CN112033908B - 一种单光源光纤光声气体传感系统及方法 - Google Patents

一种单光源光纤光声气体传感系统及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112033908B
CN112033908B CN202010748095.0A CN202010748095A CN112033908B CN 112033908 B CN112033908 B CN 112033908B CN 202010748095 A CN202010748095 A CN 202010748095A CN 112033908 B CN112033908 B CN 112033908B
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical fiber
photoacoustic
gas
laser
gas sensing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN202010748095.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112033908A (zh
Inventor
陈珂
郭珉
马凤翔
邱欣杰
于清旭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dalian University of Technology
Electric Power Research Institute of State Grid Anhui Electric Power Co Ltd
Original Assignee
Dalian University of Technology
Electric Power Research Institute of State Grid Anhui Electric Power Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dalian University of Technology, Electric Power Research Institute of State Grid Anhui Electric Power Co Ltd filed Critical Dalian University of Technology
Priority to CN202010748095.0A priority Critical patent/CN112033908B/zh
Publication of CN112033908A publication Critical patent/CN112033908A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112033908B publication Critical patent/CN112033908B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • G01N2021/1704—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in gases
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/39—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using tunable lasers
    • G01N2021/391—Intracavity sample

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

一种单光源光纤光声气体传感系统及方法，属于光纤气体检测技术领域。该气体传感系统包括单光纤微型光声气体传感器件、光纤、激光器驱动电路、激光器、光纤耦合器、光电探测器、信号处理电路、计算机。采用声波敏感的L型悬臂梁以及光纤微型感测结构，将目标气体吸收激光光能产生的光声二次谐波信号转换为光强度的变化，通过测量反射光强度的变化即可实现目标气体浓度的监测。本发明方案采用单个可调谐激光光源，即可实现光声信号的同时激发和探测。相比于传统的光纤光声气体传感，由于不需要额外的信号探测光源，因此可大幅度简化系统结构并降低系统成本。本发明为低成本、快速、高灵敏度、远距离气体泄漏监测提供了一种极具竞争力的技术方案。

Description

一种单光源光纤光声气体传感系统及方法
技术领域
本发明属于光纤气体检测技术领域，涉及一种单光源光纤光声气体传感系统及方法。
背景技术
泄漏气体的实时监测对于家用燃气的安全使用发挥了重要的预警作用，对化工厂、输气管道、气站的安全稳定运行同样具有重要意义。传统的电学气体传感器在易燃易爆气体氛围下可能会引入额外的危险，且在大型电气设备周边易受电磁干扰。
随着激光技术的发展，吸收光谱气体检测技术已经成为优异的气体泄漏监测方案。吸收光谱法具有灵敏度高、气体选择性好、使用寿命长和响应速度快等优点。根据激光与气体分子相互作用机理可将吸收光谱气体检测方案分为直接吸收光谱气体检测方案与间接吸收光谱气体检测方案。可调谐二极管激光吸收光谱(TDLAS)是利用可调谐半导体激光器实现气体浓度检测的直接吸收光谱技术。根据朗伯-比尔定律，目标气体会吸收特定波长的激光，通过出射光相对入射光的强度变化即可得到目标气体的浓度。光声光谱(PAS)气体检测技术是间接吸收光谱气体检测方案的重要分支。部分目标气体分子吸收特定波长的激光，由低能态跃迁到高能态，并通过无辐射跃迁回到低能态，这个过程伴随着热量的释放。以一定的频率调制激光器，气体分子将吸收的光能通过热量周期性的释放出来，导致气体的周期性热膨胀，产生声波。利用换能器拾取声波信息，并将其转化为光信号，通过解调系统即可从光信号中获取声波信息，进而得到气体的浓度。文献Lock-in white-light-interferometry-based all-optical photoacoustic spectrometer.Optics Letters,2018,43(20):5038-5041提出了一种基于光纤声波传感器和共振式光声池的光声光谱气体监测系统，实现了全光学的高灵敏气体检测。然而，较大的感测结构(共振式光声池)和成本高昂的光声探测单元限制了该系统的推广。文献Demonstration of a highlysensitivephotoacoustic spectrometer based on a miniaturized all-opticaldetectingsensor.Optics Express,2017,25(15):17541-17548提出了一种集光声激发与光声探测为一体的遥测式光声光谱气体传感器，实现了全光学气体感测结构的小型化，但传感器件采用两根光纤与解调系统相连，分别用于传输光声激发光和光声探测光。目前报道的光纤光声传感系统均需要采用两个光源，分别用于光声信号的激发和探测，这种复杂的结构及高昂的成本影响了光纤光声传感技术的推广应用。因此，设计一种结构简单、成本低廉的单光源光纤光声光谱气体传感系统具有重要的应用价值。
发明内容
本发明的目的在于提出一种单光源光纤光声气体传感系统及方法，旨在解决目前光纤光声光谱气体检测方案中普遍存在的系统结构复杂和解调成本高等问题，为光纤光声气体检测技术的应用拓展更大的空间。
本发明的技术方案：
一种单光源光纤光声气体传感系统，包括单光纤微型光声气体传感器件1、传感光纤2、激光器驱动电路3、激光器4、光纤耦合器5、光电探测器6、信号处理电路7和计算机8；
所述激光器驱动电路3、激光器4与光纤耦合器5依次连接，激光器4在激光器驱动电路3的作用下以一定的调制频率输出特定波长的激光；所述单光纤微型光声气体传感器件1通过传感光纤2与光纤耦合器5连接，输出光通过传感光纤2进入光纤耦合器5，然后经过2×1耦合器的单端光纤延长线进入单光纤微型光声气体传感器件1；所述单光纤微型光声气体传感器件1主要由光纤准直器9、微型气体感测腔10、感测腔壳体11及L型悬臂梁12构成；所述感测腔壳体11的截面为阶梯结构，其内部空间为微型气体感测腔10；所述L型悬臂梁12设置在感测腔壳体11的下阶梯的上表面上；所述光纤准直器9设置在感测腔壳体11的上阶梯的侧表面，并与感测腔壳体11相连；所述微型气体感测腔10为激光与目标气体相互作用的场所，所述光纤耦合器5的单端与光纤准直器9的尾纤熔融相连，光束由光纤准直器9准直后照射微型气体感测腔10内的待测气体，部分气体吸收一定的光能并发生光声效应，L型悬臂梁12作为声波换能器拾取光声信号，其短臂末端边与圆柱形感测内腔的中轴延长线垂直相交，在光声信号的作用下发生受迫振动，短臂反射光的强度随着L型悬臂梁12的振动发生变化；所述的光纤耦合器5、光电探测器6、信号处理电路7和计算机8依次连接，光电探测器6接收反射光，并将其转变为电信号；信号处理电路7接收电信号并将其传输给计算机8进行数据的提取、处理及显示。
所述激光器4为波长可调谐激光器，通过驱动电流以一定的频率进行波长调制，波长调制中心为目标气体的吸收线中心。
所述光纤耦合器5为2×1的3端耦合器，分光比为50:50。
所述信号处理电路7的核心是二次谐波信号提取单元。
一种单光源光纤光声气体传感方法，利用L型悬臂梁12的声波敏感特性，将光声二次谐波信号转换为光强度的变化，采用单个可调谐激光光源，实现光声信号的同时激发和探测，具体步骤如下：
首先激光器驱动电路3驱动激光器4，使其以一定的调制频率输出特定波长的激光；输出光通过传感光纤2进入2×1光纤耦合器5，光纤耦合器5的单端与单光纤微型光声气体传感器件1连接；激励光被光纤准直器9准直后进入微型气体感测腔10；微型气体感测腔10内的部分待测气体吸收一定的光能并发生光声效应产生光声信号，信号作用于L型悬臂梁12，使其发生受迫振动，L型悬臂梁12的短臂反射光强度随着振动发生变化；光电探测器6接收到的反射光强度也随之发生变化，变化的幅度与气体的浓度成正比；信号处理电路7接收光电探测器6输出的电信号并将其传输给计算机8进行数据的提取、处理及显示。
本发明的原理如下：激光照射微型气体感测腔内的气体，由波长调制PAS气体检测原理可知，部分目标气体吸收一定光能，并在感测腔内发生光声效应。光声信号作用于L型悬臂梁，使其受迫振动。气体对光的吸收和L型悬臂梁的振动均会引起悬臂梁短臂反射光强度的变化。
由Lambert-Beer(朗伯-比尔定律)可知，气体对光的吸收可以表示为：
Pg(v)＝P0(v)[1-exp(-α(v)L)]≈P0(v)α(v)L (1)
Figure BDA0002609057840000041
其中，Pg(v)为目标气体吸收的光功率，P0(v)为入射光功率，α(v)为吸收系数，L为吸收长度，C为气体浓度，αm为气体吸收线处的吸收系数。
气体吸收引起的光衰减信号可以表示为：
Figure BDA0002609057840000042
其中，P0为入射激光的平均功率，pΩ为低频扫描的功率系数，pw为正弦调制的功率系数，m为调制深度系数，w为调制角频率，xm＝(v-vg)/γ为激光波数偏差，γ为吸收线的半高宽，H0(xm)和Hn(xm)为谐波系数。
目标气体发生光声效应引起的L型悬臂梁的振动信号可表示为：
Figure BDA0002609057840000043
其中，Acell为气体吸收引起的光衰减系数。
由光声效应引起的光衰减信号可以表示为：
ΔPPAS＝ηSPA (5)
其中，η为L型悬臂梁受迫振动引起的反射光强度变化系数。
由式(2)和式(4)可知，通过准直器入射微型气体感测腔内的光信号功率衰减量可以表示为：
Figure BDA0002609057840000051
衰减后的光被L型悬臂梁的短臂反射，反射光通过准直器耦合进光纤，再由光纤耦合器分束后由光电探测器接收并转换为电信号。信号处理电路接收电信号，从电信号中提取出波长调制二次谐波信号并将其传输给计算机。计算机从电信号中解调光信号的信息，并由此得到目标气体的浓度。
本发明的有益效果：采用声波敏感的L型悬臂梁以及光纤微型感测结构，将光声二次谐波信号转换为光强度的变化，通过测量反射光强度的变化即可实现目标气体浓度的监测。本发明方案采用单个可调谐激光光源，即可实现光声信号的同时激发和探测。相比于传统的光纤光声气体传感，由于不需要额外的信号探测光源，因此可大幅度简化系统结构并降低系统成本。本发明为低成本、快速、高灵敏度、远距离气体泄漏监测提供了一种极具竞争力的技术方案。
附图说明
图1是本发明的系统结构示意图。
图2是单光纤微型光声气体传感器件的结构示意图。
图中：1单光纤微型光声气体传感器件；2传感光纤；3激光器驱动电路；4激光器；5光纤耦合器；6光电探测器；7信号处理电路；8计算机；9光纤准直器；10微型气体感测腔；11感测腔壳体；12L型悬臂梁。
具体实施方式
以下结合技术方案和附图详细叙述本发明的具体实施方式。
一种单光源光纤光声气体传感系统，包括单光纤微型光声气体传感器件1、传感光纤2、激光器驱动电路3、激光器4、光纤耦合器5、光电探测器6、信号处理电路7、计算机8、光纤准直器9、微型气体感测腔10、感测腔壳体11及L型悬臂梁12。激光器驱动电路3和激光器4集成于一块电路板上；传感光纤2、光纤耦合器5、光纤准直器9之间直接通过光纤熔接机高温熔融相连以降低耦合损耗；输入光经过光纤准直器9后，以近似平行光的形式进入微型气体感测腔10，通过调整L型悬臂梁12的短臂长度或微型气体感测腔10的结构，使得L型悬臂梁12在静止时，短臂末端边与微型气体感测腔10内部圆柱型气室的中轴延长线垂直相交，此时入射光斑的一半被短臂遮挡并被短臂表面反射；以一定的频率调制激光器4，若微型气体感测腔10内含有目标气体，则一部分光能会被气体吸收并通过无辐射跃迁转化为热能，周期性的温度变化在感测腔内产生声波，L型悬臂梁12在光声信号的作用下发生受迫振动，振动幅度与目标气体浓度成正比，垂直于感测腔中轴线方向(z方向)的振动位移导致被L型悬臂梁12反射的光能量随着振动发生变化，反射光的能量变化量与z方向的振动位移量成正比，反射光由光纤准直器9耦合进入传感光纤2并传输到光电探测器6；信号处理电路7采集光电探测器6传输的电信号并将其进行快速傅里叶变换等数字信号处理；计算机8提取信号处理电路7的数据，并对数据进行处理及显示。
其中，传感光纤2为G652单模石英光纤，主要用于激励光和信号光的传输。激光器4为中心波长1532.8nm的分布式反馈(DFB)激光器，在这个波长下，乙炔具有一条较强的吸收线。光纤耦合器5是一种分光比50:50的三端2×1耦合器，单端与单光纤微型光声气体传感器件1相连，双端分别连接激光器4与光电探测器6。光电探测器6为PIN光电二极管。信号处理电路7是基于FPGA的二次谐波信号提取单元。
单光纤微型光声气体传感器件1包含光纤准直器9、微型气体感测腔10、感测腔壳体11及L型悬臂梁12。光纤准直器9是带有尾纤及自聚焦透镜的光束耦合器件，尾纤与光纤耦合器5的单端熔融相连，自聚焦透镜插入感测腔壳体11并对准微型气体感测腔10的中轴线。激励光束被光纤准直器9准直后，以近似平行光的形式照射微型气体感测腔10内的乙炔气体，乙炔气体分子吸收部分光能发生光声效应，光声信号作用于L型悬臂梁12。L型悬臂梁12的受迫振动引起反射光强度的变化，光电探测器6监测L型悬臂梁短臂反射光强的变化并将其传输给信号处理电路7。感测腔壳体11及L型悬臂梁12均采用微机电系统(MEMS)加工制造。感测腔壳体11的外部尺寸为长度26mm、宽度6mm、高度6mm。L型悬臂梁的长臂尺寸为长2mm、宽1mm，短臂尺寸为长1mm、宽1mm，厚度均为10μm。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种单光源光纤光声气体传感系统，其特征在于，该单光源光纤光声气体传感系统包括单光纤微型光声气体传感器件（1）、传感光纤（2）、激光器驱动电路（3）、激光器（4）、光纤耦合器（5）、光电探测器（6）、信号处理电路（7）和计算机（8）；
所述激光器驱动电路（3）、激光器（4）与光纤耦合器（5）依次连接，激光器（4）在激光器驱动电路（3）的作用下以一定的调制频率输出特定波长的激光；所述单光纤微型光声气体传感器件（1）通过传感光纤（2）与光纤耦合器（5）连接，输出光通过传感光纤（2）进入光纤耦合器（5），然后经过2×1耦合器的单端光纤延长线及传感光纤（2）进入单光纤微型光声气体传感器件（1）；所述单光纤微型光声气体传感器件（1）主要由光纤准直器（9）、微型气体感测腔（10）、感测腔壳体（11）及L型悬臂梁（12）构成；所述感测腔壳体（11）的截面为阶梯结构，其内部空间为微型气体感测腔（10）；所述L型悬臂梁（12）设置在感测腔壳体（11）的下阶梯的上表面上；所述光纤准直器（9）设置在感测腔壳体（11）的上阶梯的侧表面，并与感测腔壳体（11）相连；所述微型气体感测腔（10）为激光与目标气体相互作用的场所，所述光纤耦合器（5）的单端与光纤准直器（9）通过传感光纤（2）相连，光束由光纤准直器（9）准直后照射微型气体感测腔（10）内的待测气体，部分气体吸收一定的光能并发生光声效应，L型悬臂梁（12）作为声波换能器拾取光声信号，其短臂末端边与圆柱形感测内腔的中轴延长线垂直相交，在光声信号的作用下发生受迫振动，短臂反射光的强度随着L型悬臂梁（12）的振动发生变化；所述的光纤耦合器（5）、光电探测器（6）、信号处理电路（7）和计算机（8）依次连接，光电探测器（6）接收反射光，并将其转变为电信号；信号处理电路（7）接收电信号并将其传输给计算机（8）进行数据的提取、处理及显示。
2.根据权利要求1所述的单光源光纤光声气体传感系统，其特征在于，所述激光器（4）为波长可调谐激光器，通过驱动电流以一定的频率进行波长调制，波长调制中心为目标气体的吸收线中心。
3.根据权利要求1或2所述的单光源光纤光声气体传感系统，其特征在于，所述光纤耦合器（5）为2×1的3端耦合器，分光比为50:50。
4.根据权利要求1或2所述的单光源光纤光声气体传感系统，其特征在于，所述信号处理电路（7）的核心是二次谐波信号提取单元。
5.根据权利要求3所述的单光源光纤光声气体传感系统，其特征在于，所述信号处理电路（7）的核心是二次谐波信号提取单元。
6.一种采用如权利要求1-5任一所述的单光源光纤光声气体传感系统的气体传感方法，利用L型悬臂梁（12）的声波敏感特性，将光声二次谐波信号转换为光强度的变化，采用单个可调谐激光光源，实现光声信号的同时激发和探测，其特征在于，步骤如下：
首先激光器驱动电路（3）驱动激光器（4），使其以一定的调制频率输出特定波长的激光；输出光通过传感光纤（2）进入2×1光纤耦合器（5），光纤耦合器（5）的单端与单光纤微型光声气体传感器件（1）连接；激励光被光纤准直器（9）准直后进入微型气体感测腔（10）；微型气体感测腔（10）内的部分待测气体吸收一定的光能并发生光声效应产生光声信号，信号作用于L型悬臂梁（12），使其发生受迫振动，L型悬臂梁（12）的短臂反射光强度随着振动发生变化；光电探测器（6）接收到的反射光强度也随之发生变化，变化的幅度与气体的浓度成正比；信号处理电路（7）接收光电探测器（6）输出的电信号并将其传输给计算机（8）进行数据的提取、处理及显示。
CN202010748095.0A 2020-07-30 2020-07-30 一种单光源光纤光声气体传感系统及方法 Expired - Fee Related CN112033908B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010748095.0A CN112033908B (zh) 2020-07-30 2020-07-30 一种单光源光纤光声气体传感系统及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010748095.0A CN112033908B (zh) 2020-07-30 2020-07-30 一种单光源光纤光声气体传感系统及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112033908A CN112033908A (zh) 2020-12-04
CN112033908B true CN112033908B (zh) 2021-08-10

Family

ID=73583545

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010748095.0A Expired - Fee Related CN112033908B (zh) 2020-07-30 2020-07-30 一种单光源光纤光声气体传感系统及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112033908B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113483959B (zh) * 2021-06-30 2023-03-14 南京工程学院 动车组气动设备气体泄漏无源检测装置及方法
CN114062274A (zh) * 2021-11-18 2022-02-18 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 一种用于油中溶解气体检测的光纤光声传感系统及方法
CN114607944A (zh) * 2022-02-24 2022-06-10 之江实验室 一种天然气管道泄漏监测装置及方法
CN117233112A (zh) * 2023-09-04 2023-12-15 国网甘肃省电力公司电力科学研究院 一种微型光纤痕量乙炔气体检测系统及方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100526819C (zh) * 2006-11-16 2009-08-12 国家纳米技术与工程研究院 光纤测量振动装置的测量振动方法
FI20070713A0 (fi) * 2007-09-18 2007-09-18 Noveltech Solutions Ltd Elektromagneettisen säteilyn detektorilaite ja menetelmä elektromagneettisen säteilyn mittaamiseksi
CN201464025U (zh) * 2009-07-10 2010-05-12 山东大学 光纤光栅声传感器
US9243998B2 (en) * 2011-07-07 2016-01-26 Honeywell International Inc. Resonant photo acoustic system
CN110736703A (zh) * 2018-07-19 2020-01-31 南京诺威尔光电系统有限公司 高灵敏光声光谱检测装置与方法
CN109115688B (zh) * 2018-09-10 2020-11-03 大连理工大学 一种光纤遥测式多功能气体听漏仪器及方法
CN110207807A (zh) * 2019-07-10 2019-09-06 国网上海市电力公司 一种光纤振动传感器及其测量振动的方法
CN110823809A (zh) * 2019-12-03 2020-02-21 大连理工大学 一种抗电磁干扰的油中溶解气体原位测量系统及方法
CN110763632A (zh) * 2019-12-10 2020-02-07 国家电网有限公司 一种变压器油中溶解气体的浓度检测系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN112033908A (zh) 2020-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112033908B (zh) 一种单光源光纤光声气体传感系统及方法
CN101055243B (zh) 光纤气体传感的方法和传感器
CN110346302B (zh) 基于聚一氯对二甲苯的膜片共振式气体传感器及检测系统
CN113252572B (zh) 一种光纤尖式光声气体传感系统及方法
CN109115688B (zh) 一种光纤遥测式多功能气体听漏仪器及方法
CN114062273B (zh) 一种抗干扰光纤光声气体传感系统及方法
CN201749080U (zh) 基于分布反馈光纤激光器的光声光谱气体检测系统
CN201034929Y (zh) 光纤气体传感器
CN101936878B (zh) 基于分布反馈光纤激光器的光声光谱气体检测系统
CN112067114B (zh) 一种基于双包层光纤的振动测量装置
CN212134870U (zh) 一种局部放电检测用光纤双法珀腔超声波传感器
CN201811917U (zh) 一种基于马赫曾德干涉仪的光声光谱气体检测系统
CN111812042A (zh) 一种基于石墨烯薄膜的回音壁微球分子气体传感器
US11940375B2 (en) Fiber-optic photoacoustic sensing probe capable of resisting interference from ambient noise, and sensing system
CN112881299B (zh) 基于无源音叉的干涉式全光纤光声光谱系统及其探测方法
CN107271546B (zh) 基于硅悬臂梁及其匹配共振管的光声光谱气体检测系统
CN102692268B (zh) 一种用于结构振动检测的分布式光纤振动传感器
CN201993214U (zh) 一种用于结构振动检测的分布式光纤振动传感器
CN213957138U (zh) 一种抗环境噪音干扰的光纤光声传感探头及传感系统
CN214067434U (zh) 一种分光探测的光衰减器
CN100507473C (zh) 单端光纤圈反射式振动、声波传感器
CN111664880A (zh) 一种基于法布里珀罗的光纤传感器及其应用
CN116818673A (zh) 一种遥测式光纤光声气体传感系统及方法
CN117629897A (zh) 基于波长调制光声光谱的分布式气体检测装置及方法
CN216560249U (zh) 一种光纤光声气体传感系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20210810

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee