沿双向箭头方向,第2块晶体光轴垂直于所示平面。图中带箭头的线表示光路,黑点表示s光,双向短箭头表示p光。
图7为实施例6中基于Hg2Br2晶体的格兰型分束棱镜分光示意图,其中晶体光轴垂直于所示平面。图中带箭头的线表示光路,黑点表示s光,双向短箭头表示p光。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本发明做进一步说明,但以下实施例中具体棱镜结构不能认为是对本发明专利的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜的进一步限制。
实施例1
基于Hg2Br2晶体的格兰-付科棱镜,结构如图2所示,为两个形状相同、顶角θ为24.00°、晶体光轴垂直于图中所示平面的Hg2Br2晶体棱镜以空气隙结合的格兰-付科棱镜,光线垂直于左侧Hg2Br2晶体棱镜侧面入射,在两棱镜界面处入射角为24.00°,满足Hg2Br2晶体在0.415-30μm内s光全反射条件,s光将发生全反射在侧面溢出,p光因不满足全反射条件而通过空气隙以及第2块Hg2Br2晶体棱镜透出,实现0.415-30μm波段范围内p偏振光的获得。
单块Hg2Br2晶体棱镜切割角度由实际工作条件下目标应用波段范围由全反射条件θ1≥arcsin(n2/n1)得出,其大小需大于应用波段范围内s光在最长波长全反射角,小于p光在最短波长全反射角。设计中也需注意由Hg2Br2生产批次导致的折射率的微小差异。
实施例2
基于Hg2Br2晶体的单元式微角分束棱镜,结构如图3所示。Hg2Br2晶体棱镜的顶角θ为2.95°,晶体光轴垂直于图中所示平面。光线垂直于Hg2Br2晶体棱镜侧面入射,在晶体内分为p光和s光传播,右侧出射时两光发生折射。当入射光波长为5μm时p光和s光折射角角度差为2.00°,实现对5μm光的2.00°分束角。
当θ分别为0.74°、1.48°以及2.22°时,该棱镜结构可实现对5μm波长光的0.5°、1°以及1.5°的分束角。
单元式微角分束棱镜形状为三角形或四边形。
当目标波长变化时,角θ可根据Hg2Br2晶体在实际工作条件及目标波长下的折射率、折射定律以及目标分束角进行相应变化。设计中也需注意到不同生产批次中Hg2Br2折射率的微小差异。
实施例3
基于Hg2Br2晶体的洛匈棱镜,结构如图4所示。为两个形状相同、顶角θ为10.94°的Hg2Br2晶体棱镜以空气隙结合的洛匈棱镜。左侧Hg2Br2晶体棱镜光轴平行于图中所示平面沿双向箭头方向,右侧Hg2Br2晶体棱镜晶体光轴垂直于图中所示平面。
光线垂直于左侧Hg2Br2晶体棱镜侧面入射,在左侧Hg2Br2晶体棱镜中沿原方向传播至空气隙处,在空气隙处发生双折射。两光在右侧Hg2Br2晶体棱镜中实现分离,其中p光平行于原方向出射,s光在右侧Hg2Br2晶体棱镜右侧界面发生折射。该棱镜结构可对2.9μm入射光实现7.50°分束。
当顶角θ分别为3.68°及7.33°时,在2.9μm入射光下可以得到2.5°以及5°的分束角。
当目标波长变化时,顶角θ可根据Hg2Br2晶体在实际工作条件及目标波长下的折射率、折射定律以及目标分束角进行相应变化。设计中也需注意到不同生产批次中Hg2Br2折射率的微小差异。
实施例4
基于Hg2Br2晶体的沃拉斯顿棱镜,结构如图5所示。为两个形状相同、顶角θ为13.40°的Hg2Br2晶体棱镜以空气隙结合的沃拉斯顿棱镜,左侧Hg2Br2晶体棱镜光轴平行于图中所示平面沿双向箭头方向,右侧Hg2Br2晶体棱镜光轴垂直于图中所示界面。
光线垂直于左侧Hg2Br2晶体棱镜侧面入射,在左侧Hg2Br2晶体内p光和s光沿同一方向传播,右侧Hg2Br2晶体棱镜光轴与左侧晶体光轴位置发生相对变化,使两光分离,最终两偏振光在右侧Hg2Br2晶体棱镜侧面出射。该Hg2Br2晶体沃拉斯顿棱镜可对1.064μm入射光实现20.00°的偏振光分束角。
当顶角θ分别为3.43°、6.83°、10.16°时,可以对1.064μm入射光实现5°、10°以及15°分束。
顶角θ的角度值可由折射定律结合实际工作条件以及目标分束角度、波长下两折射率值具体求得。设计中也需注意到不同生产批次中Hg2Br2折射率的微小差异。
实施例5
基于Hg2Br2晶体的双沃拉斯顿棱镜式分束棱镜,结构如图6所示。为三个顶角θ为15.09°的Hg2Br2晶体棱镜以空气隙结合的双沃拉斯顿棱镜式分束棱镜,第1、3块Hg2Br2晶体棱镜光轴平行于图中所示平面沿双向箭头方向,第2块Hg2Br2晶体棱镜光轴垂直于图中所示平面。
光线垂直于第一块Hg2Br2棱镜侧面入射,分为p光和s光沿同一方向传播,在通过第1道空气隙后由于光轴相对位置发生变化而分离,在通过第2道空气隙后再次由于光轴相对位置变化而继续分离,并在第3块Hg2Br2晶体棱镜侧面出射时发生折射。该棱镜结构可对10.6μm入射光实现45°分光。
当目标分束角度及波长发生变化时,θ的角度值可由折射定律结合实际工作条件目标分束波长、角度下两折射率值具体求得。设计中也需注意到不同生产批次中Hg2Br2折射率的微小差异。
实施例6
光线垂直于左侧Hg2Br2晶体棱镜侧面入射,在传播到空气隙时s光发生全反射,并在左侧Hg2Br2晶体棱镜左上方界面发生折射。p光在空气隙两侧发生折射,沿平行于入射方向传播,并在右侧Hg2Br2晶体棱镜右侧出射。该棱镜结构可实现对8μm入射光的90°分束,且在2.9-30μm波长范围内分束角处于90±0.3°范围内。
以上具体实施方式为对Hg2Br2晶体作为基质材料的应用于可见到红外,特别是中远红外波段的偏振棱镜的进一步说明,不能认为是对本发明专利的进一步限定,本领域技术人员根据本发明专利内容作出的非实质性改变均应落入本发明专利保护范围内。
Claims (10)
1.基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,所述偏振棱镜的材料为溴化亚汞Hg2Br2晶体,包括单块溴化亚汞晶体棱镜或多块溴化亚汞晶体棱镜。
2.根据权利要求1所述的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,其特征在于,Hg2Br2晶体的双折射率为0.724@1.064μm,红外透过波长为0.415-30μm;单块溴化亚汞晶体棱镜的顶角根据目标应用波长、Hg2Br2晶体折射率色散关系、折射定律n1sinθ1=n2sinθ2、全反射条件θ1≥arcsin(n2/n1)确定。
4.根据权利要求3所述的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,其特征在于,单块溴化亚汞晶体棱镜的顶角为21.75°-25.70°,实现在0.415-30μm范围内e光的全反射,用于实现o光的偏振输出。
5.根据权利要求3所述的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,其特征在于,单块溴化亚汞晶体棱镜的顶角为21.69°-29.42°,实现8-12μm范围内e光的全反射。
6.根据权利要求1所述的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,其特征在于,单块溴化亚汞晶体棱镜的形状为直角三角形、三角形、直角梯形、等腰梯形或四边形,四边形为规则四边形或不规则四边形。
7.根据权利要求1所述的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,其特征在于,单块溴化亚汞晶体棱镜光轴方向平行或垂直于棱镜的直角面,光源垂直于单块溴化亚汞晶体棱镜侧面入射,入射光方向平行或垂直于晶体结晶学c轴(光轴),光线入射后发生全反射从而获得偏振光输出,或经过一次或多次双折射实现两偏振光的分束。
8.根据权利要求1所述的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,其特征在于,多块溴化亚汞晶体棱镜为由多个单块溴化亚汞晶体棱镜通过空气隙、光胶或深化光胶方式形成的光线依次入射、两两之间以斜面相连接的堆叠结构;优选的,多个单块溴化亚汞晶体棱镜为2-6块。
9.根据权利要求8所述的基于溴化亚汞晶体的偏振棱镜,其特征在于,多块溴化亚汞晶体棱镜为由两个形状相同、顶角为24°的四边形棱镜堆叠构成的格兰-付科棱镜,获得0.415-30μm波长范围内的偏振光。
10.一种基于溴化亚汞晶体的偏振分光棱镜,所述偏振分光棱镜的材料为溴化亚汞Hg2Br2晶体,包括单块溴化亚汞晶体偏振分光棱镜或多块溴化亚汞晶体偏振分光棱镜。
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---|---|
CN (1) | CN112596144A (zh) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3902782A (en) * | 1974-11-14 | 1975-09-02 | Us Commerce | Mercurous chloride prism polarizers |
US4320973A (en) * | 1975-02-11 | 1982-03-23 | Agence Nationale De Valorisation De La Recherche (Anvar) | Device for interferential spectrometry with selective modulation |
DE10037652A1 (de) * | 2000-07-31 | 2002-02-14 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung eines Drehimpulses auf ein Objekt durch Bestralung mit Licht |
CN101046555A (zh) * | 2006-03-29 | 2007-10-03 | 曲阜师范大学激光研究所 | 双反射偏光分束方法及偏光分束棱镜 |
CN101067669A (zh) * | 2007-06-05 | 2007-11-07 | 山东大学 | 一种以光胶粘合而成的yvo4晶体偏振棱镜 |
CN103345014A (zh) * | 2013-07-10 | 2013-10-09 | 山东大学 | 基于α-BaTeMo2O9 晶体的偏振棱镜 |
CN105093366A (zh) * | 2014-04-30 | 2015-11-25 | 诺方(哈尔滨)科技股份有限公司 | 偏振分光棱镜、基波干涉单元及梳状分波器 |
CN208545514U (zh) * | 2018-06-12 | 2019-02-26 | 山东大学 | 一种卤化亚汞单晶体的生长装置 |
CN111221138A (zh) * | 2018-11-27 | 2020-06-02 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种偏振分光棱镜组及光刻机 |
-
2020
- 2020-12-15 CN CN202011472527.6A patent/CN112596144A/zh active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3902782A (en) * | 1974-11-14 | 1975-09-02 | Us Commerce | Mercurous chloride prism polarizers |
US4320973A (en) * | 1975-02-11 | 1982-03-23 | Agence Nationale De Valorisation De La Recherche (Anvar) | Device for interferential spectrometry with selective modulation |
DE10037652A1 (de) * | 2000-07-31 | 2002-02-14 | Deutsche Telekom Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung eines Drehimpulses auf ein Objekt durch Bestralung mit Licht |
CN101046555A (zh) * | 2006-03-29 | 2007-10-03 | 曲阜师范大学激光研究所 | 双反射偏光分束方法及偏光分束棱镜 |
CN101067669A (zh) * | 2007-06-05 | 2007-11-07 | 山东大学 | 一种以光胶粘合而成的yvo4晶体偏振棱镜 |
CN103345014A (zh) * | 2013-07-10 | 2013-10-09 | 山东大学 | 基于α-BaTeMo2O9 晶体的偏振棱镜 |
CN105093366A (zh) * | 2014-04-30 | 2015-11-25 | 诺方(哈尔滨)科技股份有限公司 | 偏振分光棱镜、基波干涉单元及梳状分波器 |
CN208545514U (zh) * | 2018-06-12 | 2019-02-26 | 山东大学 | 一种卤化亚汞单晶体的生长装置 |
CN111221138A (zh) * | 2018-11-27 | 2020-06-02 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种偏振分光棱镜组及光刻机 |
Non-Patent Citations (8)
Title |
---|
DMITRIY L,ET AL.: "Broadband Glan-type polarization scheme based on mercury halide crystal", 《OPTICAL ENGINEERING》 * |
KIM TAE HYEON,ET AL.: "In-depth Investigation of Hg2Br2 Crystal Growth and Evolution", 《MATERIALS》 * |
付永栋等: "微角分束偏光棱镜分束角的特性研究", 《激光技术》 * |
倪志波: "单元反射型偏光分束棱镜的设计", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 基础科学辑》 * |
蔡怀新等: "《基础物理学 第2版 下》", 30 June 2003, 高等教育出版社 * |
陈肃超等: "基于不同介质材料的AOTF特性研究综述", 《光通信研究》 * |
陶旭堂等: "晶体材料研究—从体块晶体到微纳米晶体", 《人工晶体学报》 * |
魏昇等: "《光学》", 31 December 2016, 西安交通大学出版社 * |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210402 |
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