CN111983985A - 一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置，包括：预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息，根据所述步骤序号及所述序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑该步骤信息的第一约束条件；根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示；当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示，从而解决了物料路径不可达或者腔室漏做工艺的问题。

Description

一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置。

背景技术

半导体设备控制软件可以实现半导体设备的自动化生产任务，编辑自动化生产任务时需要设定参与自动化生产任务的物料、物料的路径、物料的起始模块和终止模块、调度模式等等信息。半导体设备控制软件将这些信息传递给调度，由调度来完成执行自动化生产任务。

现有技术中，半导体设备控制软件以图形化方式编辑和显示自动化生产任务，该自动化生产任务中物料的路径包括物料依次经过的腔室信息以及在每个经过的腔室执行的工艺配方信息和使用的腔室槽位信息。

上述以图形化方式编辑和显示自动化生产任务，由于用户可以任意编辑路径，并且半导体设备控制软件并不会对编辑的物料路径的合法性和完整性进行检查，有可能会出现物料路径不可达或者腔室漏做工艺的问题。

发明内容

本申请提供了一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置，以解决现有以图形化方式编辑物料路径存在物料路径不可达或者腔室漏做工艺的问题。

为了解决上述问题，本申请公开了一种物料路径的建立及编辑方法，包括：

预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息；

根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑所述步骤信息的第一约束条件；

根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示；

当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。

为了解决上述问题，本申请还公开了一种物料路径的建立及编辑方法，包括：

预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息，

根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑该步骤信息的第一约束条件；

判断当前待编辑的步骤是否存在子步骤，若判断结果为是，则根据子步骤序号及所述子步骤序号对应的子步骤信息，为每个所述子步骤设置编辑该子步骤信息的第二约束条件；

根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示；

当接收到对所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否同时满足第一约束条件、第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。

可选的，所述将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示，包括：

在所述控制界面上以行列式的列表方式显示所述物料路径，所述步骤序号包括物料路径的工艺步骤号；所述步骤序号对应的步骤信息至少包括腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息；其中，所述物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号、所述物料路径的第二列节点为腔室节点、所述物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息、所述物料路径的第四列节点为工艺配方信息。

可选的，所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作；

所述第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺配方信息不同。

可选的，所述若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径，包括：

编辑并显示所述控制界面的所述第一列节点，当检测到用户触发所述工艺步骤号添加操作时，弹出第一下拉列表，接收用户通过所述第一下拉列表选择的所述工艺步骤号；

编辑并显示所述控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点；

编辑并显示所述控制界面的所述第三列节点，当检测到用户触发工艺腔室节点的腔室槽位添加操作时，弹出第三下拉列表，接收用户通过所述第三下拉列表选择的工艺腔室槽位信息；

编辑并显示所述控制界面的所述第四列节点，当检测到用户触发工艺腔室工艺配方添加操作时，弹出第四下拉列表，接收用户通过所述第四下拉列表选择的工艺配方信息。

可选的，所述编辑并显示控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点的步骤包括：

获取待编辑行的工艺步骤号；

判断所述待编辑行是否是第一行，若是，并且所述待编辑行的工艺步骤号为1，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第一腔室信息；

若所述待编辑行不是第一行，则获取所述待编辑行的上一行的工艺步骤号，并将所述上一行的工艺步骤号作为待编辑行的工艺步骤号，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第二腔室信息，其中，所述第二腔室信息为除去所述上一行的工艺步骤号选择的所述第一腔室信息之外的腔室信息。

可选的，所述编辑并显示控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点的步骤包括：

若所述待编辑行不是第一行，并且所述工艺步骤号不为1，则判断所述待编辑行的工艺步骤号是否大于1，若是，则遍历控制界面中的行列式物料路径；

判断待编辑行的工艺步骤号与当前遍历行的工艺步骤号之差是否等于1，若是，则获取当前遍历行的工艺腔室信息；

从预先设置的腔室节点配置文件中获取全部腔室信息；

在所述全部腔室信息中筛选出与当前遍历行的工艺腔室信息相同的腔室信息；

获取所述当前遍历行的工艺腔室信息的机械手信息，并存储于第一机械手列表，所述第一机械手列表用于存储当前遍历行的工艺腔室周围的机械手信息。

可选的，所述方法还包括：

从预先设置的机械手节点配置文件中获取第二机械手列表，所述第二机械手列表用于存储全部机械手信息；

从所述第二机械手列表中选择第一个机械手信息；

判断所述第一个机械手信息是否存在于所述第一机械手列表中，若是获取所述第一个机械手信息可到达的腔室信息；

从所述腔室信息中选择第一个腔室信息；

判断所述第一个腔室信息的类型，并根据所述第一个腔室信息的类型将所述第一个腔室信息存储于第二下拉列表；

判断所述第一个腔室信息是否是所述第一个机械手可到达的最后一个腔室信息，若否，则返回所述从所述腔室信息中选择第一个腔室信息的步骤继续执行；

对所述第一个机械手可到达的全部腔室信息进行遍历之后，则返回从所述第二机械手列表中选择第一个机械手信息的步骤继续执行。

可选的，所述方法还包括：

所述控制界面设置了记录接口，通过调用所述记录接口可以查看编辑物料路径的过程。

为了解决上述问题，本申请还公开了一种物料路径的建立及编辑装置，包括：

存储模块，用于存储预先获取的待显示路径的所有步骤及对应的步骤信息、用于存储预先获取的每个步骤中所包含的子步骤及对应的子步骤信息、以及用于存储为每个步骤所设置的编辑该步骤信息的第一约束条件、为每个子步骤所设置的编辑该子步骤信息的第二约束条件；所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作；所述第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺配方信息不同；

路径生成模块，连接所述存储模块、所述显示模块，用于根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，生成所述物料路径；

判断编辑模块，连接所述存储模块、所述显示模块，用于当接收到对所述步骤信息或所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否同时满足第一约束条件和第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并通过所述显示模块在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则通过所述显示模块显示非法编辑提示；

显示模块，用于在控制界面以行列式的列表方式显示物料路径，其中，所述物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号、所述物料路径的第二列节点为腔室节点、所述物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息、所述物料路径的第四列节点为工艺配方信息。

与现有技术相比，本申请包括以下优点：

首先，本申请预先获取待显示路径的所有步骤序号及步骤序号对应的步骤信息，可以方便用户清晰的了解显示路径的信息，然后根据步骤序号及步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑所述步骤信息的第一约束条件，根据步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示，通过将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示可以直观的看到物料路径的步骤序号以及步骤信息，方便用户查看，并且物料路径以列表的形式进行显示与现有的图形化编辑方式相比，占用界面面积小。

进一步的，当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑，通过使用第一约束条件对编辑请求进行判断，从而避免了物料路径中某步骤信息之间不可达或漏做工艺的问题。

当然，实施本申请的任一产品不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

图1是实施本申请实施例所述一种物料路径的建立及编辑方法的硬件框架结构示意图；

图2是本申请实施例一所述一种物料路径的建立及编辑方法的流程图；

图3是本申请实施例二所述一种物料路径的建立及编辑方法的流程图；

图4是本申请实施例以行列式的列表方式显示物料路径的示意图；

图5是本申请实施例采用本申请物料路径建立及编辑方法生成的所述物料路径的示意图；

图6是本申请实施例三所述一种物料路径的建立及编辑方法的流程图；

图7是本申请实施例四所述一种物料路径的建立及编辑方法的流程图；

图8是本申请实施例五所述一种物料路径的建立及编辑装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步详细的说明。

参照图1，其示出了实施本申请实施例所述一种物料路径的建立及编辑方法的硬件框架结构示意图，具体包括：

储料室LP1-LP2、大气机械手ATR、传输腔室LA-LB、传输腔室内的机械手VTR以及工艺腔室Dx、工艺腔室Pc、工艺腔室Ti、和工艺腔室Cu。

储料室LP1-LP2通过大气机械手ATR与传输腔室LA-LB连接，传输腔室LA-LB与腔室内机械手VTR连接，在腔室内机械手VTR的周围分布有工艺腔室Dx、工艺腔室Pc、工艺腔室Ti、和工艺腔室Cu。

在实际应用中，物料路径的传输方式为：大气机械手ATR从储料室LP1-LP2取出物料运输到传输腔室LA-LB，传输腔室内机械手VTR从传输腔室LA-LB将物料运输到各个工艺腔室，各个工艺腔室再根据工艺腔室槽位信息和工艺配方信息对物料进行加工从而形成物料路径。

实施例一

基于上述框架结构示意图，参照图2，示出了本申请实施例一所述一种物料路径的建立及编辑方法的流程图，具体包括：

步骤201：预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息。

显示路径中的所有步骤序号包括物料路径的工艺步骤号，该工艺步骤号可以按照数字或者罗马字母进行标记，也可以根据实际情况采用适当方式实现。

步骤序号对应的步骤信息包括多种，例如：腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息等等，但不限于此，其它任意适当的步骤信息也在本申请的步骤信息的范围之中，本申请对此不作限制。

步骤202：根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑所述步骤信息的第一约束条件。

其中，第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作。

在实际应用中，当需要对步骤序号对应的步骤信息进行编辑操作时，可以按照逐行逐列依次对步骤序号对应的步骤信息进行编辑。

步骤203：根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示。

根据步骤信息按照逐行逐列依次执行编辑操作，从而建立一条物料路径，将建立的物料路径以行列式的列表方式显示出来，然后在进行下一条物料路径的建立以及显示。

步骤204：当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则步骤205，若判断结果为否，则执行步骤206。

步骤205：接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径。

步骤206：显示非法编辑提示。

在具体应用中，接收到对步骤信息的编辑请求时，判断编辑请求是否满足第一约束条件，也就是说，本申请对接收到的所有步骤信息使用第一约束条件进行判断，若满足第一约束条件，接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径，若不满足第一约束条件，则显示非法编辑的提示，通过设置第一约束条件，可以防止用户对步骤信息的非法编辑。

本实施例，预先获取待显示路径的所有步骤序号及步骤序号对应的步骤信息，可以方便用户清晰的了解显示路径的信息，然后根据步骤序号及步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑所述步骤信息的第一约束条件，根据步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示，通过将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示可以直观的看到物料路径的步骤序号以及步骤信息，方便用户查看，并且物料路径以列表的形式进行显示与现有的图形化编辑方式相比，占用界面面积小。

进一步的，当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑，通过使用第一约束条件对编辑请求进行判断，从而避免了物料路径中某步骤信息之间不可达造成漏做工艺的问题。

实施例二

基于上述物料路径生成方法的框架结构示意图，参照图3，示出了本申请实施例二所述一种物料路径的建立及编辑方法的流程图，具体包括：

步骤301：预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息。

步骤序号对应的步骤信息包括多种，例如：腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息等等，但不限于此，其它任意适当的步骤信息也在本申请的步骤信息的范围之中，本申请对此不作限制。

步骤序号包括物料路径的工艺步骤号；所述步骤序号对应的步骤信息至少包括腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息。

步骤302：根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑该步骤信息的第一约束条件。

所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作。

步骤303：判断当前待编辑的步骤是否存在子步骤，若判断结果为是，则执行步骤304，若判断结果为否，则执行步骤307。

步骤304：根据子步骤序号及所述子步骤序号对应的子步骤信息，为每个所述子步骤设置编辑该子步骤信息的第二约束条件。

其中，第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息不同。

步骤305：根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示。

步骤信息以及步骤子信息均包括腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息等等，并且步骤子信息是与步骤信息并列的步骤。

根据步骤信息、子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件建立物理路径，并将建立的物料路径以行列式的列表方式显示，在控制界面上以行列式的列表方式显示物料路径的示意图，如图4所示，其中，物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号Step、物料路径的第二列节点为腔室节点Chamber、物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息Slot、物料路径的第四列节点为工艺配方信息Recipe，然后逐行逐列依次在相应的列节点上编辑相应的步骤信息以及步骤子信息，形成图4所示的行列式的物料路径，也就是说，在图4中，在选择第一行之后，然后按照从第一列节点到第四列节点的顺序，依次添加腔室节点、工艺腔室槽位信息以及工艺配方信息，也即只有在第一列节点添加完成之后，再添加第二列节点，在第二列节点添加完成之后，再添加第三列节点，在第三列节点添加完成之后，再添加第四列节点。

腔室节点可以包括传输腔室节点和工艺腔室节点，工艺腔室槽位信息是指工艺腔室内放置物料的位置。

在实际应用中根据步骤信息、子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件建立物料路径的具体过程如下：

从待显示路径的所有步骤序号中选择出步骤序号，按照第一约束条件对步骤子信息中的腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息进行添加。

当对步骤子信息中的腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息进行添加时，按照第二约束条件进行添加，具体的，当对步骤子信息中的腔室节点信息进行添加时，是从之前的步骤信息中已经选择的腔室信息中选择剩余的腔室信息作为步骤子信息的腔室信息，也就是说，步骤信息和步骤子信息选择的腔室信息不同。而对步骤子信息中的工艺腔室槽位信息、工艺配方信息进行添加时，可以选择与步骤信息不同的工艺腔室槽位信息及工艺配方信息，也可以选择与步骤信息相同的工艺腔室槽位信息及工艺配方信息。

在实际应用中还可以在控制界面上设置有插入按钮、删除按钮和清除按钮。

当检测到用户点击物料路径的所述插入按钮时，则在物料路径选中的位置处插入一行空行，然后对所述空行内的第一列至第四列中的信息进行添加。当检测到用户点击物料路径的所述删除按钮时，则在物料路径选中的位置处删除选择的行。当检测到用户点击物料路径的所述清除按钮时，则清除所述物料路径的内容。

步骤306：当接收到对所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述子步骤信息的编辑请求是否同时满足第一约束条件、第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径。

若判断结果为否，则显示非法编辑提示，流程结束。

步骤306若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径包括：

编辑并显示所述控制界面的所述第一列节点，当检测到用户触发所述工艺步骤号添加操作时，弹出第一下拉列表，接收用户通过所述第一下拉列表选择的所述工艺步骤号。

控制界面的第一列节点，当检测到用户触发工艺步骤号添加操作时，本实施例中当检测到用户点击图4中的添加按钮时，弹出第一下拉列表，接收用户通过所述第一下拉列表选择的所述工艺步骤号，并在控制界面的第一列节点上显示选择的工艺步骤号。

编辑并显示所述控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点。

控制界面的第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，本实施例中当检测到用户点击图4中的第二列的添加按钮时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点，并在控制界面的第二列节点上显示选择的腔室节点的名称。

编辑并显示所述控制界面的所述第三列节点，当检测到用户触发工艺腔室节点的腔室槽位添加操作时，弹出第三下拉列表，接收用户通过所述第三下拉列表选择的工艺腔室槽位信息。

在实际应用中，工艺腔室是有多个腔室槽位信息，因此在第三下拉列表中工艺腔室槽位信息可以包括0或者1或者2或者3，也可以更多，其中，0代表可以选择多个槽位信息中的任意一个，而1、2、3分别代表的是选择槽位1、槽位2以及槽位3。

控制界面的第三列节点，当检测到用户触发工艺腔室槽位信息添加操作时，本实施例中当检测到用户点击图4中的第三列的添加按钮时，弹出第三下拉列表，接收用户通过所述第三下拉列表选择的工艺腔室槽位信息，并在控制界面的第三列节点上显示选择的工艺腔室槽位信息。

编辑并显示所述控制界面的所述第四列节点，当检测到用户触发腔室工艺配方添加操作时，弹出第四下拉列表，接收用户通过所述第四下拉列表选择的工艺配方信息。

控制界面的第四列节点，当检测到用户触发腔室工艺配方添加操作时，本实施例中当检测到用户点击图4中的第四列的添加按钮时，弹出第四下拉列表，接收用户通过所述第四下拉列表选择的工艺配方信息，并在控制界面的第四列节点上显示选择的工艺配方信息。通过上述操作完成了对控制界面的行列式的物料路径编辑操作，最终添加完成的行列式物料路径，如图5所示。

在图5中，若用户在第一行第一列节点编辑完成后，编辑第一行的第二列腔室节点时才会显示下拉列表，否则无法输入腔室信息，只有编辑了第一行的第二列腔室节点之后，编辑第一行的工艺腔室槽位信息和工艺配方信息时才会显示下拉列表否则无法输入槽位号信息和工艺配方信息。这保证了用户编辑路径是按照先编辑工艺步骤号，然后编辑腔室节点，最后编辑槽位信息和工艺配方的顺序进行的。在编辑路径的过程中会自动进行校验，如果上一行的信息不完整，控件会自动取消本次编辑的内容，同时控制界面会弹出提示信息，提示用户上一行未编辑完成，不允许对下一行进行编辑。这保证了用户编辑路径时只有先将上一行的四列信息都编辑完整后才能编辑下一行，从而保证了路径的合法性和完整性。

需要说明的是，第一下拉列表、第二下拉列表、第三下拉列表和第四下拉列表均是展示行列式的一种形式，行列式中的各个行的信息均可以通过下拉列表的形式进行展示或隐藏，也就是说，检测到添加操作时会弹出相应的下拉列表，从下拉列表中选择相应的步骤信息，若未检测到添加操作，下拉列表会隐藏或者可以弹出，但是无法选择步骤信息。

步骤307：根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示。

步骤308：当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述步骤信息的编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径。

若判断结果为否，则显示非法编辑提示，流程结束。

本发明实施例，首先，本申请先使用第一约束条件对步骤序号对应的步骤信息进行合法性验证，然后在当前待编辑的步骤存在子步骤时，则使用第二约束条件进行合法性验证，验证通过后根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示，通过将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示可以直观的看到物料路径的步骤序号、步骤信息以及步骤子信息，方便用户查看，并且物料路径以列表的形式进行显示与现有的图形化编辑方式相比，占用界面面积小。

进一步的，当接收到对所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件和第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑，通过使用第一约束条件和第二约束条件对编辑请求进行判断，从而避免了物料路径中某步骤信息之间不可达或漏做工艺的问题。

其次，本申请第一约束条件是按照逐行逐列依次添加工艺步骤号、腔室节点、腔室槽位信息以及工艺配方信息，并且当检测到用户触发操作时，弹出下拉列表，从下拉列表中选择工艺步骤号、腔室节点、工艺腔室槽位信息以及工艺配方信息，若当检测到用户触发操作时，未弹出下拉列表，则说明未按照第一约束条件对物料路径进行编辑，也就是说，是非法编辑，因此通过下拉列表的方式可以实现对编辑内容的合法性和完整性进行自动校验，从而避免了物料路径不可达或者腔室漏做工艺的问题。

实施例三

本实施例三在实施例二的基础上选择的腔室节点的进一步的细化，重点说明的是当待编辑行是第一行并且工艺步骤号为1时，选择的腔室节点的过程，进而生成物料路径，以下进行详细的描述。

参照图6，其示出了本申请实施例二所述一种物料路径的生成方法的流程图，具体包括：

步骤601：获取待编辑行的工艺步骤号。

步骤602：判断所述待编辑行是否是第一行，若是，则执行步骤603，若否，则执行步骤605。

步骤603：判断所述待编辑行的工艺步骤号是否为1，若是，则执行步骤604、步骤606和步骤607，流程结束。

在实际应用中，若待编辑行是第一行，工艺步骤号必然是1，若工艺步骤号不为1，则执行遍历控制界面中的行列式的物料路径的相关操作，具体相关操作的实现细节将在实施例四中进行详细描述。

步骤604：当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第一腔室信息。并执行步骤606-607。

在具体场景应用中，若所述待编辑行是第一行，并且所述待编辑行的工艺步骤号为1，也就是物料路径的起始步骤，此时大气机械手与传输腔室连通，则获取大气机械手周围的第一腔室信息，并将所述第一腔室信息保存在第二下拉列表中，这样当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表的腔室信息都是传输腔室信息，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第一传输腔室信息。

在本实施例中，第一腔室信息一般为传输腔室信息。

步骤605：获取所述待编辑行的上一行的工艺步骤号，并将所述上一行的工艺步骤号作为待编辑行的工艺步骤号，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第二传输腔室信息。

其中，第二腔室信息为除去所述上一行的工艺步骤号选择的所述第一腔室信息之外的腔室信息。在实际应用中，工艺步骤号1到下一个工艺步骤号可能存在多条等价路径，例如：图1中的LP1可以通过LA到达VTR，也可以通过LB到达VTR。步骤605主要是针对两个工艺步骤号之间存在多个等价路径，对物料路径生成的处理方法，具体的，若待编辑行不是第一行，则获取所述待编辑行的上一行的工艺步骤号，若两行是等价路径，因此在实际使用中使用的是相同的工艺步骤号，因而会将所述上一行的工艺步骤号作为待编辑行的工艺步骤号。当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第二传输腔室信息。

例如：LP1可以通过LA到达VTR，也可以通过LB到达VTR，这时在行列式物料路径的第一行的第一列工艺步骤号为1：第二列为LA，第三列为0，第四列为/LA/test；1。

在编辑第二行时，由于是等价路径，因此将第一行的工艺步骤号1作为第二行的工艺步骤号，并且获取大气机械手周围的所有腔室信息，从这些腔室中去除第一行的工艺步骤号选择的腔室信息，将剩余的腔室信息存储到第二下拉列表中，这样当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第二腔室信息，这样就保证了存在等价路径时，选择的腔室节点不同，生成的第二行的第一列工艺步骤号为1：第二列为LB，第三列为0，第四列为/LB/test；1。

需要说明的是，若是等价路径存在其他步骤中，也可以参照上述方法进行腔室节点的选择。

步骤606：编辑并显示所述控制界面的所述第三列节点，当检测到用户触发工艺腔室节点的腔室槽位添加操作时，弹出第三下拉列表，接收用户通过所述第三下拉列表选择的工艺腔室槽位信息。

步骤607：编辑并显示所述控制界面的所述第四列节点，当检测到用户触发腔室工艺配方添加操作时，弹出第四下拉列表，接收用户通过所述第四下拉列表选择的工艺配方信息。

本发明实施例，对腔室节点通过下拉列表提示保证了编辑的路径的上下两个步骤是可达的，并且工艺步骤号相同的步骤，使用的传输腔室不同。

实施例四

本实施例四重点说明的是当待编辑行不是第一行并且工艺步骤号大于1时选择的腔室节点的过程，进而生成物料路径，以下进行详细的描述。

参照图7，其示出了本申请实施例三所述一种物料路径的生成方法的流程图，具体包括：

步骤701：判断所述待编辑行是否是第一行，若否，并且所述工艺步骤号不为1，则执行步骤702。

步骤702：判断所述待编辑行的工艺步骤号是否大于1，若是，则执行步骤703。

步骤703：遍历控制界面中的物料路径。

步骤704：判断待编辑行的工艺步骤号与当前遍历行的工艺步骤号之差是否等于1，若是，则执行步骤705。

若否，则遍历控制界面中的物料路径。

在实际应用中，行列式物料路径是逐行逐列进行编辑的，也就是说，第一行编辑完成之后，再编辑第二行，以此类推，若待编辑行的工艺步骤号与当前遍历行的工艺步骤号之差不等于1，则说明待编辑行不是当前遍历行的下一个工艺路径步骤。

步骤705：获取当前遍历行的工艺腔室信息。

在实际应用中，可以将当前遍历行的工艺腔室信息存储于代码中的lastStepModule模块中。

步骤706：从预先设置的腔室节点配置文件中获取全部腔室信息。

其中，全部腔室信息包括：传输腔室信息以及工艺腔室信息。

步骤707：在所述全部腔室信息中筛选出与当前遍历行的工艺腔室信息相同的腔室信息。

步骤708：获取所述当前遍历行的工艺腔室信息的机械手信息，并存储于第一机械手列表，所述第一机械手列表用于存储当前遍历行的腔室周围的机械手信息。

获取所述当前遍历行的工艺腔室信息的机械手信息可能是大气机械手，也可以是传输腔室内的机械手。

步骤705-步骤708是通过腔室节点配置文件可以获取工艺腔室信息以及工艺腔室信息周围的机械手信息，在实际应用中可以通过程序代码获取工艺腔室信息以及工艺腔室信息周围的机械手信息。

在对腔室节点配置文件的结构定义中Name节点存储腔室节点的名称，ModuleType节点存储了腔室节点的类型，腔室节点的类型可以是工艺腔室ProcessChamber、传输腔室LoadLock和装卸载腔室LoadPort等等。VisitList节点存储了腔室节点周围的机械手信息，VisitInfo子节点CurrentRobot属性的值即是可以到达当前腔室节点的机械手信息。

具体的，从腔室节点配置文件中的ModuleList节点获取全部腔室信息，并且找到Name节点等于lastStepModule的ModuleInfo节点(工艺腔室信息)。之后获取该ModuleInfo节点中所有工艺腔室信息的机械手信息并存储于第一机械手列表(robots)中。

步骤709：从预先设置的机械手节点配置文件中获取第二机械手列表。

其中，所述第二机械手列表用于存储全部机械手信息，该全部机械手信息可以包括大气机械手和传输腔室内的机械手。

步骤710：从所述第二机械手列表中选择第一个机械手信息。

步骤711：判断第一个机械手信息是否存在于所述第一机械手列表中，若是，则执行步骤712，若否，则执行步骤717。

步骤712：获取第一个机械手信息可到达的腔室信息。

在实际应用中，第一个机械手信息周围可能会存在多个第一个机械手可到达的腔室信息。

例如：在图1中，传输腔室内的机械手VTR可到达的腔室信息包括：工艺腔室Dx、工艺腔室Pc、工艺腔室Ti、和工艺腔室Cu。

步骤713：从所述腔室信息中选择第一个腔室信息。

步骤714：判断第一个腔室信息的类型，并根据当前腔室信息的类型将所述当前腔室信息存储于第二下拉列表。

腔室信息的类型是工艺腔室ProcessChamber、传输腔室LoadLock、以及装卸载腔室LoadPort等等。

步骤715：判断所述第一个腔室信息是否是所述第一个机械手可到达的最后一个腔室信息，若否，则执行步骤716，若是，则执行步骤717。

步骤716：获取第一个机械手可到达的下一个腔室信息，并执行步骤714。

在实际应用中，每个机械手周围可能存在一个或多个腔室，因此需要对机械手周围的存在的多个腔室均要进行判断，直至将机械手周围的所有腔室全部判断完成为止，并根据判断结果将所述腔室信息存储于第二下拉列表。

经过上述步骤完成了对腔室节点的编辑，然后再进行第三列节点和第四列节点的工艺腔室槽位信息和工艺配方信息的添加。

步骤709-步骤715是通过机械手节点配置文件可以获得机械手信息以及机械手信息可到达的腔室信息，也就是说，确定了机械手可以到达腔室信息的物料路径，在实际应用中可以通过程序代码获取机械手信息以及机械手信息可到达的腔室信息。

在对机械手节点配置文件的结构定义中Name节点存储了机械手的名称。Stations节点存储了当前机械手可到达的腔室信息。每一个StationInfo的Name属性存储了一个当前机械手可到达的腔室节点的名称。

当遍历机械手节点配置文件中的RobotList节点可以获取所有RobotInfo节点，即获取第二机械手列表，如果某个RobotInfo节点的Name节点值存在于第一机械手列表中，则说明该RobotInfo节点表示的机械手可以到达lastStepModule模块。获取该RobotInfo节点的Stations子节点中所有StationInfo节点即当前机械手信息可到达的腔室信息。

并把其中的StationInfo节点的Name属性值对应的ModuleInfo节点ModuleType类型为工艺腔室ProcessChamber或者传输腔室LoadLock的腔室信息存储于第二下拉列表(modules)中，也就是把Name节点值存在于第一机械手列表中的RobotInfo节点代表的机械手可以到达的并且腔室类型符合条件的腔室信息存储于第二下拉列表。

遍历所有机械手列表RobotList，从而将可以到达lastStepModule模块的所有机械手可以到达的所有腔室的名字存储于第二下拉列表中。

步骤717，判断第一个机械手信息是否是最后一个机械手信息，若否，则从第二机械手列表中选择第二个机械手信息，并执行步骤711，若是，流程结束。

具体的，判断所述第二个机械手信息是否存在于所述第一机械手列表中，若是获取下一个机械手信息可到达的腔室信息，从所述腔室信息中选择第一个腔室信息，判断所述第一个腔室信息的类型，并根据所述第一个腔室信息的类型将所述第一个腔室信息存储于第一腔室列表；

判断所述第一个腔室信息是否是当前所述第二个机械手可到达的最后一个腔室信息，若不是，则获取下一个可到达的腔室信息，并对下一个可到达的腔室信息的类型进行判断，并根据所述下一个可到达的腔室信息的类型将所述下一个可到达的腔室信息存储于第一腔室列表，依据以上所述对当前所述第二机械手列表的所有机械手信息进行遍历。

所述物料路径的控制界面设置了记录接口，通过调用所述记录接口可以查看编辑物料路径的过程，从而方便用户查看对一个已知路径进行了哪些修改。

需要说明的是，对于前述的方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本申请并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本申请，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本申请所必需的。

基于上述方法实施例的说明，本申请还提供了相应的装置实施例，来实现上述方法实施例所述的内容。

实施例四

参照图8，其示出了本申请实施例四所述一种物料路径的生成装置的结构图，具体包括：

存储模块801，用于存储预先获取的待显示路径的所有步骤及对应的步骤信息、用于存储预先获取的每个步骤中所包含的子步骤及对应的子步骤信息、以及用于存储为每个步骤所设置的编辑该步骤信息的第一约束条件、为每个子步骤所设置的编辑该子步骤信息的第二约束条件；所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作；所述第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺配方信息不同。

路径生成模块802，连接所述存储模块、所述显示模块，用于根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示；

判断编辑模块803，连接所述存储模块、所述显示模块，用于当接收到对所述步骤信息或所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否同时满足第一约束条件和第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并通过所述显示模块在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则通过所述显示模块显示非法编辑提示；

显示模块804，用于在控制界面以行列式的列表方式显示物料路径，其中，所述物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号、所述物料路径的第二列节点为腔室节点、所述物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息、所述物料路径的第四列节点为工艺配方信息。

可选的，在判断模块的判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径，包括

工艺步骤模块，用于编辑并显示所述控制界面的所述第一列节点，当检测到用户触发所述工艺步骤号添加操作时，弹出第一下拉列表，接收用户通过所述第一下拉列表选择的所述工艺步骤号。

腔室节点模块，用于编辑并显示所述控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点。

腔室槽位信息模块，用于编辑并显示所述控制界面的所述第三列节点，当检测到用户触发工艺腔室节点的腔室槽位添加操作时，弹出第三下拉列表，接收用户通过所述第三下拉列表选择的工艺腔室槽位信息。

工艺配方信息模块，用于编辑并显示所述控制界面的所述第四列节点，当检测到用户触发工艺腔室工艺配方添加操作时，弹出第四下拉列表，接收用户通过所述第四下拉列表选择的工艺配方信息。

可选的，所述腔室节点模块包括：

获取单元，用于获取待编辑行的工艺步骤号；

第一判断模块，用于判断所述待编辑行是否是第一行，若是，并且所述待编辑行的工艺步骤号为1，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第一腔室信息；

所述第一判断模块，还用于若所述待编辑行不是第一行，则获取所述待编辑行的上一行的工艺步骤号，并将所述上一行的工艺步骤号作为待编辑行的工艺步骤号，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第二腔室信息，其中，所述第二腔室信息为除去所述上一行的工艺步骤号选择的所述第一腔室信息之外的腔室信息。

可选的，所述腔室节点模块包括：

遍历单元，用于所述待编辑行不是第一行，并且所述工艺步骤号不为1，判断所述待编辑行的工艺步骤号是否大于1，若是，则遍历控制界面中的行列式物料路径；

第二判断模块，用于判断待编辑行的工艺步骤号与当前遍历行的工艺步骤号之差是否等于1，若是，则获取当前遍历行的工艺腔室信息；

腔室节点配置模块，用于从预先设置的腔室节点配置文件中获取全部腔室信息；

筛选模块，用于在所述全部腔室信息中筛选出与当前遍历行的工艺腔室信息相同的腔室信息；

机械手模块，用于获取所述当前遍历行的工艺腔室信息的机械手信息，并存储于第一机械手列表，所述第一机械手列表用于存储当前遍历行的工艺腔室周围的机械手信息。

可选的，所述装置还包括：

机械手配置模块，用于从预先设置的机械手节点配置文件中获取第二机械手列表，所述第二机械手列表用于存储全部机械手信息；

选择模块，用于从所述第二机械手列表中选择第一个机械手信息；

第三判断模块，用于判断所述第一个机械手信息是否存在于所述第一机械手列表中，若是获取所述第一个机械手信息可到达的腔室信息，

腔室信息类型模块，用于从所述腔室信息中选择第一个腔室信息，判断所述第一个腔室信息的类型，并根据所述第一个腔室信息的类型将所述第一个腔室信息存储于第二下拉列表；

第四判断模块，用于判断所述第一个腔室信息是否是所述第一个机械手可到达的最后一个腔室信息，若否，返回所述腔室信息类型模块继续执行；对所述第一个机械手可到达的全部腔室信息进行遍历之后，则返回选择模块继续执行。

所述装置还包括：设置在控制界面的记录接口，用于查看编辑物料路径的过程。

本发明实施例，首先，本申请先使用第一约束条件对步骤序号对应的步骤信息进行合法性验证，然后在当前待编辑的步骤存在子步骤时，则使用第二约束条件进行合法性验证，验证通过后根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示，通过将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示可以直观的看到物料路径的步骤序号、步骤信息以及步骤子信息，方便用户查看，并且物料路径以列表的形式进行显示与现有的图形化编辑方式相比，占用界面面积小。

进一步的，当接收到对所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件和第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑，通过使用第一约束条件和第二约束条件对编辑请求进行判断，从而避免了物料路径中某步骤信息之间不可达或漏做工艺的问题。

其次，本申请第一约束条件是按照逐行逐列依次添加工艺步骤号、腔室节点、腔室槽位信息以及工艺配方信息，并且当检测到用户触发操作时，弹出下拉列表，从下拉列表中选择工艺步骤号、腔室节点、工艺腔室槽位信息以及工艺配方信息，若当检测到用户触发操作时，未弹出下拉列表，则说明未按照第一约束条件对物料路径进行编辑，也就是说，是非法编辑，因此通过下拉列表的方式可以实现对编辑内容的合法性和完整性进行自动校验，从而避免了物料路径不可达或者腔室漏做工艺的问题。

对于上述装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见所示方法实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域技术人员易于想到的是：上述各个实施例的任意组合应用都是可行的，故上述各个实施例之间的任意组合都是本申请的实施方案，但是由于篇幅限制，本说明书在此就不一一详述了。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”，不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。

以上对本申请所提供的一种物料路径的建立及编辑方法、及其装置，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种物料路径的建立及编辑方法，其特征在于，包括：

预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息；

根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑所述步骤信息的第一约束条件；

根据所述步骤信息以及第一约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径中的所述步骤序号和所述步骤信息以行列式的列表方式显示；

当接收到对所述步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否满足第一约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。

2.一种物料路径的建立及编辑方法，其特征在于，包括：

预先获取待显示路径的所有步骤序号及与所述步骤序号对应的步骤信息；

根据所述步骤序号及所述步骤序号对应的步骤信息，为每个步骤序号设置编辑该步骤信息的第一约束条件；

判断当前待编辑的步骤是否存在子步骤，若判断结果为是，则根据子步骤序号及所述子步骤序号对应的子步骤信息，为每个所述子步骤设置编辑该子步骤信息的第二约束条件；

根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，建立所述物料路径，并将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示；

当接收到对所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否同时满足第一约束条件、第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则显示非法编辑提示。

3.根据权利要求2所述的方法，所述将所建立的物料路径以行列式的列表方式显示，包括：

在控制界面上以行列式的列表方式显示所述物料路径，所述步骤序号包括物料路径的工艺步骤号；所述步骤序号对应的步骤信息至少包括腔室节点、工艺腔室槽位信息、工艺配方信息；其中，所述物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号、所述物料路径的第二列节点为腔室节点、所述物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息、所述物料路径的第四列节点为工艺配方信息。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作；

所述第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺配方信息不同。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述若判断结果为是，则接受编辑请求，并在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径，包括：

编辑并显示所述控制界面的所述第一列节点，当检测到用户触发所述工艺步骤号添加操作时，弹出第一下拉列表，接收用户通过所述第一下拉列表选择的所述工艺步骤号；

编辑并显示所述控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点；

编辑并显示所述控制界面的所述第三列节点，当检测到用户触发工艺腔室节点的腔室槽位添加操作时，弹出第三下拉列表，接收用户通过所述第三下拉列表选择的工艺腔室槽位信息；

编辑并显示所述控制界面的所述第四列节点，当检测到用户触发工艺腔室工艺配方添加操作时，弹出第四下拉列表，接收用户通过所述第四下拉列表选择的工艺配方信息。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述编辑并显示控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点的步骤包括：

获取待编辑行的工艺步骤号；

判断所述待编辑行是否是第一行，若是，并且所述待编辑行的工艺步骤号为1，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第一腔室信息；

若所述待编辑行不是第一行，则获取所述待编辑行的上一行的工艺步骤号，并将所述上一行的工艺步骤号作为待编辑行的工艺步骤号，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，则弹出所述第二下拉列表，接收用户从所述第二下拉列表中选择的第二腔室信息，其中，所述第二腔室信息为除去所述上一行的工艺步骤号选择的所述第一腔室信息之外的腔室信息。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述编辑并显示控制界面的所述第二列节点，当检测到用户触发腔室节点添加操作时，弹出第二下拉列表，接收用户通过所述第二下拉列表选择的腔室节点的步骤包括：

若所述待编辑行不是第一行，并且所述工艺步骤号不为1，则判断所述待编辑行的工艺步骤号是否大于1，若是，则遍历控制界面中的物料路径；

判断待编辑行的工艺步骤号与当前遍历行的工艺步骤号之差是否等于1，若是，则获取当前遍历行的工艺腔室信息；

从预先设置的腔室节点配置文件中获取全部腔室信息；

在所述全部腔室信息中筛选出与当前遍历行的工艺腔室信息相同的腔室信息；

获取所述当前遍历行的工艺腔室信息的机械手信息，并存储于第一机械手列表，所述第一机械手列表用于存储当前遍历行的工艺腔室周围的机械手信息。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

从预先设置的机械手节点配置文件中获取第二机械手列表，所述第二机械手列表用于存储全部机械手信息；

从所述第二机械手列表中选择第一个机械手信息；

判断所述第一个机械手信息是否存在于所述第一机械手列表中，若是获取所述第一个机械手信息可到达的腔室信息；

从所述腔室信息中选择第一个腔室信息；

判断所述第一个腔室信息的类型，并根据所述第一个腔室信息的类型将所述第一个腔室信息存储于第二下拉列表；

判断所述第一个腔室信息是否是所述第一个机械手可到达的最后一个腔室信息，若否，则返回所述从所述腔室信息中选择第一个腔室信息的步骤继续执行；

对所述第一个机械手可到达的全部腔室信息进行遍历之后，则返回从所述第二机械手列表中选择第一个机械手信息的步骤继续执行。

9.根据权利要求3-8任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

所述控制界面设置了记录接口，通过调用所述记录接口可以查看编辑物料路径的过程。

10.一种物料路径的建立及编辑装置，其特征在于，包括：

存储模块，用于存储预先获取的待显示路径的所有步骤及对应的步骤信息、用于存储预先获取的每个步骤中所包含的子步骤及对应的子步骤信息、以及用于存储为每个步骤所设置的编辑该步骤信息的第一约束条件、为每个子步骤所设置的编辑该子步骤信息的第二约束条件；所述第一约束条件包括按照逐行逐列依次执行编辑操作；所述第二约束条件包括相同步骤下的不同子步骤之间的腔室信息、工艺配方信息不同；

路径生成模块，连接所述存储模块、所述显示模块，用于根据所述步骤信息、所述子步骤信息、第一约束条件以及第二约束条件，生成所述物料路径；

判断编辑模块，连接所述存储模块、所述显示模块，用于当接收到对所述步骤信息或所述子步骤信息的编辑请求时，判断所述编辑请求是否同时满足第一约束条件和第二约束条件；若判断结果为是，则接受编辑请求，并通过所述显示模块在控制界面上的所述列表中显示编辑后的物料路径；若判断结果为否，则通过所述显示模块显示非法编辑提示；

显示模块，用于在控制界面以行列式的列表方式显示物料路径，其中，所述物料路径的第一列节点为物料路径的工艺步骤号、所述物料路径的第二列节点为腔室节点、所述物料路径的第三列节点为工艺腔室槽位信息、所述物料路径的第四列节点为工艺配方信息。

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