CN112162295B - 一种基于时频分析的太赫兹厚度检测优化方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于时频分析的太赫兹厚度检测方法,通过太赫兹系统采集太赫兹时域脉冲信号,根据设置的峰值幅度阈值Ti,依次查找时域信号中的反射峰及反射峰对应的位置,组成反射峰位置数组Pt,将时域信号的时频分析,获得时域信号的时频矩阵,基于反射峰位置查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量,计算与第一反射峰对应的瞬时频率特征向量V1与其他反射峰对应的瞬时频率特征向量之间的相似度系数,过滤获取有效的峰值检索数组Ptf,比对Pt和Ptf,获取二者交集数据Pi,根据Pi,依次计算各层厚度d,输出厚度数组D。将时频分析引入到峰值检索中,同时基于点的瞬时频率向量相似度分析,对峰值进行有效辨识。
Description
技术领域:
本发明属于太赫兹光谱和成像技术领域,具体涉及一种基于时频分析的太赫兹厚度检测优化方法。
背景技术:
太赫兹波是介于红外线和微波之间的一段电磁波,由于处于光子学到电子学的过渡区域,其具有很多独特的属性。如指纹光谱性、低能性、特殊穿透性等,特别是特殊穿透性使其可以穿透陶瓷、皮革、纸张、橡胶、高分子涂层等众多材料实现厚度飞行时间(TOF,Timeof Flight)层析。由于太赫兹典型脉冲信号脉宽在1ps量级,因此其理论可实现的纵向测量分辨率可达数十μm量级,由于太赫兹厚度测量方法在测量分辨率和精度上的优势,其使用日益成为厚度测量领域不可或缺的一员。
然而,由于脉冲太赫兹信号的产生方法的技术局限性,目前所获得的太赫兹信号通常是比较微弱的(通常在μw或nw量级),加之各种材料以及水分对太赫兹波的吸收损耗,导致太赫兹波进行厚度测量时穿透能力不足,反射回波信号更加微弱。目前进行厚度计算的方法为寻峰算法,这种方法计算简单,运算量低,但往往因为太赫兹脉冲时域信号的信噪比不佳导致峰位置漏检或误检,最终造成厚度测量误差。
发明内容:
鉴于太赫兹厚度测量算法的局限性,本专利提出一种基于时频分析厚度测量优化方法,旨在通过方法的引入,同时从时域和频域判定反射峰位置和进行弱反射峰检索,通过分析频域信号频谱特征,排除非反射干扰噪声峰值的影响,最终实现厚度的高精度测量。
为了实现上述目的,本发明涉及的一种基于时频分析的太赫兹厚度检测方法,包括以下步骤:
步骤1:通过太赫兹系统采集太赫兹时域脉冲信号,进行简单预处理;
步骤2:时域信号的时频分析,获得时域信号的时频矩阵,令i=1;
步骤3:设置第i反射峰峰值幅度阈值Ti,查找时域信号中的第i反射峰,获取第i反射峰位置Pi,即在太赫兹时域波形图中的横坐标;
步骤3:根据第i反射峰的位置Pi,查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量Vi;
步骤5:将步骤3-步骤4获取的所有反射峰的位置组成反射峰位置数组Pt(P1,……,Pn),i为1,2,…,n;
步骤6:计算与第一反射峰对应的瞬时频率特征向量V1与其他反射峰对应的瞬时频率特征向量Vi之间的相似度系数,获取相似度数据,其中i为1,2,…,n,设定相似度筛选阈值Trs,过滤获取有效的峰值检索数组Ptf;
步骤7:比对时域低阈值峰值检索矩阵Pt和时频域峰值检索矩阵Ptf,获取二者交集数据Pi,其为有效峰组,其中数组元素匹配误差设置为τ,即允许的峰值位置最大偏离;
步骤8:根据以下公式,依次计算各层厚度d,输出厚度数组D
d=t*v*cos(θ)/2。
具体地,步骤6中,相似度系数计算方法为皮尔逊相关系数或曼哈顿距离。
本发明与现有技术相比具有以下有益效果:
1、首次提出了基于时频分析的太赫兹厚度检测优化方法,将时频分析引入到峰值检索中,同时基于点的瞬时频率向量相似度分析,对峰值进行有效辨识。进一步结合时域寻峰算法,对真实反射峰进行综合判决,实现了厚度的有效测量。
2、首次系统的提出了基于时频分析的太赫兹厚度检测逻辑流程方法,并通过实际案例验证了方法的可行性,方法的引入将有助于提高太赫兹厚度检测灵敏度和精度,有利于太赫兹技术在厚度测量领域的推广。
附图说明:
图1为本发明是涉及的基于时频分析的厚度检测方法流程图。
图2为实施例1中采集的PP材料三层结构时域波形图。
图3为实施例1中PP材料的时频光谱图。
具体实施方式:
下面通过具体实施例并结合附图对本发明作进一步说明。
实施例1
基于快速光电子学方法产生的太赫兹脉冲典型脉冲宽度在1ps左右,基于光电导延迟采样获取的太赫兹时域波形可以无失真的还原太赫兹脉冲波形。太赫兹脉冲波形包含一个主峰,即太赫兹脉冲,太赫兹天线远场辐射脉冲信号一般为近似正弦的双极性波形。太赫兹脉冲具有典型的宽频特征,一般可覆盖到6THz以上,且在上升沿和下降沿分别具有与激励光源参数和天线器件参数相关的时间参数,进而在频域上体现其固有属性。基于以上原理,可在时频域提取反射峰多维度参数,用于真实反射峰的有效识别,排除噪声干扰影响。
利用脉冲太赫兹波进行飞行时间厚度检测时,太赫兹信号将在待测目标物的多层交界面上产品反射和折射,根据不同层反射信号与表层(即空气与目标物表面交界面)反射信号的相对时延t,结合目标物等效折射率参数计算出的光速v,以及信号入射角度信息θ,即可获得厚度信息d,计算公式如下:
d=t*v*cos(θ)/2 公式1
厚度检测的关键在于反射峰的准确识别,目前普遍采用的方法为各种在时间域的寻峰算法,但这种寻峰算法在面对微弱信号时几乎无能为力,极易造成误判,影响厚度测量结果。
如图1所示,基于当前峰值检测方法存在的问题,提出一种基于时频分析的太赫兹厚度检测方法,包括以下步骤:
步骤1:通过太赫兹系统采集太赫兹时域脉冲信号,进行简单预处理,包括截取,滤波等;
步骤2:时域信号的时频分析(HHT或STFT),获得时域信号的时频矩阵,令i=1;
步骤3:设置第i反射峰峰值幅度阈值Ti,查找时域信号中的第i反射峰,获取第i反射峰位置Pi,即在太赫兹时域波形图中的横坐标;
步骤3:根据第i反射峰的位置Pi,查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量Vi;
步骤5:将步骤3-步骤4获取的所有反射峰的位置组成反射峰位置数组Pt(P1,……,Pn),i为1,2,…,n;
步骤6:计算与第一反射峰对应的瞬时频率特征向量V1与其他反射峰对应的瞬时频率特征向量Vi之间的相似度系数,获取相似度数据,其中i为1,2,…,n,设定相似度筛选阈值Trs,过滤获取有效的峰值检索数组Ptf;
步骤7:比对时域低阈值峰值检索矩阵Pt和时频域峰值检索矩阵Ptf,获取二者交集数据Pi,其中数组元素匹配误差设置为τ,即允许的峰值位置最大偏离;
步骤8:根据以下公式,依次计算各层厚度d,输出厚度数组D
d=t*v*cos(θ)/2。
具体地,步骤6中,相似度系数计算方法包括但不限于皮尔逊相关系数(PCC)、曼哈顿距离(CBC)等。
采用所述基于时频分析的厚度检测方法测量PP材料的厚度,具体包括以下步骤:
步骤1:通过太赫兹系统采集PP材料三层太赫兹时域脉冲信号,并进行简单预处理,包括截取,滤波等,得到预估样品时域脉冲信号,如图2所示,其中截取的目的为选取待处理的信号,降低信号数据大小,截取依据一般为预估样品厚度后,去除第一主峰前后超出样品厚度部分的数据;
步骤2:通过时频变换,将时域信号转换为时频矩阵,如图3所示;
步骤3:设置第一反射峰值幅度阈值T1,查找时域信号的第一反射峰,获取第一反射峰位置P1(即,横坐标25ps),T1为经验值,根据实际样品的反射信号强度灵活配置;
步骤4:根据图2中第一反射峰的位置P1,在图3中查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量V1;
步骤6:根据图2中第二反射峰的位置P2,在图3中查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量V2;
步骤8:根据图2中第三反射峰的位置P3,在图3中查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量V3;
步骤9:将得到的所有反射峰位置组成时域低阈值峰值检索矩阵数组Pt(P1,P2,P3);
步骤10:计算第一反射峰特征向量与其他反射峰对应的特征向量之间的相似度系数,设定相似度系数筛选阈值Trs,大于Trs的相似度系数对应的其他反射峰位置组成有效的峰值位置检索数组Ptf;
具体地,步骤10中计算方法可采用但不限于皮尔逊相关系数(PCC)、曼哈顿距离(CBC)等。皮尔逊相关系数也称为积差相关(或积矩相关),是英国统计学家皮尔逊于20世纪提出的一种计算直线相关的方法。假设有两个变量X、Y,那么两变量间的皮尔逊相关系数可通过以下公式计算:
步骤11:比对时域低阈值峰值检索矩阵数组Pt和时频域峰值位置检索数组Ptf,获取二者交集数据Pi,其中,为了中和不同方法峰值检测误差或抖动,设置数组元素匹配误差设置为τ,即允许的峰值位置最大偏离;
步骤12:根据公式1和交集数据Pi,依次计算各层厚度,输出每一个反射峰对应的厚度d,所有反射峰对应的厚度组成厚度数组D。
图2为采集的PP材料三层结构时域波形图,可见时域波形存在两个显著的反射峰和一个与噪声幅值相当的微弱反射峰。如果仅从时域波形进行寻峰运算,根据设置阈值的不同,将有很多干扰峰被误认为是反射峰,或将最后的反射峰忽略。对图2时域脉冲信号进行HHT变换,获得时频光谱图,如图3所示。可见只有在三个真实反射峰位置处可见频谱爆发,特别是高频成分的存在。结合两种分析方法,可更加准确的检索、筛选和识别真实反射峰位置,降低了误判概率。
Claims (2)
1.一种基于时频分析的太赫兹厚度检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:通过太赫兹系统采集太赫兹时域脉冲信号,进行简单预处理;
步骤2:时域信号的时频分析,获得时域信号的时频矩阵,令i=1;
步骤3:设置第i反射峰峰值幅度阈值Ti,查找时域信号中的第i反射峰,获取第i反射峰位置Pi,即在太赫兹时域波形图中的横坐标,根据第i反射峰的位置Pi,查询信号时频矩阵对应位置附近瞬时频率特征向量Vi;
步骤5:将步骤3-步骤4获取的所有反射峰的位置组成反射峰位置数组Pt,Pt为{P1,……,Pn};
步骤6:计算与第一反射峰对应的瞬时频率特征向量V1与其他反射峰对应的瞬时频率特征向量Vi之间的相似度系数,获取相似度数据,其中i为1,2,…,n,设定相似度筛选阈值Trs,过滤获取有效的峰值检索数组Ptf;
步骤7:比对反射峰位置数组Pt和峰值检索数组Ptf,获取二者交集数据Pi,其为有效峰组;
步骤8:根据以下公式,依次计算各层厚度d,输出厚度数组D
d=t*v*cos(θ)/2,式中,t为不同层反射信号与表层反射信号的相对时延,v为光速,θ为信号入射角度。
2.根据权利要求1中所述的基于时频分析的太赫兹厚度检测方法,其特征在于,步骤6中,相似度系数计算方法为皮尔逊相关系数或曼哈顿距离。
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核优化相关向量机太赫兹频谱特征提取方法;钟毅伟 等;《光谱学与光谱分析》;20161231;第36卷(第12期);第3857-3862页 * |
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CN112162295A (zh) | 2021-01-01 |
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