CN112261803B - 一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机主体和控制面板主体，所述光刻机主体的正面设置有安装箱，所述控制面板主体的背面固定连接有插板，所述安装箱的正面开设有通孔，所述安装箱的内部开设有与插板相适配的插槽，所述插板穿过通孔并延伸至插槽的内部，所述插板的上表面开设有两个凹槽，所述插槽的内顶壁开设有两个通孔，所述连接块的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆，两个所述固定杆的下表面均固定连接有限位块。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置安装箱、插板、限位块，限位块可以通过拉杆向上拉起，控制面板主体通过插板插入安装箱中，然后通过限位块固定插板在安装箱中的位置。
Description
技术领域
本发明涉及直写式光刻机技术领域，具体为一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构。
背景技术
光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。随着时代的飞速发展，电子科技技术也越来越成熟，同时市场上对于各种电路板设备的需求也飞速增加，而在这种供不应求的市场环境下，激光成像设备越来越具备优势。
一般的光刻机都是通过控制面板来控制光刻机内部模块运行，而现有的控制面板通常都是通过支撑杆和螺栓固定在光刻机的表面上，或者是直接嵌入在光刻机的表面，当控制面板通过支撑杆和螺栓固定在光刻机表面时，工作人员会经常碰到控制面板导致控制面板晃动，容易影响光刻机内部模块运行时的精准度，而控制面板嵌入进光刻机表面时，当控制面板内部出现故障时，难以拆除检修，加大工作人员的工作难度。
针对上述问题，我们提出一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构。
发明内容
本发明的目的在于提供一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机主体和控制面板主体，所述光刻机主体的正面设置有安装箱，所述安装箱的上表面和下表面均固定连接有螺纹板，所述螺纹板的正面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有紧固螺栓，所述光刻机主体的正面对应两个紧固螺栓的位置开设有与紧固螺栓相适配的螺纹孔，所述安装箱通过紧固螺栓与光刻机主体的正面固定连接，所述控制面板主体的背面固定连接有插板，所述安装箱的正面开设有通孔，所述安装箱的内部开设有与插板相适配的插槽，所述插板穿过通孔并延伸至插槽的内部，所述插板的上表面开设有两个凹槽，所述插板的背面固定连接有磁铁条，所述插槽的内后壁固定连接有与磁铁条相适配的吸铁块，所述插槽的上表面设置有连接块，所述连接块的上表面固定连接有贯穿安装箱上表面的拉杆，所述拉杆的上表面固定连接有手提把，所述拉杆的外环面套设有弹簧，所述插槽的内顶壁开设有两个通孔，所述连接块的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆，两个所述固定杆的下表面均固定连接有限位块，所述限位块与插板上表面开设的凹槽相适配。
优选的，所述控制面板主体的正面设置有显示屏，所述控制面板主体的正面设置有控制按钮，所述控制面板主体的正面设置有若干个控制按键。
优选的，所述控制面板主体的内底壁设置有控制器组件，所述控制面板主体的内后壁固定连接有主板，所述控制面板主体的内顶壁固定连接有散热风扇，所述控制面板主体的内底壁开设有用于主板和控制器组件散热的散热孔。
优选的，所述控制面板主体的上表面固定连接有故障灯，所述控制面板主体的左右两侧均固定连接有用于将控制面板主体从安装箱中抽出的握把。
优选的，所述控制面板主体的两侧均开设有通孔，两个所述通孔的内壁转动连接有转动轴，所述转动轴的外环面固定连接有控制面板主体的防护罩，所述防护罩与控制面板主体通过转动轴转动连接,所述控制面板主体的上表面固定连接有卡块，所述防护罩的顶端固定连接有与卡块相适配的卡扣。
优选的，所述控制面板主体的右侧开设有通孔，所述通孔的内壁固定连接有导线管，所述安装箱的正面和右侧均固定连接有束线器。
优选的，所述束线器包括束线板，所述束线板与安装箱的正面和侧面以及光刻机主体的右侧固定连接，两个所述束线板的上表面和下表面均开设有螺纹孔，两个所述螺纹孔的内壁螺纹连接有固定螺栓。
优选的，所述束线器的数量为三个，所述控制按钮的数量为四个，所述束线板的材质为橡胶，所述防护罩的材质为绝缘材料。
优选的，所述故障灯与控制器组件电性连接，显示屏、控制按钮、控制按键、散热风扇、控制器组件和主板均与外部电源电性连接。
有益效果
本发明提供了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，具备以下有益效果：
1.该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置安装箱、插板、限位块，限位块可以通过拉杆向上拉起，控制面板主体通过插板插入安装箱中，然后通过限位块固定插板在安装箱中的位置，通过设置磁铁条和吸铁块，便于加强固定插板与安装箱的相对位置，通过设置螺纹板和螺纹孔，便于将安装箱固定在光刻机主体的正面。
2.该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置散热风扇和散热孔，便于将控制面板主体内部的热量散发出去，延长控制面板主体的使用寿命，通过设置故障灯，便于警示控制面板主体内部出现故障，提醒工作人员进行维护检修，通过设置束线器，便于将控制面板主体的导线固定，避免导线太多缠绕难以解开。
附图说明
图1为本发明正视结构示意图；
图2为本发明侧剖结构示意图；
图3为图2中A处放大结构示意图；
图4为本发明控制面板主体正视结构示意图；
图5为本发明束线器立体结构示意图。
图中：1光刻机主体、2控制面板主体、3安装箱、4紧固螺栓、5插板、6磁铁条、7吸铁块、8连接块、9拉杆、10固定杆、11限位块、12显示屏、13控制按钮、14控制器组件、15主板、16散热风扇、17散热孔、18故障灯、19握把、20防护罩、21导线管、22束线板、23固定螺栓。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机主体1和控制面板主体2，控制面板主体2的正面设置有显示屏12，控制面板主体2的正面设置有控制按钮13，控制按钮13的数量为四个，控制面板主体2的正面设置有若干个控制按键，控制面板主体2的内底壁设置有控制器组件14，控制面板主体2的内后壁固定连接有主板15，控制面板主体2的内顶壁固定连接有散热风扇16，控制面板主体2的内底壁开设有用于主板15和控制器组件14散热的散热孔17，通过设置散热风扇16和散热孔17，便于将控制面板主体2内部的热量从散热孔17中散发出去，延长控制面板主体2的使用寿命，控制面板主体2的上表面固定连接有故障灯18，故障灯18与控制器组件14电性连接，通过设置故障灯18，便于警示控制面板主体2内部出现故障，提醒工作人员进行维护检修，显示屏12、控制按钮13、控制按键、散热风扇16、控制器组件14和主板15均与外部电源电性连接，控制面板主体2的左右两侧均固定连接有用于将控制面板主体2从安装箱3中抽出的握把19。
光刻机主体1的正面设置有安装箱3，安装箱3的上表面和下表面均固定连接有螺纹板，螺纹板的正面开设有螺纹孔，螺纹孔的内壁螺纹连接有紧固螺栓4，光刻机主体1的正面对应两个紧固螺栓4的位置开设有与紧固螺栓4相适配的螺纹孔，安装箱3通过紧固螺栓4与光刻机主体1的正面固定连接，通过设置螺纹板和螺纹孔，便于将安装箱3固定在光刻机主体1的正面，控制面板主体2的背面固定连接有插板5，安装箱3的正面开设有通孔，安装箱3的内部开设有与插板5相适配的插槽，插板5穿过通孔并延伸至插槽的内部，插板5的上表面开设有两个凹槽，插板5的背面固定连接有磁铁条6，插槽的内后壁固定连接有与磁铁条6相适配的吸铁块7，通过设置磁铁条6和吸铁块7，便于加强固定插板5与安装箱3的相对位置，插槽的上表面设置有连接块8，连接块8的上表面固定连接有贯穿安装箱3上表面的拉杆9，拉杆9的上表面固定连接有手提把，拉杆9的外环面套设有弹簧，插槽的内顶壁开设有两个通孔，连接块8的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆10，两个固定杆10的下表面均固定连接有限位块11，限位块11与插板5上表面开设的凹槽相适配，通过设置安装箱3、插板5、限位块11，限位块11可以通过拉杆9向上拉起，控制面板主体2通过插板5插入安装箱3中，然后通过限位块11固定插板5在安装箱3中的位置。
控制面板主体2的两侧均开设有通孔，两个通孔的内壁转动连接有转动轴，转动轴的外环面固定连接有控制面板主体2的防护罩20，防护罩20的材质为绝缘材料，防护罩20与控制面板主体2通过转动轴转动连接,控制面板主体2的上表面固定连接有卡块，防护罩20的顶端固定连接有与卡块相适配的卡扣，控制面板主体2的右侧开设有通孔，通孔的内壁固定连接有导线管21，安装箱3的正面和右侧均固定连接有束线器，束线器的数量为三个，束线器包括束线板22，束线板22的材质为橡胶，束线板22与安装箱3的正面和侧面以及光刻机主体1的右侧固定连接，两个束线板22的上表面和下表面均开设有螺纹孔，两个螺纹孔的内壁螺纹连接有固定螺栓23，通过设置束线器，便于将控制面板主体2的导线固定，避免导线太多缠绕难以解开。
工作原理：当使用该直写式光刻机控制面板的锁紧机构时，首先将安装箱3上表面的手提把拉起，安装箱3内部的限位块11会向上升起，将控制面板主体2背面的插板5插入安装箱3的插槽中，放下手提把，限位块11会下降到插板5的凹槽中，插板5背面设置的磁铁条6与插槽内后壁的吸铁块7相互吸引，以加强插板5在插槽中的相对位置，将控制面板主体2的导线放入导线管21中，将导线管21沿着安装箱3的表面压紧并通过束线器将导线管21固定在安装箱3的表面，接通电源，控制面板主体2内的散热风扇16开始运作，对主板15和控制器组件14进行散热，热量从控制面板主体2下表面的散热孔17中散发出去，当控制器组件14出现线路故障时，故障灯18发出警示，使用该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过限位块11可以固定控制面板主体2与安装箱3的相对位置，而磁铁条6和吸铁块7可以加强固定，便于锁紧控制面板主体2，不会因为工作人员触碰就轻易产生震动并对光刻机主体1内部模块的工作产生影响，当故障灯18亮起，工作人员需要对控制面板主体2的内部进行检修时，将手提把向上拉，利用握把19将控制面板主体2抽出安装箱3中，便于对内部的线路进行维护检修，方便快捷，束线器可以将控制面板主体2的导线全部集中在一起固定，避免线路太多导致导线缠绕在一起，难以解开并且容易发生线路短路燃烧等问题，控制面板主体2正面设置的防护罩20可以对控制面板主体2的显示屏12和控制按钮13等起到保护的作用，且防护罩20的材质为绝缘材质，不会发生漏电的情况。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机主体(1)和控制面板主体(2)，其特征在于：所述光刻机主体(1)的正面设置有安装箱(3)，所述安装箱(3)的上表面和下表面均固定连接有螺纹板，所述螺纹板的正面开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内壁螺纹连接有紧固螺栓(4)，所述光刻机主体(1)的正面对应两个紧固螺栓(4)的位置开设有与紧固螺栓(4)相适配的螺纹孔，所述安装箱(3)通过紧固螺栓(4)与光刻机主体(1)的正面固定连接，所述控制面板主体(2)的背面固定连接有插板(5)，所述安装箱(3)的正面开设有通孔，所述安装箱(3)的内部开设有与插板(5)相适配的插槽，所述插板(5)穿过通孔并延伸至插槽的内部，所述插板(5)的上表面开设有两个凹槽，所述插板(5)的背面固定连接有磁铁条(6)，所述插槽的内后壁固定连接有与磁铁条(6)相适配的吸铁块(7)，所述插槽的上表面设置有连接块(8)，所述连接块(8)的上表面固定连接有贯穿安装箱(3)上表面的拉杆(9)，所述拉杆(9)的上表面固定连接有手提把，所述拉杆(9)的外环面套设有弹簧，所述插槽的内顶壁开设有两个通孔，所述连接块(8)的下表面固定连接有两个贯穿通孔的固定杆(10)，两个所述固定杆(10)的下表面均固定连接有限位块(11)，所述限位块(11)与插板(5)上表面开设的凹槽相适配；
所述控制面板主体(2)的内底壁设置有控制器组件(14)，所述控制面板主体(2)的内后壁固定连接有主板(15)，所述控制面板主体(2)的内顶壁固定连接有散热风扇(16)，所述控制面板主体(2)的内底壁开设有用于主板(15)和控制器组件(14)散热的散热孔(17)；
所述控制面板主体(2)的上表面固定连接有故障灯(18)，所述控制面板主体(2)的左右两侧均固定连接有用于将控制面板主体(2)从安装箱(3)中抽出的握把(19)；
所述控制面板主体(2)的两侧均开设有通孔，两个所述通孔的内壁转动连接有转动轴，所述转动轴的外环面固定连接有控制面板主体(2)的防护罩(20)，所述防护罩(20)与控制面板主体(2)通过转动轴转动连接,所述控制面板主体(2)的上表面固定连接有卡块，所述防护罩(20)的顶端固定连接有与卡块相适配的卡扣；
所述控制面板主体(2)的右侧开设有通孔，所述通孔的内壁固定连接有导线管(21)，所述安装箱(3)的正面和右侧均固定连接有束线器；
所述束线器包括束线板(22)，所述束线板(22)与安装箱(3)的正面和侧面以及光刻机主体(1)的右侧固定连接，两个所述束线板(22)的上表面和下表面均开设有螺纹孔，两个所述螺纹孔的内壁螺纹连接有固定螺栓(23)。
2.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述控制面板主体(2)的正面设置有显示屏(12)，所述控制面板主体(2)的正面设置有控制按钮(13)，所述控制面板主体(2)的正面设置有若干个控制按键。
3.根据权利要求2所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述束线器的数量为三个，所述控制按钮(13)的数量为四个，所述束线板(22)的材质为橡胶，所述防护罩(20)的材质为绝缘材料。
4.根据权利要求2所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述故障灯(18)与控制器组件(14)电性连接，显示屏(12)、控制按钮(13)、控制按键、散热风扇(16)、控制器组件(14)和主板(15)均与外部电源电性连接。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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