CN112051454B - 基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法及系统,包括:获取由太赫兹发射模块产生的太赫兹波;将所述太赫兹波依次经过聚焦模块和波束调控模块,以将聚焦产生的高斯波束转换为准零阶贝塞尔波束,并入射至待测高温材料中;将经待测高温材料反射后的反射信号依次经过波束调控模块和聚焦模块返回至太赫兹接收模块,并根据反射信号的成像得到待测高温材料的厚度和介电常数。通过在太赫兹聚焦模块后加入波束调控模块将准直的高斯波束生成准零阶贝塞尔波束,实现兼容较长焦深和较小的焦斑尺寸,满足较厚高温材料的测试。
Description
技术领域
本发明涉及高温材料检测技术领域,特别是涉及一种基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法及系统。
背景技术
本部分的陈述仅仅是提供了与本发明相关的背景技术信息,不必然构成在先技术。
随着航空航天、遥感通信、雷达导航等各领域技术的发展,越来越多的器部件工作在太赫兹频段(0.1THz~3THz),而涂覆在航天高速飞行器舱体以及涡轮发动机叶片等零部件上的涂层材料会工作在很高的温度环境下,而材料在高温条件下的电磁参数是呈现非线性变化,它们的变化规律很难掌握。在实际应用中,如何准确测试出这些材料在高温环境下的介电特性参数(复相对介电常数)对于其应用是至关重要的。
介质材料的介电性能会随温度发生变化,现有的大部分太赫兹频段的高温材料介电性能测试方法无法解决未知厚度情况下介质材料电磁参数的测试问题,极少数出现了通过一维距离像测试材料电厚度的情况,都是基于高斯波束和二维机械扫描平台,无法解决非平面情况以及材料厚度较厚情况下测试不准确等问题。
现有太赫兹频段的高温材料介电性能测试方法的工作原理是:将待测材料加热到设定的温度后,太赫兹发射模块产生的太赫兹信号经太赫兹天线发射出去,由太赫兹聚焦透镜进行汇聚,聚焦波束透过隔热罩入射到待测高温材料上,经待测高温材料反射的信号沿原路返回到太赫兹接收模块,通过一维距离像估计得到待测材料电厚度,并由此求出待测高温材料的介电常数,通过平面扫描架扫描完成整个被测高温材料的厚度和介电常数的测量。
上述方法采用平面扫描架进行被测材料的二维扫描,该方法被限制应用在平面型材料的厚度及介电性能的测量;同时该方法使用聚焦透镜进行高斯波束的准直和聚焦,而高斯波束的焦深和束腰半径成平方关系,所以基于高斯波束的太赫兹系统难以兼具较长的焦深和较小的焦斑,对材料的厚度及大小提出严格的要求,所以,基于高斯波束和二维机械扫描平台,无法解决非平面情况以及材料厚度较厚情况下测试不准确等问题。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提出了一种基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法及系统,通过在太赫兹聚焦模块后加入波束调控模块将准直的高斯波束生成准零阶贝塞尔波束,实现兼容较长焦深和较小的焦斑尺寸,满足较厚高温材料的测试。
为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
第一方面,本发明提供一种基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法,包括:
获取由太赫兹发射模块产生的太赫兹波;
将所述太赫兹波依次经过聚焦模块和波束调控模块,以将聚焦模块产生的高斯波束转换为准零阶贝塞尔波束,并入射至待测高温材料中;
将经待测高温材料反射后的反射信号依次经过波束调控模块和聚焦模块返回至太赫兹接收模块,并根据反射信号的成像得到待测高温材料的厚度和介电常数。
第二方面,本发明提供一种基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测系统,包括:太赫兹发射模块、聚焦模块、波束调控模块、太赫兹接收模块和上位机;
所述太赫兹发射模块将产生的太赫兹波传输至聚焦模块;
所述聚焦模块对太赫兹波进行聚焦和准直后,生成高斯波束传输至波束调控模块;
所述波束调控模块将高斯波束转换为准零阶贝塞尔波束,并入射至待测高温材料中;
所述太赫兹接收模块接收由待测高温材料反射的反射信号;
所述上位机根据反射信号的成像得到待测高温材料的厚度和介电常数。
与现有技术相比,本发明的有益效果为:
本发明通过在聚焦模块后加入波束调控模块,将聚焦模块出射的高斯波束整形成准零阶贝塞尔波束,从而保持在较长传播距离内保持主瓣宽度几乎不变,提高系统测厚能力和被测材料厚度、介电性能测量的准确性,实现较长焦深和较小的焦斑尺寸,满足较厚高温材料的测试,且测试精度高。
因为高温材料厚度和介电常数的测量需要使垂直入射到被测高温材料的波束为平面波(或者近似),本发明通过采用六自由度机械手调整太赫兹波的入射角度,可满足曲面型材料的厚度及介电常数的测量,实用性强。
本发明在安全性考虑上,系统采用非接触设计,同时被测高温材料上方设计高温透波罩,防止温度扩散,并对太赫兹收发模块进行热隔离,起到保护作用。
由于太赫兹收发模块结构尺寸比较小,本发明中该模块同收发天线及聚焦模块、波束调控模块一起固定在六自由度机械手上,便于系统在各种不同的应用场合使用。
附图说明
构成本发明的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。
图1为传统的太赫兹高温材料介电性能及厚度测试系统示意图;
图2为本发明实施例1提供的基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法流程图;
图3为本发明实施例2提供的基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测系统示意图;
其中,1、六自由度机械手;2、太赫兹收发模块;3、太赫兹天线;4、聚焦模块;5、波束调控模块;6、透波罩;7、惰性气体保护装置;8、被测高温材料;9、加热体;10、温控装置。
具体实施方式:
下面结合附图与实施例对本发明做进一步说明。
应该指出,以下详细说明都是示例性的,旨在对本发明提供进一步的说明。除非另有指明,本文使用的所有技术和科学术语具有与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本发明的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形,意图在于覆盖不排他的包含,例如,包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元,而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
在不冲突的情况下,本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
实施例1
如图1所示为现有的基于太赫兹频段的高温材料介电性能测试方法,其工作原理:将待测材料加热到设定的温度后,太赫兹发射模块产生的太赫兹信号经太赫兹天线发射出去,由太赫兹聚焦透镜进行汇聚,聚焦波束透过隔热罩入射到待测材料上,经材料反射的信号沿原路返回到太赫兹接收模块,通过一维距离像估计的待测材料电厚度,并由此求出材料的介电常数,通过平面扫描架扫描完成整个被测材料的厚度和介电常数的测量。该方法无法解决未知厚度情况下介质材料电磁参数的测试问题,以及无法解决非平面情况以及材料厚度较厚情况下测试不准确等问题。
针对现有技术中存在的问题,本实施例提供一种基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法,如图2所示,包括:
获取由太赫兹发射模块产生的太赫兹波;
将所述太赫兹波依次经过聚焦模块和波束调控模块,以将聚焦模块产生的高斯波束转换为准零阶贝塞尔波束,并入射至待测高温材料中;
将经待测高温材料反射后的反射信号依次经过波束调控模块和聚焦模块返回至太赫兹接收模块,并根据反射信号的成像得到待测高温材料的厚度和介电常数。
在本实施例中,该方法还通过采用机械控制模块调整太赫兹波的入射角度和入射距离;具体为通过不断调整观测反射信号强度,保证垂直入射;
因为材料厚度和介电常数的测量需要使垂直入射到被测材料的波束为平面波,或者近似为平面波,所以,对于曲面材料来说,常规方法无法保证波束的入射角度,故,本实施例通过采用六自由度机械手调整太赫兹波的入射角度,满足曲面型材料的厚度及介电常数的测量。
在本实施例中,太赫兹发射模块产生不同频段的太赫兹波,通过太赫兹天线发射太赫兹波,以使太赫兹接收模块通过太赫兹天线实现接收不同频段下的反射信号。
在本实施例中,在聚焦模块后增设波束调控模块,波束调控模块将聚焦模块出射的准直高斯波束转换为准零阶贝塞尔波束,从而保持在较长传播距离内,保持主瓣宽度几乎不变,提高系统测厚能力和被测材料厚度、介电性能测量的准确性;
优选地,聚焦模块包括但不限于平凸透镜、双凸透镜、衍射元件、超材料透镜;
优选地,波束调控模块包括但不限于锥透镜、衍射元件等。
在本实施例中,准零阶贝塞尔波束入射至待测高温材料,经待测高温材料反射后的反射信号按原路返回至太赫兹接收模块,即依次经过波束调控模块和聚焦模块,通过太赫兹天线返回至太赫兹接收模块;
在本实施例中,根据反射信号的成像得到待测高温材料的厚度和介电常数,即在未知材料厚度的情况下,通过一维距离像测量待测高温材料的厚度,并根据不同频率下的复反射系数联立方程,通过迭代求出待测高温材料的介电常数。
优选地,一维距离像通过测量涂层材料上下表面反射的太赫兹波可以得到涂层材料的电厚度,同时取不同厚度层的幅度相位信息即可得到成像。
优选地,复反射系数S11为:
其中,z是待测材料相对于自由空间波阻抗的归一化值;β是待测材料的相位常数;
对于非磁性材料,归一化的波阻抗为:;
相位常数β为:;
其中,λ是自由空间波长;d是样品的厚度。
在本实施例中,设计高度集成化的宽频带太赫兹发射及接收模块,采取线性调频体制的工作模式,提升频率扫描速度,快速获得高温材料厚度信息,结合二维扫描,电磁参数反演算法,得到待测高温材料全方位信息,实现高温材料厚度、电磁参数及内部缺陷的检测;
信号产生、发射、接收、下变频等功能全部集成在太赫兹收发模块中,传输中频信号和控制信号,由于太赫兹收发模块结构尺寸比较小,同收发天线及聚焦模块、波束调控模块均可固定在六自由度机械手上,便于在各种不同的应用场合使用。
在安全性考虑上,本实施例采用非接触设计,同时在待测高温材料上方设计高温透波罩,防止温度扩散,并对收发模块进行热隔离,起到保护作用;
优选地,透波罩采用耐高温、透波性好的材料,用来防止温度扩散并对收发模块进行热隔离起到保护作用。
在本实施例中,还通过惰性气体保护装置保护被测高温材料在高温下氧化。
在本实施例中,还通过加热体加热被测高温材料,实现室温到1200℃的变温测试,并保证一定的加热均匀性。
在本实施例中,还通过温控装置控制加热体的升温速度和设置加热温度。
本实施例方法测试精度高,通过产生准零阶太赫兹贝塞尔波束可以在较长传播距离内保持主瓣宽度几乎不变,提高系统测厚能力和被测材料厚度、介电常数测量的准确性;
本实施例方法实用性强,通过采用六自由度机械手调整入射波束与被测高温材料的入射角度和入射距离,来满足不同形状材料,包括平面型、曲面型的厚度和介电性能的测量。
实施例2
如图3所示,本实施例提供基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测系统,包括:太赫兹发射模块、聚焦模块4、波束调控模块5、太赫兹接收模块和上位机;
所述太赫兹发射模块将产生的太赫兹波传输至聚焦模块;
所述聚焦模块4对太赫兹波进行聚焦和准直后,生成高斯波束传输至波束调控模块;
所述波束调控模块5将高斯波束转换为准零阶贝塞尔波束,并入射至待测高温材料8中;
所述太赫兹接收模块接收由待测高温材料反射的反射信号;
所述上位机根据反射信号的成像得到待测高温材料的厚度和介电常数。
在本实施例中,该系统还包括机械控制模块,用于调整太赫兹波的入射角度和入射距离;
因为材料厚度和介电常数的测量需要使垂直入射到被测材料的波束为平面波,或者近似为平面波,所以,对于曲面材料来说,常规方法无法保证波束的入射角度,故,本实施例通过采用六自由度机械手1调整太赫兹波的入射角度,满足曲面型材料的厚度及介电常数的测量。
在本实施例中,所述聚焦模块用于会聚来自太赫兹发射模块通过太赫兹天线3发射的太赫兹波束,包括但不限于平凸透镜、双凸透镜、衍射元件、超材料透镜。
在本实施例中,所述波束调控模块用于将准直的高斯波束生成准零阶贝塞尔波束,包括但不限于锥透镜、衍射元件等。
在本实施例中,该系统还包括透波罩6,所述透波罩使用耐高温、透波性好的材料,用于防止温度扩散并对收发模块进行热隔离起到保护作用。
在本实施例中,该系统还包括惰性气体保护装置7,用于保护被测材料在高温下氧化;
在本实施例中,该系统还包括加热体9,用于加热被测材料,实现室温到1200℃的变温测试,并保证一定的加热均匀性;
在本实施例中,该系统还包括温控装置10,用于控制加热体的升温速度和设置加热温度。
本实施例的系统,将太赫兹收发模块2、聚焦模块4、波束调控模块5均固定在六自由度机械手上,并且在安全性考虑上,采用非接触设计,便于系统在各种不同的应用场合使用。
以上仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
上述虽然结合附图对本发明的具体实施方式进行了描述,但并非对本发明保护范围的限制,所属领域技术人员应该明白,在本发明的技术方案的基础上,本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本发明的保护范围以内。
Claims (7)
1.一种基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法,其特征在于,包括:
获取由太赫兹发射模块产生的太赫兹波;
将所述太赫兹波依次经过聚焦模块和波束调控模块,以将聚焦模块产生的高斯波束转换为准零阶贝塞尔波束,并入射至待测高温材料中;其中,采用六自由度机械手调整太赫兹波的入射角度和入射距离,使太赫兹波垂直入射到待测高温材料中;
将经待测高温材料反射后的反射信号依次经过波束调控模块和聚焦模块返回至太赫兹接收模块,并根据反射信号的成像得到待测高温材料的厚度和介电常数,具体的:通过一维距离成像测量待测高温材料的厚度,并根据不同频率下的复反射系数联立方程,通过迭代求出待测高温材料的介电常数,其中,复反射系数S11为:
式中,z是待测材料相对于自由空间波阻抗的归一化值;β是待测材料的相位常数,对于非磁性材料,归一化的波阻抗为:,相位常数β为:/>,其中,λ是自由空间波长;d是样品的厚度。
2.如权利要求1所述的基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测方法,其特征在于,所述太赫兹发射模块产生不同频率的太赫兹波,以使太赫兹接收模块接收不同频段下的反射信号,通过反射信号的一维距离成像得到待测高温材料的厚度,根据不同频率下的复反射系数联立方程,通过迭代求解得到待测高温材料的介电常数。
3.一种基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测系统,其特征在于,包括:太赫兹发射模块、聚焦模块、波束调控模块、太赫兹接收模块和上位机;
所述太赫兹发射模块将产生的太赫兹波传输至聚焦模块;
所述聚焦模块对太赫兹波进行聚焦和准直后,生成高斯波束传输至波束调控模块;
所述波束调控模块将高斯波束转换为准零阶贝塞尔波束,并入射至待测高温材料中;其中,采用六自由度机械手调整太赫兹波的入射角度和入射距离,使太赫兹波垂直入射到待测高温材料中;
所述太赫兹接收模块接收由待测高温材料反射的反射信号;
所述上位机根据反射信号的成像得到待测高温材料的厚度和介电常数,具体的:通过一维距离成像测量待测高温材料的厚度,并根据不同频率下的复反射系数联立方程,通过迭代求出待测高温材料的介电常数,其中,复反射系数S11为:
式中,z是待测材料相对于自由空间波阻抗的归一化值;β是待测材料的相位常数,对于非磁性材料,归一化的波阻抗为:,相位常数β为:/>,其中,λ是自由空间波长;d是样品的厚度。
4.如权利要求3所述的基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测系统,其特征在于,该系统还包括透波罩,用于防止温度扩散,并对太赫兹发射模块和太赫兹接收模块进行热隔离。
5.如权利要求3所述的基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测系统,其特征在于,该系统还包括惰性气体保护装置,用于保护被测高温材料在高温下氧化。
6.如权利要求3所述的基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测系统,其特征在于,该系统还包括加热体,用于加热被测高温材料,实现室温到1200℃的变温测试。
7.如权利要求6所述的基于太赫兹波的材料高温环境下介电特性检测系统,其特征在于,该系统还包括温控装置,用于控制加热体的升温速度和加热温度。
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