CN112394192A - 气缸测速仪器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气缸测速仪器，包括：两个位置传感器，该两个位置传感器分别沿着气缸的活塞杆运动方向连接在气缸的两端，用于获得气缸两端的活塞杆经过时的位置信息和时刻信息；计算模块，计算模块与位置传感器连接，将从位置传感器接收到的数据进行运算处理，最终得到气缸活塞杆的速度。本发明提出的气缸测速仪器可以适用于不同型号气缸，并实现了对气缸速度的量化，可以精确的得到气缸活塞杆的速度，做到工业生产中气缸的统一标准化作业。

Description

气缸测速仪器

技术领域

本发明涉及工业设备技术领域，具体涉及一种气缸测速仪器。

背景技术

气缸在制造过程中或安装调试过程中需要对气缸活塞杆的运行速度进行测定和调试，例如，半导体制造传送机构广泛采用气缸驱动完成晶圆的传送，尤其以离子注入设备设计内部真空晶圆的传送要求特别高，气缸的速度快慢必须恰到好处，否者容易出现调速不当导致传送超时或者速度太快导致掉片。

目前气缸调速完全依靠工程师的经验判断，气缸的调整以及气缸速度异常的判断无量化标准，给工作带来极大困扰。

因而，通过测速设备对气缸的活塞杆的速度进行测量，是目前亟待解决的技术问题。

发明内容

为克服上述现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种气缸测速仪器，可以实现气缸速度的量化，统一气缸调节速度标准。

为达上述目的，本发明提出一种气缸调速仪器，包括：

位置传感器，该位置传感器与气缸相连，用于获得气缸的活塞杆经过时的位置信息和时刻信息；

计算模块，计算模块与位置传感器连接。

根据本发明的一些实施例，气缸测速仪器具有两个位置传感器，这两个位置传感器分别沿着气缸的活塞杆运动方向连接在气缸的两端。

根据本发明的一些实施例，两个位置传感器与气缸可拆卸地连接。

根据本发明的一些实施例，计算模块根据两个位置传感器获得的位置信息和时刻信息，经过运算，计算出位置差和时间差，并计算气缸活塞杆的速度。

根据本发明的一些实施例，计算模块带有显示器，用于显示位置差、时间差，以及气缸活塞杆的速度。

根据本发明的一些实施例，显示器能够设置显示速度单位、位置差单位以及时间差单位。

根据本发明的一些实施例，计算模块具有存储功能和删除功能，存储功能和删除功能用于对所测数据可选择地进行存储。

根据本发明的一些实施例，气缸包括调速阀安装孔，气缸的速度基于气缸测速仪器所测得的速度和预期速度的差值对调速阀进行调整。

根据本发明的一些实施例，调速阀调整气缸的活塞杆的速度，并根据气缸测速仪器对速度进行测量，建立气缸的速度-调节阀位置数据库。

根据本发明的一些实施例，气缸测速仪器所测得的速度数据，包括活塞杆进入气缸的速度，以及活塞杆冲出气缸的速度，可选择地计算并显示活塞杆进入气缸的速度和/或活塞杆冲出气缸的速度。

与现有技术相比，本发明的主要技术目的在于设计出一套适用于不同型号气缸的由位置传感器及计算模块组成的气缸测速仪器，从而实现气缸速度的量化，统一气缸调节速度标准。从而避免了现有技术通过人为经验对气缸的速度进行判断调整而容易造成工作上的失误。

附图说明

图1为本发明提供的气缸测速仪器工作结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明实施例进一步详细说明。

需要说明的是，本发明实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本发明实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。

基于上述目的，本发明实施例提出了一种气缸测速仪器。

图1示出的是本发明提供的气缸测速仪器工作结构示意图。如图1所示，在本发明的实施例中，虚线框中所示的是本发明提供的气缸测速仪器101的结构。气缸测速仪器101包括了第一位置传感器1和第二位置传感器2以及计算模块3。

第一位置传感器1和第二位置传感器2分别沿着气缸102的活塞杆5运动方向连接在气缸102的两端。用于分别采集气缸102中活塞杆5经过气缸102的两端的位置信息和时刻信息。

在本发明的一个实施例中，第一位置传感器1和第二位置传感器2与气缸102可拆卸地连接。其目的在于，该气缸测速仪器101可以拆卸后适用于不同型号气缸102。

此外，第一位置传感器1和第二位置传感器2分别与计算模块3连接。并将所测得位置信息和时刻信息传递给计算模块3。

计算模块3根据第一位置传感器1和第二位置传感器2所获得的位置信息和时刻信息，经过运算，计算出位置差和时间差，从而根据速度计算公式计算气缸活塞杆5的速度。

在本发明的一个实施例中，计算模块3可以带有显示器4，用于显示位置差、时间差，以及气缸活塞杆5的速度。

在本发明的一个实施例中，显示器4能够设置显示速度单位、位置差单位以及时间差单位。可以方便使用者根据实际情况需要选择不同的单位进行气缸活塞杆102速度的测量。

在本发明的一个实施例中，计算模块3具有存储功能和删除功能，存储功能和删除功能能够根据使用者的需要对所测数据可选择地进行存储以及删除不需要的数据信息。

在本发明的一个实施例中，气缸包括第一调速阀安装孔6和第二调速阀安装孔7，第一调速阀安装孔6和第二调速阀安装孔7中的任意一个为进气调速阀安装孔，另一个即为排气调速阀安装孔。气缸102的速度基于气缸测速仪器101所测得的速度和预期速度的差值对调速阀(未示出)进行调整。

在本发明的一个实施例中，调速阀调整气缸102的活塞杆5的速度，并根据气缸测速仪器101对速度进行测量，并可以建立气缸102的速度-调节阀位置数据库。

在本发明的一个实施例中，气缸测速仪器101所测得的速度数据，包括活塞杆5进入气缸102的速度，以及活塞杆5冲出气缸102的速度，可选择地计算并显示活塞杆5进入气缸102的速度和/或活塞杆5冲出气缸102的速度。即，当活塞杆5进入或冲出气缸的速度不同时，可以根据需要同时或者分别显示活塞杆5进入气缸102的速度或活塞杆5冲出气缸102的速度。

以上是本发明公开的示例性实施例，但是应当注意，在不背离权利要求限定的本发明实施例公开的范围的前提下，可以进行多种改变和修改。根据这里描述的公开实施例的方法权利要求的功能、步骤和/或动作不需以任何特定顺序执行。此外，尽管本发明实施例公开的元素可以以个体形式描述或要求，但除非明确限制为单数，也可以理解为多个。

应当理解的是，在本文中使用的，除非上下文清楚地支持例外情况，单数形式“一个”旨在也包括复数形式。还应当理解的是，在本文中使用的“和/或”是指包括一个或者一个以上相关联地列出的项目的任意和所有可能组合。

上述本发明实施例公开实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本发明实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本发明实施例的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上的本发明实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本发明实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明实施例的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种气缸测速仪器，其特征在于，包括：

位置传感器，所述位置传感器与气缸相连，用于获得所述气缸的活塞杆经过时的位置信息和时刻信息；

计算模块，所述计算模块与所述位置传感器连接。

2.根据权利要求1所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述气缸测速仪器具有两个所述位置传感器，所述两个位置传感器分别沿着所述气缸的活塞杆运动方向连接在所述气缸的两端。

3.根据权利要求1所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述两个位置传感器与所述气缸可拆卸地连接。

4.根据权利要求1所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述计算模块根据所述两个位置传感器获得的所述位置信息和所述时刻信息，计算出位置差和时间差，并计算所述气缸活塞杆的速度。

5.根据权利要求4所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述计算模块带有显示器，用于显示所述位置差、时间差，以及气缸活塞杆的速度。

6.根据权利要求5所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述显示器能够设置显示速度单位、位置差单位以及时间差单位。

7.根据权利要求1所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述计算模块具有存储功能和删除功能，所述存储功能和删除功能用于对所测数据可选择地进行存储。

8.根据权利要求1所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述气缸包括调速阀安装孔，所述气缸的速度基于所述气缸测速仪器所测得的速度和预期速度的差值对调速阀进行调整。

9.根据权利要求8所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述调速阀调整所述气缸的所述气缸活塞杆的速度，并根据所述气缸测速仪器对所述速度进行测量，建立所述气缸的速度-调节阀位置数据库。

10.根据权利要求4至9中任一项所述的气缸测速仪器，其特征在于，所述气缸测速仪器所测得的速度数据，包括活塞杆进入气缸的速度，以及活塞杆冲出气缸的速度，可选择地计算并显示所述活塞杆进入气缸的速度和/或活塞杆冲出气缸的速度。

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