CN112492472A - 压电式麦克风及压电式麦克风装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了压电式麦克风及压电式麦克风装置，其中，压电式麦克风包括：具有收容腔的基底；固定于基底的悬臂梁，悬臂梁上设有压电叠层结构；设于基底与悬臂梁之间的牺牲层，以及设于悬臂梁上的结构层，结构层的厚度大于压电叠层结构的厚度，结构层的长度小于悬臂梁的长度。通过上述方式，本发明的压电式麦克风可以准确控制悬臂梁的锚定位置，从而提高麦克风的灵敏度，同时提高灵敏度和谐振频率的一致性。
Description
【技术领域】
本发明涉及声电转换技术领域，具体涉及一种压电式麦克风及压电式麦克风装置。
【背景技术】
麦克风是一种声电转换类的换能器，能够把外界条件的声压信号转换成电信号进行输出，根据声压信号的不同特点形成不同的电信号，进行存储和运输，传递信号。
现有技术的压电麦克风首先在硅基底上生长一层牺牲层，在牺牲层上生长压电单元，之后刻蚀缝隙以形成悬臂梁结构，释放牺牲层使悬臂梁可以自由振动。但是，现有结构在释放牺牲层时难以将牺牲层的释放控制在悬臂梁的锚定位置，牺牲层释放的过多或过少都将影响麦克风的灵敏度以及谐振频率，从而导致灵敏度降低以及产品的一致性变差。
因此，有必要提供一种新的压电式麦克风及压电式麦克风装置以解决上述缺陷。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种压电式麦克风及压电式麦克风装置，能够准确控制悬臂梁的锚定位置，从而提高麦克风的灵敏度，同时提高灵敏度和谐振频率的一致性。
本发明的技术方案如下：
一方面提供一种压电式麦克风，包括：
具有收容腔的基底；
固定于所述基底的悬臂梁，所述悬臂梁上设有压电叠层结构；
设于所述基底与所述悬臂梁之间的牺牲层，以及
设于所述悬臂梁上的结构层，所述结构层的厚度大于所述压电叠层结构的厚度，所述结构层的长度小于所述悬臂梁的长度。
根据本发明的一个实施例，所述悬臂梁包括固定于所述基底上的固定部和自所述固定部延伸并悬设置于所述收容腔上的自由部，所述结构层的一端固定在所述基底上，所述结构层的另一端固定在所述固定部上。
根据本发明的一个实施例，所述固定部上设有预设锚定位置，所述结构层从所述固定部的端部延伸至所述预设锚定位置。
根据本发明的一个实施例，所述结构层的形状和固定位置通过刻蚀方式控制。
根据本发明的一个实施例，所述结构层采用氮化硅材料制成。
根据本发明的一个实施例，所述悬臂梁的形状为矩形、梯形、三角形和扇形中的一种。
根据本发明的一个实施例，所述悬臂梁设置多个，且相邻两个悬臂梁之间设置有间隙，每个所述悬臂梁上均设有所述结构层。
根据本发明的一个实施例，所述压电叠层结构包括自上而下依次叠设的上电极层、压电层以及下电极层。
根据本发明的一个实施例，所述压电叠层结构包括自上而下依次叠设的上电极层、上压电层、中间电极层、下压电层以及下电极层。
另一方面提供一种压电式麦克风装置，包括：多个所述的压电式麦克风，多个所述压电式麦克风呈阵列结构分布。
本发明的有益效果在于：通过在悬臂梁上设置结构层，由于结构层的刚性较大，可以作为悬臂梁的锚定位置，通过控制结构层的固定位置，从而提高麦克风的灵敏度，同时提高灵敏度和谐振频率的一致性，避免了利用释放牺牲层控制悬臂梁的锚定位置，从而使牺牲层的释放可以在较大范围内波动而不影响麦克风的性能，。
【附图说明】
图1为本发明实施例的压电式麦克风的立体结构示意图；
图2为图1中B区域的局部放大示意图；
图3为图1沿A-A向线的截面图；
图4为图3中C区域的局部放大示意图；
图5为本发明的实施例的压电式麦克风装置的结构示意图。
【具体实施方式】
下面结合附图和实施方式对本发明作进一步说明。
请参见图1和图2，压电式麦克风100包括基底10、固定于基底10的悬臂梁20、设于基底10和悬臂梁20之间的牺牲层30以及设于悬臂梁20上的结构层40。
传统的压电式麦克风通过释放牺牲层30来控制悬臂梁20的锚定位置，牺牲层30释放的过多或过少均影响悬臂梁20的振动强度，从而影响麦克风的灵敏度以及谐振频率，本实施例通过刚度较大的结构层40作为悬臂梁20的锚定位置，保证麦克风能够保持较高的灵敏度以及一致的谐振频率，避免了利用牺牲层30来控制悬臂梁20的锚定位置，使得牺牲层30的释放可以在较大范围内波动而不影响麦克风的性能。
进一步地，请参见图3，基底10包括收容腔11以及围设形成收容腔11的环形周壁12，基底10的形状可以为圆形或多边形。基底10为微硅基片。
进一步地，请参见图3，悬臂梁20上设有压电叠层结构50，悬臂梁20包括固定于基底10上的固定部21和自固定部21延伸并悬设置于收容腔11上的自由部22，固定部21上设有预设锚定位置，本实施例的预设锚定位置能够保证悬臂梁20产生较大的变形，从而保证麦克风较佳的灵敏度以及谐振频率的一致性。更进一步地，悬臂梁20的形状为矩形、梯形、三角形和扇形中的一种。悬臂梁20设置多个，且相邻两个悬臂梁20之间设置有间隙23。在本实施例中，每个悬臂梁20均包括固定部21和自由部22，每个悬臂梁20上均设有结构层40。本实施例的悬臂梁20为矩形，数量为两个。
进一步地，结构层40的厚度大于压电叠层结构50的厚度，结构层40的长度小于悬臂梁20的长度。结构层40的一端固定在基底10上，结构层40的另一端固定在固定部21上。进一步地，结构层40从固定部21的端部延伸至预设锚定位置。
本实施例的结构层40的形状和固定位置通过刻蚀方式控制，从而对悬臂梁20的锚定位置能够准确控制，进一步提高了麦克风的灵敏度以及谐振频率的一致性。
本实施例的结构层40采用杨氏模量较大的材料制成，优选地，结构层40采用氮化硅材料制成，保证结构层40具有较大的刚度，可以替代牺牲层30控制悬臂梁20的锚定位置，从而解放牺牲层30。
进一步地，在一实施例中，请参见图2和图4，压电叠层结构50为五层，包括自上而下依次叠设的上电极层51、上压电层52、中间电极层53、下压电层54以及下电极层55。其中，上压电层52和下压电层54为氮化铝、掺钪氮化铝、氧化锌或锆钛酸铅压电陶瓷材质，或者上述多种材料的组合，上电极层51、中间电极层53和下电极层55为铝、钼或钛材质，或者上述多种材料的组合。
在另一实施例中，压电叠层结构50为三层，包括自上而下依次叠设的上电极层、压电层以及下电极层。其中，压电层为氮化铝、掺钪氮化铝、氧化锌或锆钛酸铅压电陶瓷材质，或者上述多种材料的组合，上电极层和下电极层为铝、钼或钛材质，或者上述多种材料的组合。
在其他实施例中，压电叠层结构50的层数还可以为四层、六层或更多，本实施例对此不做限制。
本实施例的压电式麦克风100在外部声音信号从声孔中传入时，在声压的作用下，自由部22发生振动，带动压电叠层结构50发生振动，从而使靠近固定部21的压电叠层结构50产生电压信号。通过刚度较大的结构层40作为悬臂梁20的锚定位置，保证麦克风能够保持较高的灵敏度以及谐振频率的一致性，避免了利用牺牲层30来控制悬臂梁20的锚定位置，使得牺牲层30的释放可以在较大范围内波动而不影响麦克风的性能。
请参见图5，压电式麦克风装置200包括多个前述的压电式麦克风100，多个压电式麦克风100呈阵列结构分布。多个压电式麦克风100可以并联或串联。
本实施例的压电式麦克风装置200包括但不限于话筒、手机、PC和车载语音识别等，通过采用多个压电式麦克风100，使产生的电压信号相互叠加，从而有效增强压电式麦克风装置200的灵敏度。
以上所述的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种压电式麦克风，其特征在于，包括：
具有收容腔的基底；
固定于所述基底的悬臂梁，所述悬臂梁上设有压电叠层结构；
设于所述基底与所述悬臂梁之间的牺牲层，以及
设于所述悬臂梁上的结构层，所述结构层的厚度大于所述压电叠层结构的厚度，所述结构层的长度小于所述悬臂梁的长度。
2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述悬臂梁包括固定于所述基底上的固定部和自所述固定部延伸并悬设置于所述收容腔上的自由部，所述结构层的一端固定在所述基底上，所述结构层的另一端固定在所述固定部上。
3.根据权利要求2所述的压电式麦克风，其特征在于，所述固定部上设有预设锚定位置，所述结构层从所述固定部的端部延伸至所述预设锚定位置。
4.根据权利要求2所述的压电式麦克风，其特征在于，所述结构层的形状和固定位置通过刻蚀方式控制。
5.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述结构层采用氮化硅材料制成。
6.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述悬臂梁的形状为矩形、梯形、三角形和扇形中的一种。
7.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述悬臂梁设置多个，且相邻两个悬臂梁之间设置有间隙，每个所述悬臂梁上均设有所述结构层。
8.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述压电叠层结构包括自上而下依次叠设的上电极层、压电层以及下电极层。
9.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述压电叠层结构包括自上而下依次叠设的上电极层、上压电层、中间电极层、下压电层以及下电极层。
10.一种压电式麦克风装置，其特征在于，包括多个如权利要求1至9任一项所述的压电式麦克风，多个所述压电式麦克风呈阵列结构分布。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113507676A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-10-15 | 中北大学 | 硅基悬臂梁式mems压电麦克风的结构及装置 |
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Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN117376790A (zh) * | 2022-07-06 | 2024-01-09 | 华为技术有限公司 | 一种压电感应装置及其使用方法、智能设备 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102138338A (zh) * | 2008-06-30 | 2011-07-27 | 密执安大学评议会 | 压电mems麦克风 |
| CN103460721A (zh) * | 2011-03-31 | 2013-12-18 | 巴克-卡琳公司 | 具有间隙控制几何形状的声换能器以及声换能器制造方法 |
| CN108140723A (zh) * | 2015-12-02 | 2018-06-08 | 株式会社村田制作所 | 压电元件、压电传声器、压电谐振子以及压电元件的制造方法 |
| CN208987175U (zh) * | 2018-10-11 | 2019-06-14 | 东莞希越电子有限公司 | 压电薄膜麦克风改良结构 |
| CN110475191A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-11-19 | 武汉大学 | 一种低空气阻尼mems压电式麦克风 |
| CN111050256A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-04-21 | 武汉大学 | 一种小型化的高灵敏度压电式麦克风 |
| CN111328005A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-06-23 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 压电式mems麦克风 |
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102138338A (zh) * | 2008-06-30 | 2011-07-27 | 密执安大学评议会 | 压电mems麦克风 |
| CN103460721A (zh) * | 2011-03-31 | 2013-12-18 | 巴克-卡琳公司 | 具有间隙控制几何形状的声换能器以及声换能器制造方法 |
| CN108140723A (zh) * | 2015-12-02 | 2018-06-08 | 株式会社村田制作所 | 压电元件、压电传声器、压电谐振子以及压电元件的制造方法 |
| CN208987175U (zh) * | 2018-10-11 | 2019-06-14 | 东莞希越电子有限公司 | 压电薄膜麦克风改良结构 |
| CN110475191A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-11-19 | 武汉大学 | 一种低空气阻尼mems压电式麦克风 |
| CN111050256A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-04-21 | 武汉大学 | 一种小型化的高灵敏度压电式麦克风 |
| CN111328005A (zh) * | 2020-03-10 | 2020-06-23 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 压电式mems麦克风 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113507676A (zh) * | 2021-08-13 | 2021-10-15 | 中北大学 | 硅基悬臂梁式mems压电麦克风的结构及装置 |
| WO2023123129A1 (zh) * | 2021-12-29 | 2023-07-06 | 华为技术有限公司 | 一种压电感应单元、压电麦克风和终端 |
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