CN112114433B - 薄膜型像切分器装置及其工作系统 - Google Patents

薄膜型像切分器装置及其工作系统 Download PDF

Info

Publication number
CN112114433B
CN112114433B CN202010995892.9A CN202010995892A CN112114433B CN 112114433 B CN112114433 B CN 112114433B CN 202010995892 A CN202010995892 A CN 202010995892A CN 112114433 B CN112114433 B CN 112114433B
Authority
CN
China
Prior art keywords
prism
light beam
optical
main
type image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010995892.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112114433A (zh
Inventor
张凯
朱永田
王磊
汤振
季杭馨
胡中文
陈忆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology NIAOT of CAS
Original Assignee
Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology NIAOT of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology NIAOT of CAS filed Critical Nanjing Institute of Astronomical Optics and Technology NIAOT of CAS
Priority to CN202010995892.9A priority Critical patent/CN112114433B/zh
Publication of CN112114433A publication Critical patent/CN112114433A/zh
Priority to US18/044,961 priority patent/US20230359053A1/en
Priority to PCT/CN2021/089199 priority patent/WO2022057258A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112114433B publication Critical patent/CN112114433B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/106Beam splitting or combining systems for splitting or combining a plurality of identical beams or images, e.g. image replication
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements

Abstract

本发明公开了一种薄膜型像切分器装置及其工作系统。该装置包括主体棱镜、平板光学元件、光学膜,光学膜与平板光学元件第二表面之间形成反射腔,光学膜具有与反射腔中光束反射前进方向的投影方向呈夹角θ的斜边,光束在反射前进中反复经过斜边,像斑被切分为若干个等宽的切分像,若干个切分像沿与切分方向垂直的排列方向线性排布,每个切分像对应的光束主光线相互平行。本发明采用光学膜边缘替代经典的光学玻璃棱边作为切分像斑的工具,能够有效提高切分精度,抑制杂散光,成品率高,便于批量化生产,使用寿命长;可配合转向棱镜改变光束的出射方向,以匹配不同应用环境的需求。

Description

薄膜型像切分器装置及其工作系统
技术领域
本发明属于光学技术领域,特别是天文光学技术、光谱技术领域,具体涉及一种像切分器装置及其工作系统。
背景技术
地面开展天文光谱观测时,星光会聚在光谱仪的狭缝处,穿过狭缝后经色散形成具有一定分辨率的光谱。为了提高光谱分辨率往往需要将狭缝的宽度开得比星像直径更窄,导致大部分光被挡在狭缝之外而得不到利用。像切分器将星像沿狭缝宽度方向分成若干与狭缝等宽的切分像,并沿狭缝长度方向排列,使大部分星光都能进入光谱仪,解决光谱分辨率和星光利用率的矛盾问题。1938年,I.S.鲍恩首先设计一种迭片式像切分器。随着光学制造技术的进步,1980年代起逐渐应用到天文实测领域,出现了多种类型的像切分器。绝大部分的像切分器采用光学玻璃棱边作为切分像斑的工具,玻璃棱边的光学制造精度,包括棱边的崩边、直线度和角度,直接决定了像切分器的工作效果。直到1990年代末期,相关的光学制造技术才被逐渐攻克,但成品率低、易破损的现实问题仍未很好解决。其中,崩边会导致切分像斑的轮廓不规则,并且产生有害的杂散光;直线度和角度误差会导致无法等宽地切分像斑,降低工作效果。另一方面,现有的像切分器类型对光束出射方向都不具备转向功能,出射光束的指向均与入射光束的相同。
从现有技术的检索结果来看,目前的像切分器均保持使用光学玻璃棱边作为切分像斑的工具,因此不能有效解决上述问题;现有的像切分器国内专利均未涉及或通过其它部件来实现切分像的线性排列;现有的像切分器均未涉及或通过其它部件来实现出射光束的转向功能。
发明内容
本发明目的是:为了解决经典像切分器存在光学玻璃棱边因制造工艺缺陷导致工作效果不理想、成品率低和无法批量生产的问题,并可增加出射光束转向功能,提出一种薄膜型像切分器装置及其工作系统,具有切分精度高、使用寿命长、成品率高、批量化可行性强的技术特点,并可同时具备出射光束转向功能。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
本发明提供一种薄膜型像切分器装置,包括主体棱镜、平板光学元件、光学膜,所述主体棱镜包括相互之间呈夹角α的主体棱镜第一表面和主体棱镜第二表面,所述平板光学元件具有靠近主体棱镜第二表面的平板光学元件第一表面和远离主体棱镜第二表面的平板光学元件第二表面,所述主体棱镜和平板光学元件之间设置有光学膜,所述光学膜与平板光学元件第二表面之间形成反射腔,入射光束从主体棱镜第一表面入射,并在所述反射腔中以折线方式反射向前传输,所述光学膜具有与反射腔中光束反射前进方向的投影方向呈夹角θ的斜边,光束在反射前进中反复经过所述斜边,像斑被切分为若干个等宽的切分像,若干个所述切分像沿与切分方向垂直的排列方向线性排布。
更进一步的,所述入射光束为具有远心光路特性的慢焦比光束。
更进一步的,所述入射光束的焦比慢于F/15。
更进一步的,所述光学膜为镀制于主体棱镜第二表面上的光学外反射膜,和/或镀制于平板光学元件第一表面上的光学内反射膜。
更进一步的,还包括转向棱镜,所述主体棱镜还包括主体棱镜第三表面,光束从所述主体棱镜第三表面出射,所述转向棱镜包括转向棱镜第一表面、转向棱镜第二表面和转向棱镜第三表面,所述转向棱镜第一表面与主体棱镜第三表面相连,光束经转向棱镜第二表面折转方向后从转向棱镜第三表面出射,所述转向棱镜第一表面与转向棱镜第二表面的夹角为β。
更进一步的,所述主体棱镜的类型包括梯形棱镜、三角棱镜、斜方棱镜,所述主体棱镜为单个光学元件或由多个光学元件组合而成的光学组件。
更进一步的,每个切分像对应的光束主光线相互平行。
更进一步的,允许对若干个像斑同时进行切分。
更进一步的,单个像斑的切分数量在2-5个之间。
本发明还提供一种基于薄膜型像切分器装置的工作系统,包括前置光学系统、前述的薄膜型像切分器装置、后续光学系统,像斑经由前置光学系统射出具有远心光路特性的慢焦比光束,光束从主体棱镜的第一表面入射进入薄膜型像切分器装置,得到若干个等宽的切分像,若干个所述切分像沿与切分方向垂直的排列方向线性排布,所有切分像对应的光束从薄膜型像切分器装置射出,进入后续光学系统,成像为若干个等宽且线性排列的切分像。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
(1)采用光学膜边缘替代经典的光学玻璃棱边作为切分像斑的工具,避免玻璃棱边存在崩边、直线度不佳和角度误差的光学制造问题,能够有效提高切分精度,抑制杂散光。
(2)采用成熟的镀膜技术来获得指定的光学膜技术参数,成品率高;涉及的工装设备可反复使用,便于批量化生产。
(3)光学膜密封在主体棱镜的第二表面和平板玻璃的第一表面之间,有效保护光学膜,避免破损、受污和氧化造成光学性能下降,能够延长使用寿命。
(4)选用不同类型的主体棱镜和转向棱镜进行组合,能够改变入射光束与出射光束的光轴夹角,方便匹配后续光学系统。
附图说明
图1是薄膜型像切分器装置结构A的主视图;
图2是图1的局部剖视图;
图3是薄膜型像切分器装置结构B的主视图;
图4是薄膜型像切分器装置结构C的主视图;
图5是薄膜型像切分器装置结构D的主视图;
图6是薄膜型像切分器装置的工作系统示意图;
图中标记:1、主体棱镜;1-1、主体棱镜第一表面;1-2、主体棱镜第二表面;1-3、主体棱镜第三表面;2、平板光学元件;2-1、平板光学元件第一表面;2-2、平板光学元件第二表面;3、光学膜;4、转向棱镜;4-1、转向棱镜第一表面;4-2、转向棱镜第二表面;4-3、转向棱镜第三表面;5、像斑;6、前置光学系统;7、后续光学系统;8、切分像。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细说明。
定义方向:(1)切分像斑的宽度方向称为切分方向(X);(2)与切分方向(X)垂直的长度方向称为排列方向(Y);(3)光束沿光轴传播方向称为光轴方向(Z)。
实施例一
本实施例提供一种如图1所示的薄膜型像切分器装置结构A,包括主体棱镜1、平板光学元件2(例如平板玻璃)、光学膜3。主体棱镜1包括主体棱镜第一表面1-1和主体棱镜第二表面1-2,主体棱镜第一表面1-1和主体棱镜第二表面1-2相互之形成夹角α,主体棱镜第一表面1-1与主体棱镜第二表面1-2的夹角α提供切分像斑所需的入射角度。本实施例中,入射光束垂直于主体棱镜第一表面1-1入射,此时,为了使光束能够照射到平板光学元件2,所述夹角α要小于90°。为了使照射至平板光学元件2的光束产生像斑,入射光束为会聚光束。平板光学元件2具有靠近主体棱镜第二表面1-2的平板光学元件第一表面2-1和远离主体棱镜第二表面1-2的平板光学元件第二表面2-2。如图1所示,主体棱镜1和平板光学元件2之间设置有光学膜3,光学膜3镀制于带有斜边的局部区域内,其斜边用于切分像斑,对应的斜角为θ,光学膜3的位置、大小和形状夹角根据入射焦比、像斑大小和切分数量的条件来设定,见附图2的局部剖面图。光学膜3与平板光学元件第二表面2-2之间形成光束以折线方式反射向前传输的反射腔,同时切分像斑。利用该斜边切分出等宽的切分像,剩余部分的光束反射回反射腔。入射会聚光束从主体棱镜第一表面1-1入射,并在该反射腔中以折线方式反射向前传输,光学膜3具有与反射腔中光束的反射前进方向的投影方向呈夹角θ的斜边,光束在前进中反复经过所述斜边,像斑被切分为若干个等宽的切分像,若干个所述切分像沿与切分方向垂直的排列方向线性排布,每个切分像对应的光束主光线相互平行。入射光束与出射光束的光轴夹角为180°-2*α。
实施例二
本实施例提供一种如图3所示的薄膜型像切分器装置结构B,包括主体棱镜1(本实施例具体优选等腰梯形棱镜)、平板光学元件2(例如平板玻璃)、光学膜3、转向棱镜4(本实施例具体优选等腰三角棱镜)。主体棱镜1包括主体棱镜第一表面1-1、主体棱镜第二表面1-2、主体棱镜第三表面1-3,主体棱镜第一表面1-1和主体棱镜第二表面1-2相互之形成夹角α,主体棱镜第一表面1-1与主体棱镜第二表面1-2的夹角α提供切分像斑所需的入射角度。本实施例中,入射光束垂直于主体棱镜第一表面1-1入射,此时,为了使光束能够照射到平板光学元件2,所述夹角α要小于90°,光束从主体棱镜第三表面1-3出射。为了使照射至平板光学元件2的光束为光斑,入射光束为会聚光束。转向棱镜2包括转向棱镜第一表面4-1、转向棱镜第二表面4-2和转向棱镜第三表面4-3。平板光学元件2具有靠近主体棱镜第二表面1-2的平板光学元件第一表面2-1和远离主体棱镜第二表面1-2的平板光学元件第二表面2-2。如图3所示,主体棱镜1和平板光学元件2之间设置有光学膜3,光学膜3镀制于带有斜边的局部区域内,其斜边用于切分像斑,对应的斜角为θ,光学膜3的位置、大小和形状夹角根据入射焦比、像斑大小和切分数量的条件来设定,见附图2的局部剖面图。光学膜3与平板光学元件第二表面2-2之间形成光束以折线方式反射向前传输的反射腔,同时切分像斑,利用该斜边切分出等宽的切分像,剩余部分的光束反射回反射腔。入射会聚光束从主体棱镜第一表面1-1入射,并在该反射腔中以折线方式反射向前传输,光学膜3具有与反射腔中光束反射前进方向的投影方向呈夹角θ的斜边,光束在前进中反复经过所述斜边,像斑被切分为若干个等宽的切分像,若干个所述切分像沿与切分方向垂直的排列方向线性排布,每个切分像对应的光束主光线相互平行。转向棱镜第一表面4-1与主体棱镜第三表面1-3相连,光束经转向棱镜第二表面4-2折转方向后从转向棱镜第三表面4-3出射,转向棱镜第一表面4-1与转向棱镜第二表面4-2的夹角为β。主体棱镜1的斜角α和转向棱镜4的斜角β决定出射光束的指向,入射光束与出射光束的光轴夹角为360°-2*(α+β)。转向棱镜4用来提供出射光束转向功能,转向棱镜第三表面4-3为光束出射面,光束垂直表面射出。
本实施例中,主体棱镜第一表面1-1的法线与转向棱镜第二表面4-2的法线共面。
实施例三
本实施例提供一种如图4所示的薄膜型像切分器装置结构C,包括主体棱镜1(本实施例具体优选等腰梯形棱镜)、平板光学元件2(例如平板玻璃)、光学膜3、转向棱镜4(本实施例具体优选等腰三角棱镜)。主体棱镜1包括主体棱镜第一表面1-1、主体棱镜第二表面1-2、主体棱镜第三表面1-3,主体棱镜第一表面1-1和主体棱镜第二表面1-2相互之形成夹角α,主体棱镜第一表面1-1与主体棱镜第二表面1-2的夹角α提供切分像斑所需的入射角度。本实施例中,入射光束垂直于主体棱镜第一表面1-1入射,此时,为了使光束能够照射到平板光学元件2,所述夹角α要小于90°,光束从主体棱镜第三表面1-3出射。为了使照射至平板光学元件2的光束产生像斑,入射光束为会聚光束。转向棱镜2包括转向棱镜第一表面4-1、转向棱镜第二表面4-2和转向棱镜第三表面4-3。平板光学元件2具有靠近主体棱镜第二表面1-2的平板光学元件第一表面2-1和远离主体棱镜第二表面1-2的平板光学元件第二表面2-2。如图4所示,主体棱镜1和平板光学元件2之间设置有光学膜3,光学膜3镀制于带有斜边的局部区域内,其斜边用于切分像斑,对应的斜角为θ,光学膜3的位置、大小和形状夹角根据入射焦比、像斑大小和切分数量的条件来设定,见附图2的局部剖面图。光学膜3与平板光学元件第二表面2-2之间形成光束以折线方式反射向前传输的反射腔,同时切分像斑,利用该斜边切分出等宽的切分像,剩余部分的光束反射回反射腔。入射会聚光束从主体棱镜第一表面1-1入射,并在该反射腔中以折线方式反射向前传输,光学膜3具有与反射腔中光束前进方向的投影方向呈夹角θ的斜边,光束在反射前进中反复经过所述斜边,像斑被切分为若干个等宽的切分像,若干个所述切分像沿与切分方向垂直的排列方向线性排布,每个切分像对应的光束主光线相互平行。转向棱镜第一表面4-1与主体棱镜第三表面1-3相连,光束经转向棱镜第二表面4-2折转方向后从转向棱镜第三表面4-3出射,转向棱镜第一表面4-1与转向棱镜第二表面4-2的夹角为β,主体棱镜1的斜角α和转向棱镜4的斜角β决定出射光束的指向,夹角α与夹角β不共面,入射光束与出射光束的光轴夹角为二维空间角度。转向棱镜4用来提供出射光束转向功能,转向棱镜第三表面4-3为光束出射面,光束垂直表面射出。
本实施例中,主体棱镜第一表面1-1的法线与转向棱镜第二表面4-2的法线不共面,入射光束与出射光束的光轴夹角为二维空间角度。
实施例四
本实施例提供一种如图5所示的薄膜型像切分器装置结构D。在薄膜型像切分器装置结构B中,当主体棱镜1第一表面1-1的法线与转向棱镜第三表面4-3的法线共面且入射光束与出射光束的光轴夹角为0°时,主体棱镜1和转向棱镜4的组合可以用一块斜方棱镜代替,即主体棱镜1为斜方棱镜,取消转向棱镜4。
实施例五
本实施例提供一种如图6所示的基于本发明薄膜型像切分器装置的工作系统,该系统包括前置光学系统6、薄膜型像切分器装置、后续光学系统7。
像斑5经由前置光学系统6射出具有远心光路特性的慢焦比光束,光束从主体棱镜1的第一表面沿光轴方向(Z)正入射进入装置;入射光束穿过主体棱镜1第二表面1-2,进入光学膜3与平板光学元件2第二表面2-2形成的反射腔,光束在反射腔中以折线方式反射向前传播;当光束接触光学膜3时,具有一定斜角θ的光学膜3斜边等宽地切分像斑,切分像穿过主体棱镜1第二表面1-2,而剩余的光束反射回反射腔中继续反射前进;经过若干次切分,得到若干个等宽的切分像,并沿排列方向(Y)依次排列,每个切分像对应的光束主光线相互平行;所有切分像对应的光束从薄膜型像切分器装置射出,进入后续光学系统7,成像为若干个等宽且线性排列的切分像8。
需要说明的是,为了保证上述实施例中的薄膜型像切分器的使用效果,薄膜型像切分器的使用最好能满足2个条件:(1)入射会聚光的焦比必须为比F/15更慢;(2)入射光束必须满足远心光路的条件,即出瞳位于无限远处。例如,当会聚光束的入射焦比为F/20,将像斑切分成两个等宽的切分像时,切分像轮廓规则清晰,成像质量高,当使用薄膜型像切分器装置结构B时,其出射光束与入射光束的光轴夹角为150°,超过3年的使用中切分效果和像质无明显退化。
还需要说明的是,光学膜的镀制可以根据实际要求选择。例如,可在平板光学元件第一表面2-1上镀制光学内反射膜,或者可在主体棱镜第二表面1-2上镀制光学外反射膜。
需要说明的是,本发明中主体棱镜1的类型不限于等腰梯形棱镜,主体棱镜1可由其它形状的梯形棱镜、三角棱镜、斜方棱镜或者其它类型的棱镜替代,主体棱镜1也不限于单个光学元件,还可以是多个光学元件组合而成的光学组件。
需要说明的是,本发明允许对若干个像斑同时进行切分(例如对1至3个像斑同时进行切分),单个像斑的切分数量可以有若干个(例如上述实施例可切分出数量在2-5个之的切分像)。
需要说明的是,上述实施例仅列举出了几种转向棱镜4的转向方式,基于上述实施例,本领域技术人员还可以类推得到更多种通过引入不同类型或装配方向的转向棱镜4改变出射光束的指向的方式,这些方式都属于本发明的保护范围之内。
综上所述,本发明使用镀制的光学膜代替经典的光学玻璃棱边作为切分像斑的工具,镀制在平板玻璃前表面的光学膜与其能够产生全反射的后表面形成反射腔,使光束在反射腔中以折线方式反射向前传输,像斑在光束前进中反复经过与前进方向的投影方向成一定夹角的光学玻璃棱边,切出若干个等宽的切分像,它们沿排列方向(Y)排列。另外,本发明通过灵活变换主体棱镜1和转向棱镜4的类型和组合方式可改变光束的出射方向,以匹配不同应用环境的需求。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.薄膜型像切分器装置,其特征在于,包括主体棱镜(1)、平板光学元件(2)、光学膜(3),所述主体棱镜(1)包括相互之间呈夹角α的主体棱镜第一表面(1-1)和主体棱镜第二表面(1-2),所述平板光学元件(2)具有靠近主体棱镜第二表面(1-2)的平板光学元件第一表面(2-1)和远离主体棱镜第二表面(1-2)的平板光学元件第二表面(2-2),所述主体棱镜(1)和平板光学元件(2)之间设置有光学膜(3),所述光学膜(3)为镀制于主体棱镜第二表面(1-2)上的光学外反射膜,和/或镀制于平板光学元件第一表面(2-1)上的光学内反射膜,所述光学膜(3)与平板光学元件第二表面(2-2)之间形成反射腔,入射光束从主体棱镜第一表面(1-1)入射,并在所述反射腔中以折线方式反射向前传输,所述光学膜(3)具有与反射腔中光束反射前进方向的投影方向呈夹角θ的斜边,光束在反射前进中反复经过所述斜边,像斑被切分为若干个等宽的切分像,若干个所述切分像沿与切分方向垂直的排列方向线性排布。
2.根据权利要求1所述的薄膜型像切分器装置,其特征在于,所述入射光束为具有远心光路特性的慢焦比光束。
3.根据权利要求2所述的薄膜型像切分器装置,其特征在于,所述入射光束的焦比慢于F/15。
4.根据权利要求1所述的薄膜型像切分器装置,其特征在于,还包括转向棱镜(4),所述主体棱镜(1)的类型为三角棱镜,还包括主体棱镜第三表面(1-3),光束从所述主体棱镜第三表面(1-3)出射,所述转向棱镜(4)包括转向棱镜第一表面(4-1)、转向棱镜第二表面(4-2)和转向棱镜第三表面(4-3),所述转向棱镜第一表面(4-1)与主体棱镜第三表面(1-3)相连,光束经转向棱镜第二表面(4-2)全反射后从转向棱镜第三表面(4-3)出射,所述转向棱镜第一表面(4-1)与转向棱镜第二表面(4-2)的夹角为β。
5.根据权利要求1所述的薄膜型像切分器装置,其特征在于,所述主体棱镜(1)的类型包括梯形棱镜、三角棱镜、斜方棱镜,所述主体棱镜(1)为单个光学元件或由多个光学元件组合而成的光学组件。
6.根据权利要求1所述的薄膜型像切分器装置,其特征在于,每个切分像对应的光束主光线相互平行。
7.根据权利要求1所述的薄膜型像切分器装置,其特征在于,允许对若干个像斑同时进行切分。
8.根据权利要求1所述的薄膜型像切分器装置,其特征在于,单个像斑的切分数量在2-5个之间。
9.基于薄膜型像切分器装置的工作系统,其特征在于,包括前置光学系统(6)、权利要求1-8中任意一项所述的薄膜型像切分器装置、后续光学系统(7),像斑(5)经由前置光学系统(6)射出具有远心光路特性的慢焦比光束,光束从主体棱镜(1)的第一表面入射进入薄膜型像切分器装置,得到若干个等宽的切分像,若干个所述切分像沿与切分方向垂直的排列方向线性排布,所有切分像对应的光束从薄膜型像切分器装置射出,进入后续光学系统(7),成像为若干个等宽且线性排列的切分像(8)。
CN202010995892.9A 2020-09-21 2020-09-21 薄膜型像切分器装置及其工作系统 Active CN112114433B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010995892.9A CN112114433B (zh) 2020-09-21 2020-09-21 薄膜型像切分器装置及其工作系统
US18/044,961 US20230359053A1 (en) 2020-09-21 2021-04-23 Thin film type image slicer device and operating system thereof
PCT/CN2021/089199 WO2022057258A1 (zh) 2020-09-21 2021-04-23 薄膜型像切分器装置及其工作系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010995892.9A CN112114433B (zh) 2020-09-21 2020-09-21 薄膜型像切分器装置及其工作系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112114433A CN112114433A (zh) 2020-12-22
CN112114433B true CN112114433B (zh) 2022-06-21

Family

ID=73800578

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010995892.9A Active CN112114433B (zh) 2020-09-21 2020-09-21 薄膜型像切分器装置及其工作系统

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20230359053A1 (zh)
CN (1) CN112114433B (zh)
WO (1) WO2022057258A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112114433B (zh) * 2020-09-21 2022-06-21 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 薄膜型像切分器装置及其工作系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105312773A (zh) * 2014-07-30 2016-02-10 深圳市韵腾激光科技有限公司 晶圆激光切割方法
CN107111146A (zh) * 2015-01-21 2017-08-29 龙卷风光谱系统有限公司 混合图像‑光瞳光学重定格式器
CN109708759A (zh) * 2018-12-28 2019-05-03 中国计量大学 一种基于叠层玻璃映射的成像光谱仪
CN110142503A (zh) * 2019-05-17 2019-08-20 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光切割离焦补偿系统及其补偿方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9226661D0 (en) * 1992-12-22 1993-02-17 Univ London Optical apparatus
US7049617B2 (en) * 2001-07-26 2006-05-23 Seiko Epson Corporation Thickness measurement in an exposure device for exposure of a film with a hologram mask, exposure method and semiconductor device manufacturing method
WO2013083371A1 (en) * 2011-12-05 2013-06-13 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus and device manufacturing method
CN103063307A (zh) * 2012-12-28 2013-04-24 南京理工大学 像面干涉高光谱显微成像装置和方法
CN107271037B (zh) * 2017-05-23 2019-06-18 天津大学 光谱显微成像方法及系统
CN108362379B (zh) * 2018-03-15 2023-05-26 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种宽谱段高分辨率光谱色散方法及装置
CN112114433B (zh) * 2020-09-21 2022-06-21 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 薄膜型像切分器装置及其工作系统

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105312773A (zh) * 2014-07-30 2016-02-10 深圳市韵腾激光科技有限公司 晶圆激光切割方法
CN107111146A (zh) * 2015-01-21 2017-08-29 龙卷风光谱系统有限公司 混合图像‑光瞳光学重定格式器
CN109708759A (zh) * 2018-12-28 2019-05-03 中国计量大学 一种基于叠层玻璃映射的成像光谱仪
CN110142503A (zh) * 2019-05-17 2019-08-20 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种激光切割离焦补偿系统及其补偿方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
LAMOST高分辨率光谱仪研制;张天一等;《中国光学》;20190215;第12卷(第1期);第148-155页 *
像切割器技术积分视场三维光谱仪;张天一等;《应用光学》;20150715;第36卷(第4期);第531-536页 *

Also Published As

Publication number Publication date
US20230359053A1 (en) 2023-11-09
CN112114433A (zh) 2020-12-22
WO2022057258A1 (zh) 2022-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7209624B2 (en) Apparatus and method for illumination of light valves
CN112114433B (zh) 薄膜型像切分器装置及其工作系统
CN103909346B (zh) 大幅面激光打标装置
CN213680890U (zh) 复合激光熔覆装置
CN102809823A (zh) 激光合束照射与接收系统
US4460240A (en) Semiconductor laser scanning system
US20070153392A1 (en) Apparatus and method for illumination of light valves
CN113465547A (zh) 一种线式扫描光谱共聚测量系统与方法
JP3927513B2 (ja) ビームスプリッター装置ならびにそれを使用したレーザー走査顕微鏡
US9274344B2 (en) Method for extracting optical energy from an optical beam
CN113533284A (zh) 一种全光学高速多光子扫描成像装置
WO2021109594A1 (zh) 一种激光mems扫描投影模组半导体激光器调试装置
CN114465075A (zh) 一种产生一字线组的一字线激光器
CN211680539U (zh) 一种实现大幅面多路激光并行刻划的装置
CN110977157A (zh) 带有功率校正功能的激光加工系统
GB2099175A (en) Optical fibre connection device comprising a retroreflector
CN111367087A (zh) 一种激光器合束装置及合束方法
CN115121938B (zh) 激光头监测模组、多波段激光光路系统及激光加工设备
CN214706569U (zh) 一种高功率激光测试装置
CN212682786U (zh) 带有功率校正功能的激光加工系统
CN218612242U (zh) 一种大功率激光模组新型光路结构
CN219746669U (zh) 一种用于ar衍射光波导的激光切割裂片系统
CN220112546U (zh) 一种切割分系统及一种切割设备
CN116154599B (zh) 一种紧凑化光谱合成装置
CN110764272B (zh) 一种利用透镜共焦点调节离轴抛物面镜系统的方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant