CN112462110B - 一种楔块调幅探针卡调幅件及其对接结构 - Google Patents

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Abstract

本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种楔块调幅探针卡调幅件及其对接结构，调幅件包括：压块盘、压块盘环、压块盘环槽、压块盘杆、压块盘挡筒、滑座和外壳，若干个压块盘并列滑动设置在压块盘杆上形成压块，若干个压块盘均偏心设置在压块盘杆上，每个压块盘的外部均固定套设有一个压块盘环，每个上楔板的上端均设置有一个压块盘环槽，能够实现，压块盘转动后能够通过压块盘环与上楔板对接，在压块下移过程中，压块盘随着上楔板水平滑动，在滑动过程中保持对接，能够保证上楔板滑动稳定，同时多个压块盘滑动设置在压块横杆上，多个压块盘能够单独移动，能够适应多个上楔板的不同水平移动距离。

Description

一种楔块调幅探针卡调幅件及其对接结构
技术领域
本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种楔块调幅探针卡调幅件及其对接结构。
背景技术
随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置进行检测。
探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。
在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，通过在每个面上设置一个或多个探针卡，在需要切换探针卡时，通过转动固持器，将对应的探针卡转动至半导体器件上方进行检测，或者设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实现探针卡与不同触点组的匹配，现有技术中，为了实现多组触点的检测，采用了对探针卡的互换来实现匹配，通过切换不同的探针卡来实现匹配，由于单个探针卡无法通用，导致探针卡的驱动结构变得复杂。
发明内容
本发明克服了上述现有技术的不足，提供了一种楔块调幅探针卡调幅件及其对接结构，能够用于楔块调幅探针卡调整探针卡的检测幅度，使单个探针卡能够检测多组不同宽幅的触点，具有通用性。
本发明的技术方案：
一种楔块调幅探针卡，包括：探针卡主体、上楔板和下楔板，所述探针卡主体的内部滑动设置有若干个上楔板和下楔板，若干个上楔板和下楔板依次间隔交错设置；
所述探针卡主体包括：主体框架、探针槽和上楔板槽，所述主体框架内部沿长度方向容纳有若干个上楔板和下楔板，且主体框架的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽，主体框架上还设置有供所述上楔板部分露出的上楔板槽；
所述上楔板包括：上楔板体、上楔板楔头、上楔板探针和上楔板触点，所述上楔板体的下端设置有上楔板楔头，上楔板楔头的两侧分别延伸至所述上楔板体的两侧面，上楔板楔头的下端设置有上楔板探针，所述的上楔板触点一端与上楔板探针连接，上楔板触点的另一端从所述上楔板体的一侧露出；
所述下楔板包括：下楔板体、下楔板楔头、下楔板探针和下楔板触点，所述下楔板体的上端设置有下楔板楔头，下楔板楔头的两侧分别延伸至所述下楔板体的两侧面，下楔板体的下端设置有下楔板探针，所述的下楔板触点一端与下楔板探针连接，下楔板触点的另一端从所述下楔板体的一侧露出；
定义待检测触点所需的探针间距为标准探针间距，所述上楔板体和下楔板体的厚度均为标准探针间距，所述探针卡主体与所述上楔板触点和下楔板触点对应的一侧间隔设置有若干个固定触点，若干个固定触点的一端与检测电路板连接，固定触点的另一端延伸至主体框架的内部，相邻的所述固定触点的间距为标准探针间距。
进一步地，所述探针卡主体还包括：主体固定挡块、主体活动挡块和主体活动挡块弹簧，所述主体框架的一侧设置有主体固定挡块，该主体固定挡块的侧面与若干个依次间隔交错设置的上楔板和下楔板的一侧接触，所述主体框架的另一侧滑动设置有主体活动挡块，该主体活动挡块的侧面与若干个依次间隔交错设置的上楔板和下楔板的另一侧接触，所述主体活动挡块通过主体活动挡块弹簧与探针卡主体连接。
进一步地，所述上楔板还包括上楔板延伸板，所述上楔板延伸板为上楔板体的上端向上延伸形成，且该上楔板延伸板从所述上楔板槽穿过并延伸至探针卡主体的外部。
进一步地，所述上楔板还包括上楔板滑块，所述上楔板体的两侧分别设置有一个上楔板滑块，上楔板滑块与所述探针卡主体的内壁滑动连接。
进一步地，所述下楔板还包括下楔板滑块，所述下楔板体的两侧分别设置有一个下楔板滑块，下楔板滑块与所述探针卡主体的内壁滑动连接。
进一步地，所述探针卡主体的上方还设置有调幅结构，调幅结构包括压块，所述压块设置在探针卡主体上的上楔板部分露出的上方，压块能够下压单个或多个上楔板露出的部分，使上楔板向下移动。
一种楔块调幅探针卡主体，所述探针卡主体的内部滑动设置有若干个上楔板和下楔板，若干个上楔板和下楔板依次间隔交错设置；所述探针卡主体包括：主体框架、探针槽和上楔板槽，所述主体框架内部沿长度方向容纳有若干个上楔板和下楔板，且主体框架的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽，主体框架上还设置有供所述上楔板部分露出的上楔板槽；所述主体框架的一侧间隔设置有若干个固定触点，若干个固定触点的一端与检测电路板连接，固定触点的另一端延伸至主体框架的内部，所述探针卡主体还包括：主体固定挡块、主体活动挡块和主体活动挡块弹簧，所述主体框架的一侧设置有主体固定挡块，该主体固定挡块的侧面与若干个依次间隔交错设置的上楔板和下楔板的一侧接触，所述主体框架的另一侧滑动设置有主体活动挡块，该主体活动挡块的侧面与若干个依次间隔交错设置的上楔板和下楔板的另一侧接触，所述主体活动挡块通过主体活动挡块弹簧与探针卡主体连接。
一种探针卡楔块调幅方法，包括以下步骤：
步骤a，确定调幅距离：在调幅前，若干个上楔板侧面接触，若干个下楔板侧面接触，上楔板下端的上楔板楔头嵌入其下方相邻的两个下楔板的下楔板楔头之间，每个上楔板的上楔板探针均位于检测区的上方，每个下楔板的下楔板探针均位于检测区内，每个上楔板的上楔板触点均位于若干个固定触点的上方，每个下楔板的下楔板触点均与若干个固定触点沿从左至右的方向依次接触，检测区内的探针间隔为m，该m为与待检测触点间距对应的单位距离，位于检测区内的每个下楔板的下楔板探针的宽幅为基本幅度n，检测区内的待检测触点的宽幅为待检测幅度o，通过将待检测幅度o与基本幅度n做差值，得到为探针间隔m整数倍的调幅距离；
步骤b，移动楔块：通过步骤a，确定调幅距离得到的调幅距离，该调幅距离是探针间隔m的倍数，作为移动上楔板的数量，按照从右向左的方向，将该倍数对应数量的上楔板向下移动，上楔板下端的上楔板楔头插入其下方相邻的两个下楔板之间，直至上楔板下端的上楔板探针进入检测区，同时被移动的上楔板右侧的下楔板被推挤而向右侧移动；
步骤c，触点连接：在移动上楔板时，移动的上楔板的上楔板触点从上方向下移动至若干个固定触点的水平高度上，并与其中一个固定触点接触，被推挤的下楔板的下楔板触点与原接触的固定触点分离，并与其中一个右侧的固定触点接触；
步骤d，探针检连接刷新：检测电路板通过若干个固定触点与固定不动的下楔板上的下楔板探针、被推挤的下楔板上的下楔板探针和被移动的上楔板下端的上楔板探针重新电连接。
进一步地，所述步骤a，确定调幅距离中，上楔板与下楔板的厚度均设置为探针间隔m。
进一步地，所述步骤b，移动楔块中，被移动的上楔板向下移动至其侧面与下楔板具有重叠的区域。
进一步地，使用一种楔块调幅探针卡进行调幅。
进一步地，所述一种楔块调幅探针卡，包括：探针卡主体、上楔板和下楔板，所述探针卡主体的内部滑动设置有若干个上楔板和下楔板，若干个上楔板和下楔板依次间隔交错设置。
一种楔块调幅探针卡调幅结构，设置在探针卡主体的上方，包括压块，所述压块设置在探针卡主体上的上楔板部分露出的上方，压块能够下压单个或多个上楔板露出的部分，使上楔板向下移动；
所述的调幅结构还包括：压块板、压块板销、压块板销槽、压块横杆、横杆滑块、横杆弹簧、横杆滑块丝杆、第一斜齿轮、第二斜齿轮、传动杆、滑动齿轮、滑板、壳体、齿辊和滑板丝杆，若干个所述的压块板并列滑动设置在压块横杆上形成压块，每个压块板的下端均设置有一个压块板销，每个上楔板的上端均设置有一个压块板销槽，所述压块左侧的压块横杆上滑动设置有横杆滑块，该压块右侧的压块横杆上套设有横杆弹簧，所述的压块横杆的截面为矩形，所述的横杆滑块的上端套设在横杆滑块丝杆上，横杆滑块丝杆上固定设置有第一斜齿轮，第一斜齿轮与第二斜齿轮啮合，第二斜齿轮与传动杆的下端固定连接，传动杆的上端固定连接有滑动齿轮，传动杆的中间转动连接在滑板上，滑板滑动设置在壳体的内部，壳体固定连接在探针卡主体上，所述的横杆滑块丝杆的两端分别转动连接在滑板上，所述的压块横杆的两端均固定连接在滑板上，所述的滑动齿轮与齿辊啮合，齿辊的两端均转动连接在壳体上，所述滑板的中间套设在滑板丝杆上，滑板丝杆的两端均转动连接在壳体上。
进一步地，还包括复位框和复位框弹簧，所述复位框套设在探针卡主体的外侧，复位框的下端与壳体的内壁之间设置有复位框弹簧，所述上楔板的上楔板滑块搭接在复位框的上端。
进一步地，还包括复位框推杆，所述复位框推杆的上端固定连接在滑板上，复位框推杆的下端悬空设置在复位框的上方。
进一步地，应用在一种楔块调幅探针卡上。
进一步地，所述一种楔块调幅探针卡包括：探针卡主体、上楔板和下楔板，所述探针卡主体的内部滑动设置有若干个上楔板和下楔板，若干个上楔板和下楔板依次间隔交错设置；
所述探针卡主体包括：主体框架、探针槽和上楔板槽，所述主体框架内部沿长度方向容纳有若干个上楔板和下楔板，且主体框架的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽，主体框架上还设置有供所述上楔板部分露出的上楔板槽。
一种楔块调幅探针卡调幅结构的对接结构，包括：压块板、压块板销、压块板销槽、压块横杆、横杆滑块、横杆弹簧、横杆滑块丝杆、第一斜齿轮、第二斜齿轮、传动杆、滑动齿轮、滑板、壳体、齿辊和滑板丝杆，若干个所述的压块板并列滑动设置在压块横杆上形成压块，每个压块板的下端均设置有一个压块板销，每个上楔板的上端均设置有一个压块板销槽，所述压块左侧的压块横杆上滑动设置有横杆滑块，该压块右侧的压块横杆上套设有横杆弹簧，所述的压块横杆的截面为矩形。
一种楔块调幅探针卡调幅件，设置在探针卡主体的上方，包括压块，所述压块设置在探针卡主体上的上楔板部分露出的上方，压块能够下压单个或多个上楔板露出的部分，使上楔板向下移动；
所述的调幅件还包括：压块盘、压块盘环、压块盘环槽、压块盘杆、压块盘挡筒、滑座、外壳、动齿轮、齿辊轴、滑座丝杆、固定杆和固定杆过孔，若干个所述的压块盘并列滑动设置在压块盘杆上形成压块，若干个压块盘均偏心设置在压块盘杆上，每个压块盘的外部均固定套设有一个压块盘环，每个上楔板的上端均设置有一个压块盘环槽，所述压块左侧的压块盘杆上套设有压块盘挡筒，该压块右侧的压块盘杆上套设有盘杆弹簧，所述的压块盘杆的侧面沿轴向设置有导向条，所述压块盘挡筒的左端固定连接在滑座上，滑座滑动设置在外壳内部，外壳固定设置在探针卡主体上，所述压块盘杆的右端转动连接在滑座上，压块盘杆的左端依次穿过压块盘挡筒和滑座侧壁后与动齿轮固定连接，动齿轮与齿辊轴啮合，齿辊轴的两端均转动连接在外壳上，所述的滑座的上端套接在滑座丝杆上，滑座丝杆的两端均转动连接在外壳上，所述固定杆的一端固定连接在滑座的左端，固定杆的另一端悬空设置，所述上楔板露出的部分上与固定杆对应设置有固定杆过孔。
进一步地，还包括外框和外框弹簧，所述外框套设在探针卡主体的外侧，外框的下端与外壳的内壁之间设置有外框弹簧，所述上楔板的上楔板滑块搭接在外框的上端。
进一步地，应用在一种楔块调幅探针卡上。
进一步地，所述一种楔块调幅探针卡包括：探针卡主体、上楔板和下楔板，所述探针卡主体的内部滑动设置有若干个上楔板和下楔板，若干个上楔板和下楔板依次间隔交错设置；
所述探针卡主体包括：主体框架、探针槽和上楔板槽，所述主体框架内部沿长度方向容纳有若干个上楔板和下楔板，且主体框架的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽，主体框架上还设置有供所述上楔板部分露出的上楔板槽。
一种楔块调幅探针卡调幅件的对接结构，包括：压块盘、压块盘环、压块盘环槽、压块盘杆、压块盘挡筒、滑座和外壳，若干个所述的压块盘并列滑动设置在压块盘杆上形成压块，若干个压块盘均偏心设置在压块盘杆上，每个压块盘的外部均固定套设有一个压块盘环，每个上楔板的上端均设置有一个压块盘环槽，所述压块左侧的压块盘杆上套设有压块盘挡筒，该压块右侧的压块盘杆上套设有盘杆弹簧，所述的压块盘杆的侧面沿轴向设置有导向条，所述压块盘挡筒的左端固定连接在滑座上，滑座滑动设置在外壳内部，外壳固定设置在探针卡主体上。
本发明的有益效果为：
1、本发明的楔块调幅探针卡，包括探针卡主体、上楔板和下楔板，通过在探针卡主体的内部滑动设置有若干个上楔板和下楔板，若干个上楔板和下楔板依次间隔交错设置，能够实现，通过将不同数量的上楔板插入下楔板之间，使上楔板上的探针能够插入或移出下方的探针队列中，增加或减少用于检测的探针数量，进而使单个探针卡的检测幅度能够进行调整，使探针卡具有通用性。
2、本发明楔块调幅探针卡调幅结构，包括：压块板、压块板销、压块板销槽、压块横杆、横杆滑块和横杆弹簧，若干个所述的压块板并列滑动设置在压块横杆上形成压块，每个压块板的下端均设置有一个压块板销，每个上楔板的上端均设置有一个压块板销槽，所述压块左侧的压块横杆上滑动设置有横杆滑块，该压块右侧的压块横杆上套设有横杆弹簧，所述的压块横杆的截面为矩形，能够实现，通过将压块进行水平移动，与单个或多个上楔板的露出端对齐，将压块下移，使上楔板插入，通过压块板与上楔板对接，在压块下移过程中，压块板随着上楔板水平滑动，在滑动过程中保持对接，能够保证上楔板滑动稳定，同时多个压块板滑动设置在压块横杆上，多个压块板能够单独移动，能够适应多个上楔板的不同水平移动距离。
3、本发明楔块调幅探针卡调幅件，包括：压块盘、压块盘环、压块盘环槽、压块盘杆、压块盘挡筒、滑座和外壳，若干个所述的压块盘并列滑动设置在压块盘杆上形成压块，若干个压块盘均偏心设置在压块盘杆上，每个压块盘的外部均固定套设有一个压块盘环，每个上楔板的上端均设置有一个压块盘环槽，所述压块左侧的压块盘杆上套设有压块盘挡筒，该压块右侧的压块盘杆上套设有盘杆弹簧，所述的压块盘杆的侧面沿轴向设置有导向条，所述压块盘挡筒的左端固定连接在滑座上，滑座滑动设置在外壳内部，外壳固定设置在探针卡主体上，能够实现，通过将压块进行水平移动，与单个或多个上楔板的露出端对齐，将压块下移，使上楔板插入，压块盘转动后能够通过压块盘环与上楔板对接，在压块下移过程中，压块盘随着上楔板水平滑动，在滑动过程中保持对接，能够保证上楔板滑动稳定，同时多个压块盘滑动设置在压块横杆上，多个压块盘能够单独移动，能够适应多个上楔板的不同水平移动距离。
4、本发明的探针卡楔块调幅方法，包括步骤：步骤a，确定调幅距离、步骤b，移动楔块、步骤c，触点连接和步骤d，探针检连接刷新，能够通过移动楔块，带动探针进行移动，使探针卡根据待检测的触点数量，调整参与检测的探针数量，进而实现探针卡的调幅，使单个探针卡的检测幅度能够进行调整，使探针卡具有通用性。
附图说明
图1为一种楔块调幅探针卡的整体结构示意图；
图2为一种楔块调幅探针卡的侧面结构示意图；
图3为上楔板和下楔板的结构示意图；
图4为调幅前的楔块位置示意图；
图5为调幅后的楔块位置示意图；
图6为调幅前的调幅结构示意图；
图7为调幅后的调幅结构示意图；
图8为调幅前的调幅件示意图；
图9为调幅后的调幅件示意图；
图中：1探针卡主体；2上楔板；3下楔板；4调幅结构；1-1主体框架；1-2探针槽；1-3上楔板槽；1-4固定触点；1-5主体固定挡块；1-6主体活动挡块；1-7主体活动挡块弹簧；2-1上楔板体；2-2上楔板楔头；2-3上楔板探针；2-4上楔板触点；2-5上楔板延伸板；2-6上楔板滑块；3-1下楔板体；3-2下楔板楔头；3-3下楔板探针；3-4下楔板触点；3-5下楔板滑块；4-1压块板；4-2压块板销；4-3压块板销槽；4-4压块横杆；4-5横杆滑块；4-6横杆弹簧；4-7横杆滑块丝杆；4-8第一斜齿轮；4-9第二斜齿轮；4-10传动杆；4-11滑动齿轮；4-12滑板；4-13壳体；4-14齿辊；4-15滑板丝杆；4-16复位框；4-17复位框弹簧；4-18复位框推杆；5-1压块盘；5-2压块盘环；5-3压块盘环槽；5-4压块盘杆；5-5压块盘挡筒；5-6滑座；5-7外壳；5-8动齿轮；5-9齿辊轴；5-10滑座丝杆；5-11固定杆；5-12固定杆过孔；5-13外框；5-14外框弹簧；100检测区；200检测电路板。
具体实施方式
以下将结合附图，对本发明进行详细说明：
实施例一
本实施例是一种楔块调幅探针卡的实施例。
结合图1所示，一种楔块调幅探针卡，包括：探针卡主体1、上楔板2和下楔板3，所述探针卡主体1的内部滑动设置有若干个上楔板2和下楔板3，若干个上楔板2和下楔板3依次间隔交错设置；将上楔板2下移后，上楔板2会将下方的下楔板3向右推挤，使下移的上楔板2加入下楔板3的队列中。
结合图2所示，所述探针卡主体1包括：主体框架1-1、探针槽1-2和上楔板槽1-3，所述主体框架1-1内部沿长度方向容纳有若干个上楔板2和下楔板3，且主体框架1-1的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽1-2，主体框架1-1上还设置有供所述上楔板2部分露出的上楔板槽1-3；探针槽1-2使上楔板2和下楔板3的探针能够从主体框架1-1的下方露出，上楔板槽1-3的宽度小于上楔板2的宽度，使上楔板2的部分露出，部分露出的上楔板2便于下移上楔板的操作。
结合图3所示，所述上楔板2包括：上楔板体2-1、上楔板楔头2-2、上楔板探针2-3和上楔板触点2-4，所述上楔板体2-1的下端设置有上楔板楔头2-2，上楔板楔头2-2的两侧分别延伸至所述上楔板体2-1的两侧面，上楔板楔头2-2的下端设置有上楔板探针2-3，所述的上楔板触点2-4一端与上楔板探针2-3连接，上楔板触点2-4的另一端从所述上楔板体2-1的一侧露出。
所述下楔板3包括：下楔板体3-1、下楔板楔头3-2、下楔板探针3-3和下楔板触点3-4，所述下楔板体3-1的上端设置有下楔板楔头3-2，下楔板楔头3-2的两侧分别延伸至所述下楔板体3-1的两侧面，下楔板体3-1的下端设置有下楔板探针3-3，所述的下楔板触点3-4一端与下楔板探针3-3连接，下楔板触点3-4的另一端从所述下楔板体3-1的一侧露出。
在上楔板2下移前，上楔板探针2-3位于下楔板探针3-3队列的上方，不参与检测，同时上楔板探针2-3处于下楔板体3-1侧面开设的槽体内，上楔板触点2-4位于下楔板触点3-4队列的上方，不接入电路，结合图1所示，下楔板触点3-4队列中的下楔板触点3-4均与固定触点1-4接触，被接入电路。
在上楔板2下移后，上楔板探针2-3插入下楔板探针3-3队列，参与检测，上楔板触点2-4插入下楔板触点3-4队列，接入电路，结合图1所示，下楔板触点3-4队列中的下楔板触点3-4和下移后的上楔板触点2-4均与固定触点1-4接触，被接入电路。
通过将不同数量的上楔板2插入下楔板3的队列中，能够实现，增加相应数量的上楔板探针2-3至下楔板探针3-3队列中，进而改变参与检测的探针数量，实现调幅，使单个探针卡具有调幅功能，避免检测过程中，切换探针卡的操作。
定义待检测触点所需的探针间距为标准探针间距，所述上楔板体2-1和下楔板体3-1的厚度均为标准探针间距，在将上楔板2下移到下楔板3的队列中后，能够保证被推挤的下楔板3向右水平移动的距离为一个标准探针间距，即保证了下移的上楔板2的上楔板触点2-4能够与固定触点1-4对接，被推挤的下楔板3的下楔板触点3-4能够与固定触点1-4对接，还能够保证上楔板2下移后，参与检测的探针的间距均为标准探针间距，所述探针卡主体1与所述上楔板触点2-4和下楔板触点3-4对应的一侧间隔设置有若干个固定触点1-4，若干个固定触点1-4的一端与检测电路板200连接，固定触点1-4的另一端延伸至主体框架1-1的内部，相邻的所述固定触点1-4的间距为标准探针间距。
在调幅前，上楔板2均位于下楔板3形成的队列上方，每个上楔板2的上楔板楔头2-2均嵌入其下方两个相邻的下楔板3的下楔板楔头3-2之间，通过将不同数量的上楔板2下移，插入下楔板3形成的队列中，使被下移的上楔板2所携带的上楔板探针2-3加入下楔板探针3-3形成的队列中，从而增加了参与检测的探针数量，达到调幅的目的。
结合图4和图5所示，在调幅过程中，存在一个探针重新接入电路的过程，与检测电路板200连接的固定触点1-4被固定在主体框架1-1的侧面，每个固定触点1-4伸入主体框架1-1内的一端形成了允许一个上楔板体2-1或下楔板体3-1接入检测电路的触点，通过将多个固定触点1-4间隔设置在下楔板3的下楔板触点3-4所在的水平高度上，使高于该高度的上楔板2的上楔板触点2-4在移动前不接入检测电路，其中被移动的上楔板2的上楔板触点2-4与固定触点1-4形成的队列中的一个固定触点1-4接触，由于下移上楔板2而被推挤，向右滑动的下楔板3的下楔板触点3-4与之前连接的固定触点1-4分离，并在上楔板2下移完成后，与右侧的另一个固定触点1-4接触，未移动的上楔板2保持未接入检测电路状态，移动的上楔板2的上楔板触点2-4向下移动并与一个固定触点1-4接触，被接入检测电路，未被推挤的下楔板3的下楔板触点3-4保持与固定触点1-4的接触，保持接入检测电路的状态，被推挤的下楔板3的下楔板触点3-4与原接触的固定触点1-4分离，并向右移动与右侧的另一个固定触点1-4接触，重新接入检测电路。
具体地，结合图2所示，所述探针卡主体1还包括：主体固定挡块1-5、主体活动挡块1-6和主体活动挡块弹簧1-7，所述主体框架1-1的一侧设置有主体固定挡块1-5，该主体固定挡块1-5的侧面与若干个依次间隔交错设置的上楔板2和下楔板3的一侧接触，所述主体框架1-1的另一侧滑动设置有主体活动挡块1-6，该主体活动挡块1-6的侧面与若干个依次间隔交错设置的上楔板2和下楔板3的另一侧接触，所述主体活动挡块1-6通过主体活动挡块弹簧1-7与探针卡主体1连接。
主体固定挡块1-5和主体活动挡块1-6在主体活动挡块弹簧1-7的作用下，对上楔板2和下楔板3共同形成的队列夹紧，保障上楔板2下移插入，以及下楔板3水平滑动的稳定。
具体地，结合图3所示，所述上楔板2还包括上楔板延伸板2-5，所述上楔板延伸板2-5为上楔板体2-1的上端向上延伸形成，且该上楔板延伸板2-5从所述上楔板槽1-3穿过并延伸至探针卡主体1的外部。
由于上楔板延伸板2-5延伸至探针卡主体1的外部，使调幅时，能够通过向下按压上楔板延伸板2-5，使上楔板2下移插入，下楔板3形成的队列中。
具体地，结合图3所示，所述上楔板2还包括上楔板滑块2-6，所述上楔板体2-1的两侧分别设置有一个上楔板滑块2-6，上楔板滑块2-6与所述探针卡主体1的内壁滑动连接。
具体地，结合图3所示，所述下楔板3还包括下楔板滑块3-5，所述下楔板体3-1的两侧分别设置有一个下楔板滑块3-5，下楔板滑块3-5与所述探针卡主体1的内壁滑动连接。
具体地，结合图2所示，所述探针卡主体1的上方还设置有调幅结构4，调幅结构4包括压块，所述压块设置在探针卡主体1上的上楔板2部分露出的上方，压块能够下压单个或多个上楔板2露出的部分，使上楔板2向下移动。
在调幅时，通过下移不同数量的上楔板2能够实现不同幅度的调幅，通过调幅结构4移动压块，使压块沿着从右至左的方向，覆盖不同数量的上楔板2，通过调幅结构4使压块下移，进而使不同数量的上楔板2下移实现不同幅度的调幅。
实施例二
本实施例是一种楔块调幅探针卡主体的实施例。
本实施例公开的一种楔块调幅探针卡主体，应用在在实施例一种楔块调幅探针卡上。
结合图1至图3所示，一种楔块调幅探针卡主体，所述探针卡主体1的内部滑动设置有若干个上楔板2和下楔板3，若干个上楔板2和下楔板3依次间隔交错设置；所述探针卡主体1包括：主体框架1-1、探针槽1-2和上楔板槽1-3，所述主体框架1-1内部沿长度方向容纳有若干个上楔板2和下楔板3，且主体框架1-1的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽1-2，主体框架1-1上还设置有供所述上楔板2部分露出的上楔板槽1-3；所述主体框架1-1的一侧间隔设置有若干个固定触点1-4，若干个固定触点1-4的一端与检测电路板200连接，固定触点1-4的另一端延伸至主体框架1-1的内部，所述探针卡主体1还包括：主体固定挡块1-5、主体活动挡块1-6和主体活动挡块弹簧1-7，所述主体框架1-1的一侧设置有主体固定挡块1-5，该主体固定挡块1-5的侧面与若干个依次间隔交错设置的上楔板2和下楔板3的一侧接触，所述主体框架1-1的另一侧滑动设置有主体活动挡块1-6，该主体活动挡块1-6的侧面与若干个依次间隔交错设置的上楔板2和下楔板3的另一侧接触，所述主体活动挡块1-6通过主体活动挡块弹簧1-7与探针卡主体1连接。
在采用楔块进行调幅的探针卡中，探针卡主体需要对上楔板2和下楔板3进行固定，保证上楔板2能够向下滑动的同时，向右滑动，下楔板3能够向右滑动，并且在移动后重新接入电路。
通过主体固定挡块1-5和主体活动挡块1-6在主体活动挡块弹簧1-7的作用下，对上楔板2和下楔板3共同形成的队列夹紧，保障上楔板2下移插入，以及下楔板3水平滑动的稳定，上楔板槽1-3能够使上楔板2部分露出，便于对上楔板2的下移操作，通过在主体框架1-1的一侧间隔设置有若干个固定触点1-4，在移动后，被移动的上楔板2的上楔板触点2-4与固定触点1-4形成的队列中的一个固定触点1-4接触，由于下移上楔板2而被推挤，向右滑动的下楔板3的下楔板触点3-4与之前连接的固定触点1-4分离，并在上楔板2下移完成后，与右侧的另一个固定触点1-4接触。
实施例三
本实施例是一种探针卡楔块调幅方法的实施例。
本实施例公开的一种探针卡楔块调幅方法，该方法应用在实施例一公开的一种楔块调幅探针卡上。
结合图4和图5所示，一种探针卡楔块调幅方法，包括以下步骤：
步骤a，确定调幅距离：在调幅前，若干个上楔板2侧面接触，若干个下楔板3侧面接触，上楔板2下端的上楔板楔头2-2嵌入其下方相邻的两个下楔板3的下楔板楔头3-2之间，每个上楔板2的上楔板探针2-3均位于检测区100的上方，每个下楔板3的下楔板探针3-3均位于检测区100内，每个上楔板2的上楔板触点2-4均位于若干个固定触点1-4的上方，每个下楔板3的下楔板触点3-4均与若干个固定触点1-4沿从左至右的方向依次接触，检测区100内的探针间隔为m，该m为与待检测触点间距对应的单位距离，位于检测区100内的每个下楔板3的下楔板探针3-3的宽幅为基本幅度n，检测区100内的待检测触点的宽幅为待检测幅度o，通过将待检测幅度o与基本幅度n做差值，得到为探针间隔m整数倍的调幅距离；
步骤b，移动楔块：通过步骤a，确定调幅距离得到的调幅距离，该调幅距离是探针间隔m的倍数，作为移动上楔板2的数量，按照从右向左的方向，将该倍数对应数量的上楔板2向下移动，上楔板2下端的上楔板楔头2-2插入其下方相邻的两个下楔板3之间，直至上楔板2下端的上楔板探针2-3进入检测区100，同时被移动的上楔板2右侧的下楔板3被推挤而向右侧移动；
步骤c，触点连接：在移动上楔板2时，移动的上楔板2的上楔板触点2-4从上方向下移动至若干个固定触点1-4的水平高度上，并与其中一个固定触点1-4接触，被推挤的下楔板3的下楔板触点3-4与原接触的固定触点1-4分离，并与其中一个右侧的固定触点1-4接触；
步骤d，探针检连接刷新：检测电路板200通过若干个固定触点1-4与固定不动的下楔板3上的下楔板探针3-3、被推挤的下楔板3上的下楔板探针3-3和被移动的上楔板2下端的上楔板探针2-3重新电连接。
具体地，所述步骤a，确定调幅距离中，上楔板2与下楔板3的厚度均设置为探针间隔m。
具体地，所述步骤b，移动楔块中，被移动的上楔板2向下移动至其侧面与下楔板3具有重叠的区域。
具体地，使用一种楔块调幅探针卡进行调幅。
具体地，所述一种楔块调幅探针卡，包括：探针卡主体1、上楔板2和下楔板3，所述探针卡主体1的内部滑动设置有若干个上楔板2和下楔板3，若干个上楔板2和下楔板3依次间隔交错设置。
通过将不同数量的上楔板2插入下楔板3的队列中，能够实现，增加相应数量的上楔板探针2-3至下楔板探针3-3队列中，进而改变参与检测的探针数量，实现调幅，使单个探针卡具有调幅功能，避免检测过程中，切换探针卡的操作。
实施例四
本实施例是一种楔块调幅探针卡调幅结构的实施例。
本实施例公开的一种楔块调幅探针卡调幅结构，该结构应用在实施例一公开的一种楔块调幅探针卡上，能够在调幅时，移动单个或多个上楔板2下移，并保证移动过程中的稳定。
结合图6和图7所示，一种楔块调幅探针卡调幅结构，设置在探针卡主体1的上方，包括压块，所述压块设置在探针卡主体1上的上楔板2部分露出的上方，压块能够下压单个或多个上楔板2露出的部分，使上楔板2向下移动；通过将压块左右移动，使压块下方覆盖不同数量的上楔板2，实现上楔板2移动数量的选择，通过将压块向下移动，实现该数量的上楔板2下移。
所述的调幅结构还包括：压块板4-1、压块板销4-2、压块板销槽4-3、压块横杆4-4、横杆滑块4-5、横杆弹簧4-6、横杆滑块丝杆4-7、第一斜齿轮4-8、第二斜齿轮4-9、传动杆4-10、滑动齿轮4-11、滑板4-12、壳体4-13、齿辊4-14和滑板丝杆4-15。
若干个所述的压块板4-1并列滑动设置在压块横杆4-4上形成压块，由多块压块板4-1形成的压块，压块板4-1的数量与上楔板2的数量对应。
每个压块板4-1的下端均设置有一个压块板销4-2，每个上楔板2的上端均设置有一个压块板销槽4-3；在压块板4-1下移后，能够通过压块板销4-2插入压块板销槽4-3，使压块板4-1与压块板销槽4-3建立临时的连接关系，避免下移过程中，上楔板2晃动。
所述压块左侧的压块横杆4-4上滑动设置有横杆滑块4-5，该压块右侧的压块横杆4-4上套设有横杆弹簧4-6，所述的压块横杆4-4的截面为矩形；通过横杆滑块4-5与横杆弹簧4-6的夹持，使多个压块板4-1形成的压块能够随着横杆滑块4-5移动，通过移动横杆滑块4-5能够带动压块左右移动，进而实现压块覆盖不同数量的上楔板2，实现上楔板2移动数量的选择。
所述的横杆滑块4-5的上端套设在横杆滑块丝杆4-7上，由横杆滑块丝杆4-7转动驱动横杆滑块4-5移动，对压块位置进行调整。
横杆滑块丝杆4-7上固定设置有第一斜齿轮4-8，第一斜齿轮4-8与第二斜齿轮4-9啮合，第二斜齿轮4-9与传动杆4-10的下端固定连接，传动杆4-10的上端固定连接有滑动齿轮4-11，传动杆4-10的中间转动连接在滑板4-12上，通过滑板4-12带动压块上下移动，实现压块的下移，通过将滑动齿轮4-11与齿辊4-14啮合，使滑板4-12在滑动中，滑动齿轮4-11与齿辊4-14保持啮合，能够使齿辊4-14同轴连接的，用于驱动压块水平移动的水平驱动轴，在压块沿竖直方向移动时，避免随着滑板4-12移动。
滑板4-12滑动设置在壳体4-13的内部，壳体4-13固定连接在探针卡主体1上，所述的横杆滑块丝杆4-7的两端分别转动连接在滑板4-12上，所述的压块横杆4-4的两端均固定连接在滑板4-12上，所述的滑动齿轮4-11与齿辊4-14啮合，齿辊4-14的两端均转动连接在壳体4-13上，所述滑板4-12的中间套设在滑板丝杆4-15上，滑板丝杆4-15的两端均转动连接在壳体4-13上。
通过转动齿辊4-14，带动滑动齿轮4-11转动，使传动杆4-10通过第一斜齿轮4-8与第二斜齿轮4-9带动横杆滑块丝杆4-7转动，横杆滑块丝杆4-7带动横杆滑块4-5水平移动，调整压块覆盖的上楔板2数量，在调整完成后，通过转动滑板丝杆4-15使滑板4-12向下滑动，同时滑动齿轮4-11在齿辊4-14表面向下滑动，并保持啮合状态，滑板4-12带动压块板4-1下移，压块板4-1下端的压块板销4-2插入压块板销槽4-3，使压块板4-1与压块板销槽4-3建立临时的连接关系，上楔板2插入下楔板3的队列中，上楔板2在下移的过程中向右滑动，与上楔板2连接的压块板4-1在下移过程中，随着上楔板2向右在压块横杆4-4上滑动。
具体地，结合图6和图7所示，还包括复位框4-16和复位框弹簧4-17，所述复位框4-16套设在探针卡主体1的外侧，复位框4-16的下端与壳体4-13的内壁之间设置有复位框弹簧4-17，所述上楔板2的上楔板滑块2-6搭接在复位框4-16的上端。在上楔板2下移的同时，上楔板2的上楔板滑块2-6下压复位框4-16使复位框弹簧4-17压缩，复位框弹簧4-17积蓄的弹性势能，在压块上移后能够推动复位框4-16上移，复位框4-16推动上楔板2上移复位。
具体地，还包括复位框推杆4-18，所述复位框推杆4-18的上端固定连接在滑板4-12上，复位框推杆4-18的下端悬空设置在复位框4-16的上方。在滑板4-12下移时，通过复位框推杆4-18来推动复位框4-16移动，避免由上楔板2的上楔板滑块2-6来推动复位框4-16，避免了上楔板2的上楔板滑块2-6与复位框4-16之间产生摩擦阻力，使上楔板2滑动更稳定。
具体地，应用在一种楔块调幅探针卡上。
具体地，所述一种楔块调幅探针卡包括：探针卡主体1、上楔板2和下楔板3，所述探针卡主体1的内部滑动设置有若干个上楔板2和下楔板3，若干个上楔板2和下楔板3依次间隔交错设置；
所述探针卡主体1包括：主体框架1-1、探针槽1-2和上楔板槽1-3，所述主体框架1-1内部沿长度方向容纳有若干个上楔板2和下楔板3，且主体框架1-1的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽1-2，主体框架1-1上还设置有供所述上楔板2部分露出的上楔板槽1-3。
实施例五
本实施例是一种楔块调幅探针卡调幅结构的对接结构的实施例。
本实施例公开了一种楔块调幅探针卡调幅结构的对接结构，该对接结构应用在实施例四公开的一种楔块调幅探针卡调幅结构上。
结合图6和图7所示，一种楔块调幅探针卡调幅结构的对接结构，包括：压块板4-1、压块板销4-2、压块板销槽4-3、压块横杆4-4、横杆滑块4-5、横杆弹簧4-6、横杆滑块丝杆4-7、第一斜齿轮4-8、第二斜齿轮4-9、传动杆4-10、滑动齿轮4-11、滑板4-12、壳体4-13、齿辊4-14和滑板丝杆4-15，若干个所述的压块板4-1并列滑动设置在压块横杆4-4上形成压块，每个压块板4-1的下端均设置有一个压块板销4-2，每个上楔板2的上端均设置有一个压块板销槽4-3，所述压块左侧的压块横杆4-4上滑动设置有横杆滑块4-5，该压块右侧的压块横杆4-4上套设有横杆弹簧4-6，所述的压块横杆4-4的截面为矩形。
通过多个滑动设置的压块板4-1组成的压块，在压块下压上楔板2时，能够通过压块板4-1与上楔板2对接，保证上楔板2滑动时的稳定，同时，压块板4-1能够与对接后的上楔板2同步向下滑动，并向右滑动的过程中保持连接，使整个滑动过程中，上楔板2均能够通过与压块板4-1的连接，来保持滑动稳定。
实施例六
本实施例是一种楔块调幅探针卡调幅件的实施例。
本实施例公开了一种楔块调幅探针卡调幅件，该调幅件应用在实施例一公开的一种楔块调幅探针卡上，能够在调幅时，移动单个或多个上楔板2下移，并保证移动过程中的稳定。
结合图8和图9所示，一种楔块调幅探针卡调幅件，设置在探针卡主体1的上方，包括压块，所述压块设置在探针卡主体1上的上楔板2部分露出的上方，压块能够下压单个或多个上楔板2露出的部分，使上楔板2向下移动；通过将压块左右移动，使压块下方覆盖不同数量的上楔板2，实现上楔板2移动数量的选择，通过将压块向下移动，实现该数量的上楔板2下移。
所述的调幅件还包括：压块盘5-1、压块盘环5-2、压块盘环槽5-3、压块盘杆5-4、压块盘挡筒5-5、滑座5-6、外壳5-7、动齿轮5-8、齿辊轴5-9、滑座丝杆5-10、固定杆5-11和固定杆过孔5-12。
若干个所述的压块盘5-1并列滑动设置在压块盘杆5-4上形成压块，由多块压块盘5-1形成的压块，压块盘5-1的数量与上楔板2的数量对应。
若干个压块盘5-1均偏心设置在压块盘杆5-4上，每个压块盘5-1的外部均固定套设有一个压块盘环5-2，每个上楔板2的上端均设置有一个压块盘环槽5-3，在压块盘5-1转动后，由于压块盘5-1的偏心设置，在转动后，能够通过压块盘环5-2插入压块盘环槽5-3，使压块盘5-1与压块盘环槽5-3建立临时的连接关系，避免下移过程中，上楔板2晃动。
所述压块左侧的压块盘杆5-4上套设有压块盘挡筒5-5，该压块右侧的压块盘杆5-4上套设有盘杆弹簧，所述的压块盘杆5-4的侧面沿轴向设置有导向条；压块盘挡筒5-5从左侧挡住压块，并作为压块覆盖上楔板2面积的起点，盘杆弹簧从右侧挡住压块，并能够在压块内的压块盘5-1向右滑动后，能够进行复位。
所述压块盘挡筒5-5的左端固定连接在滑座5-6上，滑座5-6滑动设置在外壳5-7内部，通过滑座5-6的滑动，带动压块进行左右移动，进而实现压块覆盖不同数量的上楔板2，实现上楔板2移动数量的选择。
外壳5-7固定设置在探针卡主体1上，所述压块盘杆5-4的右端转动连接在滑座5-6上，压块盘杆5-4的左端依次穿过压块盘挡筒5-5和滑座5-6侧壁后与动齿轮5-8固定连接，动齿轮5-8与齿辊轴5-9啮合，齿辊轴5-9的两端均转动连接在外壳5-7上，齿辊轴5-9同轴连接有一个下压转轴，该下压转轴穿过外壳5-7后，作为驱动压块下移的操作轴。
所述的滑座5-6的上端套接在滑座丝杆5-10上，滑座丝杆5-10的两端均转动连接在外壳5-7上；滑座丝杆5-10同轴连接有一个调整轴，该调整轴穿过外壳5-7后，作为驱动压块左右移动的操作轴。
所述固定杆5-11的一端固定连接在滑座5-6的左端，固定杆5-11的另一端悬空设置，所述上楔板2露出的部分上与固定杆5-11对应设置有固定杆过孔5-12；在压块左右移动时，固定杆5-11能够穿过未被压块覆盖的上楔板2的固定杆过孔5-12，从而将未被覆盖的上楔板2固定，避免未被覆盖的上楔板2移动。
通过转动滑座丝杆5-10带动滑座5-6水平移动，滑座5-6带动压块水平移动，调整压块的水平位置，实现压块覆盖不同数量的上楔板2，同时在压块水平移动的同时，固定杆5-11随着滑座5-6移动，并穿过未被压块覆盖的上楔板2的固定杆过孔5-12，将未被压块覆盖的上楔板2固定，同时动齿轮5-8在齿辊轴5-9表面滑动，并保持啮合；在压块调整好水平位置后，通过转动齿辊轴5-9，带动动齿轮5-8转动，使压块盘杆5-4转动，压块盘杆5-4带动压块盘5-1转动，由于压块盘5-1的偏心设置，压块盘5-1的下沿与上楔板2的上端接触，同时压块盘环5-2嵌入压块盘环槽5-3，使压块盘5-1与上楔板2建立临时连接，随着压块盘5-1的转动，压块盘5-1向下推动上楔板2，上楔板2向下，并向右滑动，插入下楔板3的队列中，实现调幅。
具体地，还包括外框5-13和外框弹簧5-14，所述外框5-13套设在探针卡主体1的外侧，外框5-13的下端与外壳5-7的内壁之间设置有外框弹簧5-14，所述上楔板2的上楔板滑块2-6搭接在外框5-13的上端。在上楔板2下移的同时，上楔板2的上楔板滑块2-6下压外框5-13使外框弹簧5-14压缩，外框弹簧5-14积蓄的弹性势能，在压块上移后能够推动外框5-13上移，外框5-13推动上楔板2上移复位。
具体地，应用在一种楔块调幅探针卡上。
具体地，所述一种楔块调幅探针卡包括：探针卡主体1、上楔板2和下楔板3，所述探针卡主体1的内部滑动设置有若干个上楔板2和下楔板3，若干个上楔板2和下楔板3依次间隔交错设置；
所述探针卡主体1包括：主体框架1-1、探针槽1-2和上楔板槽1-3，所述主体框架1-1内部沿长度方向容纳有若干个上楔板2和下楔板3，且主体框架1-1的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽1-2，主体框架1-1上还设置有供所述上楔板2部分露出的上楔板槽1-3。
实施例七
本实施例是一种楔块调幅探针卡调幅件的对接结构的实施例。
本实施例公开了一种楔块调幅探针卡调幅件的对接结构，该对接结构应用在实施例六公开的一种楔块调幅探针卡调幅件上。
结合图8和图9所示，一种楔块调幅探针卡调幅件的对接结构，包括：压块盘5-1、压块盘环5-2、压块盘环槽5-3、压块盘杆5-4、压块盘挡筒5-5、滑座5-6和外壳5-7，若干个所述的压块盘5-1并列滑动设置在压块盘杆5-4上形成压块，若干个压块盘5-1均偏心设置在压块盘杆5-4上，每个压块盘5-1的外部均固定套设有一个压块盘环5-2，每个上楔板2的上端均设置有一个压块盘环槽5-3，所述压块左侧的压块盘杆5-4上套设有压块盘挡筒5-5，该压块右侧的压块盘杆5-4上套设有盘杆弹簧，所述的压块盘杆5-4的侧面沿轴向设置有导向条，所述压块盘挡筒5-5的左端固定连接在滑座5-6上，滑座5-6滑动设置在外壳5-7内部，外壳5-7固定设置在探针卡主体1上。
通过多个滑动设置的压块盘5-1组成的压块，在压块下压上楔板2时，能够通过压块盘5-1与上楔板2对接，保证上楔板2滑动时的稳定，同时，压块盘5-1能够与对接后的上楔板2同步向下滑动，并向右滑动的过程中保持连接，使整个滑动过程中，上楔板2均能够通过与压块盘5-1的连接，来保持滑动稳定。
需要说明的是，在以上实施例中，只要不矛盾的技术方案，都能够进行排列组合，由于本领域的技术人员能够根据高中阶段所学习的排列组合数学知识，穷尽所有排列组合后的结果，因此这些结果在本申请中不再一一罗列，但应理解为每一种排列组合结果都被本申请所记载。
还需要说明的是，以上实施例只是对本专利的示例性说明，并不限定它的保护范围，本领域技术人员还可以对其局部进行改变，只要没有超出本专利的精神实质，都在本专利的保护范围内。

Claims (5)

1.一种楔块调幅探针卡调幅件，其特征在于，设置在探针卡主体（1）的上方，包括压块，所述压块设置在探针卡主体（1）上的上楔板（2）部分露出的上方，压块能够下压单个或多个上楔板（2）露出的部分，使上楔板（2）向下移动；
所述的调幅件还包括：压块盘（5-1）、压块盘环（5-2）、压块盘环槽（5-3）、压块盘杆（5-4）、压块盘挡筒（5-5）、滑座（5-6）、外壳（5-7）、动齿轮（5-8）、齿辊轴（5-9）、滑座丝杆（5-10）、固定杆（5-11）和固定杆过孔（5-12），若干个所述的压块盘（5-1）并列滑动设置在压块盘杆（5-4）上形成压块，若干个压块盘（5-1）均偏心设置在压块盘杆（5-4）上，每个压块盘（5-1）的外部均固定套设有一个压块盘环（5-2），每个上楔板（2）的上端均设置有一个压块盘环槽（5-3），所述压块左侧的压块盘杆（5-4）上套设有压块盘挡筒（5-5），该压块右侧的压块盘杆（5-4）上套设有盘杆弹簧，所述的压块盘杆（5-4）的侧面沿轴向设置有导向条，所述压块盘挡筒（5-5）的左端固定连接在滑座（5-6）上，滑座（5-6）滑动设置在外壳（5-7）内部，外壳（5-7）固定设置在探针卡主体（1）上，所述压块盘杆（5-4）的右端转动连接在滑座（5-6）上，压块盘杆（5-4）的左端依次穿过压块盘挡筒（5-5）和滑座（5-6）侧壁后与动齿轮（5-8）固定连接，动齿轮（5-8）与齿辊轴（5-9）啮合，齿辊轴（5-9）的两端均转动连接在外壳（5-7）上，所述的滑座（5-6）的上端套接在滑座丝杆（5-10）上，滑座丝杆（5-10）的两端均转动连接在外壳（5-7）上，所述固定杆（5-11）的一端固定连接在滑座（5-6）的左端，固定杆（5-11）的另一端悬空设置，所述上楔板（2）露出的部分上与固定杆（5-11）对应设置有固定杆过孔（5-12）。
2.根据权利要求1所述的一种楔块调幅探针卡调幅件，其特征在于，还包括外框（5-13）和外框弹簧（5-14），所述外框（5-13）套设在探针卡主体（1）的外侧，外框（5-13）的下端与外壳（5-7）的内壁之间设置有外框弹簧（5-14），所述上楔板（2）的上楔板滑块（2-6）搭接在外框（5-13）的上端。
3.根据权利要求1或2任一项所述的一种楔块调幅探针卡调幅件，其特征在于，应用在一种楔块调幅探针卡上。
4.根据权利要求3所述的一种楔块调幅探针卡调幅件，其特征在于，所述一种楔块调幅探针卡包括：探针卡主体（1）、上楔板（2）和下楔板（3），所述探针卡主体（1）的内部滑动设置有若干个上楔板（2）和下楔板（3），若干个上楔板（2）和下楔板（3）依次间隔交错设置；
所述探针卡主体（1）包括：主体框架（1-1）、探针槽（1-2）和上楔板槽（1-3），所述主体框架（1-1）内部沿长度方向容纳有若干个上楔板（2）和下楔板（3），且主体框架（1-1）的底部沿长度方向设置有供探针穿过的探针槽（1-2），主体框架（1-1）上还设置有供所述上楔板（2）部分露出的上楔板槽（1-3）。
5.一种楔块调幅探针卡调幅件的对接结构，其特征在于，包括：压块盘（5-1）、压块盘环（5-2）、压块盘环槽（5-3）、压块盘杆（5-4）、压块盘挡筒（5-5）、滑座（5-6）和外壳（5-7），若干个所述的压块盘（5-1）并列滑动设置在压块盘杆（5-4）上形成压块，若干个压块盘（5-1）均偏心设置在压块盘杆（5-4）上，每个压块盘（5-1）的外部均固定套设有一个压块盘环（5-2），每个上楔板（2）的上端均设置有一个压块盘环槽（5-3），所述压块左侧的压块盘杆（5-4）上套设有压块盘挡筒（5-5），该压块右侧的压块盘杆（5-4）上套设有盘杆弹簧，所述的压块盘杆（5-4）的侧面沿轴向设置有导向条，所述压块盘挡筒（5-5）的左端固定连接在滑座（5-6）上，滑座（5-6）滑动设置在外壳（5-7）内部，外壳（5-7）固定设置在探针卡主体（1）上。
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