CN112501574B - 太阳镜片镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种太阳镜片镀膜设备，包括镀膜腔、真空系统、加热系统、膜料激发系统和膜层厚度控制系统，在镀膜腔两侧部分别设置有缓冲腔，穿梭通道贯穿分隔部和缓冲腔；轴心部件，其套设在穿梭通道内；轴心部件依次设置为密封段、第一安装段、中间段、第二安装段、密封段；在安装段上安装基片，利用两个安装段的相对位置关系，实现同一时间段内两组基片同时完成不同的工艺，且互不冲突。本发明有效提高了镀膜腔的空间利用率，减少了镀膜腔的重复抽真空和放真空次数；且缓冲腔的设计保证基片经历预处理和退火处理过程，不但减少了基片在镀膜腔进行加热所需时间，且降低了基片完成镀膜作业退出镀膜腔后经历剧烈环境变化而产生缺陷的风险。

Description

太阳镜片镀膜设备

技术领域

本发明涉及镜片镀膜设备技术领域，更具体地说，本发明涉及一种太阳镜片镀膜设备。

背景技术

玻璃镜片具有优良的透光率、无老化性、耐高温工艺和优良的双面镀膜性能等，一直用于高档太阳镜。经过钢化处理后的玻璃镜片具有良好的抗摔、抗磨性能，在国外高端太阳镜中的玻璃镜片占有较大比重。以钢化玻璃镜片为基础的太阳镜片包括偏振镜片、渐变镜片、亮膜镜片和多彩复合镜片等，而镀膜技术是太阳镜片生产中非常重要的一部分。

镜片的镀膜需要在镀膜设备中进行，现有的镀膜设备具有真空系统、加热系统、膜料发射系统和膜层厚度控制系统；工作时，真空系统提供一定真空度的镀膜空间，基片位于镀膜空间内，加热系统对镀膜空间和基片加热，膜料发生系统通过加热或其他方式将膜料激发，激发的膜料沉淀在基片上而形成镀层。根据需要，可以通过膜层厚度控制系统控制镀膜厚度，得到不同反射率的渐变镜片。上述镀膜设备存在以下的问题：每完成一次镀膜就要将镀膜空间抽真空一次，步骤繁复、耗时且抽真空耗能较高，因此生产效率低下；基片在装入到镀膜空间以后才能进行预热和加热等程序，导致单个基片镀膜所需时间较长，生产效率降低；基片在一定温度的真空条件下完成镀膜，由于缺乏缓冲机制，温度和气压变化后，膜层承受一定的应力而产生缺陷。

因此，亟需设计一种能够解决上述问题的太阳镜片镀膜设备。

发明内容

本发明的一个目的是解决至少上述缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

本发明的另一个目的是通过保持镀膜空间的真空度，以减少抽真空时间和能耗的太阳镜片镀膜设备。

本发明的另一个目的是提供一种太阳镜片镀膜设备，通过设置缓冲腔对基片预热以及缓冲，缩短单个基片镀膜等待时间以及防止气压的剧烈变化，以提高生产效率同时减少应力产生的缺陷。

本发明的另一个目的是提供一种能够连续进行镀膜作业的镀膜方法。

为了实现本发明的这些目的和其它优点，本发明提供一种太阳镜片镀膜设备，包括镀膜腔、真空系统、加热系统、膜料激发系统和膜层厚度控制系统，其中：

在镀膜腔相对的两侧部分别设置有第一缓冲腔和第二缓冲腔，第一缓冲腔和第二缓冲腔关于镀膜腔对称，镀膜腔和缓冲腔之间通过分隔部相隔，穿梭通道贯穿分隔部和缓冲腔；

轴心部件，其套设在所述穿梭通道内，轴心部件的外壁与穿梭通道的内壁紧密配合且允许滑动；所述轴心部件沿长度方向依次设置为密封段、第一安装段、中间段、第二安装段、密封段；第一安装段和第二安装段等长且关于中间段对称；

其中，分隔部的厚度大于第一安装段和第二安装段的长度，以使得第一安装段和第二安装段穿过分隔部时能被分隔部完全封闭；当第一安装段或第二安装段中任一安装段滑动至镀膜腔内时，另一安装段位于缓冲腔内或伸出到缓冲腔之外；

所述真空系统与镀膜腔和缓冲腔连接用于分别控制镀膜腔和缓冲腔的真空度；所述加热系统设置在镀膜腔和缓冲腔内用于分别加热镀膜腔和缓冲腔，所述膜料激发系统设置在镀膜腔内；所述第一安装段和第二安装段内分别设置有基片安装架和膜层厚度控制系统，待镀膜的基片设置在基片安装架上。

上述方案中，通过在镀膜腔两侧设置缓冲腔，轴心部件具有多个区段并设置两个安装段，安装段上安装基片，利用两个安装段的相对位置关系，当第一安装段进入到镀膜腔内进行镀膜作业时，第二安装段可以进行基片的安装或进入到缓冲腔内进行预处理工艺，当第一安装段镀膜完成后可以回退到缓冲腔内进行退火处理工艺，而第二安装段可以对应进入到镀膜腔内进行镀膜作业，第二安装段镀膜完成后，又可以回退到缓冲腔中进行退火处理，如此循环，实现同一时间段内两组基片同时完成不同的工艺，且互不冲突，有效提高了镀膜腔的空间利用率，减少了镀膜腔的重复抽真空和放真空次数；且缓冲腔的设计保证基片经历预处理和退火处理过程，不但减少了基片在镀膜腔进行加热所需时间，且降低了基片完成镀膜作业退出镀膜腔后经历剧烈环境变化而产生缺陷的风险。该设备提高了单位时间内进行基片镀膜的数量，提高了生产效率。

优选的是，所述的太阳镜片镀膜设备中，还包括驱动系统，所述驱动系统驱动轴心部件在穿梭通道滑动。

优选的是，所述的太阳镜片镀膜设备中，所述基片安装架包括：

旋转盘；

电机，其驱动所述旋转盘转动；

夹具，其设置在所述旋转盘上用于夹持待镀膜基片。

优选的是，所述的太阳镜片镀膜设备中，所述膜层厚度控制系统包括：

挡板安装架，其上可拆卸安装有挡板，所述挡板位于夹具的正下方并与待镀膜基片正对应；

升降杆，其支撑挡板安装架的升降以使得挡板贴近和远离待镀膜基片。

根据太阳能镜片的渐变反射率和镀膜位置，按照常规方法设计和制造好挡板后，将挡板安装在挡板安装架上，当不需要挡板时，利用升降杆将挡板降低，使得待镀膜基片露出以便镀膜，当需要挡板时，通过升降杆升高，使得挡板将基片遮挡，此时基片安装设计好的挡板规格进行镀膜。

优选的是，所述的太阳镜片镀膜设备中，所述第一缓冲腔和第二缓冲腔被穿梭通道贯穿的一侧设置有加厚部，所述加厚部与分隔部厚度相等，以使得第一安装段和第二安装段穿过加厚部时能被加厚部完全封闭。

上述技术方案中，为减少轴心部件滑动过程中，缓冲腔与外部，或镀膜腔与缓冲腔之间漏气，分隔部和加厚部能够增加轴心部件与穿梭通道内壁的接触区间，减少漏气风险。密闭性提高后，真空系统不需要频繁调节镀膜腔和缓冲腔的真空度，减少了真空系统的调节能耗。

优选的是，所述的太阳镜片镀膜设备中，轴心部件外壁和穿梭通道之间设置有胶层或油层以减少滑动时漏气。

优选的是，所述的太阳镜片镀膜设备中，所述轴心部件内部设置有气管，所述密封段和中间段上均设置有若干环状凹部，环状凹部内配合有环状气囊，所述环状气囊与气管连接，且环状气囊与气管之间串联有电磁阀用以控制环状气囊充气放气，所述环状气囊膨胀时封堵轴心部件外壁和穿梭通道之间间隙以提高密封性。

上述技术方案中，当轴心部件需要滑动时，环状气囊放气收缩，使得轴心部件便于滑动，当轴心部件停止时，环状气囊充气膨胀填充轴心部件与穿梭通道之间的间隙，减少镀膜腔和缓冲腔的泄露。

一种利用太阳镜片镀膜设备进行镀膜的方法，包括：

步骤一、在轴心部件的第一安装段和第二安装段的基片安装架上设置待镀膜的基片；

步骤二、根据镀膜工艺的需要，通过真空系统设置镀膜腔的真空度，设置第一缓冲腔和第二缓冲腔的真空度；通过加热系统设置镀膜腔的温度，设置第一缓冲腔和第二缓冲腔的温度；

步骤三、驱动轴心部件使得第一安装段进入到第一缓冲腔内，第一缓冲腔提供用于预热的真空度和温度，使得基片得到预处理；

步骤四、驱动轴心部件使得第一安装段进入到镀膜腔内进行镀膜，此时第二安装段进入到第二缓冲腔内，第二缓冲腔提供用于预热的真空度和温度，使得基片得到预处理；

步骤五、第一安装段上的基片完成镀膜后，驱动轴心部件回退，使得第一安装段退回到第一缓冲腔内，第一缓冲腔提供退火处理所需真空度和温度，使得基片得到退火处理；此时，第二安装段进入到镀膜腔内进行镀膜；

步骤六、在第一安装段上的基片完成退火处理后，轴心部件继续回退，使得第一安装段退出第一缓冲腔外部，将镀膜完成的基片卸载，并重新设置待镀膜基片；此时，第二安装段仍然处于镀膜腔内；

步骤七、当第一安装段重新装载待镀膜基片后，驱动轴心部件使得第一安装段重新进入到第一缓冲腔内进行预处理；此时第二安装段回退到第二缓冲腔内，第二缓冲腔提供退火处理所需真空度和温度，使得基片得到退火处理；

步骤八、第一安装段的基片预处理完成或第二安装段的基片退火处理完成后，第一安装段重新进入到镀膜腔进行镀膜，第二安装段退出到第二缓冲腔外部，将镀膜完成的基片卸载，并重新设置待镀膜基片，如此循环，完成基片的连续镀膜生产。

上述技术方案中，当第一安装段进行镀膜作业时，第二安装段可以进行预热处理工艺；当第二安装段进行镀膜作业时，第一安装段可以进行退火工艺；两个安装段同时工作，且互不冲突，减少了传统技术中基片预处理和退火处理所需等待的时间，有效提高了工作效率；在预处理和退火处理的工艺保障下，太阳能镜片镀膜质量得到保障，应力变化产生的缺陷减少。

本发明至少包括以下有益效果：

本发明的设备通过在镀膜腔两侧设置缓冲腔，轴心部件具有多个区段并设置两个安装段，安装段上安装基片，利用两个安装段的相对位置关系，当第一安装段进入到镀膜腔内进行镀膜作业时，第二安装段可以进行基片的安装或进入到缓冲腔内进行预处理工艺，当第一安装段镀膜完成后可以回退到缓冲腔内进行退火处理工艺，而第二安装段可以对应进入到镀膜腔内进行镀膜作业，第二安装段镀膜完成后，又可以回退到缓冲腔中进行退火处理，如此循环，实现同一时间段内两组基片同时完成不同的工艺，且互不冲突，有效提高了镀膜腔的空间利用率，减少了镀膜腔的重复抽真空和放真空次数；且缓冲腔的设计保证基片经历预处理和退火处理过程，不但减少了基片在镀膜腔进行加热所需时间，且降低了基片完成镀膜作业退出镀膜腔后经历剧烈环境变化而产生缺陷的风险。该设备提高了单位时间内进行基片镀膜的数量，提高了生产效率。

本发明的方法利用专用的太阳能镜片镀膜设备，当第一安装段进行镀膜作业时，第二安装段可以进行预热处理工艺；当第二安装段进行镀膜作业时，第一安装段可以进行退火工艺；两个安装段同时工作，且互不冲突，减少了传统技术中基片预处理和退火处理所需等待的时间，有效提高了工作效率；在预处理和退火处理的工艺保障下，太阳能镜片镀膜质量得到保障，应力变化产生的缺陷减少。

本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

图1为本发明所述太阳镜片镀膜设备第一种实施方式的结构示意图；

图2为本发明所述轴心部件与穿梭通道配合时的第一种状态结构示意图图；

图3为本发明所述轴心部件与穿梭通道配合时的第二种状态结构示意图图；

图4为本发明所述轴心部件与穿梭通道配合时的第三种状态结构示意图图；

图5为本发明所述轴心部件与穿梭通道配合时的第四种状态结构示意图图；

图6为本发明所述太阳镜片镀膜设备第二种实施方式的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

如图1所示，一种太阳镜片镀膜设备，包括镀膜腔1、真空系统、加热系统、膜料激发系统5和膜层厚度控制系统8；真空系统一般由真空泵、传感器和控制器组成，用于控制各腔体的真空度；加热系统有加热模块、传感器和控制器组成，加热模块可以是加热丝、红外加热器；其中：

在镀膜腔1相对的两侧部（图1为上下侧）分别设置有缓冲腔2，缓冲腔2包括第一缓冲腔和第二缓冲腔，第一缓冲腔和第二缓冲腔关于镀膜腔1对称，镀膜腔1和缓冲腔2之间通过分隔部3相隔，穿梭通道4贯穿缓冲腔2、分隔部3；

轴心部件6，其套设在所述穿梭通道4内，轴心部件6的外壁与穿梭通道4的内壁紧密配合且允许滑动；所述轴心部件6沿长度方向依次设置为密封段601、第一安装段602、中间段603、第二安装段604、密封段601；第一安装段602和第二安装段604等长且关于中间段603对称；

其中，分隔部3的厚度大于第一安装段602和第二安装段604的长度，以使得第一安装段602和第二安装段604穿过分隔部3时能被分隔部3完全封闭；当第一安装段602或第二安装段604中任一安装段滑动至镀膜腔1内时，另一安装段位于缓冲腔2内或伸出到缓冲腔2之外；

所述真空系统与镀膜腔1和缓冲腔2连接用于分别控制镀膜腔1和缓冲腔2的真空度；所述加热系统设置在镀膜腔1和缓冲腔2内用于分别加热镀膜腔和缓冲腔，所述膜料激发系统5设置在镀膜腔1内；所述第一安装段602和第二安装段604内分别设置有基片安装架7和膜层厚度控制系统8，待镀膜的基片设置在基片安装架7上。

上述实施方式中，通过在镀膜腔两侧设置缓冲腔，轴心部件具有多个区段并设置两个安装段，安装段上安装基片，利用两个安装段的相对位置关系，当第一安装段进入到镀膜腔内进行镀膜作业时，第二安装段可以进行基片的安装或进入到缓冲腔内进行预处理工艺，当第一安装段镀膜完成后可以回退到缓冲腔内进行退火处理工艺，而第二安装段可以对应进入到镀膜腔内进行镀膜作业，第二安装段镀膜完成后，又可以回退到缓冲腔中进行退火处理，如此循环，实现同一时间段内两组基片同时完成不同的工艺，且互不冲突，有效提高了镀膜腔的空间利用率，减少了镀膜腔的重复抽真空和放真空次数；且缓冲腔的设计保证基片经历预处理和退火处理过程，不但减少了基片在镀膜腔进行加热所需时间，且降低了基片完成镀膜作业退出镀膜腔后经历剧烈环境变化而产生缺陷的风险。该设备提高了单位时间内进行基片镀膜的数量，提高了生产效率。

进一步，在另一种实施方式中，还包括驱动系统，所述驱动系统驱动轴心部件在穿梭通道滑动。

进一步，在另一种实施方式中，所述基片安装架7包括：

旋转盘；

电机，其驱动所述旋转盘转动；

夹具，其设置在所述旋转盘上用于夹持待镀膜基片。

进一步，在另一种实施方式中，所述膜层厚度控制系统8包括：

挡板安装架，其上可拆卸安装有挡板，所述挡板位于夹具的正下方并与待镀膜基片正对应；

升降杆，其支撑挡板安装架的升降以使得挡板贴近和远离待镀膜基片。

上述实施方式中，根据太阳能镜片的渐变反射率和镀膜位置，按照常规方法设计和制造好挡板后，将挡板安装在挡板安装架上，当不需要挡板时，利用升降杆将挡板降低，使得待镀膜基片露出以便镀膜，当需要挡板时，通过升降杆升高，使得挡板将基片遮挡，此时基片安装设计好的挡板规格进行镀膜。

进一步，在另一种实施方式中，如图6所示，所述第一缓冲腔和第二缓冲腔被穿梭通道贯穿的一侧设置有加厚部9，所述加厚部9与分隔部厚度相等，以使得第一安装段和第二安装段穿过加厚部时能被加厚部完全封闭。

上述实施方式中，为减少轴心部件6滑动过程中，缓冲腔2与外部环境，或镀膜腔1与缓冲腔2之间漏气，分隔部3和加厚部能够增加轴心部件与穿梭通道内壁的接触区间，减少漏气风险。密闭性提高后，真空系统不需要频繁调节镀膜腔和缓冲腔的真空度，减少了真空系统的调节能耗。

进一步，在另一种实施方式中，轴心部件6外壁和穿梭通道4之间设置有胶层或油层以减少滑动时漏气。

进一步，在另一种实施方式中，如图1所示，所述轴心部件6内部设置有气管，所述密封段601和中间段603上均设置有若干环状凹部，环状凹部内配合有环状气囊，所述环状气囊与气管连接，且环状气囊与气管之间串联有电磁阀用以控制环状气囊充气放气，所述环状气囊膨胀时封堵轴心部件外壁和穿梭通道之间间隙以提高密封性。环状凹部和环状气囊优选设置在安装段的上下两侧，以减少安装段造成的漏气。

上述实施方式中，当轴心部件6需要滑动时，环状气囊放气收缩，使得轴心部件便于滑动，当轴心部件停止时，环状气囊充气膨胀填充轴心部件6与穿梭通道4之间的间隙，减少镀膜腔1和缓冲腔2的泄露。

如图2~5所示，一种利用太阳镜片镀膜设备进行镀膜的方法，包括：

步骤一、在轴心部件的第一安装段602和第二安装段604的基片安装架上设置待镀膜的基片；

步骤二、根据镀膜工艺的需要，通过真空系统设置镀膜腔的真空度，设置第一缓冲腔和第二缓冲腔的真空度；通过加热系统设置镀膜腔的温度，设置第一缓冲腔和第二缓冲腔的温度；如某太阳镜片的镀膜温度为90~100℃，真空压力为2.5*10^-7Pa；则将镀膜腔的温度设置为90~100℃，真空压力设置为2.5*10^-7Pa，缓冲腔的温度则是递增或是递减的方式变化，以使得基片得到预热或是退火，而缓冲腔的真空压力也是递增或递减的方式变化，以使得基片逐步适应真空压力或适应外界气压。

步骤三、驱动轴心部件使得第一安装段602进入到第一缓冲腔内，第一缓冲腔提供用于预热的真空度和温度，使得基片得到预处理；如图2所示，第一安装段602进入到镀膜腔内进行镀膜后，先在第二安装段604上设置待镀膜的基片；

步骤四、如图3所示，驱动轴心部件使得第一安装段602进入到镀膜腔1内进行镀膜，此时第二安装段604进入到第二缓冲腔内，第二缓冲腔提供用于预热的真空度和温度，使得基片得到预处理；

步骤五、如图4所示，第一安装段602上的基片完成镀膜后，驱动轴心部件回退，使得第一安装段602退回到第一缓冲腔内，第一缓冲腔提供退火处理所需真空度和温度，使得基片得到退火处理；此时，第二安装段604进入到镀膜腔1内进行镀膜；

步骤六、如图5所示，在第一安装段602上的基片完成退火处理后，轴心部件继续回退，使得第一安装段602退出第一缓冲腔外部，将镀膜完成的基片卸载，并重新设置待镀膜基片；此时，第二安装段604仍然处于镀膜腔1内；

步骤七、当第一安装段602重新装载待镀膜基片后，驱动轴心部件使得第一安装段602重新进入到第一缓冲腔内进行预处理；此时第二安装段604回退到第二缓冲腔内，第二缓冲腔2提供退火处理所需真空度和温度，使得基片得到退火处理；

步骤八、第一安装段602的基片预处理完成或第二安装段604的基片退火处理完成后，第一安装段602重新进入到镀膜腔1进行镀膜，第二安装段604退出到第二缓冲腔外部，将镀膜完成的基片卸载，并重新设置待镀膜基片，如此循环，完成基片的连续镀膜生产。

上述实施方式中，当第一安装段进行镀膜作业时，第二安装段可以进行预热处理工艺；当第二安装段进行镀膜作业时，第一安装段可以进行退火工艺；两个安装段同时工作，且互不冲突，减少了传统技术中基片预处理和退火处理所需等待的时间，有效提高了工作效率；在预处理和退火处理的工艺保障下，太阳能镜片镀膜质量得到保障，应力变化产生的缺陷减少。

尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本发明的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。

Claims (8)

1.一种太阳镜片镀膜设备，包括镀膜腔、真空系统、加热系统、膜料激发系统和膜层厚度控制系统，其特征在于：

在镀膜腔相对的两侧部分别设置有第一缓冲腔和第二缓冲腔，第一缓冲腔和第二缓冲腔关于镀膜腔对称，镀膜腔和缓冲腔之间通过分隔部相隔，穿梭通道贯穿缓冲腔和分隔部；

轴心部件，其套设在所述穿梭通道内，轴心部件的外壁与穿梭通道的内壁紧密配合且允许滑动；所述轴心部件沿长度方向依次设置为密封段、第一安装段、中间段、第二安装段、密封段；第一安装段和第二安装段等长且关于中间段对称；

其中，分隔部的厚度大于第一安装段和第二安装段的长度，以使得第一安装段和第二安装段穿过分隔部时能被分隔部完全封闭；当第一安装段或第二安装段中任一安装段滑动至镀膜腔内时，另一安装段位于缓冲腔内或伸出到缓冲腔之外；

所述真空系统与镀膜腔和缓冲腔连接用于分别控制镀膜腔和缓冲腔的真空度；所述加热系统设置在镀膜腔和缓冲腔内用于分别加热镀膜腔和缓冲腔，所述膜料激发系统设置在镀膜腔内；所述第一安装段和第二安装段内分别设置有基片安装架和膜层厚度控制系统，待镀膜的基片设置在基片安装架上。

2.如权利要求1所述的太阳镜片镀膜设备，其特征在于，还包括驱动系统，所述驱动系统驱动轴心部件在穿梭通道滑动。

3.如权利要求1所述的太阳镜片镀膜设备，其特征在于，所述基片安装架包括：

旋转盘；

电机，其驱动所述旋转盘转动；

夹具，其设置在所述旋转盘上用于夹持待镀膜基片。

4.如权利要求3所述的太阳镜片镀膜设备，其特征在于，所述膜层厚度控制系统包括：

挡板安装架，其上可拆卸安装有挡板，所述挡板位于夹具的正下方并与待镀膜基片正对应；

升降杆，其支撑挡板安装架的升降以使得挡板贴近和远离待镀膜基片。

5.如权利要求1所述的太阳镜片镀膜设备，其特征在于，所述第一缓冲腔和第二缓冲腔被穿梭通道贯穿的一侧设置有加厚部，所述加厚部与分隔部厚度相等，以使得第一安装段和第二安装段穿过加厚部时能被加厚部完全封闭。

6.如权利要求1所述的太阳镜片镀膜设备，其特征在于，轴心部件外壁和穿梭通道之间设置有胶层或油层以减少滑动时漏气。

7.如权利要求1所述的太阳镜片镀膜设备，其特征在于，所述轴心部件内部设置有气管，所述密封段和中间段上均设置有若干环状凹部，环状凹部内配合有环状气囊，所述环状气囊与气管连接，且环状气囊与气管之间串联有电磁阀用以控制环状气囊充气放气，所述环状气囊膨胀时封堵轴心部件外壁和穿梭通道之间间隙以提高密封性。

8.一种利用权利要求1所述的太阳镜片镀膜设备进行镀膜的方法，其特征在于，包括：

步骤一、在轴心部件的第一安装段和第二安装段的基片安装架上设置待镀膜的基片；

步骤二、根据镀膜工艺的需要，通过真空系统设置镀膜腔的真空度，设置第一缓冲腔和第二缓冲腔的真空度；通过加热系统设置镀膜腔的温度，设置第一缓冲腔和第二缓冲腔的温度；

步骤三、驱动轴心部件使得第一安装段进入到第一缓冲腔内，第一缓冲腔提供用于预热的真空度和温度，使得基片得到预处理；

步骤四、驱动轴心部件使得第一安装段进入到镀膜腔内进行镀膜，此时第二安装段进入到第二缓冲腔内，第二缓冲腔提供用于预热的真空度和温度，使得基片得到预处理；

步骤五、第一安装段上的基片完成镀膜后，驱动轴心部件回退，使得第一安装段退回到第一缓冲腔内，第一缓冲腔提供退火处理所需真空度和温度，使得基片得到退火处理；此时，第二安装段进入到镀膜腔内进行镀膜；

步骤六、在第一安装段上的基片完成退火处理后，轴心部件继续回退，使得第一安装段退出第一缓冲腔外部，将镀膜完成的基片卸载，并重新设置待镀膜基片；此时，第二安装段仍然处于镀膜腔内；

步骤七、当第一安装段重新装载待镀膜基片后，驱动轴心部件使得第一安装段重新进入到第一缓冲腔内进行预处理；此时第二安装段回退到第二缓冲腔内，第二缓冲腔提供退火处理所需真空度和温度，使得基片得到退火处理；

步骤八、第一安装段的基片预处理完成或第二安装段的基片退火处理完成后，第一安装段重新进入到镀膜腔进行镀膜，第二安装段退出到第二缓冲腔外部，将镀膜完成的基片卸载，并重新设置待镀膜基片，如此循环，完成基片的连续镀膜生产。

Images