CN111947522B - 基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器及其制备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器及其制备。该微小型点火器的结构包括：微加热器，包括键合区域和加热区域；形成于所述加热区域的结构铝热剂阵列；原位内嵌于所述结构铝热剂阵列的炸药层；以及包封所述结构铝热剂阵列的防水层。本发明的微小型点火器中的结构含能材料为内嵌炸药的铝热剂阵列，并具有防水性能，以提高点火器的能量释放，改善点火器的抗潮湿抗氧化性能，确保点火的可靠性。

Description

基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器及其制备

技术领域

本发明涉及点火器技术领域，特别涉及一种基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器及其制备。

背景技术

点火器是一种可以在极短时间内产生足够的能量点燃燃料或者引爆炸药等的一次性使用装置，可应用于多种引燃、引爆作业中，如航空航天推进、武器系统起爆传爆序列、安全自毁装置等军用领域，以及汽车或无人机安全气囊气体发生器、石油开采、矿山爆破、节日庆典等民用领域。常规的点火器为金属桥丝式点火器，其结构简单，易于制造；但其点火药着火点较低，存在安全隐患，又容易在潮湿环境下潮解，使得点火器的性能稳定性和可靠性较低。目前，国内外研究有将薄膜式点火桥，包括半导体桥、金属薄膜以及多层含能膜桥等作为金属桥丝的替代。该类点火桥具有集成化、批量化、成本低、一致性好等优点，但是在点火能量释放、成本与工艺的复杂性、抗潮湿抗氧化性、小型化等方面又存在一定弊端，限制实际应用。

将微加热器与微纳米含能材料进行结合是一个新兴领域，所得的含能单元具有高度微型化、集成化、多功能化、高精度、高可靠性等特点和优势，在低触发能、高能量输出、MEMS(微机电系统)平台兼容性、批量生产等方面具有显著优势，可应用于点火系统。然而，基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器，特别是基于微加热器和内嵌炸药铝热剂阵列防水型结构含能材料的微小型点火器，目前还没有报道。

发明内容

本发明的目的是针对背景技术存在的弊端，设计一种基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器，并提供其制备方法。本发明的微小型点火器中的结构含能材料为内嵌炸药的铝热剂阵列，并具有防水性能，以提高点火器的能量释放，改善点火器的抗潮湿抗氧化性能，确保点火的可靠性。

为了实现以上目的，本发明采用以下技术方案：

本发明一方面提供一种基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器，该微小型点火器的结构包括：

微加热器，包括键合区域和加热区域；

形成于所述加热区域的结构铝热剂阵列；

原位内嵌于所述结构铝热剂阵列的炸药层；以及

包封所述结构铝热剂阵列的防水层。

在本发明的微小型点火器中，优选地，所述微加热器包括：

基材；以及

依次形成于基材上的粘附层、加热器层和键合层；

所述微加热器的加热区域的键合层去除，所述加热器层暴露；所述结构铝热剂阵列形成于加热区域的加热器层上。

优选地，所述结构铝热剂阵列包括形成于加热区域的加热器层上的金属氧化物纳米结构阵列和沉积于所述金属氧化物纳米结构阵列上的燃料材料；

或者，所述结构铝热剂阵列包括形成于加热区域的加热器层上的燃料材料纳米结构阵列和沉积于所述燃料材料纳米结构阵列上的金属氧化物。

优选地，所述粘附层的材料为Ti、Cr、W、Mo和CuO中的一种或几种的混合物；

所述加热器层的材料为Pt、Pd、Ta和镍铬合金中的一种或几种的混合物；

所述键合层的材料为Au、Al、Ag和Cu中的一种或几种的混合物。

例如在本发明的一个优选实施例中，所述粘附层的材料为Cr；所述加热器层的材料为Pt；所述键合层的材料为Au。

优选地，所述金属氧化物为CuO、Co₃O₄、Fe₂O₃、Fe₃O₄、MoO₂、MoO₃、MnO₂、NiO、Bi₂O₃和WO₃中的一种或几种的组合物；

所述燃料材料为Al、Mg或其混合物。

优选地，所述纳米结构阵列中的纳米结构为纳米棒、纳米线、纳米墙状结构、纳米多孔结构、纳米片/岛状结构或多级树形结构。

例如在本发明的一个优选实施例中，所述纳米结构阵列中的纳米结构为纳米棒；所述金属氧化物为CuO；所述燃料材料为Al。

优选地，所述炸药层的炸药为六硝基六氮杂异伍兹烷、季戊四醇四硝酸酯、奥克托今、黑索金和三硝基甲苯中的一种或几种的混合物；

所述防水层的材料为疏水材料，所述疏水材料为1H,1H,2H,2H-全氟辛基三氯硅烷、聚四氟乙烯、硅基烯酮二聚物、聚(烷基吡咯)、聚二甲基硅氧烷中的一种或几种的混合物。

本发明另一方面提供以上基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器的制备方法，包括以下步骤：

制备微加热器；

在微加热器的加热区域制备结构铝热剂阵列；

在所述结构铝热剂阵列中原位内嵌炸药层；以及

制备防水层以包封所述结构铝热剂阵列。

优选地，所述制备微加热器的步骤包括：

通过光刻技术在基材表面制备微加热器；通过热蒸发在光刻胶掩膜层覆盖区域之外依次沉积粘附层、加热器层和键合层，再利用光刻技术将键合区域之外的键合层去除，暴露出加热区域的加热器层。

在本发明的制备方法中，优选地，所述粘附层的材料为Ti、Cr、W、Mo和CuO中的一种或几种的混合物；

所述加热器层的材料为Pt、Pd、Ta和镍铬合金中的一种或几种的混合物；

所述键合层的材料为Au、Al、Ag和Cu中的一种或几种的混合物。

优选地，所述在微加热器的加热区域制备结构铝热剂阵列的步骤包括：

利用光刻胶掩膜层对加热器区域之外的地方进行保护；

将燃料材料沉积于加热区域上形成纳米结构阵列；

将金属氧化物材料沉积于燃料材料上，覆盖纳米结构阵列形成所述结构铝热剂阵列；

或者，包括：

将金属氧化物材料沉积于加热区域上形成纳米结构阵列；

将燃料材料沉积于金属氧化物材料上，覆盖纳米结构阵列形成所述结构铝热剂阵列。

优选地，所述金属氧化物材料的沉积是通过物理气相沉积法、水热合成法、化学沉淀法、一种或者多种前驱体的固态热转化和电化学方法中的至少一种来执行；

所述燃料材料的沉积是通过磁控溅射、电子束蒸发和热蒸发中的至少一种来执行。

优选地，所述纳米结构阵列中的纳米结构为纳米棒、纳米线、纳米墙状结构、纳米多孔结构、纳米片/岛状结构或多级树形结构。

优选地，所述金属氧化物为CuO、Co₃O₄、Fe₂O₃、Fe₃O₄、MoO₂、MoO₃、MnO₂、NiO、Bi₂O₃和WO₃中的一种或几种的组合物；

所述燃料材料为Al、Mg或其混合物。

优选地，所述在所述结构铝热剂阵列中原位内嵌炸药层的步骤包括：

将炸药溶解于溶剂中，得到炸药溶液；

将炸药溶液复合至所述铝热剂阵列结构中；

去除溶剂。

优选地，所述溶剂为甲醇、丙酮、乙酸乙酯和N,N-二甲基甲酰胺中的一种或多种的组合。

优选地，所述炸药溶液复合至所述铝热剂阵列结构中的方法为浸泡、沾粘、旋涂或滴加。

优选地，去除溶剂的方法为自然挥发或加热蒸发。

优选地，所述炸药为六硝基六氮杂异伍兹烷、季戊四醇四硝酸酯、奥克托今、黑索金和三硝基甲苯中的一种或几种的混合物。

优选地，所述制备防水层以包封所述结构铝热剂阵列的步骤包括：

将一层疏水材料沉积到原位复合有炸药的铝热剂阵列上，得到防水层进行疏水材料的包封防水处理；

去除光刻胶掩膜层，得到所述基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器。

优选地，所述疏水材料的沉积通过化学气相沉积法、物理气相沉积法、旋涂、静电纺丝、电喷雾、气溶胶沉积或浸涂中的至少一种来执行。

优选地，所述疏水材料为1H,1H,2H,2H-全氟辛基三氯硅烷、聚四氟乙烯、硅基烯酮二聚物、聚(烷基吡咯)、聚二甲基硅氧烷中的一种或几种的混合物。

本发明包括一种基于微加热器和内嵌炸药铝热剂阵列防水型结构含能材料的微小型点火器及其设计制备方法。其中，点火器的结构包括具有基材支撑的微加热器，覆盖于微加热器上的结构型铝热剂阵列层，原位内嵌于结构型铝热剂的炸药层，以及防水层；本发明的含能材料直接生长于加热区域，具有一定三维结构。点火器的制备方法包括微加热器与结构含能材料阵列的集成，炸药的原位内嵌，以及用疏水材料层包封含能材料以形成防水层。

附图说明

图1是本发明一种优选的微小型点火器的制备方法中的步骤1的示意图。

图2是本发明一种优选的微小型点火器的制备方法中的步骤2的示意图。

图3是本发明一种优选的微小型点火器的制备方法中的步骤3的示意图。

图4是本发明一种优选的微小型点火器的制备方法中的步骤4的示意图。

图5是本发明另一种优选的微小型点火器的制备方法中的步骤2的示意图。

图6是本发明另一种优选的微小型点火器的制备方法中的步骤3的示意图。

图7是本发明另一种优选的微小型点火器的制备方法中的步骤4的示意图。

附图标记说明：

1-基材；2-粘附层；3-加热器层；4-键合层；5-金属氧化物；6-燃料材料，7-炸药；8-防水层。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明，下面结合优选实施例对本发明做进一步的说明。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本发明的保护范围。

本发明涉及一种基于微加热器和内嵌炸药铝热剂阵列防水型结构含能材料的微小型点火器的结构。所述结构包括：具有基材支撑的微加热器层，覆盖于微加热器上加热部分的结构型铝热剂阵列层，原位内嵌于结构型铝热剂的炸药层，以及防水层。

本发明还涉及一种基于微加热器和内嵌炸药铝热剂阵列防水型结构含能材料的微小型点火器的制备方法。所述方法包括以下步骤：包括步骤1：制备微加热器；步骤2：制备结构铝热剂阵列；步骤3：原位符合炸药；步骤4：疏水材料的包封。

图1-图4所示为本发明的一种优选制备方法的步骤。在步骤1中，利用光刻与物理沉积工艺，在基材上依次沉积材料制备微加热器。所述微加热器材料组成自基材1起依次为粘附层2、加热器层3和键合层4。所述粘附层2可依据基材1与加热器层3的材质选择，例如但不限于钛(Ti)、铬(Cr)、钨(W)、钼(Mo)、氧化铜(CuO)等。所述加热器层3例如但不限于铂(Pt)、钯(Pd)、钽(Ta)、镍铬合金(Ni-Cr Alloy)或其混合物等。所述键合层4例如但不限于金(Au)、铝(Al)、银(Ag)、铜(Cu)或其混合物等。

在步骤2中，在微加热器的加热区域制备具有结构的铝热剂阵列。所述铝热剂阵列由金属氧化物5和燃料材料6组成。首先，将金属氧化物5沉积于加热区域上形成金属氧化物的纳米结构阵列，所述金属氧化物诸如氧化铜(CuO)、氧化钴(Co₃O₄)、三价铁的氧化物(Fe₂O₃)、二价和三价铁的氧化物(Fe₃O₄)、二氧化钼(MoO₂)、三氧化钼(MoO₃)、二氧化锰(MnO₂)、氧化镍(NiO)、氧化铋(Bi₂O₃)、三氧化钨(WO₃)或多种金属氧化物的组合物。在该优选方案中，金属氧化物纳米结构为细长的结构，例如为纳米棒和纳米线阵列的形式。然而，应当意识到的是，也可应用其他形状或构造的纳米结构，例如纳米墙状结构、纳米多孔结构、纳米片/岛状结构，以及多级树形结构等适用于该目的的即可。金属氧化物的沉积方法可选用诸如物理气相沉积法(例如磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发等)、水热合成法、化学沉淀法、一种或者多种前驱体的固态热转化、电化学方法等。

其次，将燃料材料6沉积到金属氧化物阵列上，覆盖金属氧化物阵列。所述燃料材料6可以是当与金属氧化物反应时能够释放热能的任何物质。燃料材料6的实例包括但不仅限于金属，诸如铝(Al)、镁(Mg)或其混合物。燃料材料6的沉积方法可采用但不仅限于采用物理气相沉积法，诸如磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发等，任何其他合适的化学和/或物理表面处理方法，只要被认为是适用于该目的即可。如图2的步骤2中所示，金属氧化物纳米线由一层燃料材料覆盖形成核-壳结构纳米棒阵列结构。

在步骤3中，将炸药7原位复合于具有结构的铝热剂阵列中。所述炸药7诸如六硝基六氮杂异伍兹烷(CL20)、季戊四醇四硝酸酯(PETN)、奥克托今(HMX)、黑索金(RDX)、三硝基甲苯(TNT)或多种炸药的混合物。炸药7的原位复合方法将利用步骤2中制备的铝热剂阵列的独特结构。首先将炸药7溶解于相应的溶剂中，然后复合至步骤2所制备的铝热剂阵列结构中，最后去除溶剂。所述溶剂应当根据不同的炸药种类进行选择，包括但不仅限于甲醇、丙酮、乙酸乙酯、N,N-二甲基甲酰胺(DMF)等。所述炸药溶液复合至铝热剂阵列结构的方法包括但不仅限于浸泡、沾粘、旋涂、滴加等。所述去除溶剂的方法包括但不仅限于自然挥发、加热蒸发等。应该意识到的是，任何其他合适的将炸药原位复合至铝热剂阵列结构中的处理方法也应当由本发明所涵盖，只要它们被认为是适用于该目的即可。如图3的步骤3中所示，铝热剂阵列结构中由原位复合的炸药所填充粘连，紧密接触，形成含能材料整体。

在步骤4中，将一层疏水材料沉积到原位复合有炸药的铝热剂阵列上，形成防水层8进行包封防水处理，从而形成一种防水型的基于微加热器和内嵌炸药铝热剂阵列的微小型点火器。所述疏水材料能够防止空气中的水汽或水渗入至含能材料层，从而提供防水保护。所述疏水材料包括但不限于1H,1H,2H,2H-全氟辛基三氯硅烷(PFOCTS)的氟硅烷(FAS)、聚四氟乙烯(PTFE)、硅基烯酮二聚物(AKDs)、聚(烷基吡咯)、聚二甲基硅氧烷(PDMS)或其混合物，以及任何其他合适的疏水材料，适用于该目的即可。所述疏水材料的沉积方法可通过化学气相沉积法、物理气相沉积法、旋涂、静电纺丝、电喷雾、气溶胶沉积、浸涂等基于溶液的方法，或被认为是适用于该目的的任何其他表面处理方法来进行。

图5-图7所示为本发明的另一优选制备方法。在该优选方案中，步骤1在基材上制备微加热器，该步骤的方法和过程类似于在以上优选方案中所论述，将不在此进行重复。

步骤2在微加热器的加热区域制备具有结构的铝热剂阵列。所述铝热剂阵列由燃料材料6和金属氧化物材料5组成。首先，将燃料材料6沉积于加热区域上形成具有纳米结构的阵列。所述燃料材料6的实例包括但不仅限于金属，诸如铝(Al)、镁(Mg)或其混合物。在该实施例中，燃料材料结构为细长的结构，例如为纳米棒阵列的形式。然而，应当意识到的是，也可应用他形状或构造的纳米结构，例如纳米片、纳米岛、纳米线、纳米多孔结构等，适用于该目的即可。燃料材料的沉积方法可采用但不仅限于物理气相沉积法，诸如磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发等，采用特定的沉积技巧，例如掠射角沉积等，或者结合任何其他合适的化学和/或物理表面处理方法，获得特定的结构阵列。

其次，将金属氧化物5沉积于燃料材料6上，覆盖燃料材料阵列。所述金属氧化物5可以是当与燃料材料6反应能够释放热能的任何物质。金属氧化物5的实例包括但不仅限于诸如氧化铜(CuO)、氧化钴(Co₃O₄)、三价铁的氧化物(Fe₂O₃)、二价和三价铁的氧化物(Fe₃O₄)、二氧化钼(MoO₂)、三氧化钼(MoO₃)、二氧化锰(MnO₂)、氧化镍(NiO)、氧化铋(Bi₂O₃)、三氧化钨(WO₃)或多种金属氧化物的组合物。金属氧化物5的沉积方法可选用诸如物理气相沉积法(例如磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发等、化学沉淀法、一种或者多种前驱体的固态热转化、电化学方法等。如图5的步骤2中所示，燃料材料纳米棒由一层金属氧化物覆盖形成核-壳结构纳米棒阵列结构。

在步骤3中，将炸药7原位复合于具有结构的铝热剂阵列中。在步骤4中，将一层疏水材料沉积到原位复合有炸药的铝热剂阵列上，形成防水层8进行包封防水处理，从而形成一种防水型的基于微加热器和内嵌炸药铝热剂阵列的微小型点火器。这些步骤的方法和过程类似于在以上优选方案中所论述，将不在此进行重复。

实施例1:

通过光刻技术在硅晶片表面制备具有特定形状的微加热器。通过热蒸发在光刻胶掩膜层覆盖区域之外依次沉积粘附层Cr，加热器层Pt，键合层Au，再利用光刻技术将键合区域之外的Au去除，暴露出加热器区域的Pt。

利用光刻胶掩膜层对加热器区域之外的地方进行保护，通过磁控溅射沉积100纳米厚的CuO，接着通过电子束蒸发沉积1.5微米的Cu。在充满静态空气的加热炉中以400℃热氧化12个小时，使得Cu生长为CuO纳米线阵列。然后通过电子束蒸发将标称厚度为1微米的Al沉积在CuO纳米线外部，以便得到核-壳结构的CuO/Al纳米棒结构阵列。

接着将43.8毫克的CL20加入0.5毫升的丙酮中，超声5分钟，所得溶液取10微升滴加至CuO/Al纳米结构阵列中。置于通风橱内30分钟后，通过磁控溅射沉积10纳米厚的PTFE(聚四氟乙烯)，去除光刻胶，得到目标基于微加热器和内嵌炸药铝热剂阵列防水型结构含能材料的微小型点火器。

实施例2:

通过光刻技术在硅晶片表面制备具有特定形状的微加热器。通过热蒸发在光刻胶掩膜层覆盖区域之外依次沉积粘附层Cr，加热器层Pt，键合层Au，再利用光刻技术将键合区域之外的Au去除，暴露出加热器区域的Pt。

利用光刻胶掩膜层对加热器区域之外的地方进行保护，通过热蒸发以84度掠射角沉积Mg，得到Mg纳米棒阵列。接着通过磁控溅射沉积标称厚度为200纳米的氧化铜在Mg纳米棒外部，以便得到核-壳结构的Mg/CuO纳米棒结构阵列。

接着将11毫克的CL20加入0.1毫升的丙酮中，超声5分钟，所得溶液取10微升滴加至CuO/Al纳米结构阵列中。置于通风橱内30分钟后，通过磁控溅射沉积10纳米厚的PTFE，去除光刻胶，得到目标基于微加热器和内嵌炸药铝热剂阵列防水型结构含能材料的微小型点火器。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。

Claims (9)

1.一种基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器，其特征在于，该微小型点火器的结构包括：

微加热器，包括键合区域和加热区域；

形成于所述加热区域的结构铝热剂阵列；

原位内嵌于所述结构铝热剂阵列的炸药层；以及

包封所述结构铝热剂阵列的防水层；

所述微加热器包括：

基材；以及

依次形成于基材上的粘附层、加热器层和键合层；

所述微加热器的加热区域的键合层去除，所述加热器层暴露；所述结构铝热剂阵列形成于加热区域的加热器层上；

所述结构铝热剂阵列包括形成于加热区域的加热器层上的金属氧化物纳米结构阵列和沉积于所述金属氧化物纳米结构阵列上的燃料材料；

或者，所述结构铝热剂阵列包括形成于加热区域的加热器层上的燃料材料纳米结构阵列和沉积于所述燃料材料纳米结构阵列上的金属氧化物；

所述纳米结构阵列中的纳米结构为纳米棒、纳米线、纳米墙状结构、纳米多孔结构、纳米片结构或多级树形结构。

2.根据权利要求1所述的微小型点火器，其特征在于，所述粘附层的材料为Ti、Cr、W、Mo和CuO中的一种或几种的混合物；

所述加热器层的材料为Pt、Pd、Ta和镍铬合金中的一种或几种的混合物；

所述键合层的材料为Au、Al、Ag和Cu中的一种或几种的混合物。

3.根据权利要求1所述的微小型点火器，其特征在于，所述金属氧化物为CuO、Co₃O₄、Fe₂O₃、Fe₃O₄、MoO₂、MoO₃、MnO₂、NiO、Bi₂O₃和WO₃中的一种或几种的组合物；

所述燃料材料为Al、Mg或其混合物。

4.根据权利要求1所述的微小型点火器，其特征在于，所述炸药层的炸药为六硝基六氮杂异伍兹烷、季戊四醇四硝酸酯、奥克托今、黑索金和三硝基甲苯中的一种或几种的混合物；

所述防水层的材料为疏水材料，所述疏水材料为1H,1H,2H,2H-全氟辛基三氯硅烷、聚四氟乙烯、硅基烯酮二聚物、聚烷基吡咯、聚二甲基硅氧烷中的一种或几种的混合物。

5.一种权利要求1-4任一项所述微小型点火器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

制备微加热器；

在微加热器的加热区域制备结构铝热剂阵列；

在所述结构铝热剂阵列中原位内嵌炸药层；以及

制备防水层以包封所述结构铝热剂阵列；

所述制备微加热器的步骤包括：

通过光刻技术在基材表面制备微加热器；通过热蒸发在光刻胶掩膜层覆盖区域之外依次沉积粘附层、加热器层和键合层，再利用光刻技术将键合区域之外的键合层去除，暴露出加热区域的加热器层；

所述在微加热器的加热区域制备结构铝热剂阵列的步骤包括：

利用光刻胶掩膜层对加热器区域之外的地方进行保护；

将燃料材料沉积于加热区域上形成纳米结构阵列；

将金属氧化物材料沉积于燃料材料上，覆盖纳米结构阵列形成所述结构铝热剂阵列；

或者，包括：

将金属氧化物材料沉积于加热区域上形成纳米结构阵列；

将燃料材料沉积于金属氧化物材料上，覆盖纳米结构阵列形成所述结构铝热剂阵列；

所述在所述结构铝热剂阵列中原位内嵌炸药层的步骤包括：

将炸药溶解于溶剂中，得到炸药溶液；

将炸药溶液复合至所述结构铝热剂阵列中；

去除溶剂。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述金属氧化物材料的沉积是通过物理气相沉积法、水热合成法、化学沉淀法和电化学方法中的至少一种来执行；

所述燃料材料的沉积是通过磁控溅射、电子束蒸发和热蒸发中的至少一种来执行。

7.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述溶剂为甲醇、丙酮、乙酸乙酯和N,N-二甲基甲酰胺中的一种或多种的组合；

所述炸药溶液复合至所述结构铝热剂阵列中的方法为浸泡、沾粘、旋涂或滴加；

去除溶剂的方法为自然挥发或加热蒸发。

8.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述制备防水层以包封所述结构铝热剂阵列的步骤包括：

将一层疏水材料沉积到原位复合有炸药的结构铝热剂阵列上，得到防水层进行疏水材料的包封防水处理；

去除光刻胶掩膜层，得到所述基于微加热器和结构含能材料的微小型点火器。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述疏水材料的沉积通过化学气相沉积法、物理气相沉积法、旋涂、静电纺丝、电喷雾、气溶胶沉积或浸涂中的至少一种来执行。

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