CN112434023B - 工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备 - Google Patents
工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112434023B CN112434023B CN201910788615.8A CN201910788615A CN112434023B CN 112434023 B CN112434023 B CN 112434023B CN 201910788615 A CN201910788615 A CN 201910788615A CN 112434023 B CN112434023 B CN 112434023B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- data
- state
- target
- abnormal
- analysis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 341
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 290
- 238000007405 data analysis Methods 0.000 title claims abstract description 50
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims description 80
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 53
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 46
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims description 25
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 20
- 238000002372 labelling Methods 0.000 claims description 15
- 238000007726 management method Methods 0.000 claims description 15
- 230000015654 memory Effects 0.000 claims description 15
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 9
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 6
- 238000005553 drilling Methods 0.000 claims description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 7
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000013481 data capture Methods 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 238000010835 comparative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000005206 flow analysis Methods 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 230000003862 health status Effects 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000011165 process development Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F16/00—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor
- G06F16/20—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor of structured data, e.g. relational data
- G06F16/22—Indexing; Data structures therefor; Storage structures
- G06F16/2282—Tablespace storage structures; Management thereof
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F16/00—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor
- G06F16/20—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor of structured data, e.g. relational data
- G06F16/26—Visual data mining; Browsing structured data
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/04—Manufacturing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Databases & Information Systems (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Data Mining & Analysis (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Economics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Marketing (AREA)
- Primary Health Care (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Abstract
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备。所述工艺数据分析方法包括如下步骤：采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源；形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应；整合多张所述数据存储表，形成汇总表；在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注。本发明能够使得工程师能够直观的、便捷的、快速的了解工艺流程进行状况以及机台设备的状态，大大减少了工程师分析工艺流程的时间，提高了工艺数据分析的效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备。
背景技术
动态随机存储器(Dynamic Random Access Memory，DRAM)等半导体器件在制造过程中，会通过数据采集(Data Capture，DC)系统实施采集各种工艺数据，即数据采集系统会随着时间的递增记录下各个工艺过程中的参数值，例如压力、温度、射频电压等。通过对采集到的工艺数据进行分析，工程师不但可以监控、分析工艺设备的运行情况，还可以通过分析寻找工艺改进的方向，以提高半导体的产出与良率。
因此，如何能够方便、快捷的分析工艺数据，以便工程师通过工艺数据对机台设备及工艺现状进行监控和改进，是当前半导体工艺发展亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明提供一种工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备，用于解决现有的工艺数据分析方法费时、费力、效率低下的问题。
为了解决上述问题，本发明提供了一种工艺数据分析方法，包括如下步骤：
采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源；
形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应；
整合多张所述数据存储表，形成汇总表；
在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注。
可选的，不同类型的所述工艺数据包括生产管理数据、质量管理数据、量测数据、异常产品数据、配方数据、工程分析数据、机台状态数据、产品测试数据中的多种。
可选的，所述汇总表中包括多个工艺流程、与每一所述工艺流程对应的多个数据源、以及针对每一所述工艺流程的每一所述数据源的状态的标识；在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注的具体步骤包括：
当所述工艺流程中的所述数据源异常时，在所述汇总表中以第一标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；
当所述工艺流程中的所述数据源正常时，在所述汇总表中以第二标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态。
可选的，所述第一标识与所述第二标识为不同颜色的图形标识。
可选的，还包括如下步骤：
获取所述汇总表的映射关系表，所述映射关系表包括各数据源以及与各数据源对应的数据存储表；
当检测到对所述标注后的汇总表中的目标标识的点击操作时，根据所述映射关系表获取与所述目标标识所属的数据源对应的目标数据存储表，所述目标数据存储表中包含目标工艺数据；
根据所述目标工艺数据绘制分析图。
可选的，当所述目标标识为第一标识且所述分析图包括工艺数据随工艺流程的推进的变化图时，还包括如下步骤：
于所述分析图中突显工艺数据异常点；
当检测到对所述工艺数据异常点的点击操作时，则对所述工艺数据异常点对应的各指标的实际参数与正常参数进行对比；
根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注。
可选的，根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注包括如下步骤：
当实际参数异常时，采用所述第一标识对实际参数进行标注；
当实际参数正常时，采用所述第二标识对实际参数进行标注；
所述方法还包括如下步骤：
当检测到对以第一标识标注的实际参数的点击操作时，则钻取并解析异常的所述实际参数对应的故障检测系统数据，所述故障检测系统数据包括异常参数数据和正常参数数据；
根据所述故障检测系统数据绘制曲线对比图，所述曲线对比图包括所述异常参数数据和正常参数数据在异常时间段内的变化图。
可选的，当所述分析图为机台状态图且所述目标工艺数据包括机台状态数据时，根据所述目标工艺数据绘制分析图包括如下步骤：
根据所述机台状态数据绘制目标工艺流程下与多个机台一一对应的多个子图，并对每一所述机台的状态进行标注，所述子图包括机台中的多个处理腔室以及每一所述处理腔室的状态；
当接收到针对目标处理腔室的状态查看指令时，则显示所述目标处理腔室的相关信息。
为了解决上述问题，本发明还提供了一种工艺数据分析装置，包括：
采集模块，用于采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源；
获取模块，连接所述采集模块，用于形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应；
整合模块，连接所述获取模块，用于整合多张所述数据存储表，形成汇总表；
标注模块，用于在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注。
可选的，不同类型的所述工艺数据包括生产管理数据、质量管理数据、量测数据、异常产品数据、配方数据、工程分析数据、机台状态数据、产品测试数据中的多种。
可选的，所述汇总表中包括多个工艺流程、与每一所述工艺流程对应的多个数据源、以及针对每一所述工艺流程的每一所述数据源的状态的标识；
所述标注模块用于当所述工艺流程中的所述数据源异常时，在所述汇总表中以第一标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；
所述标注模块还用于当所述工艺流程中的所述数据源正常时，在所述汇总表中以第二标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态。
可选的，所述第一标识与所述第二标识为不同颜色的图形标识。
可选的，还包括追踪模块，所述追踪模块包括：
映射单元，用于存储所述汇总表的映射关系表，所述映射关系表包括各数据源以及与各数据源对应的数据存储表；
处理单元，连接所述映射单元，用于当检测到对所述标注后的汇总表中的目标标识的点击操作时，根据所述映射关系表获取与所述目标标识所属的数据源对应的目标数据存储表，所述目标数据存储表中包含目标工艺数据；
分析单元，连接所述处理单元，用于根据所述目标工艺数据绘制分析图。
可选的，当所述目标标识为第一标识且所述分析图包括工艺数据随工艺流程的推进的变化图时，所述分析单元还用于于所述分析图中突显工艺数据异常点；
所述处理单元还用于当检测到对所述工艺数据异常点的点击操作时，则对所述工艺数据异常点对应的各指标的实际参数与正常参数进行对比；
所述标注模块还用于根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注。
可选的，所述标注模块还用于当实际参数异常时，采用所述第一标识对实际参数进行标注；
所述标注模块还用于当实际参数正常时，采用所述第二标识对实际参数进行标注；
所述处理单元还用于当检测到对以第一标识标注的实际参数的点击操作时，则钻取并解析异常的所述实际参数对应的故障检测系统数据，所述故障检测系统数据包括异常参数数据和正常参数数据；
所述分析单元还用于根据所述故障检测系统数据绘制曲线对比图，所述曲线对比图包括所述异常参数数据和正常参数数据在异常时间段内的变化图。
可选的，当所述分析图为机台状态图且所述目标工艺数据包括机台状态数据时；所述分析单元还用于根据所述机台状态数据绘制目标工艺流程下与多个机台一一对应的多个子图，并对每一所述机台的状态进行标注，所述子图包括机台中的多个处理腔室以及每一所述处理腔室的状态；
所述处理单元还用于在接收到针对目标处理腔室的状态查看指令时，显示所述目标处理腔室的相关信息。
为了解决上述问题，本发明还提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述任一项所述方法的步骤。
为了解决上述问题，本发明还提供了一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现上述任一项所述方法的步骤。
本发明提供的工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备，将工艺流程实施过程中不同种类导入不同的数据源，进行分类统计，形成多张数据存储表，通过对多张数据存储表进行整合，形成一张汇总表，并在汇总表中采用统一式样对各工艺流程对应的数据源的健康状态进行标注，使得工程师能够直观的、便捷的、快速的了解工艺流程进行状况以及机台设备的状态，大大减少了工程师分析工艺流程的时间，提高了工艺数据分析的效率，便于及时对工艺流程进行改进或调整，从而减少生成周期并提高产出。
附图说明
附图1是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法的流程图；
附图2是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法的示意图；
附图3是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法的设计模式图；
附图4是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的汇总表示意图；
附图5是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一分析图；
附图6是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一对比表；
附图7是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一曲线对比图；
附图8是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一机台状态图；
附图9是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一目标处理腔室的相关信息图；
附图10是本发明具体实施方式中工艺数据分析装置的结构框图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明提供的工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备的具体实施方式做详细说明。
可以理解，本发明所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种元件，但这些元件不受这些术语的限制。这些术语仅用于将第一个元件与另一个元件区分。举例来说，在不脱离本发明的范围的情况下，可以将第一标识称为第二标识，且类似地，可将第二标识称为第一标识。第一标识和第二标识两者都是标识，但其不是同一标识。
随着半导体制程工艺的日益复杂，工程师每天需要接触大量的工艺数据和制程系统。为了对工艺流程以及实施工艺流程的设备进行监控，并寻找工艺改进的方向，工程师需要花费大量的时间和精力查看、研究各种工艺数据和制程系统，数据分析效率较低。而且，大多数时候工程师需要对不同情况下的工艺数据进行对比分析，例如不同处理腔室的机台参数是否匹配、直列特征尺寸 (Inline CD)是否匹配等，此时，工程师需要手动绘图分析，过程繁琐且非常费时。另外，人工手动比对的方式难以避免主观误差，可能导致分析结果的异常，影响工艺制程的改进。
为了实现工艺数据分析的便捷性和高效性，本具体实施方式提供了一种工艺数据分析方法，附图1是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法的流程图，附图2是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法的示意图。如图1和图2所示，本具体实施方式提供的工艺数据分析方法，包括如下步骤：
步骤S11，采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源。
可选的，不同类型的所述工艺数据包括生产管理数据、质量管理数据、量测数据、异常产品数据、配方数据、工程分析数据、机台状态数据、产品测试数据中的多种。举例来说所述量测数据包括SPC(包括量测数据及故障检测系统(Fault Detection Control，FDC)数据)；所述生产管理数据包括Throughput (包括车间生产管理(Work In Progress，WIP)数据)；所述异常产品数据包括Hold Lot(包括产线异常产品数据)；所述机台状态数据包括Tools(包括过站数据，所述过站数据包括制程配方管理系统(Recipe Management System，RMS)信息及FDC信息)；所述工程分析数据包括Experiment(包括工程数据分析(Engineering Data Analysis，EDA)数据和工艺变更需求审核(Process Change ReviewBoard，PCRB)数据)；所述配方数据包括RMS数据、所述异常产品数据包括Abnormal Lot数据(包括制程异常产品(Process Abnormal Notice LOT，PANLot)数据和报废数据)；所述产品测试数据包括Mismatch数据(包括制程纵列数据，例如晶圆验收测试(wafer acceptancetest，WAT)数据及晶圆级的晶圆探针测试(chip probing，CP)数据)；所述质量管理数据包括 SM数据、iCapa数据。每一所述工艺数据中均包括多个工艺参数，所述工艺参数可以是工艺流程实施过程中对工艺设备设置的参数，也可以是工艺流程实施过程中对产品检测得到的参数，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择。本具体实施方式中所述的“多个”是指两个以上。
步骤S12，形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应。
步骤S13，整合多张所述数据存储表，形成汇总表。
步骤S14，在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注。
附图4是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的汇总表示意图。具体来说，在每一所述工艺流程实施的过程中实时采集多种工艺数据(即针对每一所述数据源设置一对应的数据采集结构)，并将自多个所述工艺流程中采集到的多种工艺数据分类导入与其对应的所述数据源中。针对每一所述数据源中的数据，生成一数据存储表，所述数据存储表一方面用于后续整合形成汇总表，另一方面便于用户后续根据所述汇总表对数据进行追踪。所述数据存储表的横排为一个所述工艺数据下的多种工艺参数，纵排为工艺流程步骤。通过对多个所述数据存储表进行分析、整合，形成包括多个工艺流程以及每个工艺流程实施过程中的多种数据源状态的汇总表，并将所述汇总表显示于用户终端界面。通过在所述汇总表中对各数据源的状态进行统一式样的标注，工程师可以直观、便捷、快速、可视化的了解各工艺流程实施的状况以及工艺设备的状态，大大减少了工程师分析工艺流程的时间，提高了工艺数据分析的效率，便于及时对工艺流程进行改进或调整，从而减少生成周期并提高产出。
本具体实施方式中所述数据源的状态是指该数据源所对应的工艺流程的健康状态，其至少包括正常状态和异常状态。所述汇总表的具体形式本领域技术人员可以根据实际需要进行设置，以下以图4所示的汇总表样式进行说明。 Op number为工艺流程步骤编号，stage name为工艺流程步骤的名称，SPC、 Throughput、Hold Lot、Tools、Experiment、RMS、Abnormal Lot、Mismatch 均为工艺数据的名称。在所述汇总表的上方还可以根据Module(半导体制程部门)、Time period(时间)、Prod(产品种类)、Work station(工作站或机台群组)下拉来选择不同的汇总表，以便于工程师根据实际需要进行快速筛选、查看。
附图3是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法的设计模式图。本具体实施方式采用模型(Model)-视图(View)-控制器(Controller)模式设计，将业务逻辑聚集到模型中，实现模型是视图的代码分离，在改进和个性化定制显示界面及用户交互的同时，无需重写编写业务逻辑。用户将需求反馈给控制器，控制器回到对应的数据源中追踪、钻取所需的信息，通过操控所述模型对数据信息进行解析，最后模型将图像展示在视图上。
所述汇总表中对数据源的状态进行标注的具体方式，本领域技术人员可以根据实际需要进行选择，例如以不同的颜色标注、以不同的图形标注、动态闪烁的方式标注等；所述标注可以是直接显示于所述汇总表中的，还可以是鼠标移动或者点击相应的位置后、以悬浮窗的位置显示标注。
可选的，所述汇总表中包括多个工艺流程、与每一所述工艺流程对应的多各数据源、以及针对每一所述工艺流程的每一所述数据源的状态进行的标识；在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注的具体步骤包括：
当所述工艺流程中的所述数据源异常时，在所述汇总表中以第一标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；
当所述工艺流程中所述数据源正常时，在所述汇总表中以第二标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态。
可选的，所述第一标识与所述第二标识为不同颜色的图形标识。
具体来说，在由多张所述数据存储表生成所述汇总表的过程中，通过对与每一工艺流程步骤对应的一个所述工艺数据中的多种工艺参数进行分析(例如与正常工艺参数或者预设阈值进行比较分析)，若存在异常工艺参数，则确认该工艺流程步骤对应的数据源异常，并在所述汇总表中以所述第一标识标注该工艺流程步骤对应的数据源的状态。
图形化的标注方式直观、明了，且由于人眼对颜色的敏感度较高，因此，可以采用红色圆圈作为所述第一标识，绿色圆圈作为第二标识，以便于工程师快速的确认异常工艺数据的种类以及出现的工艺流程步骤。
在其他具体实施方式中，用户还可以根据需要设置其他的标注方式，例如当所述数据源为Tools时，若有停机情况发生并会影响此站点所在的机台群组、使得其无法完成24小时内的工作量，则以红色圆圈标注；有停机情况发生、但并不会影响此站点所在工作群组完成24小时内的工作量，则以蓝色圆圈标注；若无停机情况发生，则以绿色圆圈标注。
可选的，所述工艺数据分析方法还包括如下步骤：
获取所述汇总表的映射关系表，所述映射关系表包括各数据源以及与各数据源对应的数据存储表；
当检测到对所述标注后的汇总表中的目标标识的点击操作时，根据所述映射关系表获取与所述目标标识所属的数据源对应的目标数据存储表，所述目标数据存储表中包含目标工艺数据；
根据所述目标工艺数据绘制分析图。
可选的，当所述目标标识为第一标识且所述分析图包括工艺数据随工艺流程的推进的变化图时，所述的工艺数据分析方法还包括如下步骤：
于所述分析图中突显工艺数据异常点；
当检测到对所述工艺数据异常点的点击操作时，则对所述工艺数据异常点对应的各指标的实际参数与正常参数进行对比；
根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注。
附图5是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一分析图。举例来说，当用户点击所述汇总表中SPC system下的黑色圆圈(即stage 09 对应的SPC system的状态)时，会于一用户终端的显示界面显示如图5所示的分析图。在图5所示的分析图中，会显示随stage 09工艺流程步骤的进行， SPC system下的各种工艺参数随时间的变化情况，并在所述分析图中限定工艺参数的阈值范围，当某一时刻的工艺参数超过阈值(包括超过最高阈值或者超过最低阈值)时，则确认该工艺参数异常，并对该工艺参数进行标注，例如以特殊的颜色标示，如图5中虚线圈中所示的即为异常参数点的位置。
可选的，所根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注具体包括如下步骤：
当实际参数异常时，采用所述第一标识对实际参数进行标注；
当实际参数正常时，采用所述第二标识对实际参数进行标注；
当检测到对以第一标识标注的实际参数的点击操作时，则钻取并解析异常的所述实际参数对应的故障检测系统数据，所述故障检测系统数据包括异常参数数据和正常参数数据；
根据所述故障检测系统数据绘制曲线对比图，所述曲线对比图包括所述异常参数数据和正常参数数据在异常时间段内的变化图。
本具体实施方式中所述的实际参数是指在工艺流程实施过程中采集到的参数；所述正常参数是指为确保工艺流程的顺利实施，预先设置或者根据经验判断得到的参数。附图6是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一对比表。举例来说，当用户点击图5中虚线圈内的异常点时，则会于用户终端的显示界面显示如图6所示的对比表。在图6所示的对比表中，会显示该工艺流程下、异常点发生时刻各项正常的FDC参数(即图6中的comparison 列)与该时刻实际的FDC参数(即图6中的SPC hold列)的对比，以便于工程师能够直观、快速、便捷的了解异常情况出现的根源，例如图6中显示在工艺流程实施过程中FDC压力异常。
本具体实施方式在所述对比表中采用与所述汇总表中相同的标识来对各项实际参数的状态进行标注，即采用统一式样对各种不同显示阶段的参数状态进行标注，为工程师分析工艺数据提供了进一步的便利。例如以红色圆圈显示异常的实际参数，绿色圆圈显示正常的实际参数。
附图7是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一曲线对比图。举例来说，当用户点击图6中SPC hold列下的pressure状态标注(即图 6中的黑色圆圈)时，则通过钻取并解析故障检测系统中的数据，最后于用户终端的显示界面显示如图7所示的曲线对比图。在图7中，实线72表示出现异常状态时的FDC曲线图，虚线71表示出现异常之前的上一批正常的FDC 曲线图。图7中的虚线圈标明异常参数位置。
可选的，当所述分析图为机台状态图且所述目标工艺数据包括机台状态数据；根据所述目标工艺数据绘制分析图具体包括如下步骤：
根据所述机台状态数据绘制目标工艺流程下与多个机台一一对应的多个子图，并对每一所述机台的状态进行标注，所述子图包括机台中的多个处理腔室以及每一所述处理腔室的状态；
当接收到针对目标处理腔室的状态查看指令时，则显示所述目标处理腔室的相关信息。
附图8是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一机台状态图。举例来说，点击所述汇总表中Tools system异常标注(即stage 08对应的Tools system的状态)时，会显示该工艺流程步骤下所有机台的状态，并以不同的颜色或者图案填充标识机台的状态，如图8所示。在图8中，Tool_001、 Tool_002、Tool_003、Tool_004、Tool_005、Tool_006分别表示机台名称，LP1、 LP2、LP3、LP4分别表示载入端口，CHA、CHB、CHC、CHD、CHE、CHF 分别表示处理腔室，图8中示出了与6个机台一一对应的6个子图。
附图9是本发明具体实施方式中工艺数据分析方法实施过程中的一目标处理腔室的相关信息图。举例来说，点击图8中的Tool_003机台中的CHE处理腔室时，会显示该处理腔室的相关信息。其中，所述相关信息的具体内容，本领域技术人员可以根据实际需要进行设置，例如可以包括腔室状态、故障原因等其中，故障原因可由多个部门进行备注记录。
不仅如此，本具体实施方式还提供了一种工艺数据分析装置，附图10是本发明具体实施方式中工艺数据分析装置的结构框图。本具体实施方式提供的工艺数据分析装置的控制方法可参见图1-图9。如图1-图10所示，本具体实施方式提供的工艺数据分析装置，包括：
采集模块20，用于采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源；
获取模块21，连接所述采集模块20，用于形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应；
整合模块22，连接所述获取模块21，用于整合多张所述数据存储表，形成汇总表；
标注模块23，用于在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注。
可选的，不同类型的所述工艺数据包括生产管理数据、质量管理数据、量测数据、异常产品数据、配方数据、工程分析数据、机台状态数据、产品测试数据中的多种。
可选的，所述汇总表中包括多个工艺流程、与每一所述工艺流程对应的多个数据源、以及针对每一所述工艺流程的每一所述数据源的状态的标识；
所述标注模块23用于当所述工艺流程中的所述数据源异常时，在所述汇总表中以第一标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；
所述标注模块23还用于当所述工艺流程中的所述数据源正常时，在所述汇总表中以第二标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态。
可选的，所述第一标识与所述第二标识为不同颜色的图形标识。
可选的，所述工艺数据分析装置还包括追踪模块24，所述追踪模块24包括：
映射单元241，用于存储所述汇总表的映射关系表，所述映射关系表包括各数据源以及与各数据源对应的数据存储表；
处理单元242，连接所述映射单元241，用于当检测到对所述标注后的汇总表中的目标标识的点击操作时，根据所述映射关系表获取与所述目标标识所属的数据源对应的目标数据存储表，所述目标数据存储表中包含目标工艺数据；
分析单元243，连接所述处理单元242，用于根据所述目标工艺数据绘制分析图。
可选的，当所述目标标识为第一标识且所述分析图包括工艺数据随工艺流程的推进的变化图时，所述分析单元243还用于于所述分析图中突显工艺数据异常点；
所述处理单元242还用于当检测到对所述工艺数据异常点的点击操作时，则对所述工艺数据异常点对应的各指标的实际参数与正常参数进行对比；
所述标注模块23还用于根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注。
可选的，所述标注模块23还用于当实际参数异常时，采用所述第一标识对实际参数进行标注；
所述标注模块23还用于当实际参数正常时，采用所述第二标识对实际参数进行标注；
所述处理单元242还用于当检测到对以第一标识标注的实际参数的点击操作时，则钻取并解析异常的所述实际参数对应的故障检测系统数据，所述故障检测系统数据包括异常参数数据和正常参数数据；
所述分析单元243还用于根据所述故障检测系统数据绘制曲线对比图，所述曲线对比图包括所述异常参数数据和正常参数数据在异常时间段内的变化图。
可选的，当所述分析图为机台状态图且所述目标工艺数据包括机台状态数据时；所述分析单元243还用于根据所述机台状态数据绘制目标工艺流程下与多个机台一一对应的多个子图，并对每一所述机台的状态进行标注，所述子图包括机台中的多个处理腔室以及每一所述处理腔室的状态；
所述处理单元242还用于在接收到针对目标处理腔室的状态查看指令时，显示所述目标处理腔室的相关信息。
本具体实施方式还提供了一种存储介质。存储介质为计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现上述任一实施例中工艺数据分析方法的步骤。
本具体实施方式还提供了一种计算机设备。所述计算机设备包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现上述任一实施例中工艺数据分析方法的步骤。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程 ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM 以多种形式可得，诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步 DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型 SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线 (Rambus)直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。
本具体实施方式提供的工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备，将工艺流程实施过程中不同种类导入不同的数据源，进行分类统计，形成多张数据存储表，通过对多张数据存储表进行整合，形成一张汇总表，并在汇总表中采用统一式样对各工艺流程对应的数据源的健康状态进行标注，使得工程师能够直观的、便捷的、快速的了解工艺流程进行状况以及机台设备的状态，大大减少了工程师分析工艺流程的时间，提高了工艺数据分析的效率，便于及时对工艺流程进行改进或调整，从而减少生成周期并提高产出。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (14)
1.一种工艺数据分析方法，其特征在于，包括如下步骤：
采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源；
形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应；
整合多张所述数据存储表，形成汇总表；所述汇总表中包括多个工艺流程、与每一所述工艺流程对应的多个数据源、以及针对每一所述工艺流程的每一所述数据源的状态的标识；
在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注，当所述工艺流程中的所述数据源异常时，在所述汇总表中以第一标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；当所述工艺流程中的所述数据源正常时，在所述汇总表中以第二标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；
获取所述汇总表的映射关系表，所述映射关系表包括各数据源以及与各数据源对应的数据存储表；
当检测到对标注后的汇总表中的目标标识的点击操作时，根据所述映射关系表获取与所述目标标识所属的数据源对应的目标数据存储表，所述目标数据存储表中包含目标工艺数据；
根据所述目标工艺数据绘制分析图。
2.根据权利要求1所述的工艺数据分析方法，其特征在于，不同类型的所述工艺数据包括生产管理数据、质量管理数据、量测数据、异常产品数据、配方数据、工程分析数据、机台状态数据、产品测试数据中的多种。
3.根据权利要求1所述的工艺数据分析方法，其特征在于，所述第一标识与所述第二标识为不同颜色的图形标识。
4.根据权利要求1所述的工艺数据分析方法，其特征在于，当所述目标标识为第一标识且所述分析图包括工艺数据随工艺流程的推进的变化图时，还包括如下步骤：
于所述分析图中突显工艺数据异常点；
当检测到对所述工艺数据异常点的点击操作时，则对所述工艺数据异常点对应的各指标的实际参数与正常参数进行对比；
根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注。
5.根据权利要求4所述的工艺数据分析方法，其特征在于，根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注包括如下步骤：
当实际参数异常时，采用所述第一标识对实际参数进行标注；
当实际参数正常时，采用所述第二标识对实际参数进行标注；
所述方法还包括如下步骤：
当检测到对以第一标识标注的实际参数的点击操作时，则钻取并解析异常的所述实际参数对应的故障检测系统数据，所述故障检测系统数据包括异常参数数据和正常参数数据；
根据所述故障检测系统数据绘制曲线对比图，所述曲线对比图包括所述异常参数数据和正常参数数据在异常时间段内的变化图。
6.根据权利要求1所述的工艺数据分析方法，其特征在于，当所述分析图为机台状态图且所述目标工艺数据包括机台状态数据时，根据所述目标工艺数据绘制分析图包括如下步骤：
根据所述机台状态数据绘制目标工艺流程下与多个机台一一对应的多个子图，并对每一所述机台的状态进行标注，所述子图包括机台中的多个处理腔室以及每一所述处理腔室的状态；
当接收到针对目标处理腔室的状态查看指令时，则显示所述目标处理腔室的相关信息。
7.一种工艺数据分析装置，其特征在于，包括：
采集模块，用于采集来自于多个工艺流程的工艺数据，并将相同类型的工艺数据导入同一数据源；
获取模块，连接所述采集模块，用于形成与多个所述数据源分别对应的数据存储表，多个所述数据源与多种不同类型的工艺数据一一对应；
整合模块，连接所述获取模块，用于整合多张所述数据存储表，形成汇总表；所述汇总表中包括多个工艺流程、与每一所述工艺流程对应的多个数据源、以及针对每一所述工艺流程的每一所述数据源的状态的标识；
标注模块，用于在所述汇总表中对各工艺流程对应的各数据源的状态进行标注；所述标注模块用于当所述工艺流程中的所述数据源异常时，在所述汇总表中以第一标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；所述标注模块还用于当所述工艺流程中的所述数据源正常时，在所述汇总表中以第二标识标注所述工艺流程对应的数据源的状态；
追踪模块，包括映射单元、处理单元和分析单元，所述映射单元用于存储所述汇总表的映射关系表，所述映射关系表包括各数据源以及与各数据源对应的数据存储表；所述处理单元连接所述映射单元，用于当检测到对标注后的汇总表中的目标标识的点击操作时，根据所述映射关系表获取与所述目标标识所属的数据源对应的目标数据存储表，所述目标数据存储表中包含目标工艺数据；所述分析单元连接所述处理单元，用于根据所述目标工艺数据绘制分析图。
8.根据权利要求7所述的工艺数据分析装置，其特征在于，不同类型的所述工艺数据包括生产管理数据、质量管理数据、量测数据、异常产品数据、配方数据、工程分析数据、机台状态数据、产品测试数据中的多种。
9.根据权利要求7所述的工艺数据分析装置，其特征在于，所述第一标识与所述第二标识为不同颜色的图形标识。
10.根据权利要求7所述的工艺数据分析装置，其特征在于，当所述目标标识为第一标识且所述分析图包括工艺数据随工艺流程的推进的变化图时，所述分析单元还用于于所述分析图中突显工艺数据异常点；
所述处理单元还用于当检测到对所述工艺数据异常点的点击操作时，则对所述工艺数据异常点对应的各指标的实际参数与正常参数进行对比；
所述标注模块还用于根据对比结果对所述工艺数据异常点的实际参数的状态进行标注。
11.根据权利要求10所述的工艺数据分析装置，其特征在于，所述标注模块还用于当实际参数异常时，采用所述第一标识对实际参数进行标注；
所述标注模块还用于当实际参数正常时，采用所述第二标识对实际参数进行标注；
所述处理单元还用于当检测到对以第一标识标注的实际参数的点击操作时，则钻取并解析异常的所述实际参数对应的故障检测系统数据，所述故障检测系统数据包括异常参数数据和正常参数数据；
所述分析单元还用于根据所述故障检测系统数据绘制曲线对比图，所述曲线对比图包括所述异常参数数据和正常参数数据在异常时间段内的变化图。
12.根据权利要求7所述的工艺数据分析装置，其特征在于，当所述分析图为机台状态图且所述目标工艺数据包括机台状态数据时；所述分析单元还用于根据所述机台状态数据绘制目标工艺流程下与多个机台一一对应的多个子图，并对每一所述机台的状态进行标注，所述子图包括机台中的多个处理腔室以及每一所述处理腔室的状态；
所述处理单元还用于在接收到针对目标处理腔室的状态查看指令时，显示所述目标处理腔室的相关信息。
13.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现权利要求1-6任一项所述方法的步骤。
14.一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现权利要求1-6任一项所述方法的步骤。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910788615.8A CN112434023B (zh) | 2019-08-26 | 2019-08-26 | 工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910788615.8A CN112434023B (zh) | 2019-08-26 | 2019-08-26 | 工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112434023A CN112434023A (zh) | 2021-03-02 |
| CN112434023B true CN112434023B (zh) | 2022-06-10 |
Family
ID=74690133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910788615.8A Active CN112434023B (zh) | 2019-08-26 | 2019-08-26 | 工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112434023B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11983224B2 (en) | 2020-05-19 | 2024-05-14 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Data presentation system, method and device, and computer-readable storage medium |
| CN115460109A (zh) * | 2022-11-11 | 2022-12-09 | 广州粤芯半导体技术有限公司 | 连接状态检测方法、装置、计算机设备及可读存储介质 |
| CN116090789B (zh) * | 2023-03-03 | 2023-08-29 | 麦高(广东)数字科技有限公司 | 一种基于数据分析的精益制造生产管理系统及方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITMI20071525A1 (it) * | 2007-07-27 | 2009-01-28 | Fond Bruno Kessler | Un metodo e relativo dispositivo per la memorizzazione e utilizzo di informazioni di ausilio alla definizione di flussi di processo, in particolare per lo sviluppo e la produzione di dispositivi microelettronici e nano-micro-meccanici in camera pulit |
| US8312366B2 (en) * | 2009-02-11 | 2012-11-13 | Microsoft Corporation | Displaying multiple row and column header areas in a summary table |
| CN101751613A (zh) * | 2009-12-31 | 2010-06-23 | 杭州哲达科技股份有限公司 | 可视化化工流程运行能效委托管理系统的信息处理方法 |
| CN105553769B (zh) * | 2015-12-15 | 2019-03-05 | 北京奇虎科技有限公司 | 一种数据采集分析系统和方法 |
| CN109241107A (zh) * | 2018-08-03 | 2019-01-18 | 北京邮电大学 | 基于Hadoop的大数据治理装置 |
| CN109299922A (zh) * | 2018-09-30 | 2019-02-01 | 金蝶软件（中国）有限公司 | 基于erp的数据分析方法、装置、计算机设备和存储介质 |
| CN109840718B (zh) * | 2019-02-28 | 2023-02-07 | 东北大学 | 一种基于组态的生产指标可视化监控系统及方法 |
| CN110134702A (zh) * | 2019-05-17 | 2019-08-16 | 北京百度网讯科技有限公司 | 数据流拼接方法、装置、设备和存储介质 |
-
2019
- 2019-08-26 CN CN201910788615.8A patent/CN112434023B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN112434023A (zh) | 2021-03-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN112434023B (zh) | 工艺数据分析方法及装置、存储介质及计算机设备 | |
| CN109711659B (zh) | 一种工业生产的良率提升管理系统和方法 | |
| WO2020052292A1 (zh) | 基于工业互联网的集成电路测试信息化管理系统 | |
| US7221991B2 (en) | System and method for monitoring manufacturing apparatuses | |
| KR100503771B1 (ko) | 프로세스가공공정의이상추출방법및장치 | |
| US7069185B1 (en) | Computerized machine controller diagnostic system | |
| WO2018042940A1 (ja) | 設備管理装置、設備管理システム、プログラムおよび設備管理方法 | |
| US8013864B2 (en) | Method and system for visualizing multivariate statistics | |
| CN113552840B (zh) | 一种机械加工控制系统 | |
| US11157821B2 (en) | Traceability system and method for traceability | |
| CN112729365A (zh) | 一种展示风力机传感器测点及调取数据的系统及方法 | |
| JP2018185774A (ja) | 設備管理装置、設備管理システム、プログラムおよび設備管理方法 | |
| JP6176377B1 (ja) | 設備管理システム、設備管理方法およびプログラム | |
| CN109523030B (zh) | 一种基于机器学习的遥测参数异常监测系统 | |
| CN108242411B (zh) | 用于管控线上缺陷的方法和系统 | |
| CN111199326A (zh) | 产品良率监控方法、装置及计算机可读存储介质 | |
| CN112183876A (zh) | 一种基于信息融合的良率损失根因分析方法 | |
| CN115905802A (zh) | 基于热力图的半导体晶圆测试良率分析方法 | |
| CN115205228A (zh) | 一种液晶面板生产缺陷分布图监控分析系统 | |
| CN113033166B (zh) | 基于pi系统的电子报表生成方法及系统 | |
| CN114842870A (zh) | 基于多频段自监督的声纹异常检测方法 | |
| CN113537356A (zh) | 一种基于Map图的不良根因分析方法 | |
| CN115104113A (zh) | 作业率测量设备和作业率测量方法 | |
| CN113505344B (zh) | 机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统 | |
| CN113359007B (zh) | 晶圆测试图的显示方法及系统 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |