CN112295353A - 一种三氯氢硅气体湿法除尘器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种三氯氢硅气体湿法除尘器，包括旋风除尘装置、袋式除尘装置、湿法除尘装置、冷凝除水装置，所述旋风除尘装置的进气口连接三氯氢硅合成炉的排气口，所述旋风除尘装置的排气口与所述袋式除尘装置的进气口连接，所述袋式除尘装置的排气口与所述湿法除尘装置的进气口连接，所述湿法除尘装置的排气口与所述冷凝除水装置的进气口连接，所述冷凝除水装置的排气口为净化排气口。本发明通过初步旋风除尘、袋式过滤后再经过本发明带静电吸附功能的的湿法除尘装置进行高效过滤，且过滤后的气体经冷凝去除空气中的水分，从而对三氯氢硅反应炉反应过程中产生的有害含尘气体进行高效的过滤，避免了环境污染，具有推广应用的价值。
Description
技术领域
本发明涉及一种化工设备，尤其涉及一种三氯氢硅气体湿法除尘器。
背景技术
三氯氢硅又称硅氯仿。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米3；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。现有技术中，在三氯氢硅制作过程中，反应炉中会产生高温，也伴随着含有有害气体及粉尘从反应炉中排出，若不良好处理排出气体，则对环境造成影响，而现有技术中仅采用旋风除尘器、过滤器等常规过滤器不能够良好的解决过滤问题，因此，需要一种效率更高的专用除尘器解决上述问题。
发明内容
本发明的目的是要提供一种三氯氢硅气体湿法除尘器。
为达到上述目的，本发明是按照以下技术方案实施的：
本发明包括旋风除尘装置、袋式除尘装置、湿法除尘装置、冷凝除水装置，所述旋风除尘装置的进气口连接三氯氢硅合成炉的排气口，所述旋风除尘装置的排气口与所述袋式除尘装置的进气口连接，所述袋式除尘装置的排气口与所述湿法除尘装置的进气口连接，所述湿法除尘装置的排气口与所述冷凝除水装置的进气口连接，所述冷凝除水装置的排气口为净化排气口。
作为改进，所述湿法除尘装置的底部设置有循环沉淀水箱。
进一步，所述循环沉淀水箱的排水口连接有循环喷淋水泵，所述循环喷淋水泵的排水口与所述湿法除尘装置的进水口连接。
优选的，所述循环喷淋水泵的排水口与所述湿法除尘装置的进水口之间设置有循环水冷却装置，所述循环喷淋水泵的排水口与所述循环水冷却装置的进水口连接，所述循环水冷却装置的排水口与所述湿法除尘装置的进水口连接。
进一步，所述湿法除尘装置由除尘装置进气管、第一静电吸附网、第一雾化喷淋头组成，所述除尘装置进气管设置于所述湿法除尘装置的下段一侧，所述第一静电吸附网设置于所述湿法除尘装置内并位于所述除尘装置进气管的上方，所述第一雾化喷淋头设置于所述湿法除尘装置内，并位于所述第一静电吸附网的上方。
作为改进，所述湿法除尘装置内还设置有与所述第一静电吸附网相同的第二静电吸附网和与所述第一雾化喷淋头相同的第二雾化喷淋头，所述第二静电吸附网设置于所述第一雾化喷淋头的上方，所述第二雾化喷淋头设置于所述第二静电吸附网的上方。
进一步，所述第二雾化喷淋头和所述第一雾化喷淋头同时通过喷淋管三通管道连接。
优选的，所述第一雾化喷淋头的上方和所述第二静电吸附网的下方之间设置有多个下置储水减阻槽和上置过渡减阻槽，所述下置储水减阻槽的凹槽方向向上，所述上置过渡减阻槽的凹槽方向向下，所述上置过渡减阻槽设置于相邻两个所述下置储水减阻槽之间的上方，所述上置过渡减阻槽与所述下置储水减阻槽之间具有间隙。
优选的，所述下置储水减阻槽和所述上置过渡减阻槽均为弧形结构。
本发明的有益效果是：
本发明是一种三氯氢硅气体湿法除尘器，与现有技术相比，本发明通过初步旋风除尘、袋式过滤后再经过本发明带静电吸附功能的的湿法除尘装置进行高效过滤，且过滤后的气体经冷凝去除空气中的水分，从而对三氯氢硅反应炉反应过程中产生的有害含尘气体进行高效的过滤，避免了环境污染，具有推广应用的价值。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的湿法除尘装置内部结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图以及具体实施例对本发明作进一步描述，在此发明的示意性实施例以及说明用来解释本发明，但并不作为对本发明的限定。
如图1所示：本发明包括旋风除尘装置1、袋式除尘装置2、湿法除尘装置3、冷凝除水装置4，所述旋风除尘装置1的进气口连接三氯氢硅合成炉的排气口，所述旋风除尘装置1的排气口与所述袋式除尘装置2的进气口连接，所述袋式除尘装置2的排气口与所述湿法除尘装置3的进气口连接，所述湿法除尘装置3的排气口与所述冷凝除水装置4的进气口连接，所述冷凝除水装置4的排气口为净化排气口。
作为改进，所述湿法除尘装置3的底部设置有循环沉淀水箱5。
进一步，所述循环沉淀水箱5的排水口连接有循环喷淋水泵6，所述循环喷淋水泵6的排水口与所述湿法除尘装置3的进水口连接。
优选的，所述循环喷淋水泵6的排水口与所述湿法除尘装置3的进水口之间设置有循环水冷却装置7，所述循环喷淋水泵6的排水口与所述循环水冷却装置7的进水口连接，所述循环水冷却装置7的排水口与所述湿法除尘装置3的进水口连接。
如图2所示：所述湿法除尘装置3由除尘装置进气管8、第一静电吸附网9、第一雾化喷淋头12组成，所述除尘装置进气管8设置于所述湿法除尘装置3的下段一侧，所述第一静电吸附网9设置于所述湿法除尘装置3内并位于所述除尘装置进气管8的上方，所述第一雾化喷淋头12设置于所述湿法除尘装置3内，并位于所述第一静电吸附网9的上方。
作为改进，所述湿法除尘装置3内还设置有与所述第一静电吸附网9相同的第二静电吸附网10和与所述第一雾化喷淋头12相同的第二雾化喷淋头13，所述第二静电吸附网10设置于所述第一雾化喷淋头12的上方，所述第二雾化喷淋头13设置于所述第二静电吸附网10的上方。
进一步，所述第二雾化喷淋头13和所述第一雾化喷淋头12同时通过喷淋管三通管道11连接。
优选的，所述第一雾化喷淋头12的上方和所述第二静电吸附网10的下方之间设置有多个下置储水减阻槽14和上置过渡减阻槽15，所述下置储水减阻槽14的凹槽方向向上，所述上置过渡减阻槽15的凹槽方向向下，所述上置过渡减阻槽15设置于相邻两个所述下置储水减阻槽14之间的上方，所述上置过渡减阻槽15与所述下置储水减阻槽14之间具有间隙。
优选的，所述下置储水减阻槽14和所述上置过渡减阻槽15均为弧形结构。
本发明的工作原理如下：
如图1和图2所示：首先由旋风除尘装置1接收来自三氯氢硅合成炉在合成时产生的尾气，通过旋风除尘装置1进行初步除尘，旋风除尘装置1的下端出口收集废料，经过旋风除尘装置1初步除尘后的气体输送至袋式除尘装置2中进行二次除尘，袋式除尘装置2的下端出口收集废料，经过袋式除尘装置2二次除尘后的气体输送至湿法除尘装置3中，第一静电吸附网9和第二静电吸附网10通电，使得第一静电吸附网9和第二静电吸附网10均匀分布的金属片上吸附进入的气体上的粉尘、水分等物质，同时，通过第二雾化喷淋头13和第一雾化喷淋头12对第二静电吸附网10和第一静电吸附网9的上方进行喷淋，将第二静电吸附网10和第一静电吸附网9上的吸附的粉尘或物质冲淋下落，收集至循环沉淀水箱5内，为达到降温效果，在第二雾化喷淋头13和第一雾化喷淋头12的供水过程中设置循环水冷却装置7，使得气体温度降低，同时清洗第二静电吸附网10和第一静电吸附网9，在第二静电吸附网10和第一静电吸附网9之间设置下置储水减阻槽14和上置过渡减阻槽15构成缓冲减阻装置，使得第二静电吸附网10的二次作用效果更佳，同时，下置储水减阻槽14中能够收集第二雾化喷淋头13冲淋后滴落的水分，使得气体经过下置储水减阻槽14时候能够部分溶于水，提高净化效率，经过湿法除尘装置3处理后的气体大部分粉尘已去除，但由于气体反应后是热的，必然有水蒸气，因此，产生的水蒸气和净化的气体经过冷凝除水装置4排放，通过冷凝除水装置4收集冷凝后的水蒸气，使得冷凝除水装置4排放后的气体更佳达标。
本发明的技术方案不限于上述具体实施例的限制，凡是根据本发明的技术方案做出的技术变形，均落入本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：包括旋风除尘装置(1)、袋式除尘装置(2)、湿法除尘装置(3)、冷凝除水装置(4)，所述旋风除尘装置(1)的进气口连接三氯氢硅合成炉的排气口，所述旋风除尘装置(1)的排气口与所述袋式除尘装置(2)的进气口连接，所述袋式除尘装置(2)的排气口与所述湿法除尘装置(3)的进气口连接，所述湿法除尘装置(3)的排气口与所述冷凝除水装置(4)的进气口连接，所述冷凝除水装置(4)的排气口为净化排气口。
2.根据权利要求1所述的三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：所述湿法除尘装置(3)的底部设置有循环沉淀水箱(5)。
3.根据权利要求2所述的三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：所述循环沉淀水箱(5)的排水口连接有循环喷淋水泵(6)，所述循环喷淋水泵(6)的排水口与所述湿法除尘装置(3)的进水口连接。
4.根据权利要求3所述的三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：所述循环喷淋水泵(6)的排水口与所述湿法除尘装置(3)的进水口之间设置有循环水冷却装置(7)，所述循环喷淋水泵(6)的排水口与所述循环水冷却装置(7)的进水口连接，所述循环水冷却装置(7)的排水口与所述湿法除尘装置(3)的进水口连接。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：所述湿法除尘装置(3)由除尘装置进气管(8)、第一静电吸附网(9)、第一雾化喷淋头(12)组成，所述除尘装置进气管(8)设置于所述湿法除尘装置(3)的下段一侧，所述第一静电吸附网(9)设置于所述湿法除尘装置(3)内并位于所述除尘装置进气管(8)的上方，所述第一雾化喷淋头(12)设置于所述湿法除尘装置(3)内，并位于所述第一静电吸附网(9)的上方。
6.根据权利要求5所述的三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：所述湿法除尘装置(3)内还设置有与所述第一静电吸附网(9)相同的第二静电吸附网(10)和与所述第一雾化喷淋头(12)相同的第二雾化喷淋头(13)，所述第二静电吸附网(10)设置于所述第一雾化喷淋头(12)的上方，所述第二雾化喷淋头(13)设置于所述第二静电吸附网(10)的上方。
7.根据权利要求6所述的三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：所述第二雾化喷淋头(13)和所述第一雾化喷淋头(12)同时通过喷淋管三通管道(11)连接。
8.根据权利要求6所述的三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：所述第一雾化喷淋头(12)的上方和所述第二静电吸附网(10)的下方之间设置有多个下置储水减阻槽(14)和上置过渡减阻槽(15)，所述下置储水减阻槽(14)的凹槽方向向上，所述上置过渡减阻槽(15)的凹槽方向向下，所述上置过渡减阻槽(15)设置于相邻两个所述下置储水减阻槽(14)之间的上方，所述上置过渡减阻槽(15)与所述下置储水减阻槽(14)之间具有间隙。
9.根据权利要求8所述的三氯氢硅气体湿法除尘器，其特征在于：所述下置储水减阻槽(14)和所述上置过渡减阻槽(15)均为弧形结构。
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| CN202011299032.8A CN112295353A (zh) | 2020-11-19 | 2020-11-19 | 一种三氯氢硅气体湿法除尘器 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113019036A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-06-25 | 中国恩菲工程技术有限公司 | 三氯氢硅生产的湿法除尘系统 |
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2020
- 2020-11-19 CN CN202011299032.8A patent/CN112295353A/zh not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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