CN112595308A - 光控制和驱动的微型机器人 - Google Patents

光控制和驱动的微型机器人 Download PDF

Info

Publication number
CN112595308A
CN112595308A CN202011331298.6A CN202011331298A CN112595308A CN 112595308 A CN112595308 A CN 112595308A CN 202011331298 A CN202011331298 A CN 202011331298A CN 112595308 A CN112595308 A CN 112595308A
Authority
CN
China
Prior art keywords
micro
robot
light source
light
dichroic filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active - Reinstated
Application number
CN202011331298.6A
Other languages
English (en)
Inventor
邓仕杰
李翔
王文思
苑立波
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guilin University of Electronic Technology
Original Assignee
Guilin University of Electronic Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guilin University of Electronic Technology filed Critical Guilin University of Electronic Technology
Priority to CN202011331298.6A priority Critical patent/CN112595308A/zh
Publication of CN112595308A publication Critical patent/CN112595308A/zh
Active - Reinstated legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C21/00Navigation; Navigational instruments not provided for in groups G01C1/00 - G01C19/00
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J7/00Micromanipulators
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/44Electric circuits
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/44Electric circuits
    • G01J2001/4446Type of detector
    • G01J2001/446Photodiode
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/44Electric circuits
    • G01J2001/4446Type of detector
    • G01J2001/446Photodiode
    • G01J2001/4466Avalanche

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

本发明提供的是一种光控制和驱动的微型机器人,由光源1、光路2、微型机器人3和控制器4组成,其中光源1由第一光源11、第二光源12、第三光源13和第四光源14组成,光路2由反射镜21、第一二向色滤光片22、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24组成,微型机器人3由硅光电池31、光电探测模块32、行走机构33和微型机器人封装34组成。本发明可用于微型机器人的控制和驱动,可广泛用于生物检测、生物医疗、环境保护和微尺度探测等领域。

Description

光控制和驱动的微型机器人
(一)技术领域
本发明涉及的是一种光控制和驱动的微型机器人,本发明可用于生物检测、生物医疗、环境保护和微尺度探测等领域。属于机器人技术领域。
(二)背景技术
随着科技的发展,机器人越来越多地出现在了我们的视野中,它们协助或替代人类工作在各个领域,给人类的生产和生活活动带来了极大的便利。近几十年来微机电系统的发展和进步,微型机器人应时而生,微型机器人的诞生为工业、医疗和生物等领域注入了新的成分。微型机器人凭借其结构尺寸微小、器件精密,能够进入到人类和宏观机器人所不能到达的狭窄空间进行高精度的定位和操作,因此应用前景十分广阔。目前,国内外研究人员已经在该领域取得了不少成果,各种类型和用途的微型机器人被发明出来,例如:面向石油化工、发电设备中细小管道的探伤和维护的微型管道机器人、进入人体进行医疗检测和微创手术的微型医用机器人。
目前对于微型机器人围绕着更小尺寸更低的成本的方向发展,其中基于集成电路技术生产制造的微型机器人,通过集成电路技术将微型机器人所需的微传感器、微驱动器和微结构集成一起,可以实现单个硅晶片上制造出几十万个乃至几百万个相同结构微型机器人,微型机器人的尺寸可以做的及其小巧且成本及其低廉。文献“Miskin,M.Z.,Cortese,A.J.,Dorsey,K.et al.Electronically integrated,mass-manufactured,microscopicrobots.Nature 584,557–561(2020)”报道了一种微型机器人构型使得他们在4英寸晶圆上制造了一百万个相同结构微型机器人,微型机器人由照射到其表面的激光进行控制和驱动。他们将非常细的激光束照射到微型机器人几十微米的硅光伏电池上,同时激光束需要交替的照射到在不同的硅光伏电池使得微型机器人移动。并且随着微型机器人的移动,激光束也需要根据微型机器人的移动进行相应的调整,可以看出通过激光进行点对点照射的方式操纵该微型机器人的过程是十分困难的。
为了解决该问题,本发明公开了一种光控制和驱动的微型机器人,可用于生物检测、生物医疗、环境保护和微尺度探测等领域。该系统通过利用所设计的光源输出不同波长的光至微型机器人的表面,微型机器人的硅光电池将照射在其表面的光转换为运作所需的电能,微型机器人的行走机构将电能转换为移动需要的机械能。同时,微型机器人中设计了几个光电探测模块,每个模块都会针对某个特定的波长响应,当照射在微型机器人表面的光是某个波长时,响应该波长的光电探测模块会触发并控制微型机器人朝向其所控制的方向移动,只需要通过控制器控制光源输出的波长便可以轻易的控制微型机器人的移动。
(三)发明内容
本发明的目的在于提供一种光控制和驱动的微型机器人,可以用于生物检测、生物医疗、环境保护和微尺度探测等领域。
一种光控制和驱动的微型机器人由光源1、光路2、微型机器人3和控制器4组成,其中光源1由第一光源11、第二光源12、第三光源13和第四光源14组成,光路2由反射镜21、第一二向色滤光片22、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24组成,微型机器人3由硅光电池31、光电探测模块32、行走机构33和微型机器人封装34组成。
本发明是这样实现的:光源1发射出的光经过光路1中的反射镜21、第一二向色滤光片22、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24传播到微型机器人3的表面。控制器4分别控制光源1中第一光源11、第二光源12、第三光源13和第四光源14的开启状态,使得照射到微型机器人3表面的光在四个不同的波长之间切换,从而实现对微型机器人3的控制和驱动。微型机器人3中的硅光电池31为其行走机构33的运作提供能量,光电探测模块32由带通滤光片321和光电探测器322构成,这样光电探测模块32可以接受特定的光信号,通过改变照射到微型机器人3表面上光的波长可以作为控制微型机器人3方向的信号。
所述系统中光源1由第一光源11、第二光源12、第三光源13和第四光源14构成,它们的波长依次为800±30nm、700±30nm、600±30nm和500±30nm。光源可以是发光二极管(LED)和激光的任意一种。
所述系统中光路2由反射镜21、第一二向色滤光片22、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24构成,对于反射镜21可以是平面反射镜或者反射棱镜的一种,第一二向色滤光片22为750nm的长波通二向色滤光片,第二二向色滤光片23为650nm的长波通二向色滤光片,第三二向色滤光片24为550nm的长波通二向色滤光片。第一光源11发出800±30nm的光经过反射镜21反射到第一二向色滤光片21的表面,并依次经过第一二向色滤光片21、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24透射至微型机器人3的表面。第二光源12发出700±30nm的光经过第一二向色滤光片22反射到第二二向色滤光片23,并以此经过第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24透射到微型机器人3的表面。同样的第三光源13和第四光源14发出的光通过光路2入射到微型机器人3的表面。
所述系统中光电探测模块32由带通滤光片321和光电探测器322构成,光电探测器322可以是光电二极管和雪崩光电二极管的任意一种,光电探测器322放置在带通滤光片321下面,通过选用特定带通波长的带通滤光片321使得光探测模块32针对特定波长范围的光响应。微型机器人3中设置4个不同带通波长(四个带通波长对应800±30nm、700±30nm、600±30nm和500±30nm)的光探测模块32,用于四个移动方向的控制,分别是前、后、左和右方向。
所述系统中微型机器人3基于集成电路工艺制作而成,其主要由硅光电池31、光电探测模块32、行走机构33和微型机器人封装34构成。硅光电池31将照射到微型机器人3表面的光能转化为电能,为微型机器人3的运行提供能量。行走机构33是将硅光电池31产生的电能转换为微型机器人3用于移动的机械能,其可以是基于电致形变材料制作而成。微型机器人封装34起承载作用,微型机器人3的硅光电池31、光探测模块32和行走机构33集成在微型机器人封装34上,整个微型机器人3的尺寸控制在微米到毫米级。
所述系统中控制器4的作用是控制光源1中四个不同波长光源的开启状态,使得照射在微型机器人3表面的光在四个波段之间进行切换,微型机器人3根据接收到光信号的波段对应的方向信息进行移动。例如,当控制器4控制第一光源11开启,800±30nm的光信号入射到微型机器人3的表面,微型机器人3中带通波长为800±30nm的光探测模块响应该光信号,控制和驱动微型机器人3向前(带通波长为800±30nm的光探测模块控制向前的运动方向)运动。
(四)附图说明
图1是光控制和驱动的微型机器人示意图。它由光源1、光路2、微型机器人3和控制器4组成,其中光源1由第一光源11、第二光源12、第三光源13和第四光源14组成,光路2由反射镜21、第一二向色滤光片22、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24组成,微型机器人3由硅光电池31、光电探测模块32、行走机构33和微型机器人封装34组成。
图2是光控制和驱动的微型机器人实施例示意图。它由光源1、光路2、微型机器人3和控制器4组成,其中光源1由第一激光11(波长800nm)、第二激光12(波长700nm)、第三激光13(波长600nm)和第四激光14(波长500nm)组成,光路2由平面反射镜21、第一二向色750nm长波通滤光片22、第二二向色650nm长波通滤光片23和第三二向色550nm长波通滤光片24组成,微型机器人3由硅光电池31、光电探测模块32(四个不同波长的探测模块,波长分别为800nm、700nm、600nm和500nm)、行走机构33(4个行走机构,可以朝四个方向移动)和微型机器人封装34组成。
图3是实施例中微型机器人3方向控制示意图,方向351为微型机器人3位于所在平面向前的移动方向,方向352为微型机器人3位于其所在平面向后移动的方向,方向353为微型机器人3位于所在平面向左的移动方向,方向354为微型机器人3位于所在平面向右的移动方向。
(五)具体实施方式
下面结合具体的实施例来进一步阐述本发明。
图2给出了光控制和驱动的微型机器人的实施例,光源1中第一激光11(波长800nm)、第二激光12(波长700nm)、第三激光13(波长600nm)和第四激光14(波长500nm)用来产生四种不同波长的激光,通过控制器4控制光源1每次单独发射出一种波长的光。
第一光源11发出的800nm的激光,经过平面反射镜21反射到第一二向色750nm长波通滤光片22,激光的波长大于滤光片截止波长,800nm的激光将经过第一二向色750nm长波通滤光片22、第二二向色650nm长波通滤光片23和第三二向色550nm长波通滤光片24投射到微型机器人3的表面。第二光源12发出的700nm的激光,入射到第一二向色750nm长波通滤光片22,激光的波长小于滤光片截止波长,700nm的激光将经过第一二向色750nm长波通滤光片22反射到第二二向色650nm长波通滤光片23,激光波长大于滤波片的截止波长,700nm的激光将经过第二二向色650nm长波通滤光片23和第三二向色550nm长波通滤光片24照射到微型机器人3的表面。同理,第三光源13和第四光源14也会经过光路1照射到微型机器人3的表面。
微型机器人3表面的硅光电池31将接受到的光转换为运行所需的电能,四个行走机构33将电能转换为机械能使得微型机器人3按照被控制的方向移动。对于微型机器人3移动方向的控制,四个光电探测器模块32完成该任务,光电探测模块32由带通滤光器321和光电探测器322组成,这样光电探测器模块32只针对特定波长的光响应。四个光电探测模块32的带通滤光器321的带通波长与光源1中的波长,分别选用800nm、700nm、600nm和500nm。带通波长为800nm的光电探测模块32响应第一光源11发出的激光控制微型机器人3按照方向351(如图3)移动,带通波长为700nm的光电探测模块32响应第二光源12发出的激光控制微型机器人3按照方向352(如图3)移动,带通波长为600nm的光电探测模块32响应第三光源13发出的激光控制微型机器人3按照方向353(如图3)移动,带通波长为500nm的光电探测模块32响应第四光源14发出的激光控制微型机器人3按照方向354(如图3)移动。所以控制器4实时控制光源1发出波段可调的激光至微型机器人3提供了移动的能量,最重要的是微型机器人3的移动方向可以被轻易的、实时的控制。

Claims (6)

1.一种光控制和驱动的微型机器人,由光源1、光路2、微型机器人3和控制器4组成,其中光源1由第一光源11、第二光源12、第三光源13和第四光源14组成,光路2由反射镜21、第一二向色滤光片22、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24组成,微型机器人3由硅光电池31、光探测模块32、行走机构33和微型机器人封装34组成。所述系统中光源1发射出的光经过光路1中的反射镜21、第一二向色滤光片22、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24传播到微型机器人3的表面。控制器4分别控制光源1中第一光源11、第二光源12、第三光源13和第四光源14的开启状态,使得照射到微型机器人3表面的光在四个不同的波长之间切换,从而实现实现对微型机器人的控制和驱动。微型机器人3中的硅光电池31为其行走机构33的运作提供能量,光电探测模块32由带通滤光片321和光电探测器322构成,这样光电探测模块32可以接受特定波长的光信号,通过改变照射到微型机器人3表面上光的波长可以作为控制微型机器人方向的信号。
2.根据权利要求1所述的一种光控制和驱动的微型机器人,其特征是:光源1由第一光源11、第二光源12、第三光源13和第四光源14构成,它们的波长依次为800±30nm、700±30nm、600±30nm和500±30nm。光源可以是发光二极管(LED)和激光的任意一种。
3.根据权利要求1所述的一种光控制和驱动的微型机器人,其特征是:光路2由反射镜21、第一二向色滤光片22、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24构成,对于反射镜21可以是平面反射镜或者反射棱镜的一种,第一二向色滤光片22为750nm的长波通二向色滤光片,第二二向色滤光片23为650nm的长波通二向色滤光片,第三二向色滤光片24为550nm的长波通二向色滤光片。第一光源11发出800±30nm的光经过反射镜21反射到第一二向色滤光片21的表面,并依次经过第一二向色滤光片21、第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24透射至微型机器人3的表面。第二光源12发出700±30nm的光经过第一二向色滤光片22反射到第二二向色滤光片23,并以此经过第二二向色滤光片23和第三二向色滤光片24透射到微型机器人3的表面。同样的第三光源13和第四光源14发出的光通过光路2入射到微型机器人3的表面。
4.根据权利要求1所述的一种光控制和驱动的微型机器人,其特征是:光电探测模块32由带通滤光片321和光电探测器322构成,光电探测器322可以是光电二极管和雪崩光电二极管的任意一种,光电探测器322放置在带通滤光片321下面,通过选用特定通带波长的带通滤光片321使得光探测模块32针对特定波长范围的光响应。微型机器人3中设置4个不同带通波长(四个带通波长对应800±30nm、700±30nm、600±30nm和500±30nm)的光探测模块32,用于四个移动方向的控制,分别是前、后、左和右方向。
5.根据权利要求1所述的一种光控制和驱动的微型机器人,其特征是:微型机器人3基于集成电路工艺制作而成,其主要由硅光电池31、光电探测模块32、行走机构33和微型机器人封装34构成。硅光电池31将照射到微型机器人3表面的光能转化为电能,为微型机器人3的运行提供能量。行走机构33是将硅光电池31产生的电能转换为微型机器人3用于移动的机械能,其可以是基于电致形变材料制作而成。微型机器人封装34起承载作用,微型机器人3的硅光电池31、光探测模块32和行走机构33集成在微型机器人封装34上,整个微型机器人3的尺寸控制在微米到毫米级。
6.根据权利要求1所述的一种光控制和驱动的微型机器人,其特征是:控制器4的作用是控制光源1中四个不同波长光源的开启状态,使得照射在微型机器人3表面的光在四个波段之间进行切换,微型机器人3根据接收到光信号的波段对应的方向信息进行移动。例如,当控制器4控制第一光源11开启,800±30nm的光信号入射到微型机器人3的表面,微型机器人3中带通波长为800±30nm的光探测模块响应该光信号,控制和驱动微型机器人3向前(带通波长为800±30nm的光探测模块控制向前的运动方向)运动。
CN202011331298.6A 2020-11-24 2020-11-24 光控制和驱动的微型机器人 Active - Reinstated CN112595308A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011331298.6A CN112595308A (zh) 2020-11-24 2020-11-24 光控制和驱动的微型机器人

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011331298.6A CN112595308A (zh) 2020-11-24 2020-11-24 光控制和驱动的微型机器人

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112595308A true CN112595308A (zh) 2021-04-02

Family

ID=75183644

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011331298.6A Active - Reinstated CN112595308A (zh) 2020-11-24 2020-11-24 光控制和驱动的微型机器人

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112595308A (zh)

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1096888A (zh) * 1992-11-20 1994-12-28 精工爱普生株式会社 微型机器人及其收装箱
US7574137B1 (en) * 2006-05-05 2009-08-11 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Multi-wavelength time-coincident optical communications system and methods thereof
CN105082106A (zh) * 2015-07-21 2015-11-25 中国科学院物理研究所 可编码执行器及其控制方法和微机器人
CN106094836A (zh) * 2016-08-08 2016-11-09 成都希德电子信息技术有限公司 一种基于二维激光雷达的微型机器人控制系统及方法
CN108527315A (zh) * 2018-05-03 2018-09-14 复旦大学 一种点光源驱动的微型机器人及其制备方法
CN108593161A (zh) * 2018-04-20 2018-09-28 南开大学 一种基于光纤光栅的微创外科手术机器人三维力传感器
CN109342377A (zh) * 2018-09-07 2019-02-15 桂林电子科技大学 一种基于荧光激发原理的pH光纤传感器系统
US10207410B1 (en) * 2016-01-07 2019-02-19 Physical Optics Corporation Robotic autonomous navigation and orientation tracking system and methods
CN109407295A (zh) * 2018-12-18 2019-03-01 中国科学院深圳先进技术研究院 一种基于dmd可多色激发的结构光显微系统及多色激发方法
CN110293536A (zh) * 2019-07-12 2019-10-01 哈尔滨工业大学 一种微纳机器人控制系统
US20200072980A1 (en) * 2018-09-04 2020-03-05 Daegu Gyeongbuk Institute Of Science And Technology Micro robot and micro robot behavior measurement system
CN110993140A (zh) * 2019-11-15 2020-04-10 桂林电子科技大学 单芯光纤-多芯光纤组合式光学马达系统
CN111889153A (zh) * 2020-08-04 2020-11-06 桂林电子科技大学 基于光纤集成微流芯片的流式细胞仪

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1096888A (zh) * 1992-11-20 1994-12-28 精工爱普生株式会社 微型机器人及其收装箱
US7574137B1 (en) * 2006-05-05 2009-08-11 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Multi-wavelength time-coincident optical communications system and methods thereof
CN105082106A (zh) * 2015-07-21 2015-11-25 中国科学院物理研究所 可编码执行器及其控制方法和微机器人
US10207410B1 (en) * 2016-01-07 2019-02-19 Physical Optics Corporation Robotic autonomous navigation and orientation tracking system and methods
CN106094836A (zh) * 2016-08-08 2016-11-09 成都希德电子信息技术有限公司 一种基于二维激光雷达的微型机器人控制系统及方法
CN108593161A (zh) * 2018-04-20 2018-09-28 南开大学 一种基于光纤光栅的微创外科手术机器人三维力传感器
CN108527315A (zh) * 2018-05-03 2018-09-14 复旦大学 一种点光源驱动的微型机器人及其制备方法
US20200072980A1 (en) * 2018-09-04 2020-03-05 Daegu Gyeongbuk Institute Of Science And Technology Micro robot and micro robot behavior measurement system
CN109342377A (zh) * 2018-09-07 2019-02-15 桂林电子科技大学 一种基于荧光激发原理的pH光纤传感器系统
CN109407295A (zh) * 2018-12-18 2019-03-01 中国科学院深圳先进技术研究院 一种基于dmd可多色激发的结构光显微系统及多色激发方法
CN110293536A (zh) * 2019-07-12 2019-10-01 哈尔滨工业大学 一种微纳机器人控制系统
CN110993140A (zh) * 2019-11-15 2020-04-10 桂林电子科技大学 单芯光纤-多芯光纤组合式光学马达系统
CN111889153A (zh) * 2020-08-04 2020-11-06 桂林电子科技大学 基于光纤集成微流芯片的流式细胞仪

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
MARC Z. MISKIN 等: "Electronically integrated, mass-manufactured, microscopic robots", 《NATURE》 *
彭勇 等: "一种用于鲤鱼机器人的光刺激装置及光控实验方法", 《生物医学工程学杂志》 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101477306B (zh) 高速多光束并行激光直写装置
CN100557419C (zh) 微流控芯片荧光检测光学装置
JP2008533531A (ja) 光学的操作システム
CN100427923C (zh) 多功能芯片检测装置
CN1505756A (zh) 便携式内部质量检查装置
CN1300563C (zh) 一种微型三维自扫描共焦显微镜
CN110293536B (zh) 一种微纳机器人控制系统
US10365158B2 (en) Low-noise spectroscopic imaging system
US8619251B2 (en) Device and method for measuring the position of at least one moving object in a three-dimensional grid
CN105710539B (zh) 一种激光切割系统
CN112595308A (zh) 光控制和驱动的微型机器人
CN202522760U (zh) 一种涡旋飞秒激光光镊装置
JP2015504158A (ja) 微小物体を操作し光学的に標的化するためのシステム
CN113146031A (zh) 一种基于动态视场拼接的扫描显微超快激光加工系统
CN112454324B (zh) 微型机器人的群体控制方法
CN101464560A (zh) 基于随机并行优化算法的光束偏转与净化装置
CN103913831A (zh) 一种基于s波片的飞秒激光光镊操控装置
KR20180071777A (ko) 대면적 형광 영상용 광원 장치
US10018379B2 (en) Electromagnetic radiation spreading for direct indoor uses
CN203773151U (zh) 一种基于s波片的飞秒激光光镊操控装置
CN110560189B (zh) 一种基于y切铌酸锂芯片的水合液滴分离方法及装置
CN109647556B (zh) 一种集成自对准透镜的poct微流控芯片及其制备方法
CN203773153U (zh) 一种基于柱矢量光束的飞秒激光光镊操控装置
CN111722391A (zh) 一种三维头戴式显微镜
Yamato et al. 1-ms Three-Dimensional Feedback Microscope with 69-kHz Synchronous Modulation of Focal Position and Illumination

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned
AD01 Patent right deemed abandoned

Effective date of abandoning: 20230404

RR01 Reinstatement of patent right
RR01 Reinstatement of patent right

Former decision: Deemed waiver of patent rights

Former decision publication date: 20230404