CN112111728A - 一种用于cvd涂层设备反应腔体的冷却罩 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，包括筒体，所述筒体的外侧分别固定安装有吹风通道、插销杆连杆操作把手、外部散热孔板、插销杆连杆操作机构与吊装孔板固定梁，所述吹风通道的一侧固定安装有吹风进入口，该用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，通过冷却罩筒体部分挡住反应腔体的外部热辐射，可防止反应腔体表面热辐射扩散到外部损坏周围其他物体，冷却罩的外部散热孔板一定程度的加快了反应腔体的冷却，而冷却罩借由外部鼓风机，将冷风通过吹风通道与吹风进入口吹到反应腔体外部，对反应腔体进行降温，让反应腔体快速冷却，提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，具体为一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩。
背景技术
CVD是在其它材料(基材)的金属加工用工件例如模具、切削工具、耐磨损、耐腐蚀零件等的表面上成膜的方法，尤其是薄膜形成方法，化学气相沉积的特点是反应气体所含化合物的化学反应的进行，所期望的化学反应主要产物沉积在基材表面上并在那里形成涂层或者说覆膜，可能的反应副产物以气体形态出现并且必须从气体混合物中被除去以保证层膜性能，这通过排气管路来实现，经过涂层的切削刀具、工模具的使用寿命会大大提高，经过涂层的零部件更加耐腐蚀和耐磨损。
在现有的技术中，反应室腔体的吊装都是采用车间行车的挂钩来移动反应室腔体时，车间行车无法准确的移动到反应腔体的正上方，同时吊运过程中，由于车间的行车惯性太大，反应腔体晃动比较大，而且在吊走加热罩之前，需要人为的将耐高温隔热的铝箔板移动到反应腔体四周来挡住热辐射，操作不方便。
发明内容
技术方案
为实现上述操作简单便捷，提高生产效率目的，本发明提供如下技术方案：一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，包括筒体，所述筒体的外侧分别固定安装有吹风通道、插销杆连杆操作把手、外部散热孔板、插销杆连杆操作机构与吊装孔板固定梁，所述吹风通道的一侧固定安装有吹风进入口，所述吹风进入口的内壁一侧固定安装有翻转门推杆，所述吹风通道的底部分别固定安装有支脚与导向固定块，所述吊装孔板固定梁的一端分别固定安装有上吊装孔板与下吊装孔板，所述上吊装孔板的一侧安装有行程开关感应块，所述筒体的顶部固定安装有插销杆固定梁，所述插销杆固定梁的底部固定安装有插销杆套固定块，所述插销杆套固定块上固定安装有插销杆套，所述插销杆套的内部活动安装有插销杆，所述插销杆连杆操作机构内部活动安装有旋钮柱塞。
优选的，所述吹风通道的出口孔均匀分布在筒体的内壁上。
优选的，所述筒体的表面预埋有螺杆柱。
优选的，所述插销杆连杆操作把手与插销杆连杆操作机构之间采用焊接连接方式。
优选的，所述导向固定块通过螺丝固定安装在吹风通道底板预埋的螺母内。
有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，具备以下有益效果：
1、该用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，通过借助特殊的升降机，冷却罩可精确定位并移动到反应腔体顶部，同时能平稳的移动和升降反应腔体，操作简单便捷。
2、该用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，通过冷却罩的筒体部分挡住反应腔体的外部热辐射，可防止表面热辐射扩散到外部损坏周围其他物体，冷却罩的外部散热孔板一定程度的加快了反应腔体的冷却，而冷却罩借由外部鼓风机，将冷风通过吹风通道与吹风进入口吹到反应腔体外部，对反应腔体进行降温，让反应腔体快速冷却，提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明整体结构正视图；
图2为本发明整体结构俯视图；
图3为本实用整体结构左视图。
图中：1-吹风通道、2-插销杆连杆操作把手、3-外部散热孔板、4-上吊装孔板、5-行程开关感应块、6-下吊装孔板、7-支脚、8-导向固定块、9-吹风进入口、10-翻转门推杆、11-插销杆、12-插销杆连杆操作机构、13-筒体、14-插销杆固定梁、15-吊装孔板固定梁、16-插销杆套、17-插销杆套固定块、18-旋钮柱塞。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3，一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，包括筒体13，筒体13的外侧分别固定安装有吹风通道1、插销杆连杆操作把手2、外部散热孔板3、插销杆连杆操作机构12与吊装孔板固定梁15，插销杆连杆操作把手2可以采用其他能达到相同目的结构方式，吹风通道1的一侧固定安装有吹风进入口9，筒体13底部也可以不带有吹风通道1与吹风进入口9，吹风进入口9的内壁一侧固定安装有翻转门推杆10，吹风通道1的底部分别固定安装有支脚7与导向固定块8，支脚7与导向固定块8的数量均可有多个，至少三个，吊装孔板固定梁15的一端分别固定安装有上吊装孔板4与下吊装孔板6，上吊装孔板4与下吊装孔板6的数量均可多个，上吊装孔板4的一侧安装有行程开关感应块5，筒体13的顶部固定安装有插销杆固定梁14，插销杆固定梁14的底部固定安装有插销杆套固定块17，插销杆套固定块17上固定安装有插销杆套16，插销杆套16的内部活动安装有插销杆11，插销杆连杆操作机构12内部活动安装有旋钮柱塞18。
其中，优选的，吹风通道1的出口孔均匀分布在筒体13的内壁上，方便筒体13内部的散热降温。
其中，优选的，筒体13的表面预埋有螺杆柱，方便外部散热孔板3的固定安装。
其中，优选的，所述插销杆连杆操作把手2与插销杆连杆操作机构12之间采用焊接连接方式。
其中，优选的，所述导向固定块8通过螺丝固定安装在吹风通道1底板预埋的螺母内。
本发明的工作原理及使用流程：一种特殊形式的升降机通过冷却罩自身的上吊装孔板4和下吊装孔板6，将冷却罩吊装起来并移动到反应腔体顶部，和该升降配合协作，冷却罩可精确定位到反应腔体正上方，升降机再将冷却罩落到反应腔体外部。通过冷却罩的筒体13和外部的散热孔板，冷却罩可以将反应腔体的热量阻挡下来，防止热辐射向外扩散，在反应腔体完全冷却后，通过插销杆连杆操作把手2和插销杆连杆操作机构12，将插销杆11插入反应室腔体的顶部挂钩上，通过旋钮柱塞18将连杆锁紧，防止挂钩从连杆上脱落，从而达到升降机通过移动和升降冷却罩来移动和升降反应腔体的目的。底部支脚7对冷却罩起到支撑作用，导向固定块8在移动和升降反应腔体的过程中可对反应腔体起固定和导向作用，当冷却罩完全落在反应腔体的外部后，翻转门推杆10可将反应腔体外部附近的鼓风机吹风管道打开，通过吹风进入口9，将外部的吹风管道和冷却罩的吹风通道1连接，再借由吹风通道1的出口孔吹到反应腔体上，对反应腔体进行风冷降温。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，包括筒体(13)，其特征在于：所述筒体(13)的外侧分别固定安装有吹风通道(1)、插销杆连杆操作把手(2)、外部散热孔板(3)、插销杆连杆操作机构(12)与吊装孔板固定梁(15)，所述吹风通道(1)的一侧固定安装有吹风进入口(9)，所述吹风进入口(9)的内壁一侧固定安装有翻转门推杆(10)，所述吹风通道(1)的底部分别固定安装有支脚(7)与导向固定块(8)，所述吊装孔板固定梁(15)的一端分别固定安装有上吊装孔板(4)与下吊装孔板(6)，所述上吊装孔板(4)的一侧安装有行程开关感应块(5)，所述筒体(13)的顶部固定安装有插销杆固定梁(14)，所述插销杆固定梁(14)的底部固定安装有插销杆套固定块(17)，所述插销杆套固定块(17)上固定安装有插销杆套(16)，所述插销杆套(16)的内部活动安装有插销杆(11)，所述插销杆连杆操作机构(12)内部活动安装有旋钮柱塞(18)。
2.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，其特征在于：所述吹风通道(1)的出口孔均匀分布在筒体(13)的内壁上。
3.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，其特征在于：所述筒体(13)的表面预埋有螺杆柱。
4.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，其特征在于：所述插销杆连杆操作把手(2)与插销杆连杆操作机构(12)之间采用焊接连接方式。
5.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层设备反应腔体的冷却罩，其特征在于：所述导向固定块(8)通过螺丝固定安装在吹风通道(1)底板预埋的螺母内。
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Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20060080506A (ko) * | 2005-01-05 | 2006-07-10 | 삼성전자주식회사 | 화학 기상 증착 설비 및 이의 냉각유체 온도 제어 방법 |
| CN202116642U (zh) * | 2010-07-23 | 2012-01-18 | 上海蓝宝光电材料有限公司 | 一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖 |
| EP2628823A2 (en) * | 2012-02-17 | 2013-08-21 | Pinecone Material Inc | Chemical vapour deposition apparatus |
| TW201437379A (zh) * | 2012-11-23 | 2014-10-01 | Ebner Ind Ges M B H | 使熱處理工件緩慢冷却之冷却罩 |
| KR20150057679A (ko) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 주식회사 엘지화학 | 기판 냉각장치 및 이를 포함하는 화학기상 증착장치 |
| DE102014203391A1 (de) * | 2014-02-25 | 2015-08-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Kühlschirmbefestigung |
| CN109423620A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 映瑞光电科技(上海)有限公司 | 一种mocvd设备的尾管冷却装备 |
| CN209456569U (zh) * | 2018-12-13 | 2019-10-01 | 杭州海莱德智能科技有限公司 | 一种用于平板式pecvd镀膜系统的水冷组件 |
| CN213327824U (zh) * | 2020-10-09 | 2021-06-01 | 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 | 一种用于cvd涂层设备反应腔体的冷却罩 |
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- 2020-10-09 CN CN202011074111.9A patent/CN112111728B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20060080506A (ko) * | 2005-01-05 | 2006-07-10 | 삼성전자주식회사 | 화학 기상 증착 설비 및 이의 냉각유체 온도 제어 방법 |
| CN202116642U (zh) * | 2010-07-23 | 2012-01-18 | 上海蓝宝光电材料有限公司 | 一种金属有机物化学气相沉积设备的水冷顶盖 |
| EP2628823A2 (en) * | 2012-02-17 | 2013-08-21 | Pinecone Material Inc | Chemical vapour deposition apparatus |
| TW201437379A (zh) * | 2012-11-23 | 2014-10-01 | Ebner Ind Ges M B H | 使熱處理工件緩慢冷却之冷却罩 |
| KR20150057679A (ko) * | 2013-11-20 | 2015-05-28 | 주식회사 엘지화학 | 기판 냉각장치 및 이를 포함하는 화학기상 증착장치 |
| DE102014203391A1 (de) * | 2014-02-25 | 2015-08-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Kühlschirmbefestigung |
| CN109423620A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 映瑞光电科技(上海)有限公司 | 一种mocvd设备的尾管冷却装备 |
| CN209456569U (zh) * | 2018-12-13 | 2019-10-01 | 杭州海莱德智能科技有限公司 | 一种用于平板式pecvd镀膜系统的水冷组件 |
| CN213327824U (zh) * | 2020-10-09 | 2021-06-01 | 常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司 | 一种用于cvd涂层设备反应腔体的冷却罩 |
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