CN112433449B - 一种深紫外灯安全启动的控制系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种深紫外灯安全启动的控制系统，涉及电路技术领域。该控制系统包括：供电电路和控制电路，控制电路包括功率采样模块和脉宽控制器。功率采样模块的输出端与脉宽控制器的第一输入端电连接，功率采样模块的输入端、脉宽控制器的输出端分别与供电电路电连接；标准功率值作为脉宽控制器的第二输入端的输入。在采样电流值小于最大安全电流值时，通过功率采样模块采集的采样功率值和标准功率值进行比较，来确定脉宽控制器输出的脉冲宽度，进而以输出的脉冲宽度调节深紫外灯的功率，使深紫外灯的功率保持稳定，从而保证深紫外灯启动时的稳定性和安全性。

Description

一种深紫外灯安全启动的控制系统

技术领域

本申请涉及电路技术领域，尤其涉及一种深紫外灯安全启动的控制系统。

背景技术

深紫外灯是半导体微电子曝光设备广泛使用的发光源，是利用汞蒸气导电的发光器件。

由于深紫外灯的负阻特性，它的启动是一个复杂的过渡过程，在启动瞬间，电流极大，为防止电流失控烧坏曝光灯，必须控制启动电流在一个安全范围；在启动过程中，随着发光点温度上升，灯内阻逐渐增大，功率逐渐上升，此时，若流经深紫外灯的电流没有随之降低，可能出现功率过大超过额定功率引起爆炸，酿成事故的危险。

考虑到深紫外灯的启动时间长，启动过程复杂，因此，如何提供较大并且安全的启动电流,以及合适的、平稳的启动功率，来保证深紫外灯的安全和平稳启动，是目前亟待解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例至少提供一种深紫外灯安全启动的控制系统，不仅可以控制启动时深紫外灯的功率，还可以控制深紫外灯启动时的电流。

本申请主要包括以下几个方面：

第一方面，本申请实施例提供一种深紫外灯安全启动的控制系统，所述深紫外灯安全启动的控制系统包括：

供电电路和控制电路；所述控制电路包括功率采样模块和脉宽控制器；所述功率采样模块的输出端与所述脉宽控制器的第一输入端电连接，所述脉宽控制器的输出端、所述功率采样模块的输入端分别与所述供电电路电连接；标准功率值作为所述脉宽控制器的第二输入端的输入。

在所述功率采样模块采集的采样电流值小于或等于最大安全启动电流值时，若所述功率采样模块输出的功率值与所述标准功率值之间的差值大于预设阈值，则所述脉宽控制器的输出端输出第一宽度的脉冲，以便所述供电电路根据所述第一宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率。

在一种可能的实施方式中，在所述功率采样模块采集的采样电流值小于或等于最大安全启动电流值时，若所述功率采样模块输出的功率值与所述标准功率值之间的差值小于或等于所述预设阈值，则所述脉宽控制器的输出端输出第二宽度的脉冲，以便所述供电电路根据所述第二宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率；其中，所述第一宽度小于所述第二宽度。

在一些可能的实施方式中，所述控制电路包括比较器和开关管，所述比较器的第一输入端与所述功率采样模块电连接，最大安全启动电流值作为所述比较器的第二输入端的输入，所述比较器的输出端与所述开关管的基极电连接，所述开关管的集电极与所述脉宽控制器的第二输入端电连接，所述开关管的发射极接地。

在一些可能的实施方式实施例中，当所述功率采样模块采集的采样电流值大于所述最大安全启动电流值时，所述比较器的输出端输出高电平信号，使所述开关管导通，所述脉宽控制器的第二输入端接地，则所述脉宽控制器的输出端输出第三宽度的脉冲，以便所述供电电路根据所述第三宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率；其中，所述第三宽度小于所述第一宽度。

在一种可能的实施方式中，当所述功率采样模块采集的采样电流值小于所述最大安全启动电流值时，所述比较器的输出端输出低电平信号，所述开关管保持断开。

在一种可能的实施方式中，所述供电电路包括工频整流模块、功率逆变模块和高频整流模块；所述工频整流模块的输入端接收交流电流，所述工频整流模块、所述功率逆变模块、高频整流模块顺次电连接，所述高频整流模块的输出端与深紫外灯电连接。

在一种可能的实施方式中，所述功率采样模块包括电压采样单元、第一放大器和乘法器；所述电压采样单元的输入端与所述供电电路的输出端电连接，所述电压采样单元、所述第一放大器和所述乘法器顺次电连接。

在一种可能的实施方式中，所述功率采样模块还包括电流采样单元和第二放大器；所述电流采样单元的输入端与所述供电电路的输出端电连接，所述电流采样单元、所述第二放大器和所述乘法器顺次电连接。

在一种可能的实施方式中，所述控制系统还包括驱动电路；所述脉宽控制器的输出端与所述的驱动电路电连接；所述驱动电路与所述功率逆变模块电连接。

在一种可能的实施方式中，所述深紫外灯为具有负阻特性的灯具。

本申请实施例提供的一种深紫外灯安全启动的控制系统，在采样电流值小于最大安全电流值时，通过功率采样模块采集的采样功率值和标准功率值进行比较，来确定脉宽控制器输出的脉冲宽度，进而以输出的脉冲宽度调节深紫外灯的功率，与现有技术中的一种方案是给深紫外供电的线性电源是由变压器，整流器，电感，滤波器电路组成，AC220V交流电源通过变压器降压、再通过整流器，电感、滤波器电路整流滤波，给深紫外灯供电，功率受电网波动影响大，导致控制精度低，无法给深紫外灯提供稳定的功率。现有技术中另一种方案是利用开关电源进行深紫外灯的启动，在启动时电流从最大电流回落到工作电流的过程中，电流回落太快或过慢，极其不稳定，容易造成深紫外灯熄灭或有爆灯的风险相比，本申请可以提高深紫外灯启动时的稳定性。

进一步地，当功率采样模块采集的采样电流值大于最大安全启动电流值这样的情况发生时，使脉宽控制器的第二输入端短路接地，以增大脉宽控制器第一输入端和第二输入端的差值，这样，可以使脉宽控制器的输出端输出较窄的第三宽度的脉冲，以降低深紫外灯输入电流，进而控制流入深紫外灯的电流在最大安全启动电流之内，保证了深紫外灯的启动的安全性。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本申请实施例所提供的一种深紫外灯安全启动的控制系统的结构示意图；

图2示出了本申请实施例所提供的供电电路的结构示意图；

图3示出了本申请实施例所提供的功率采样模块的结构示意图；

图4示出了本申请实施例所提供的另一种深紫外灯安全启动的控制系统的结构示意图。

主要元件符号说明：

图中：1-供电电路；11-工频整流模块；12-功率逆变模块；13-高频整流模块；2-控制电路；21-功率采样模块；211-电压采样单元；212-第一放大器；213-电流采样单元；214-第二放大器；215-乘法器；22-脉宽控制器；23-比较器；24-开关管；3-驱动电路。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

另外，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的全部其他实施例，都属于本申请保护的范围。

为了使得本领域技术人员能够使用本申请内容，结合特定应用场景“启动深紫外灯”，给出以下实施方式，对于本领域技术人员来说，在不脱离本申请的精神和范围的情况下，可以将这里定义的一般原理应用于其他实施例和应用场景。

本申请实施例下述深紫外灯安全启动的控制系统可以应用于任何需要进行启动深紫外灯的场景，本申请实施例并不对具体的应用场景作限制，任何使用本申请实施例提供的一种深紫外灯安全启动的控制系统方案均在本申请保护范围内。

值得注意的是，深紫外灯是半导体微电子曝光设备广泛使用的发光源，是利用汞蒸气导电的发光器件。

由于深紫外灯的负阻特性，它的启动是一个复杂的过渡过程，在启动瞬间，电流极大，为防止电流失控烧坏曝光灯，必须控制启动电流在一个安全范围；在过渡过程中，随着发光点温度上升，灯内阻逐渐增大，功率逐渐上升，此时，若流经深紫外灯的电流没有随之降低，可能出现功率过大超过额定功率引起爆炸，酿成事故的危险。

考虑到深紫外灯的启动时间长，启动过程复杂，因此，如何提供较大并且安全的启动电流，以及合适的、平稳的启动功率，来保证深紫外灯的安全和平稳启动，是目前亟待解决的技术问题。

针对上述问题，本申请提供了一种深紫外灯安全启动的控制系统，该控制系统包括：供电电路和控制电路，控制电路包括功率采样模块和脉宽控制器。功率采样模块的输出端与脉宽控制器的第一输入端电连接，功率采样模块的输入端、脉宽控制器的输出端分别与供电电路电连接；标准功率值作为脉宽控制器的第二输入端的输入。在采样电流值小于最大安全电流值时，通过功率采样模块采集的功率值和标准功率值进行比较，来确定脉宽控制器输出的脉冲宽度，进而以输出的脉冲宽度调节深紫外灯的功率，使深紫外灯的功率保持稳定，从而保证深紫外灯启动时的稳定性和安全性。

为便于对本申请进行理解，下面结合具体实施例对本申请提供的技术方案进行详细说明。

图1为本申请实施例所提供的一种深紫外灯安全启动的控制系统。如图1所示的一种深紫外灯安全启动的控制系统的结构示意图；包括：供电电路1和控制电路2，控制电路2包括功率采样模块21和脉宽控制器22；所述功率采样模块21的输出端与所述脉宽控制器22的第一输入端电连接，所述功率采样模块21的输入端、所述脉宽控制器22的输出端分别与所述供电电路1电连接；标准功率值作为所述脉宽控制器22的第二输入端的输入；

在所述功率采样模块21采集的采样电流值小于或等于最大安全启动电流值时，若所述功率采样模块21输出的功率值与所述标准功率值之间的差值大于预设阈值，则所述脉宽控制器22的输出端输出第一宽度的脉冲，以便所述供电电路1根据所述第一宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率。

在具体实施中，深紫外灯在启动时，需要大电流来触发启动，在启动瞬间，电流极大，为防止大电流烧坏深紫外灯，必须控制启动电流在一个安全范围；随着深紫外灯温度的上升，深紫外的内阻逐渐增大，功率逐渐上升，此时，需要深紫外灯的功率降低，以防止功率过大超过额定功率引发事故。

当深紫外灯与供电电路1接通后，深紫外灯的温度不断上升，深紫外灯内阻会随温度增大，进而，深紫外灯的功率逐渐上升，深紫外灯此时，一方面要使流入深紫外灯的电流小于最大安全启动电流，保证深紫外灯启动的安全性；另一方面需要控制深紫外灯的输入功率保持在其额定功率，保证深紫外灯启动时的稳定性。

为了控制深紫外灯启动过程中功率的稳定，本申请提供了一种深紫外灯安全启动的控制系统，包括：供电电路1和控制电路2；供电电路1的输入端与220V的交流电连接，220V的交流电经过供电电路1中的处理后输出给深紫外灯；控制电路2包括功率采样模块21和脉宽控制器22，控制电路2中的功率采样模块21的输入端与供电电路1的输出端电连接，功率采样模块21采集供电电路1输出到深紫外灯的功率值，功率采样模块21采集的采样功率值可以反映深紫外灯启动过程中的功率情况，功率采样模块21的输出端与脉宽控制器22的第一输入端连接，标准功率值作为所述脉宽控制器22的第二输入端的输入，脉宽控制器22的输出端输出脉冲至供电电路1中，供电电路1根据接收的脉冲宽度不同来调整深紫外灯的功率，保证深紫外灯启动时的功率稳定。具体地，通过功率采样模块21采集的采样功率值和标准功率值进行比较，来确定脉宽控制器22输出的脉冲宽度，进而以输出的脉冲宽度调节深紫外灯的功率，使深紫外灯的功率保持稳定，从而保证深紫外灯启动时的稳定性和安全性。

需要说明的是，深紫外灯可以预先设置预设阈值，通过将预设阈值和功率采样模块21输出的功率值与标准功率值之间的差值进行比较，来确定采集的采样功率值和标准功率值之间的差异的大小，若差值大于预设阈值，说明采集的采样功率值要大于标准功率值，需要将采集的功率值调小，具体地，可以输出一个相对小宽度的脉冲，供电电路1根据接收的脉冲，在供电电路1处理下，降低深紫外灯中启动过程中的电流和电压，随之降低深紫外灯的功率，使输入到深紫外灯的功率靠近额定功率值。但随着温度继续上升，内阻继续增大，深紫外灯得到的功率还在持续增大的过程中，功率采样模块21输出的功率值与标准功率值之间的差值仍大于预设阈值，脉宽控制器22仍输出宽度较小的脉冲使供电电路1根据输入的脉冲宽度降低深紫外灯中的电流和电压，以达到进一步降低深紫外灯的功率的目的。若上述相邻时刻中，第一时刻的差值大于第二时刻的差值，且两个时刻对应的差值均大于预设阈值，第一时刻输出的脉冲宽度要小于第二时刻输出的脉冲宽度，即，根据功率采样模块21输出的功率值与标准功率值之间的差值大于预设阈值的程度，输出不同宽度的脉冲，差值大于预设阈值的程度越大，输出的脉冲宽度越小。

这里，深紫外灯启动过程中，通过调节输出的脉冲宽度使电流随之降低，进而，使深紫外灯的功率降低，深紫外灯直至使深紫外灯中的功率保持在一个稳定的功率的效果。

一示例中，设定深紫外灯的最大安全启动电流为5A，预设阈值为0，脉宽控制器22输出的标准宽度的脉冲宽度为2mm。若功率采样模块21采集的采样电流值小于5A，功率采样模块21输出的采样功率值与标准功率值之间的差值为10W，所以功率采样模块21输出的采样功率值与标准功率值之间的差值10W大于预设阈值0，输出脉冲的宽度相对标准宽度要窄些，比如，输出的脉冲宽度为1.5mm，供电电路1根据变窄的脉冲宽度降低深紫外灯中的电流，使深紫外灯功率随之降低。另一方面，随着时间的变化，温度上升，内阻增大，功率又有所上升，功率采样模块21输出的采样功率值与标准功率值之间的差值变为15W，差值增大，脉宽控制器22输出的脉冲变为更窄的1.2mm，供电电路1根据更窄宽度的脉冲调整深紫外灯中的电流，才可以使深紫外灯中的功率维持在一个稳定值，直到深紫外灯的温度不再上升，内阻不继续增大，深紫外灯的输出功率保持稳定状态，完成深紫外灯的启动。

所述深紫外灯为具有负阻特性的灯具。

一种可能的实施方式，在所述功率采样模块21采集的采样电流值小于或等于最大安全启动电流值时，若所述功率采样模块21输出的功率值与所述标准功率值之间的差值小于所述预设阈值，则所述脉宽控制器22的输出端输出第二宽度的脉冲，以便所述供电电路1根据所述第二宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率；其中，所述第一宽度小于所述第二宽度。

在具体实施中，若功率采样模块21采集的采样电流值小于或等于最大安全启动电流值，当脉宽控制器22的第一输入端和第二输入端的差值小于预设阈值时，即，功率采样模块21采集的采样功率值小于标准功率值的情况，这种情况需要增大深紫外灯中的功率，使脉宽控制器22输出较宽的第二宽度的脉冲，供电电路1根据接收的较宽第二宽度的脉冲增加深紫外灯中的电流和电压，从而增大深紫外灯的功率。同理，在这个过程中脉宽控制器22输出的脉冲也是可以根据脉宽控制器22的第一输入端和第二输入端的差值小于预设阈值的程度，输出不同宽度的脉冲，调整深紫外灯的功率直到深紫外灯的功率稳定。

图2示出了深紫外灯安全启动的控制系统中的供电电路1的结构示意图。供电电路1包括：工频整流模块11，功率逆变模块12，高频整流模块13。

所述工频整流模块11的输入端接收交流电流，所述工频整流模块11、所述功率逆变模块12、高频整流模块13顺次电连接，所述高频整流模块13的输出端与深紫外灯电连接。

在具体实施中，供电电路1包括工频整流模块11、功率逆变模块12和高频整流模块13。工频整流模块11接收220V、50HZ的交流电，工频整流模块11将交流电流变成直流电流，工频整流模块11的输出端电连接功率逆变模块12的输入端，功率逆变模块12将工频整流模块11输出的直接电再变为交流电，功率逆变模块12的输出端与高频整流模块13的输入端电连接，高频整流模块13将功率逆变模块12输出交流电再变为直流电，并输出到深紫外灯。

图3示出了图1中控制电路2中的功率采样模块21的结构示意图。

所述功率采样模块21包括电压采样单元211、第一放大器212和乘法器215；所述电压采样单元211的输入端与所述供电电路1的输出端电连接，所述电压采样单元211、所述第一放大器212和所述乘法器215顺次电连接。

所述功率采样模块21还包括电流采样单元213和第二放大器214；所述电流采样单元213的输入端与所述供电电路1的输出端电连接，所述电流采样单元213、所述第二放大器214和所述乘法器215顺次电连接。

在具体实施中，功率采样模块21包括：电压采样单元211、电流采样单元213、第一放大器212、第二放大器214和乘法器215。电压采样单元211的输入端与供电电路1中的高频整流模块13输出端电连接，电压采样单元211采集的采样电压值为对应输入到深紫外灯的电压值。电流采样单元213的输入端与供电电路1中的高频整流模块13输出端电连接，电流采样单元213采集的采样电流值对应深紫外灯中的电流值。电压采样单元211的输出端与第一放大器212的输入端电连接，第一放大器212的输出端与乘法器215的第一输入端电连接；电流采样单元213的输出端与第二放大器214的输入端电连接，第二放大器214的输出端与乘法器215的第二输入端电连接。第一放大器212和第二放大器214将电压采样单元211和电流采样单元213输入的电压信号，电流信号放大，防止在采样和输入的过程当中失真。乘法器215将放大后的采样电流值和采样电压值进行乘法运算，得到功率采样模块21输出的功率值，其中，P＝UI，P代表功率，U代表采样电压值，I代表采样电流值。

图4示出了本申请实施例所提供的另一种深紫外灯安全启动的控制系统的结构示意图。包括：供电电路1、控制电路2和驱动电路3，其中，供电电路1包括工频整流模块11、功率逆变模块12、高频整流模块13；控制电路2包括功率采样模块21，脉宽控制器22，比较器23，开关管24；功率采样模块21包括电压采样单元211、第一放大器212、电流采样单元213、第二放大器214和乘法器215。

所述比较器23的第一输入端与所述功率采样模块21电连接，最大安全启动电流信号设定值作为所述比较器23的第二输入端的输入，所述比较器23的输出端与所述开关管24的基极电连接，所述开关管24的集电极与所述脉宽控制器22的第二输入端电连接，所述开关管24的发射极接地。

在具体实施中，功率采样模块21包括电流采样单元213，比较器23的第一输入端与功率采样模块21中的电流采样单元213的输出端电连接，电流采样单元213采集的采样电流值输出到比较器23的第一输入端。比较器23的第二输入端输入的是深紫外灯的最大安全启动电流信号设定值，比较器23的输出端与开关管24的基极b电连接，开关管24的集电极c与脉宽控制器22的第二输入端电连接，开关管24的发射极e接地。

一种可能的实施方式，当所述功率采样模块21采集的采样电流值大于所述最大安全启动电流值时，所述比较器23的输出端输出高电平信号，使所述开关管24导通，所述脉宽控制器22的第二输入端接地，则所述脉宽控制器22的输出端输出第三宽度的脉冲，以便所述供电电路1根据所述第三宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率；其中，所述第三宽度小于所述第一宽度。

在具体实施中，功率采样模块21中的电流采样单元213采集的电流采样值输入到比较器23的第一输入端，最大安全启动电流信号设定值输入到比较器23的第二输入端，当电流采样单元213采集的采样电流值大于最大安全启动电流信号设定值时。比较器23输出高电平信号到开关管24的基极b中，开关管24被导通，集电极c与发射极e形成通路，发射极e接地，导致与开关管24集电极电连接的脉宽控制器22的第二输入端接地，脉宽控制器22的第二输入端由接入标准功率值变为接地，导致脉宽控制器22第一输入端和第二输入端的差值远远大于预设阈值，脉宽控制器22输出端输出更窄的第三宽度的脉冲，所以脉宽控制器22输出的脉冲宽度远远小于标准宽度的脉冲，其中，标准宽度为功率采样模块21输出的功率值与所述标准功率值之间的差值等于预设阈值时对应的脉冲宽度，即，第三宽度也远远小于第一宽度，脉宽控制器22的输出端输出第三宽度的脉冲到供电电路1中的功率逆变模块12，在功率逆变模块12的作用下，供电电路1根据第三宽度的脉冲降低电路中的电流和电压，从而降低深紫外灯中的电流和电压，从而降低深紫外灯得到的功率，使深紫外灯中的电流降低到小于最大安全启动电流，这样，可以使深紫外灯中的电流小于最大安全启动电流，保证深紫外灯的安全启动。

一示例中，设定深紫外灯的最大安全启动电流为5A，标准宽度的脉冲宽度为2mm，若功率采样模块21中的电流采样单元213采集到的电流采样值大于最大安全启动电流，例如，电流采样单元213采集到的电流采样值为5.5A，比较器23对接收的电流采样单元213采集到的电流采样值和最大安全电流值进行比较，并输出高电平，开关管24被导通，集电极c与发射极e形成通路，发射极e接地，导致与开关管24集电极电连接的脉宽控制器22的第二输入端接地，所以脉宽控制器22输出的脉冲宽度远远小于标准脉冲宽度，输出0.5mm宽度的脉冲，供电电路1接收脉冲，根据脉冲的宽度，降低深紫外灯中的电流至5A以下，防止深紫外灯烧毁。

另一种可能的实施方式，当所述功率采样模块21采集的采样电流值小于所述最大安全启动电流值时，所述比较器23的输出端输出低电平信号，所述开关管24保持断开。

在具体实施中，当功率采样模块21中的电流采样单元213采集的采样电流值小于最大安全启动电流值时，比较器23对接收电流采样单元213采集的采样电流值和最大安全启动电流值进行比较，输出低电平信号到开关管24的基极，开关管24不能导通，保持断开的状态，所以标准功率值输入到脉宽控制器22的第二输入端输入的是标准功率值深紫外灯。

如图4所示，所述深紫外灯安全启动的控制系统还包括驱动电路3；所述脉宽控制器22的输出端与所述的驱动电路3电连接；所述驱动电路3与所述功率逆变模块12电连接。

在具体实施中，驱动电路3与供电电路1中的功率逆变模块12电连接，控制电路2中的脉宽控制器22的输出端电连接驱动电路3的输入端，驱动电路3的输出端电连接控制电路中功率逆变模块12的输入端。驱动电路3将供电电路1与控制电路2连接起来，并在脉宽控制器22输出脉冲时，将控制电路2中脉宽控制器22输入到驱动电路3中的脉冲信号进行放大，使脉冲信号能够驱动功率逆变模块12中晶体管，使功率逆变模块12能够根据脉冲信号调整供电电路1中的电流，进而调整深紫外灯中的电流和功率。

本申请提供了一种深紫外灯安全启动的控制系统，该控制系统包括：供电电路和控制电路，控制电路包括功率采样模块和脉宽控制器。功率采样模块的输出端与脉宽控制器的第一输入端电连接，功率采样模块的输入端、脉宽控制器的输出端分别与供电电路电连接；标准功率值作为脉宽控制器的第二输入端的输入。在采样电流值小于最大安全电流值时，通过功率采样模块采集的功率值和标准功率值进行比较，来确定脉宽控制器输出的脉冲宽度，进而以输出的脉冲宽度调节深紫外灯的功率，使深紫外灯的功率保持稳定，从而保证深紫外灯启动时的稳定性和安全性。

另外，在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

最后应说明的是：以上实施例，仅为本发明的具体实施方式，用于说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种深紫外灯安全启动的控制系统，其特征在于，所述深紫外灯安全启动的控制系统包括：供电电路和控制电路；所述控制电路包括功率采样模块和脉宽控制器；所述功率采样模块的输出端与所述脉宽控制器的第一输入端电连接，所述功率采样模块的输入端、所述脉宽控制器的输出端分别与所述供电电路电连接；所述功率采样模块用于采集所述供电电路在所述深紫外灯启动过程中输出到所述深紫外灯的功率值；标准功率值作为所述脉宽控制器的第二输入端的输入；所述深紫外灯通过所述供电电路直接启动；

在所述功率采样模块采集的采样电流值小于或等于最大安全启动电流值时，若所述功率采样模块输出的功率值与所述标准功率值之间的差值大于预设阈值，则所述脉宽控制器的输出端输出第一宽度的脉冲，以便所述供电电路根据所述第一宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率。

2.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，在所述功率采样模块采集的采样电流值小于或等于最大安全启动电流值时，若所述功率采样模块输出的功率值与所述标准功率值之间的差值小于所述预设阈值，则所述脉宽控制器的输出端输出第二宽度的脉冲，以便所述供电电路根据所述第二宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率；其中，所述第一宽度小于所述第二宽度。

3.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述控制电路包括比较器和开关管，所述比较器的第一输入端与所述功率采样模块电连接，最大安全启动电流值作为所述比较器的第二输入端的输入，所述比较器的输出端与所述开关管的基极电连接，所述开关管的集电极与所述脉宽控制器的第二输入端电连接，所述开关管的发射极接地。

4.根据权利要求3所述的控制系统，其特征在于，当所述功率采样模块采集的采样电流值大于所述最大安全启动电流值时，所述比较器的输出端输出高电平信号，使所述开关管导通，所述脉宽控制器的第二输入端接地，则所述脉宽控制器的输出端输出第三宽度的脉冲，以便所述供电电路根据所述第三宽度的脉冲调整所述深紫外灯的功率；其中，所述第三宽度小于所述第一宽度。

5.根据权利要求3所述的控制系统，其特征在于，当所述功率采样模块采集的采样电流值小于所述最大安全启动电流值时，所述比较器的输出端输出低电平信号，所述开关管保持断开。

6.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述供电电路包括工频整流模块、功率逆变模块和高频整流模块；所述工频整流模块的输入端接收交流电流，所述工频整流模块、所述功率逆变模块、高频整流模块顺次电连接，所述高频整流模块的输出端与深紫外灯电连接。

7.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述功率采样模块包括电压采样单元、第一放大器和乘法器；所述电压采样单元的输入端与所述供电电路的输出端电连接，所述电压采样单元、所述第一放大器和所述乘法器顺次电连接。

8.根据权利要求7所述的控制系统，其特征在于，所述功率采样模块还包括电流采样单元和第二放大器；所述电流采样单元的输入端与所述供电电路的输出端电连接，所述电流采样单元、所述第二放大器和所述乘法器顺次电连接。

9.根据权利要求6所述的控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括驱动电路；所述脉宽控制器的输出端与所述的驱动电路电连接；所述驱动电路与所述功率逆变模块电连接。

10.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述深紫外灯为具有负阻特性的灯具。