CN111913519A - 信号转换器、电阻分压网络及其线性度补偿方法 - Google Patents

信号转换器、电阻分压网络及其线性度补偿方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种信号转换器、电阻分压网络及其线性度补偿方法，其中电阻分压网络包括M个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，M为大于1的整数，补偿方法包括：在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，通过反向微分非线性误差对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。由此，在不增加额外电路、工艺以及成本的条件下，通过在电阻串连接处引入反向的微分非线性跳变来对信号转换器的电压增益误差进行补偿，从而有效降低因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差。

Description

信号转换器、电阻分压网络及其线性度补偿方法
技术领域
本发明涉及信号处理技术领域，特别是涉及一种信号转换器、电阻分压网络及其线性度补偿方法。
背景技术
电阻分压型数模转换器也被称为电压按比例缩放(Voltage Scaling)数模转换器，因其结构简单且很规则，在低分辨率(12为以下)应用中广泛应用。在该结构中，由于每个抽头的电压值不可能低于下面的抽头，因而具有很好的单调性。但是由于电阻存在一定的电压系数(在电阻较大、电流较小时，该特性更为显著)，导致电阻的阻值随着电阻两端的电压变化而变化，从而导致每个抽头的电压值随着电压系数有细微的变化。而该变化会给数模转换器带来明显的增益误差(Gain Error)，从而导致积分非线性(INL)恶化。换言之，使用该结构的数模转换器会产生与电阻电压系数相关的积分非线性误差。
相关技术中，主要通过数字化校准方式，或者通过调整电压基准校准增益误差方式，或者通过工艺针对电阻阻值进行高精度修正方式等来修正因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差，但是这些方式具有需要增加额外电路、工艺以及成本的缺点。
发明内容
基于此，本申请提供了一种信号转换器、电阻分压网络及其线性度补偿方法，能够在不增加额外电路、工艺以及成本的条件下，有效降低因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差。
一种信号转换器中电阻分压网络的线性度补偿方法，电阻分压网络包括M 个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，M为大于1的整数，补偿方法包括：
在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差；
通过反向微分非线性误差对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。
在其中一个实施例中，在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：
根据电阻串的类型增加或减小连接处的电阻，以在连接处引入反向微分非线性误差。
在其中一个实施例中，根据电阻串的类型增加或减小连接处的电阻，以在连接处引入反向微分非线性误差，包括：
当电阻串的类型为正电压系数类型时，通过增加连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来减小连接处的电阻，以在连接处引入负的反向微分非线性误差；
当电阻串的类型为负电压系数类型时，通过减少连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来增加连接处的电阻，以在连接处引入正的反向微分非线性误差。
在其中一个实施例中，在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：
周期性在每个连接处引入反向微分非线性误差。
在其中一个实施例中，在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：
获取每个连接处的微分非线性误差和/或信号转换器的积分非线性误差的分布情况；
根据每个连接处的微分非线性误差和/或信号转换器的积分非线性误差的分布情况在连接处引入反向微分非线性误差。
在其中一个实施例中，信号转换器为数模转换器或模数转换器。
一种信号转换器的电阻分压网络，包括：
M个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，M为大于1的整数，其中，
通过在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。
在其中一个实施例中，根据电阻串的类型增加或减小连接处的电阻，以在连接处引入反向微分非线性误差。
在其中一个实施例中，电阻串的类型包括正电压系数类型和负电压系数类型，其中，
当电阻串的类型为正电压系数类型时，通过增加连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来减小连接处的电阻，以在连接处引入负的反向微分非线性误差；
当电阻串的类型为负电压系数类型时，通过减少连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来增加连接处的电阻，以在连接处引入正的反向微分非线性误差。
一种信号转换器，其包括上述的电阻分压网络。
上述信号转换器、电阻分压网络及其线性度补偿方法，其中，电阻分压网络包括M个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，通过在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，以对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。由此，在不增加额外电路、工艺以及成本的条件下，通过在电阻串连接处引入反向的微分非线性跳变来对信号转换器的电压增益误差进行补偿，从而有效降低因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差。
附图说明
图1为传统数模转换器中电阻分压网络的电路图及版图；
图2为一个实施例中信号转换器中电阻分压网络的电路图；
图3为图2所示信号转换器中电阻分压网络的版图；
图4为一个实施例中信号转换器中电阻分压网络的线性度补偿方法的流程图；
图5a为一个实施例中对电阻串连接处的电阻进行减少的版图；
图5b为一个实施例中对电阻串连接处的电阻进行增加的版图；
图6a为补偿前正电压系数类型的电阻串对应的数模转换器的非线性图；
图6b为补偿后正电压系数类型的电阻串对应的数模转换器的非线性图；
图7a为补偿前负电压系数类型的电阻串对应的数模转换器的非线性图；
图7b为补偿后负电压系数类型的电阻串对应的数模转换器的非线性图。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
电阻分压型数模转换器因其结构简单，是低精度要求应用中的常用结构。一个N位的数模转换器通过在高低两个电压(通常为电源和地)之间插入2N个相同的电阻进行分压，且每个电阻连接的节点电压通过数字编码控制开关选择抽头输出，其实现原理如图1所示。
从图1可以看出，在该结构中，由于每个抽头的电压值不可能低于下面的抽头，因而具有很好的单调性。但是，由于电阻存在一定的电压系数，导致同样大小的电阻实际分压会随着电阻两端的电压不同而出现单向的递增或递减 (由不同类型电阻的电压系数决定增或减)，从而给数模转换器造成增益误差，而该增益误差会明显恶化数模转换器的积分非线性，尤其在分辨率较高、功耗较低的应用中，该增益误差对数模转换器的积分非线性恶化会更加明显。
相关技术中，主要通过以下方式来修正因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差：
1)通过增大电阻串电流来减小电阻电压系数的影响。在该方式中，增大电阻串电流意味着减小电阻的阻值，而减小电阻的阻值会增大数模转换器中开关导通电阻的影响，从而带来数模转换器的微分非线性(DNL)的恶化。
2)通过数字化方式进行校准。而数字化校准通常要求系统使用高分辨率转换器，因而会增加系统成本，同时在校准过程中需要使用ATE(自动测试设备)，因此查找表格或者校准系数的构建和编程需要通过手动方式完成，在实际生产中非常耗时且价值不大。
3)通过调整电压基准来校准增益误差。该方式虽然能够满足高精度要求，但是需要一个可微调的基准源，因而会增加额外的辅助电路且应用较为复杂。
4)通过工艺针对电阻阻值进行高精度修正。该方式虽然可以获取高精度的电阻阻值，但是生产成本会显著增加。
基于此，本申请旨在不增加额外电路、工艺以及成本的条件下，有效降低因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差。
图2为一个实施例中信号转换器中电阻分压网络的电路图，图3为图2所示信号转换器中电阻分压网络的版图，参考图2-图3所示，电阻分压网络包括 M个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，其中，M为大于1的整数。
具体而言，为便于理解，下面以在图1所示N位数模转换器的基础上对本申请的电阻分压网络进行说明。在图1中，数模转换器的电阻分压网络是通过将2N个相同的电阻串联连接在第一参考电压(高参考电压)与第二参考电压(低参考电压)之间形成，其中，可将串联连接的2N个电阻认定为一个单条电阻(或电阻串)，即图1所示数模转换器的电阻分压网络是由一个单条电阻构成。
而在本申请中，参考图2所示，是将串联连接的2N个电阻分为M段且每段具有相同数量的电阻，即将一个单条电阻分成M个电阻串，其中每个电阻串具有相同数量的电阻，例如，当N＝10、M＝8时，每个电阻串均由128个电阻串联而成，然后将M个电阻串串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间。参考图3所示，在电阻分压网络的版图中，在将M个电阻串串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间时，每个电阻的两端均通过接触孔(图中正方形框所示) 和抽头线(如金属线，图中左斜线区域所示)引出抽头，且相邻两个电阻串之间通过金属连线(图中右斜线区域所示)连接。其中，每个电阻串内(不包括两端)的电阻以及抽头均保持一致，即拥有相同的电压系数，但在每个电阻串连接的抽头处，因接触孔和金属连线的不同，抽头两端电阻的阻值会明显变化，从而导致转接处抽头的输出出现一个电压跳变，对数模转换器而言，即存在一个可微调的微分非线性，而通过调整该微分非线性可改变数模转换器的积分非线性。因此在本申请中，可利用电阻串连接处产生的微分非线性来补偿由电阻电压系数产生的积分非线性，从而有效降低数模转换器的积分非线性误差。
参考图4所示，信号转换器中电阻分压网络的线性度补偿方法包括：
步骤S402，在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，其中，反向微分非线性误差是指与当前相反的微分非线性误差(跳变)。
也就是说，可在相邻两个电阻串的连接处引入一个与当前相反的微分非线性误差，例如，可在图2所示部分或全部电阻串连接处分别引入一个与当前相反的微分非线性误差。
步骤S404，通过反向微分非线性误差对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。
具体而言，由于在电阻串连接处引入了与当前相反的微分非线性误差，因而可对数模转换器的电压增益误差进行补偿，从而可有效降低数模转换器的累积积分非线性误差。
在一个实施例中，在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：根据电阻串的类型增加或减小连接处的电阻，以在连接处引入反向微分非线性误差。进一步地，在一个实施例中，根据电阻串的类型增加或减小连接处的电阻，以在连接处引入反向微分非线性误差，包括：当电阻串的类型为正电压系数类型时，通过增加连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来减小连接处的电阻，以在连接处引入负的反向微分非线性误差；当电阻串的类型为负电压系数类型时，通过减少连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来增加连接处的电阻，以在连接处引入正的反向微分非线性误差。
具体而言，通过前述分析可知，当电阻串连接处的抽头两端电阻的阻值(即电阻串连接处的阻值)发生变化时，会导致转接处抽头的输出出现一个电压跳变，即存在一个可微调的微分非线性。因此通过增加或减小电阻串连接处的电阻，可引入一个反向微分非线性误差来对数模转换器的电压增益误差进行补偿。而电阻串连接处的电阻与连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度以及电阻长度有关。因此通过改变电阻串连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度或者电阻长度可改变电阻串连接处的电阻阻值，进而改变电阻串连接处的微分非线性，以对数模转换器的电压增益误差进行补偿，从而有效降低数模转换器的积分非线性。
其中，在电阻串连接处引入一个反向微分非线性误差时，可根据电阻串的类型来确定所引入的反向微分非线性误差是正的还是负的。
举例来说，参考图5a所示，当电阻串的类型为正电压系数类型时，可将电阻串连接处两侧的接触孔数量分别由原来的三个增加为六个(该示例中也同时增加了金属连线的宽度)，以减小电阻串连接处的阻值，从而在电阻串连接处引入一个负的反向微分非线性误差，以对数模转换器的积分非线性进行补偿；参考图5b所示，当电阻串的类型为负电压系数类型时，可将电阻串连接处两侧的接触孔数量分别由原来的三个减少为两个(该示例中也同时减少了金属连线的宽度)，以增加电阻串连接处的阻值，从而在电阻串连接处引入一个正的反向微分非线性误差，以对数模转换器的积分非线性进行补偿。
进一步地，图6a-图6b给出了补偿前后不同类型电阻串对应的数模转换器的非线性图。其中，图6a为补偿前正电压系数类型的电阻串对应的数模转换器的非线性图，图6b为补偿后正电压系数类型的电阻串对应的数模转换器的非线性图，从图6a-图6b可以看出，对于正电压系数电阻串，通过在电阻串连接处增加接触孔等方式来减小电阻，进而引入一个负的微分非线性误差，即可有效补偿累积效应的积分非线性误差。图7a为补偿前负电压系数类型的电阻串对应的数模转换器的非线性图，图7b为补偿后负电压系数类型的电阻串对应的数模转换器的非线性图，从图7a-图7b可以看出，对于负电压系数电阻串，通过在电阻串连接处减少接触孔等方式来增加电阻，进而引入一个正的微分非线性误差，即可有效补偿累积效应的积分非线性误差。
由此，在不增加额外电路、工艺以及成本的条件下，通过调节电阻串连接处的阻值，引入一个与电阻串电压特性反向的微分非线性跳变来对数模转换器的电压增益误差进行补偿，可有效地降低数模转换器的累积积分非线性误差。
需要说明的是，上述示例中电阻串连接处两侧的接触孔数量是同步变化的，而在实际应用中，可仅一侧变化，也可两侧同时变化且变化量不同，具体可根据实际需求灵活设置，这里不做限制。另外，电阻长度的增加或减少实质是微调电阻串连接处的实际电阻的阻值，例如，可通过拉伸实际电阻(如电阻片) 来增加电阻的长度，进而对实际电阻的阻值进行微调。
在一个实施例中，在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：周期性在每个连接处引入反向微分非线性误差。
也就是说，当数模转换器出现积分非线性误差或者积分非线性误差较大时，可周期性调整每个电阻串连接处的微分非线性，以对数模转换器的积分非线性误差进行补偿。例如，可先根据电阻串的类型在每个电阻串连接处引入一个大小为A(A为一个较小值)的反向微分非线性误差，并确定当前积分非线性误差是否满足预设要求，如果不满足，则再次在每个电阻串连接处引入一个大小为A 的反向微分非线性误差，并确定当前积分非线性误差是否满足预设要求，…，重复执行，直至当前积分非线性误差满足预设要求。
本实施例中，通过周期性在每个连接处引入反向微分非线性误差，可有效降低数模转换器的积分非线性误差。
在一个实施例中，在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：获取每个连接处的微分非线性误差和/或信号转换器的积分非线性误差的分布情况；根据每个连接处的微分非线性误差和/或信号转换器的积分非线性误差的分布情况在连接处引入反向微分非线性误差。
也就是说，当数模转换器出现积分非线性误差或者积分非线性误差较大时，可根据每个电阻串连接处的微分非线性误差和信号转换器的积分非线性误差分布情况中的一个或多个来确定需要调整的位置以及调整量，进而根据调整位置和调整量引入相应的反向微分非线性误差，以对数模转换器的积分非线性误差进行补偿。例如，依次判断每个电阻串连接处的微分非线性是否满足预设要求，如果不满足，则计算不满足位置处的微分非线性与预设阈值之间的差值，并根据差值确定需要引入的反向微分非线性误差的大小(调整量)，进而根据大小以及电阻串的类型在相应位置处引入反向微分非线性误差，以对数模转换器的积分非线性误差进行补偿，由此不仅能够保证数模转换器的积分非线性，同时可保证微分非线性。又如，判断数模转换器的积分非线性是否满足预设要求，如果不满足，则通过分析积分非线性分布情况来确定可能引起积分非线性误差的位置(可能是一个或多个)，并根据分布情况分析出所需调整量，然后根据所需调整量以及电阻串的类型在相应位置处引入反向微分非线性误差，以对数模转换器的积分非线性误差进行补偿，由此保证数模转换器的积分非线性。
本实施例中，通过根据每个电阻串连接处的微分非线性误差和/或信号转换器的积分非线性误差分布情况可灵活设定需要调整的位置以及调整量，使得调整更加快速且具有针对性。
需要说明的是，本申请的补偿方法不仅适用于数模转换器中，还适用于模数转换器中，而且其除了适用于电阻电压系数导致的增益误差外，还可以扩展到其它类型的数模转换器或模数转换器中，例如，因抽头处的版图匹配性不好导致的信号转换器线性度差的情况，具体这里不做限制。
上述信号转换器中电阻分压网络的线性度补偿方法，其中，电阻分压网络包括M个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，通过在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，以对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。由此，通过在电阻串连接处引入反向的微分非线性跳变来对电阻分压网络的电压增益误差进行补偿，有效降低了因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差，显著提升了信号转换器的积分非线性。并且，相较于其它补偿方式，无需复杂的校准电路，大大降低了信号转换器的应用以及测试难度，同时无需特殊的可微调基准源电路，简化了设计难度，以及无需特殊的工艺修正，大幅降低了生产成本。而且，采用本申请的分段式电阻分压网络可解决当信号转换器的位数较多时，采用单条电阻难以实现的问题。
本申请还提供了一种信号转换器的电阻分压网络，参考图2-图3所示，信号转换器的电阻分压网络包括：M个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，M为大于1的整数，其中，通过在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。
在一个实施例中，根据电阻串的类型增加或减小连接处的电阻，以在连接处引入反向微分非线性误差。
在一个实施例中，电阻串的类型包括正电压系数类型和负电压系数类型，其中，当电阻串的类型为正电压系数类型时，通过增加连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来减小连接处的电阻，以在连接处引入负的反向微分非线性误差；当电阻串的类型为负电压系数类型时，通过减少连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来增加连接处的电阻，以在连接处引入正的反向微分非线性误差。
需要说明的是，关于本申请信号转换器的电阻分压网络的描述可参考前述关于信号转换器的电阻分压网络的线性度补偿方法的描述，这里就不再赘述。
上述信号转换器的电阻分压网络，包括M个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，通过在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，以对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。由此，通过在电阻串连接处引入反向的微分非线性跳变来对电阻分压网络的电压增益误差进行补偿，从而有效降低因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差。
本申请还提供了一种信号转换器，其包括上述的电阻分压网络。
上述信号转换器，包括M个电阻串，每个电阻串具有相同数量的电阻，且每个电阻的两端均通过接触孔引出抽头，M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，通过在相邻两个电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，以对信号转换器的积分非线性误差进行补偿。由此，通过在电阻串连接处引入反向的微分非线性跳变来对电阻分压网络的电压增益误差进行补偿，从而有效降低因电阻电压系数造成的增益误差所带来的积分非线性误差。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种信号转换器中电阻分压网络的线性度补偿方法，其特征在于，所述电阻分压网络包括M个电阻串，每个所述电阻串具有相同数量的电阻，且每个所述电阻的两端均通过接触孔引出抽头，所述M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，M为大于1的整数，所述补偿方法包括：
在相邻两个所述电阻串的连接处引入反向微分非线性误差；
通过所述反向微分非线性误差对所述信号转换器的积分非线性误差进行补偿。
2.根据权利要求1所述的补偿方法，其特征在于，所述在相邻两个所述电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：
根据所述电阻串的类型增加或减小所述连接处的电阻，以在所述连接处引入反向微分非线性误差。
3.根据权利要求2所述的补偿方法，其特征在于，所述根据所述电阻串的类型增加或减小所述连接处的电阻，以在所述连接处引入反向微分非线性误差，包括：
当所述电阻串的类型为正电压系数类型时，通过增加所述连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来减小所述连接处的电阻，以在所述连接处引入负的反向微分非线性误差；
当所述电阻串的类型为负电压系数类型时，通过减少所述连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来增加所述连接处的电阻，以在所述连接处引入正的反向微分非线性误差。
4.根据权利要求1所述的补偿方法，其特征在于，所述在相邻两个所述电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：
周期性在每个所述连接处引入所述反向微分非线性误差。
5.根据权利要求1所述的补偿方法，其特征在于，所述在相邻两个所述电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，包括：
获取每个所述连接处的微分非线性误差和/或所述信号转换器的积分非线性误差的分布情况；
根据每个所述连接处的微分非线性误差和/或所述信号转换器的积分非线性误差的分布情况在所述连接处引入所述反向微分非线性误差。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的补偿方法，其特征在于，所述信号转换器为数模转换器或模数转换器。
7.一种信号转换器的电阻分压网络，其特征在于，包括：
M个电阻串，每个所述电阻串具有相同数量的电阻，且每个所述电阻的两端均通过接触孔引出抽头，所述M个电阻串通过金属连线串联连接在第一参考电压与第二参考电压之间，M为大于1的整数，其中，
通过在相邻两个所述电阻串的连接处引入反向微分非线性误差，对所述信号转换器的积分非线性误差进行补偿。
8.根据权利要求7所述的电阻分压网络，其特征在于，根据所述电阻串的类型增加或减小所述连接处的电阻，以在所述连接处引入反向微分非线性误差。
9.根据权利要求8所述的电阻分压网络，其特征在于，所述电阻串的类型包括正电压系数类型和负电压系数类型，其中，
当所述电阻串的类型为正电压系数类型时，通过增加所述连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来减小所述连接处的电阻，以在所述连接处引入负的反向微分非线性误差；
当所述电阻串的类型为负电压系数类型时，通过减少所述连接处的接触孔数量、接触孔大小、金属连线宽度和电阻长度中的一种或多种来增加所述连接处的电阻，以在所述连接处引入正的反向微分非线性误差。
10.一种信号转换器，其特征在于，包括根据权利要求7-9中任一项所述的电阻分压网络。
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