CN112561783A - 用于确定电路版图的方法、设备和计算机可读存储介质 - Google Patents

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Abstract

根据本公开的示例实施例，提供了一种确定电路版图的方法、设备和计算机可读存储介质。该方法包括：针对初始的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示电路版图的着色不平衡程度。该方法还包括依次针对多个子区域中的至少一个子区域：执行颜色转换以更新电路版图；确定经更新的电路版图的更新全局成本；以及如果确定更新全局成本小于初始全局成本，保留颜色转换。该方法还可以包括：基于所述多个子区域中的至少一个子区域的所述颜色转换的结果，生成最终的电路版图。在根据本公开的确定电路版图的方案而获得最终的电路版图中，具有第一颜色的几何图形和具有第二颜色的几何图形的面积和密度都彼此接近，因此不同子版图的负载被均衡。

Description

用于确定电路版图的方法、设备和计算机可读存储介质
技术领域
本公开的实施例主要涉及集成电路领域，并且更具体地，涉及用于确定电路版图的方法、设备和计算机可读存储介质。
背景技术
随着半导体制造程序继续进步，几十年来，功能组件的尺寸已不断地缩减，而每器件的诸如晶体管的功能组件的量已在稳固地增加，此遵循通常被称作“莫耳定律(Moore'slaw)”的趋势。在当前先进技术下，使用光刻装置来制造器件层，光刻装置使用来自深紫外线(DUV)照明源的UV辐射而将设计布局投影至基板上，从而产生尺寸充分地低于100nm的个别功能组件，亦即，尺寸小于来自该照明源(例如，193nm照明源)的辐射的波长的一半(例如，最小的设计节距小于78nm)。随着目标图案的临界尺寸日益减小，在晶片上再现目标图案变得愈发困难。
双重曝光技术(DPT)或多重曝光技术(MPT)允许将给定目标图案的特征分离到两个不同的掩模中、并接着独立成像来形成所需的图案，从而在每个掩模中，最小设计节距能够足够大，以允许继续使用193nm的照明源的辐射。当利用双重曝光技术(DPT)或多重曝光技术(MPT)对电路版图进行分解时，电路版图上的几何图形被着色成两种或多种不同的颜色，具有同一颜色多个几何图形例如在制造厂中将被分配到一个掩模，以对晶圆进行加工。
但是根据当前的分解技术，在对设计版图执行分解(也就是着色)之后，经常会存在所得到的子版图上的负载不均衡的问题。
发明内容
根据本公开的示例实施例，提供了一种用于确定电路版图的方案。
在本公开的第一方面，提供了一种确定电路版图的方法。该方法可以包括：针对被填充有第一颜色和第二颜色并且包括多个子区域的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示电路版图的着色不平衡程度。该方法还可以包括：依次针对多个子区域中的至少一个子区域，执行颜色转换以更新电路版图，颜色转换将子区域中的第一颜色改变为第二颜色并且将第二颜色改变为第一颜色；确定经更新的电路版图的更新全局成本；以及如果确定更新全局成本小于初始全局成本，保留颜色转换。该方法还可以包括：基于多个子区域中的至少一个子区域的颜色转换的结果，生成最终的电路版图。
在本公开的另一方面，提供一种电子设备，包括：处理器；以及与处理器耦合的存储器，存储器具有存储于其中的指令，指令在被处理器执行时使电子设备执行动作。这些动作可以包括：针对被填充有第一颜色和第二颜色并且包括多个子区域的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示电路版图的着色不平衡程度。这些动作还可以包括依次针对多个子区域中的至少一个子区域，执行颜色转换以更新电路版图，颜色转换将子区域中的第一颜色改变为第二颜色并且将第二颜色改变为第一颜色；确定经更新的电路版图的更新全局成本；以及如果确定更新全局成本小于初始全局成本，针对子区域，保留颜色转换。这些动作还可以包括：基于多个子区域中的至少一个子区域的颜色转换的结果，生成最终的电路版图。
在一些实施例中，这些动作还可以包括：如果确定更新全局成本不小于初始全局成本，放弃颜色转换。
在一些实施例中，确定初始全局成本可以包括：利用扫描窗口，多次扫描电路版图。确定初始全局成本还可以包括针对多次扫描中的每次扫描：确定扫描窗口中的第一颜色的第一面积和第二颜色的第二面积；以及基于第一颜色的第一面积和第二颜色的第二面积，确定着色不平衡值；以及基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定初始全局成本。
在一些实施例中，基于第一颜色的第一面积和第二颜色的第二面积确定着色不平衡值可以包括：基于第一面积差和第二面积和的比值，确定着色不平衡值，第一面积差为第一面积和第二面积之差，第一面积和为第一面积和第二面积之和；以及基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值确定初始全局成本可以包括：获取每一次扫描的着色不平衡值；通过对多个着色不平衡值的平方进行求和，来确定初始全局成本。
在一些实施例中，确定经更新的电路版图的更新全局成本可以包括：利用扫描窗口，多次扫描经更新的电路版图。确定经更新的电路版图的更新全局成本还可以包括针对多次扫描中的每次扫描：确定扫描窗口中的第一颜色的第三面积和第二颜色的第四面积；以及基于第三面积和第四面积，确定着色不平衡值；以及基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定更新全局成本。
在一些实施例中，基于第三面积和第四面积确定着色不平衡值可以包括：基于第二面积差和第二面积和的比值，确定着色不平衡值，第二面积差为第三面积和第四面积之差，第二面积和为第三面积和第四面积之和；基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值确定更新全局成本可以包括：获取每一次扫描的着色不平衡值；通过对多个着色不平衡值的平方进行求和，确定更新全局成本。
在一些实施例中，确定着色不平衡值可以包括：如果比值小于阈值，将着色不平衡值确定为一预设值。
在一些实施例中，多个子区域中的每个子区域的范围可以大于扫描窗口的范围。
在一些实施例中，多个子区域中的每个子区域可以包括多个几何图形，并且多个几何图形中的每个几何图形被着色为第一颜色或第二颜色。
在一些实施例中，在最终的电路版图中，具有第一颜色的几何图形的总面积与具有第二颜色的几何图形的总面积之差不大于预设面积阈值，并且具有第一颜色的几何图形的整体密度与具有第二颜色的几何图形的整体密度之差不大于预设密度阈值。
在一些实施例中，这些动作还可以包括：将最终的电路版图上的具有第一颜色的所有几何图形和具有第二颜色的所有几何图形进行分解，以分别形成第一子版图和第二子版图。
在本公开的第三方面，提供一种存储有计算机指令的计算机可读存储介质，其中计算机指令用于使计算机执行本公开的第一方面的方法。
应当理解，发明内容部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
结合附图并参考以下详细说明，本公开各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标注表示相同或相似的元素，其中：
图1示出了本公开的多个实施例能够在其中实现的示例环境的示意图；
图2示出了根据本公开的一些实施例的初始的电路版图的示意图；
图3示出了根据本公开的一些实施例的最终的电路版图的示意图；
图4示出了初始的电路版图的两个子区域与最终的电路版图的两个子区域的对照图；
图5示出了根据本公开的一些实施例的用于生成电路版图的过程的流程图；
图6示出了根据本公开的一些实施例的用于计算全局成本的流程图；以及
图7示出了可以用来实施本公开的实施例的示例设备的示意性框图。
具体实施方式
在随后的描述中，说明了一个或多个特定细节，旨在提供对本描述的实施例的示例的深入理解。可以在没有一个或多个特定细节的情况下，或者利用其他方法、部件、材料等获得实施例。在其他情况下，没有详细图示或描述已知的结构、材料或操作，以便实施例的某些方面将不被模糊。
在本描述的框架中对“实施例”或“一些实施例”的引用旨在指示关于实施例描述的特定配置、结构或特性被包括在至少一些实施例中。因此，可以在本描述的一个或多个点中存在的诸如“在实施例中”或“在一些实施例中”的短语不一定指代同一些实施例。此外，在一个或多个实施例中，可以以任何适当的方式组合特定的构造、结构或特性。
如前文所述的，双重曝光技术(DPT)或多重曝光技术(MPT)将给定目标图案的特征分离到两个或多个不同的掩模中、并接着独立成像来形成所需的图案，从而在每个掩模中，最小设计节距能够足够大，以允许继续使用193nm的照明源的辐射。但是在利用双重曝光技术或多重曝光技术分解而得到的电路版图中，经常会存在着色不平衡的问题，也就是说归属于一个掩模的一些目标图案或几何图形的密度过于密集，而归属于另一掩模的一些目标图案或几何图形的密度过于稀松，这样将在后续的处理步骤(例如，化学机械抛光)中产生问题。
鉴于上述分解之后的电路版图的缺点，本公开提供了一种用于确定电路版图的方案。在该方案中，首先针对被填充有第一颜色和第二颜色并且包括多个子区域的电路版图，确定初始全局成本，该全局成本与电路版图的着色不平衡程度是相关联的。然后，针对多个子区域中的一个子区域执行颜色转换以得到经更新的电路版图，然后确定针对该经更新的电路版图的更新全局成本。然后将初始全局成本与更新全局成本进行比较，如果确定更新全局成本小于初始全局成本，那么针对该该子区域，保留颜色转换。然后针对多个子区域中的颜色待转换的子区域都执行与第一子区域相同的操作，这些操作包括颜色转换、确定更新全局成本和确定是否保留颜色转换。针对这些颜色待转换的子区域都执行完这些操作之后，得到最终的电路版图。这些颜色待转换的子区域的数目或范围可以根据实际需求而确定。在一些实施例中，这些颜色待转换的子区域可以包括所有的子区域。
利用本公开的方案针对颜色待转换的子区域都执行颜色转换，然后计算更新的电路版图的更新全局成本，如果更新的全局成本小于初始全局成本，则保留颜色转换。通过这些操作，在最终得到的电路版图中，具有各个颜色的几何图形或目标图案的面积或者密度彼此接近，从而在将这些目标图案或几何图形分别被分配到子版图(或掩模)上以用于加工晶圆时，这些掩模上的目标图案的面积和密度基本相同。
以下将参照附图来具体描述本公开的实施例。
示例环境
图1示出了本公开的多个实施例能够在其中实现的示例环境100的示意图。示例环境100中的计算设备102可以是任何具有计算能力的设备。作为非限制性示例，计算设备102可以是任意类型的固定计算设备、移动计算设备或便携式计算设备，包括但不限于台式计算机、膝上型计算机、笔记本计算机、上网本计算机、平板计算机、多媒体计算机、移动电话等；计算设备102的全部组件或一部分组件可以分布在云端。
在该示例环境100中，计算设备102包括或部署有扫描模块103和计算模块104。下文相对于计算设备102描述的动作具体可以由扫描模块103或计算模块104执行。如图1所示，初始的电路版图110被计算设备102处理，处理之后的电路版图被称为最终的电路版图120。
图2示出了根据本公开的一些实施例的初始的电路版图110的示意图。该初始的电路版图110被填充有第一颜色和第二颜色，并且包括多个子区域。在本公开的一些实施例中，第一颜色可以包括多种颜色，第二颜色也可以包括多种颜色，从而在一个电路版图上包括两种或以上的颜色，从而该电路版图可以根据多重曝光技术(MPT)分解为两个或以上的子版图。可以把这些颜色中的一部分设定为第一颜色，同时把这些颜色中的另一部分设定为第二颜色。虽然在本公开的一些实施例中，只示出了第一颜色是较深颜色，第二颜色是较浅颜色，但是本领域的技术人员应当理解，如上所述，可以包括两种或以上的颜色，第一颜色所包含的颜色种类的数目与第二颜色所包含的颜色种类的数目也可以不同，从而根据本公开的实施例的确定电路版图的方法也可以适用于多重曝光技术(MPT)。
为了对子区域进行示意，在图2中仅仅示出了两个子区域11和12。本领域的技术人员应当理解，如图2所示的电路版图的子区域的数目、面积或形状仅仅是示意性的，它们可以根据应用情况而改变，并且不同的子区域可能具有不同的面积以及不同的形状，相邻的两个子区域也可以至少部分地交叠。子区域中的每个几何图像可以被作色成第一颜色或第二颜色，这在初始的电路版图被设计好之后已经被去确定。
该初始的电路版图110包括具有第一颜色(如图2所示的较深颜色)的多个第一几何图形和具有第二颜色(如图2所示的较浅颜色)的多个第二几何图形。如图2所示，几何图形可以仅位于一个子区域中，例如几何图形111仅位于子区域11中，以及几何图形113仅位于子区域12中。但是，几何图形也可以跨越若干个子区域，例如，几何图形112跨越子区域11和12。如图2所示，在初始的电路版图110中，第一颜色面积为8.18092e+07且第一颜色密度为0.111546，以及第二颜色面积为1.43186e+08且第二颜色密度为0.195233。因此，在初始的电路版图110中，第一颜色和第二颜色的面积和密度都存在较大的差异，具体而言，第一颜色过于稀松，而第二颜色过于密集。
图3示出了根据本公开的一些实施例的最终的电路版图120的示意图。该最终的电路版图120也被填充有第一颜色和第二颜色，并且包括多个子区域。为了对子区域进行示意，在图3中仅仅示出了与初始的电路版图的子区域11和12相对应的子区域21和22。如图3所示，最终的电路版图120中的第一颜色面积为1.12499e+08且第一颜色密度为0.153392，以及第二颜色面积为1.12496e+08且第二颜色密度为0.153388。参考图3，可以看出最终的电路版图120中的第一颜色的面积和第二颜色的面积和密度都基本相等。因此，通过本公开的计算设备102的处理，最终的电路版图120中的具有第一颜色的几何图形和具有第二颜色的几何图形的密度被均衡。实际应用中，将具有第一颜色的几何图形分配到第一子版图，且将具有第二颜色的几何图形分配到第二子版图之后，第一子版图和第二子版图的负载是基本均衡的。
图4示出了初始的电路版图110的两个子区域与最终的电路版图120的两个子区域的对照图。在图4中，初始的电路版图110中的几何图形111在最终的电路版图120中表示为颜色被转换的几何图形211，初始的电路版图110中的几何图形112在最终的电路版图120中表示为颜色被转换的几何图形212，且初始的电路版图110中的几何图形113在最终的电路版图120中表示为颜色被转换的几何图形213。虽然图4所示的最终的电路版图120中的子区域21和22中的几何图形的颜色相对于初始的电路版图110都进行了转换，但是这并不表示最终的电路版图120中的其他子区域的几何图形的颜色也要被转换。子区域的颜色是否发生转换取决于更新的全局成本和初始的全局成本之间的比较结果，而不应当受到图4所示的子区域的限制。
计算设备102的扫描模块103可以被配置对初始的电路版图110以及下文将详细说明的经更新的电路版图进行扫描。该经更新的电路版图并非最终的电路版图120，而是在得到最终的电路版图120的过程中，所形成的归属于中间过程的电路版图。扫描模块103定义一个扫描窗口，该扫描窗口的面积可以小于每个子区域的面积。以此方式，扫描的次数可以更多，得到的计算结果也更加精确。每次在对电路版图进行扫描之后，扫描模块103获取该扫描窗口中的第一颜色的面积和第二颜色的面积。
计算模块104可以被配置成：基于扫描模块103在每次扫描之后获取的该扫描窗口中的第一颜色的面积和第二颜色的面积，计算针对该次扫描的着色不平衡值。计算模块104还可以被配置成：基于在所有的扫描中所获取的第一颜色的面积和第二颜色的面积，也就是基于在所有的扫描中所获取的多个着色不平衡值，计算针对电路版图的全局成本。该全局成本与电路版图的着色不平衡程度相关联，也就是说与第一颜色的密度和第二颜色的密度的差异相关联。
确定电路版图的示例过程
为了更加清楚地理解本公开的实施例所提供的生成电路版图的方案，将参照图5和6来进一步描述本公开的实施例。图5示出了根据本公开的一些实施例的生成电路版图的过程500的流程图。过程500可以由图1的计算设备102实现。为便于讨论，将结合图1来描述过程500。
在框510，计算设备102确定针对初始的电路版图110的初始全局成本。初始的电路版图110被填充有第一颜色和第二颜色，且包括多个子区域，例如图2示意性示出了多个子区域中的两个子区域11和12。该初始全局成本指示初始的电路版图110的着色不平衡程度，也即是指示第一颜色的密度和第二颜色的密度的差异。在图2所示的实施例中，第二颜色的密度大于第一颜色的密度，且第二颜色的面积也大于第一颜色的面积。因此，该初始的电路版图110的着色不平衡度较高。
针对多个子区域中的颜色待转换的子区域中的每个子区域执行框520和530中的步骤。颜色待转化的子区域的数目可以根据实际应用而确定。
在框520，计算设备102执行颜色转换以更新初始的电路版图，从而得到经更新的电路版图。该颜色转换将当前子区域中(例如，例如图2的子区域11)的第一颜色(例如较深颜色)改变为第二颜色(例如较浅颜色)并且将第二颜色(例如较浅颜色)改变为第一颜色(例如较深颜色)。在一些实施例中，多个子区域共包括n个子区域，其中的m个子区域的颜色需要被转换，其中m的值可以根据实际应用而确定。计算设备102执行颜色转换时，按照从第1个颜色待转换子区域到第m个颜色待转换子区域的顺序，针对每个子区域执行颜色转换。针对颜色转换，并不需要在电路版图上实体地执行颜色的转换。为了实现与实体执行颜色转换类似的效果，在扫描窗口获取到第一颜色的面积和第二颜色的面积之后，将所获取的第一颜色的面积转换为第二颜色的面积，并且将所获取的第二颜色的面积转换为第一颜色的面积。
在框530，计算设备102，具体地计算模块104，确定针对经更新的电路版图的更新的全局成本。该经更新的电路版图包括颜色已经被转换的当前子区域，并且还包括还未执行颜色转换的其他子区域。计算更新的全局成本的步骤和方法与计算初始全局成本的步骤和方法类似。
在框540，计算设备102，具体地计算模块104，比较更新的全局成本和初始全局成本。
在框540中确定更新的全局成本小于初始全局成本，则过程进行到框550。在框550，保留针对当前子区域的颜色转换。
在框540中确定更新的全局成本不小于初始全局成本，则过程进行到框560。在框560，放弃针对当前子区域的颜色转换。
在框570中，确定是否还剩下未执行颜色转换的子区域。
如果在框570中确定对所有颜色待转换的子区域都执行了颜色转换，则在框580，生成最终的电路版图。
如果在框570中确定还剩下颜色待转换的子区域，则过程返回到框520，以针对下一个子区域继续执行步骤520至560。
在确定所有颜色待转换的子区域是保留颜色转换还是放弃颜色转换之后，生成最终的电路版图。在如图3所示的最终的电路版图120中，具有第一颜色的几何图形的总面积与具有第二颜色的几何图形的总面积接近，并且具有第一颜色的几何图形的整体密度与具有第二颜色的几何图形的整体密度接近。
为了生成分解的子版图，还可以将最终的电路版图上的具有第一颜色的所有几何图形和具有第二颜色的所有几何图形进行分解，以分别形成第一子版图和第二子版图。
图6示出了根据本公开的一些实施例的计算全局成本的流程图600。框530中的计算更新的全局成本可以使用如图6所示的流程图，并且框510中的计算初始全局成本也可以使用如图6所示的流程图。
在框610，扫描模块103利用扫描窗口对电路版图的所有子区域进行扫描。在计算更新的全局成本时，该电路版图为经更新的电路版图，该经更新的电路版图即包括当前被执行颜色转换的子区域的电路版图。在计算初始全局成本时，该电路版图为初始的电路版图110。在一些实施例中，扫描窗口可以按照预定的轨迹对整个电路版图进行扫描。扫描模块103可以根据应用情况而定义扫描窗口的大小或扫描的步长。
在框620，针对每次扫描，扫描模块103获取扫描窗口中的第一颜色的面积和第二颜色的面积。在一些实施例中，扫描模块103可以根据对图像识别的结构来获取第一颜色的面积和第二颜色的面积。
在框630，计算模块104基于所获取的第一颜色的面积和第二颜色的面积，确定针对本次扫描的扫描窗口的区域中的着色不平衡值。在一些实施例中，计算模块104基于如下的公式(1)来确定针对本次扫描的扫描窗口区域中的着色不平衡值Cl：
Cl＝(A1-A2)/(A1+A2) (1)，
其中A1是扫描窗口中的第一颜色的面积，A2是扫描窗口中的所述第二颜色的面积。
因此，着色不平衡值即第一颜色的面积和第一颜色的面积之差与第一颜色的面积和第二颜色的额面积之和之间的比值。在一些实施例中，在该比值小于一阈值的情况下，着色不平衡值被确定为一预设值。该阈值范围可以根据需求而设置。在一个实施例中，该预设值可以是0。
在框640，计算模块104基于针对多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定更新全局成本。在一些实施例中，响应于扫描模块103利用扫描窗口对整个电路版图都执行了扫描，例如执行了n次扫描，那么计算模块104将计算得到针对n次扫描的n个着色不平衡值。计算模块104基于n个着色不平衡值确定全局成本。在一些实施例中，计算模块104根据如下的公式(2)计算全局成本C：
Figure BDA0002842066890000121
其中i＝1,2……n，n为所执行扫描的数目，Cli是针对第i次扫描的着色不平衡值。在该实施例中，全局成本即n个着色不平衡值的平方的加和。
示例设备
图7示出了可以用来实施本公开的实施例的示例设备700的示意性框图。设备700可以用于实现图1的计算设备102。如图所示，设备700包括中央处理单元(CPU)701，其可以根据存储在只读存储器(ROM)702中的计算机程序指令或者从存储单元708加载到随机访问存储器(RAM)703中的计算机程序指令，来执行各种适当的动作和处理。在RAM 703中，还可存储设备700操作所需的各种程序和数据。CPU 701、ROM 702以及RAM 703通过总线704彼此相连。输入/输出(I/O)接口705也连接至总线704。
设备700中的多个部件连接至I/O接口705，包括：输入单元706，例如键盘、鼠标等；输出单元707，例如各种类型的显示器、扬声器等；存储单元708，例如磁盘、光盘等；以及通信单元709，例如网卡、调制解调器、无线通信收发机等。通信单元709允许设备700通过诸如因特网的计算机网络和/或各种电信网络与其他设备交换信息/数据。
处理单元701执行上文所描述的各个方法和处理，例如过程500和600中的任一个。例如，在一些实施例中，过程500和600中的任一个可被实现为计算机软件程序，其被有形地包含于机器可读介质，例如存储单元708。在一些实施例中，计算机程序的部分或者全部可以经由ROM 702和/或通信单元709而被载入和/或安装到设备700上。当计算机程序加载到RAM 703并由CPU 701执行时，可以执行上文描述的过程500和600中的任一个的一个或多个步骤。备选地，在其他实施例中，CPU 701可以通过其他任何适当的方式(例如，借助于固件)而被配置为执行过程500和600中的任一个。
本文中以上描述的功能可以至少部分地由一个或多个硬件逻辑部件来执行。例如，非限制性地，可以使用的示范类型的硬件逻辑部件包括：场可编程门阵列(FPGA)、专用集成电路(ASIC)、专用标准产品(ASSP)、芯片上系统的系统(SOC)、负载可编程逻辑设备(CPLD)等等。
用于实施本公开的方法的程序代码可以采用一个或多个编程语言的任何组合来编写。这些程序代码可以提供给通用计算机、专用计算机或其他可编程数据处理装置的处理器或控制器，使得程序代码当由处理器或控制器执行时使流程图和/或框图中所规定的功能/操作被实施。程序代码可以完全在机器上执行、部分地在机器上执行，作为独立软件包部分地在机器上执行且部分地在远程机器上执行或完全在远程机器或服务器上执行。
在本公开的上下文中，机器可读介质可以是有形的介质，其可以包含或存储以供指令执行系统、装置或设备使用或与指令执行系统、装置或设备结合地使用的程序。机器可读介质可以是机器可读信号介质或机器可读储存介质。机器可读介质可以包括但不限于电子的、磁性的、光学的、电磁的、红外的、或半导体系统、装置或设备，或者上述内容的任何合适组合。机器可读存储介质的更具体示例会包括基于一个或多个线的电气连接、便携式计算机盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦除可编程只读存储器(EPROM或快闪存储器)、光纤、便捷式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光学储存设备、磁储存设备、或上述内容的任何合适组合。
此外，虽然采用特定次序描绘了各操作，但是这应当理解为要求这样操作以所示出的特定次序或以顺序次序执行，或者要求所有图示的操作应被执行以取得期望的结果。在一定环境下，多任务和并行处理可能是有利的。同样地，虽然在上面论述中包含了若干具体实现细节，但是这些不应当被解释为对本公开的范围的限制。在单独的实施例的上下文中描述的某些特征还可以组合地实现在单个实现中。相反地，在单个实现的上下文中描述的各种特征也可以单独地或以任何合适的子组合的方式实现在多个实现中。
尽管已经采用特定于结构特征和/或方法逻辑动作的语言描述了本主题，但是应当理解所附权利要求书中所限定的主题未必局限于上面描述的特定特征或动作。相反，上面所描述的特定特征和动作仅仅是实现权利要求书的示例形式。

Claims (12)

1.一种确定电路版图的方法，包括：
针对被填充有第一颜色和第二颜色并且包括多个子区域的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示所述电路版图的着色不平衡程度；
依次针对所述多个子区域中的至少一个子区域，
执行颜色转换以更新所述电路版图，所述颜色转换将所述子区域中的所述第一颜色改变为所述第二颜色并且将所述第二颜色改变为所述第一颜色；
确定经更新的所述电路版图的更新全局成本；以及
如果确定所述更新全局成本小于所述初始全局成本，保留所述颜色转换；
基于所述多个子区域中的至少一个子区域的所述颜色转换的结果，生成最终的电路版图。
2.根据权利要求1所述的方法，还包括：
如果确定所述更新全局成本不小于所述初始全局成本，放弃所述颜色转换。
3.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述初始全局成本包括：
利用扫描窗口，多次扫描所述电路版图；
针对多次扫描中的每次扫描：
确定所述扫描窗口中的所述第一颜色的第一面积和所述第二颜色的第二面积；以及
基于所述第一颜色的所述第一面积和所述第二颜色的所述第二面积，确定着色不平衡值；以及
基于针对所述多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定所述初始全局成本。
4.根据权利要求3所述的方法，其中基于所述第一颜色的所述第一面积和所述第二颜色的所述第二面积确定所述着色不平衡值包括：
基于第一面积差和第一面积和的比值，确定所述着色不平衡值；所述第一面积差为所述第一面积和所述第二面积之差，所述第一面积和为所述第一面积和所述第二面积之和，，并且
其中基于针对所述多次扫描而确定的所述多个着色不平衡值确定所述初始全局成本包括：
获取每一次扫描的着色不平衡值；
通过对多个着色不平衡值的平方进行求和，来确定所述初始全局成本。
5.根据权利要求1所述的方法，其中确定经更新的所述电路版图的所述更新全局成本包括：
利用扫描窗口，多次扫描经更新的所述电路版图；
针对多次扫描中的每次扫描：
确定所述扫描窗口中的所述第一颜色的第三面积和所述第二颜色的第四面积；以及
基于所述第三面积和所述第四面积，确定着色不平衡值；以及
基于针对所述多次扫描而确定的多个着色不平衡值，确定所述更新全局成本。
6.根据权利要求5所述的方法，其中基于所述第三面积和所述第四面积确定所述着色不平衡值包括：
基于第二面积差和第二面积和的比值，确定所述着色不平衡值，所述第二面积差为所述第三面积和所述第四面积之差，所述第二面积和为所述第三面积和所述第四面积之和，并且
其中基于针对所述多次扫描而确定的所述多个着色不平衡值确定所述更新全局成本包括：
获取每一次扫描的着色不平衡值；
通过对多个着色不平衡值的平方进行求和，确定所述更新全局成本。
7.根据权利要求3或5所述的方法，其中所述多个子区域中的每个子区域的范围大于所述扫描窗口的范围。
8.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个子区域中的每个子区域包括多个几何图形，并且所述多个几何图形中的每个几何图形被着色为第一颜色或第二颜色。
9.根据权利要求1所述的方法，其中
在所述最终的电路版图中，具有所述第一颜色的几何图形的总面积与具有所述第二颜色的几何图形的总面积之差不大于预设面积阈值，并且具有所述第一颜色的几何图形的整体密度与具有所述第二颜色的几何图形的整体密度之差不大于预设密度阈值。
10.根据权利要求9所述的方法，还包括：
将所述最终的电路版图上的具有所述第一颜色的所有几何图形和具有所述第二颜色的所有几何图形进行分解，以分别形成第一子版图和第二子版图。
11.一种电子设备，包括：
处理器；以及
与所述处理器耦合的存储器，所述存储器具有存储于其中的指令，所述指令在被处理器执行时使所述电子设备执行动作，所述动作包括：
针对被填充有第一颜色和第二颜色并且包括多个子区域的电路版图，确定初始全局成本，全局成本指示所述电路版图的着色不平衡程度；
依次针对所述多个子区域中的至少一个子区域，
执行颜色转换以更新所述电路版图，所述颜色转换将所述子区域中的所述第一颜色改变为所述第二颜色并且将所述第二颜色改变为所述第一颜色；
确定经更新的所述电路版图的更新全局成本；以及
如果确定所述更新全局成本小于所述初始全局成本，针对所述子区域，保留所述颜色转换；以及
基于所述多个子区域中的至少一个子区域的所述颜色转换的结果，生成最终的电路版图。
12.一种存储有计算机指令的计算机可读存储介质，其中所述计算机指令用于使所述计算机执行根据权利要求1-10中任一项所述的方法。
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