CN112405306A - 应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例公开了一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质；该系统包括：在双面抛光设备的定盘外围等距离设置的多个标签阅读器、控制器以及设置在承载盘的电子标签；其中，所述多个标签阅读器，经配置为通过接收所述电子标签向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘的实测位置信息，并将所述承载盘的实测位置信息传输至所述控制器；所述控制器，经配置为当所述双面抛光设备停机下料时，将所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息进行比对；以及，相应于所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息之间的偏差大于设定阈值时，向所述双面抛光设备发送复位指令。
Description
技术领域
本发明实施例涉及晶圆制造技术领域，尤其涉及一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质。
背景技术
目前硅晶圆制造工艺流程中，执行双面抛光工序所采用双面抛光设备，通常包括上、下定盘和用于承载硅晶圆的承载盘（Carrier）。对于承载盘来说，其设计结构以不锈钢作为基础，表面涂布类金刚石薄膜（DLC，Diamond-Like Carbon）涂层，同硅晶圆相接触部分的内圆环部分镶嵌聚偏氟乙烯PVDF高分子材料。在双面抛光设备中，承载盘通常放置于下定盘上，并且承载盘能够绕自身轴线自转并绕所述下定盘的中心公转以实现相对于上、下定盘运动；上、下定盘均安装有抛光垫。上、下定盘同时施加压力并结合相对运动对承载盘上所承载的硅晶圆进行抛光。
在抛光过程中，基于上、下定盘同时施加的压力以及抛光垫相对运动的作用，通常会导致承载盘内所镶嵌的PVDF高分子材料会发生磨损，为确保硅晶圆产品质量，需要对承载盘的寿命进行管理以进行定期更换；此外，由于部分承载盘偶尔会出现品质问题，也需单独更换。因此会在进行承载盘更换后会出现同一台设备内的承载盘寿命不一致的问题，加大物料管理的难度。另外，双面抛光设备加工完成后会进行停机下料，此时，偶尔会因为停机时承载盘位置偏差导致硅晶圆位置错误的现象。
发明内容
有鉴于此，本发明实施例期望提供一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质；能够对承载盘的寿命进行管理，并且监控承载盘位置，避免停机时由于承载盘位置出现偏差而导致硅晶圆位置错误的现象。
本发明实施例的技术方案是这样实现的：
第一方面，本发明实施例提供了一种应用于双面抛光设备的物料管理系统，所述系统包括：在双面抛光设备的定盘外围等距离设置的多个标签阅读器、控制器以及设置在承载盘的电子标签；其中，
所述多个标签阅读器，经配置为通过接收所述电子标签向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘的实测位置信息，并将所述承载盘的实测位置信息传输至所述控制器；
所述控制器，经配置为当所述双面抛光设备停机下料时，将所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息进行比对；以及，
相应于所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息之间的偏差大于设定阈值时，向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。
第二方面，本发明实施例提供了一种应用于双面抛光设备的物料管理方法，所述方法应用于第一方面所述的应用于双面抛光设备的物料管理系统，所述方法包括：
通过多个标签阅读器接收设置在承载盘上的电子标签向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘的实测位置信息；
当所述双面抛光设备停机下料时，通过控制器将所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息进行比对：
相应于所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息之间的偏差大于设定阈值时，通过所述控制器向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。
第三方面，本发明实施例提供了一种计算机存储介质，所述计算机存储介质存储有应用于双面抛光设备的物料管理程序，所述应用于双面抛光设备的物料管理程序被至少一个处理器执行时实现第二方面所述应用于双面抛光设备的物料管理方法步骤。
本发明实施例提供了一种应用于双面抛光设备的物料管理方法、系统及存储介质；在双面抛光设备停机下料时，控制器根据实测获得的位置信息与预存的停机下料时承载盘理论上的位置信息进行比对，当两者偏差超过一设定的阈值范围，说明承载盘在停机下料时所处的位置异常，从而控制器向双面抛光设备发送复位指令，以使得双面抛光设备重新对承载盘的位置进行初始化，从而避免由于承载盘位置出现偏差而导致硅晶圆位置错误的现象。
附图说明
图1为能够应用本发明实施例技术方案的双面抛光设备结构俯视示意图；
图2为本发明实施例提供的一种应用于双面抛光设备的物料管理系统组成示意图；
图3为本发明实施例提供的一种应用于双面抛光设备的物料管理方法流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
目前，双面抛光设备1结构的俯视示意图如图1所示，包括：定盘11和多个如斜线填充的载盘12；其中，定盘11为圆环形，包括内销环111和外销环112，每个载盘12均承载有多个硅晶圆2，本发明实施例以图1中所示的每个载盘12均承载有3个硅晶圆2为例。载盘12在内销环111和外销环112之间的范围绕自身轴线自转并且还绕所述定盘11的中心公转。上述双面抛光设备1在抛光过程中，不仅需要对承载盘的寿命进行管理以进行定期更换。另外，双面抛光设备1在加工完成进行停机下料时，偶尔会因为停机时承载盘位置偏差导致硅晶圆位置错误的现象。针对以上阐述，本发明实施例期望提供一种应用于双面抛光设备的物料管理方案，能够对承载盘的寿命进行管理，并且监控承载盘位置，避免停机时由于承载盘位置出现偏差而导致硅晶圆位置错误的现象。
基于此，参见图2，其示出了本发明实施例提供的一种应用于双面抛光设备的物料管理系统20，所述系统20包括：在双面抛光设备1的定盘11外围等距离设置的多个标签阅读器21、控制器22以及设置在承载盘12的电子标签23；其中，
所述多个标签阅读器21，经配置为通过接收电子标签23向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘12的实测位置信息，并将所述承载盘12的实测位置信息传输至所述控制器22；
所述控制器22，经配置为当所述双面抛光设备1停机下料时，将所述承载盘12的实测位置信息与所述承载盘12的预存位置信息进行比对；以及，
相应于所述承载盘12的实测位置信息与所述承载盘12的预存位置信息之间的偏差大于设定阈值时，向所述双面抛光设备1发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备1针对所述承载盘12的位置进行初始化以使得所述承载盘12恢复到正确位置。
具体来说，在实施过程中，电子标签23可以优选为射频识别（RFID，RadioFrequency Identification）标签，从而能够向外辐射电磁射频信号；相应地，标签阅读器21可以是RFID读取器，能够接收RFID标签所辐射的电磁射频信号并进行测量获得电子标签23的位置信息，也就是电子标签23所在的承载盘12的位置信息；在双面抛光设备1停机下料时，控制器22可以根据该实测获得的位置信息与预存的停机下料时承载盘12理论上的位置信息进行比对，当两者偏差超过一设定的阈值范围，说明承载盘12在停机下料时所处的位置异常，从而控制器22向双面抛光设备1发送复位指令，以使得双面抛光设备1重新对承载盘12的位置进行初始化，从而避免出现混料的异常。
对于图2所示的系统20，承载盘12的实测位置信息可以通过两点定位法进行测量，基于此，在一些示例中，所述多个标签阅读器21中的两个标签阅读器，经配置为通过两点定位技术确定所述承载盘12的实测位置信息；
所述多个标签阅读器21中的其他标签阅读器，经配置为通过测量所获得的与所述承载盘12之间的距离对所述承载盘12的实测位置信息进行校验，并将完成校验的所述承载盘12的实测位置信息传输至所述控制器22。对于上述示例，优选地，如图2所示，所述标签阅读器21的数量为3个。
具体来说，以定盘为中心，左上所示的标签阅读器21设定为标签阅读器A，右上所示的标签阅读器21设定为标签阅读器B，左下所示的标签阅读器21设定为标签阅读器C。在双面抛光设备1停机下料时，标签阅读器A和标签阅读器B通过两点定位法测量获得承载盘12的实测位置信息，标签阅读器C通过测量与承载盘12之间的距离对实测位置信息进行校验，从而将通过校验的实测位置信息传输至控制器22，提高了测量的精准度，也相应提高了控制器进行判定的准确度。控制器22在接收到通过校验的实测位置信息后，将预先存储的用于表示承载盘12在停机下料时应当所处的位置信息与实测位置信息进行比较，如果两者之间的偏差小于设定的阈值，说明停机下料时，承载盘12处于正确的位置，没有出现位置偏差；而若两者之间的偏差大于设定的阈值，说明承载盘12的位置出现了偏差，从而会导致硅晶圆位置错误的现象，此时，控制器22可以向双面抛光设备1发送指令用以对所述承载盘12的位置进行初始化以使得所述承载盘12恢复到正确位置，从而避免由于承载盘12的位置偏差导致出现硅晶圆2物料混乱的情况。详细来说，控制器22可以是双面抛光设备1中的控制单元，也可以是与双面抛光设备1相连接的外部厂务系统，本发明实施例对此不做限定。
可以理解地，上述技术方案可以应用在定盘11中所有设置有电子标签23的承载盘12，并不仅限定应用于单个承载盘12，本发明实施例对此不做赘述。
对于图2所示的系统，由于定盘11通常放置有多个承载盘12，而且各承载盘12之间有固定的顺序，为了对承载盘12的顺序进行检测和管理，在一些示例中，相应于所述双面抛光设备1中按照设定顺序放置多个设置有电子标签23的承载盘12，所述多个标签阅读器21，还经配置为通过接收每个电子标签23向外辐射的电磁信号测量获得每个承载盘12的实测位置信息，并将所有承载盘12的实测位置信息传输至所述控制器22；
所述控制器22，还经配置为按照所有承载盘12的实测位置信息确定所有承载盘12的当前顺序；以及，根据所述设定顺序判定所有承载盘12的当前顺序是否正确。在上述示例中，优选地，所述多个承载盘12的电子标签23均设置于相应承载盘12中的相同位置。
具体来说，设定放置于定盘11中的承载盘12的数量如图2所示，为5个，分别标记为a、b、c、d、e；放置顺序同样也是a、b、c、d、e。针对这5个承载盘12的实测位置信息均进行测量，控制器22可以根据测量获得的5个承载盘12的实测位置信息确定5个承载盘的顺序。若当前通过确定所得到的顺序与放置时的放置顺序一致，说明当前顺序正确；否则，可以判定当前顺序异常。同时，标签阅读器21也可识别承载盘12承载的多个硅晶圆2与定盘11相对位置是否发生变化，判定当前顺序是否异常。当控制器22判定当前顺序异常时，类似于前述示例，控制器22可以通过向双面抛光设备1发送指令对所有承载盘12的位置进行初始化，从而使得所有承载盘12的顺序恢复到正确顺序。
对于图2所示的系统20，电子标签23通常具有只读存储器，因此，除了通过针对电子标签23进行测量以判定承载盘12的位置或顺序是否出现偏差或异常以外，该只读存储器可以固定存储某些特定信息，比如设置该电子标签23的承载盘12的标识，基于此，在一些示例中，所述标签阅读器21，还经配置为当所述承载盘12放置于所述双面抛光设备1的下定盘11上时，读取所述电子标签23中所存储的所述承载盘12的标识；以及，将所述承载盘12的标识传输至所述控制器22；
所述控制器22，还经配置为基于所述双面抛光设备1的加工次数记录所述承载盘12标识所对应的承载盘12的工作寿命；以及，当所述承载盘12标识所对应的承载盘12的工作寿命满足设定的工作寿命时，发送用于指示更换所述承载盘12标识所对应的承载盘12的提醒指令。
具体来说，由于承载盘12在双面抛光工艺中属于消耗品，需要定期更换，因此，需要针对每个承载盘12的工作寿命进行管理，以便及时对承载盘进行更换。当承载盘12放置于下定盘11时，可以认为该承载盘12属于新的承载盘，此时，标签阅读器21可以读取设置在该承载盘12上的电子标签23中所存储的该承载盘12的标识，并将该承载盘12的标识传输至控制器22；控制器22可以针对该承载盘12的标识建立工作寿命表，根据双面抛光设备1的加工次数计算该承载盘12的工作时间，该工作时间可以通过运行次数来表征，也可以通过具体的运行时间段长度来表征，本发明实施例对此不做限定。该承载盘12的工作时间可以记录在对应建立的工作寿命表中，当记录在工作寿命表中的工作时间满足设定的承载盘需要进行更换的工作寿命时，说明该承载盘12需要进行更换，此时，控制器22可以发出提醒指令，用于提示更换该承载盘12。从而实现了对单个承载盘的工作寿命管控。
对于上述技术方案及其示例，在实施过程中，标签阅读器21的具体设置位置以及数量可根据工厂或设备的实际运行需求进行设置，举例来说，可一台双面抛光设备搭配三个标签阅读器，也可多台双面抛光设备共用三个标签阅读器，本发明实施例对此也不做具体限定。
基于前述技术方案相同的发明构思，参见图3，其示出了本发明实施例提供的一种应用于双面抛光设备的物料管理方法，该方法应用于前述技术方案所述的应用于双面抛光设备的物料管理系统，所述方法包括：
S301：通过多个标签阅读器接收设置在承载盘上的电子标签向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘的实测位置信息；
S302：当所述双面抛光设备停机下料时，通过控制器将所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息进行比对：
S303：相应于所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息之间的偏差大于设定阈值时，通过所述控制器向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。
对于图3所示的技术方案，在一些示例中，所述通过多个标签阅读器接收设置在承载盘上的电子标签向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘的实测位置信息，包括：
通过所述多个标签阅读器中的两个标签阅读器利用两点定位技术确定所述承载盘的实测位置信息；
通过所述多个标签阅读器中的其他标签阅读器测量与所述承载盘之间的距离；以及，
根据测量所得到的距离对所述承载盘的实测位置信息进行校验。
对于图3所示的技术方案，在一些示例中，相应于所述双面抛光设备中按照设定顺序放置多个设置在承载盘的电子标签，所述方法还包括：
通过所述多个标签阅读器接收每个电子标签向外辐射的电磁信号测量获得每个承载盘的实测位置信息；
通过所述控制器按照所有承载盘的实测位置信息确定所有承载盘的当前顺序；以及，根据所述设定顺序判定所有承载盘的当前顺序是否正确。
对于图3所示的技术方案，在一些示例中，所述电子标签中存储有所述承载盘的标识；所述方法还包括：
当所述承载盘放置于所述双面抛光设备的下定盘上时，通过所述多个标签阅读器读取所述电子标签中所存储的所述承载盘的标识；
通过所述控制器基于所述双面抛光设备的加工次数记录所述承载盘标识所对应的承载盘的工作寿命；以及，当所述承载盘标识所对应的承载盘的工作寿命满足设定的工作寿命时，发送用于指示更换所述承载盘标识所对应的承载盘的提醒指令。
可以理解地，对于图3所示的技术方案及其示例，其具体说明内容以及阐述可参见前述技术方案中针对应用于双面抛光设备的物料管理系统20的各组成部分内容的相应阐述，本发明实施例对此不做赘述。
另外，在本实施例中的各步骤既可以采用如图2所示系统20中的硬件组件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。如果以软件功能模块的形式实现并非作为独立的产品进行销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中，基于这样的理解，本实施例的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）或processor（处理器）执行本实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（ROM， Read Only Memory）、随机存取存储器（RAM，RandomAccess Memory）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
因此，本实施例提供了一种计算机存储介质，所述计算机存储介质存储有应用于双面抛光设备的物料管理程序，所述应用于双面抛光设备的物料管理程序被至少一个处理器执行时实现上述技术方案中所述应用于双面抛光设备的物料管理方法步骤。
需要说明的是：本发明实施例所记载的技术方案之间，在不冲突的情况下，可以任意组合。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (11)
1.一种应用于双面抛光设备的物料管理系统，其特征在于，所述系统包括：在双面抛光设备的定盘外围等距离设置的多个标签阅读器、控制器以及设置在承载盘的电子标签；其中，
所述多个标签阅读器，经配置为通过接收所述电子标签向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘的实测位置信息，并将所述承载盘的实测位置信息传输至所述控制器；
所述控制器，经配置为当所述双面抛光设备停机下料时，将所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息进行比对；以及，
相应于所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息之间的偏差大于设定阈值时，向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述多个标签阅读器中的两个标签阅读器，经配置为通过两点定位技术确定所述承载盘的实测位置信息；
所述多个标签阅读器中的其他标签阅读器，经配置为通过测量所获得的与所述承载盘之间的距离对所述承载盘的实测位置信息进行校验，并将完成校验的所述承载盘的实测位置信息传输至所述控制器。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述标签阅读器的数量为3个。
4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，相应于所述双面抛光设备中按照设定顺序放置多个设置有电子标签的承载盘，所述多个标签阅读器，还经配置为通过接收每个电子标签向外辐射的电磁信号测量获得每个承载盘的实测位置信息，并将所有承载盘的实测位置信息传输至所述控制器；
所述控制器，还经配置为按照所有承载盘的实测位置信息确定所有承载盘的当前顺序；以及，根据所述设定顺序判定所有承载盘的当前顺序是否正确。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述多个承载盘的电子标签均设置于相应承载盘中的相同位置。
6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电子标签中存储有所述承载盘的标识；所述标签阅读器，还经配置为当所述承载盘放置于所述双面抛光设备的下定盘上时，读取所述电子标签中所存储的所述承载盘的标识；以及，将所述承载盘的标识传输至所述控制器；
所述控制器，还经配置为基于所述双面抛光设备的加工次数记录所述承载盘标识所对应的承载盘的工作寿命；以及，当所述承载盘标识所对应的承载盘的工作寿命满足设定的工作寿命时，发送用于指示更换所述承载盘标识所对应的承载盘的提醒指令。
7.一种应用于双面抛光设备的物料管理方法，其特征在于，所述方法应用于权利要求1至6任一项所述的应用于双面抛光设备的物料管理系统，所述方法包括：
通过多个标签阅读器接收设置在承载盘上的电子标签向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘的实测位置信息；
当所述双面抛光设备停机下料时，通过控制器将所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息进行比对：
相应于所述承载盘的实测位置信息与所述承载盘的预存位置信息之间的偏差大于设定阈值时，通过所述控制器向所述双面抛光设备发送复位指令；其中，所述复位指令用于指示所述双面抛光设备针对所述承载盘的位置进行初始化以使得所述承载盘恢复到正确位置。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述通过多个标签阅读器接收设置在承载盘上的电子标签向外辐射的电磁信号测量获得所述承载盘的实测位置信息，包括：
通过所述多个标签阅读器中的两个标签阅读器利用两点定位技术确定所述承载盘的实测位置信息；
通过所述多个标签阅读器中的其他标签阅读器测量与所述承载盘之间的距离；以及，
根据测量所得到的距离对所述承载盘的实测位置信息进行校验。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，相应于所述双面抛光设备中按照设定顺序放置多个设置在承载盘的电子标签，所述方法还包括：
通过所述多个标签阅读器接收每个电子标签向外辐射的电磁信号测量获得每个承载盘的实测位置信息；
通过所述控制器按照所有承载盘的实测位置信息确定所有承载盘的当前顺序；以及，根据所述设定顺序判定所有承载盘的当前顺序是否正确。
10.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述电子标签中存储有所述承载盘的标识；所述方法还包括：
当所述承载盘放置于所述双面抛光设备的下定盘上时，通过所述多个标签阅读器读取所述电子标签中所存储的所述承载盘的标识；
通过所述控制器基于所述双面抛光设备的加工次数记录所述承载盘标识所对应的承载盘的工作寿命；以及，当所述承载盘标识所对应的承载盘的工作寿命满足设定的工作寿命时，发送用于指示更换所述承载盘标识所对应的承载盘的提醒指令。
11.一种计算机存储介质，其特征在于，所述计算机存储介质存储有应用于双面抛光设备的物料管理程序，所述应用于双面抛光设备的物料管理程序被至少一个处理器执行时实现权利要求7至10任一项所述应用于双面抛光设备的物料管理方法步骤。
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