CN111912363A - 将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件 - Google Patents

将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件 Download PDF

Info

Publication number
CN111912363A
CN111912363A CN202010382111.9A CN202010382111A CN111912363A CN 111912363 A CN111912363 A CN 111912363A CN 202010382111 A CN202010382111 A CN 202010382111A CN 111912363 A CN111912363 A CN 111912363A
Authority
CN
China
Prior art keywords
partial sections
group
partial
section
carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010382111.9A
Other languages
English (en)
Inventor
R.迈尔
J.米特莱特纳
W.普克尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Original Assignee
Dr Johannes Heidenhain GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dr Johannes Heidenhain GmbH filed Critical Dr Johannes Heidenhain GmbH
Publication of CN111912363A publication Critical patent/CN111912363A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0004—Supports
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B3/002—Details
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24428—Error prevention
    • G01D5/24433—Error prevention by mechanical means
    • G01D5/24442—Error prevention by mechanical means by mounting means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Connection Of Plates (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

本发明涉及将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件，具体而言涉及用于将在纵向上延伸的带有用于至少在纵向上进行位置测量的测量刻度的载体端侧地固定在基体的安装面处的组件。组件具有第一固定元件和第二固定元件。第一和第二固定元件具有可与基体刚性连接的第一或者第二主区段和可与载体刚性连接的第一组或者第二组部分区段。第一和第二主区段至少部分在第一或者第二平面中横向于纵向延伸。第一和第二组部分区段沿着处在第一或者第二平面中的呈圆形的周缘围绕第一或者第二中心分布地布置。在第一主区段与第一组部分区段之间相应地布置有第一连接区段。在第二主区段与第二组部分区段之间相应地布置有第二连接区段。

Description

将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件
技术领域
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的用于将在纵向上延伸的带有用于至少在纵向上进行位置测量的测量刻度(Messteilung)的载体端侧地固定在基体的安装面(Anbaufläche)处的组件。
背景技术
位置测量设备用于确定两个彼此可移动的构件的位置。其在加工机器的情形中被用于测量刀具关于待加工工件的相对运动，在坐标测量机器的情形中且更多地同样在半导体工业中被用于定位和加工晶片。
位置测量设备由尺寸量具(Maßverkörperung，有时称为尺寸标准量具)和探测尺寸量具的探测单元构成。对位置测量设备的要求变得越来越高。更高的分辨率以及更高的精度和位置测量的可重复性被持续要求。为了构成尺寸量具相对基体(例如机器的床身)的固定点如下是已知的，即，在测量方向上位置固定地将这些尺寸量具紧固在相对基体的某一位置处。
在大多数情况中，尺寸量具和基体由带有不同热膨胀特性的材料构成。位置固定的紧固应如此来设计，即，在温度变化的情形中强制力(Zwangskraft)不由基体被施加到尺寸量具上。
由DE 35 09 390 A1已知一种该类型的组件。DE 35 09 390 A1公开了一种被包封的长度测量设备、尤其用于将测量系统固定在机器处的器件。该测量设备包括测量刻度和探测结构单元，其布置在伸长的、在端侧处被密封盖封闭的空心体中。密封盖经由弹性中间件与各一个固定块相连接，其中，在每个固定块的三个正交的面处设置有用于固定在机器处的器件。空心体在三个正交的纵向面处具有用于容纳起弹性作用的固定器件的槽。
发明内容
本发明基于如下目的，即，说明一种用于将在纵向上延伸的带有用于至少在纵向上进行位置测量的测量刻度的载体端侧地固定在基体的安装面处的组件，其被稳固地构建且以其使得精确的位置测量成为可能。
该目的根据本发明通过一种带有权利要求1的特征的组件来实现。
根据本发明所构造的组件用于将在纵向上延伸的带有用于至少在纵向上进行位置测量的测量刻度的载体端侧地固定在基体的安装面处。该组件具有第一固定元件和第二固定元件。第一固定元件和第二固定元件可被定位在载体的在纵向上相对而置的侧上。第一固定元件和第二固定元件如此地构造，即，载体在其端部处可被第一固定元件和第二固定元件侧向上接触。第一固定元件如此地构造，即，载体在其面对第一固定元件的端部处可在纵向上刚性地相对基体被承载。第二固定元件如此地构造，即，载体在其面对第二固定元件的端部处可在纵向上可自由移动地相对基体被承载。第一固定元件具有可与基体刚性连接的第一主区段和可与载体刚性连接的第一组部分区段。第一主区段至少部分在第一平面中横向于纵向延伸。第一组部分区段沿着处在第一平面中的呈圆形的周缘围绕第一中心分布地布置。在第一主区段与第一组部分区段之间相应地布置有第一连接区段。第一连接区段如此地构造，即，其允许在第一主区段与第一组部分区段之间在径向上关于第一中心的运动，然而不允许在第一主区段与第一组部分区段之间在周缘方向上关于第一中心的运动。第二固定元件具有可与基体刚性连接的第二主区段和可与载体刚性连接的第二组部分区段。第二主区段至少部分在第二平面中横向于纵向延伸。第二组部分区段沿着处在第二平面中的呈圆形的周缘围绕第二中心分布地布置。在第二主区段与第二组部分区段之间相应地布置有两个连接区段。第二连接区段如此地构造，即，其允许在第二主区段与第二组部分区段之间在径向上关于第二中心的运动，然而不允许在第二主区段与第二组部分区段之间在周缘方向上关于第二中心的运动。
优选地，该组件用于将多个标尺(Maßstab)的呈梁状的载体端侧地固定在基体的安装面处。标尺相应地在纵向上延伸。标尺相应地具有用于至少在纵向上进行位置测量的测量刻度。
优选地，处在第一平面中的呈圆形的周缘关于第一中心被定义，而处在第二平面中的呈圆形的周缘关于第二中心被定义。
优选地，纵向与(主)测量方向相符。径向与正交于纵向伸延的且关于第一中心或者关于第二中心被定义的方向相符。周缘方向与正交于径向伸延且关于第一中心或者关于第二中心被定义、也就是说处在第一平面中或者在第二平面中的切向相符。
优选地，第一固定元件构造成固定支承件。第二固定元件优选构造成浮动支承件(Loslager，有时称为松动支承件)。
如下是有利的，当在径向上在第一组部分区段与第一中心之间的间距和在径向上在第二组部分区段与第二中心之间的间距如此来选择，即，组件的预先给定的抗扭刚度被达到。
通过本发明，利用稳固构建的组件一方面使得尺寸量具相对基体的(局部的)位置固定的紧固成为可能且另一方面使得尺寸量具由基体至少在纵向(测量方向)上以及相应地在端侧在径向上的解耦成为可能。通过该解耦实现如下，即，即使在温度变化的情形中强制力不由基体被施加到尺寸量具上。尤其地，在尺寸量具(也就是说带有测量刻度的载体)与相应的固定元件(也就是说固定支承件或者浮动支承件)之间的不同热膨胀特性可在横向于纵向的平面中被补偿。此外，本发明使得组件的抗扭刚度和固有频率的提高成为可能。由此实现组件的稳固的结构。
在权利要求15中说明了一种带有根据本发明的组件和载体的结构单元，其中，载体具有用于至少在纵向上进行位置测量的测量刻度。
该载体尤其由带有在0°至50°的温度范围中小于1.5x10-6K-1、优选小于0.1x10-6K-1的热膨胀系数的材料构成。
本发明的有利的构造方案由从属权利要求得悉。
附图说明
根据本发明的组件的细节和优点由实施例借助附图的下面的说明得出。
其中：
图1 显示了带有相应布置在呈梁状的载体的端侧的第一和第二固定元件的根据本发明构造的组件的透视视图；
图2 显示了第一固定元件的透视视图；
图3 显示了第二固定元件的透视视图；
图4 显示了用于图解说明第一固定元件的在凹口内在纵向上可自由移动的部分区段的带有在纵向上延伸的截平面的第一固定元件的透视视图；
图5 显示了用于图解说明第一固定元件的在凹口内围绕转动点至少围绕平行于横向或者平行于高度方向伸延的转动轴可自由转动的另外的部分区段的带有在纵向上延伸的截平面的第一固定元件的透视视图；
图6 显示了用于图解说明第二固定元件的在凹口内在纵向上可自由移动的部分区段的带有在纵向上延伸的截平面的第二固定元件的透视视图；
图7 显示了用于图解说明在第一固定元件的一组部分区段与呈梁状的载体之间的示例的相对布置的示意性图示；
图8 显示了用于图解说明在第二固定元件的一组部分区段与呈梁状的载体之间的示例的相对布置的示意性图示；
图9显示了用于图解说明在第一固定元件的一组部分区段与呈梁状的载体之间的另一示例的相对布置的示意性图示；且
图10显示了用于图解说明在第二固定元件的一组部分区段与呈梁状的载体之间的另一示例的相对布置的示意性图示。
具体实施方式
本发明的一种实施形式在下面借助图1至6进行说明。根据本发明构造的组件10在图1中被显示。组件10用于将多个标尺(下面标尺14，其中，在图1中仅两个标尺14.1,14.2可见)的呈梁状的载体12端侧地固定在基体20的安装面18处。标尺14相应地在纵向X上延伸。标尺14相应地具有测量刻度(下面测量刻度16，其中，在图1中仅两个测量刻度16.1,16.2可见)。测量刻度16中的每个构造成用于至少在纵向X上的高精度位置测量的可光电探测的增量刻度(Inkrementalteilung)。呈梁状的载体12在纵向X上延伸且优选地由带有可忽略的较小的热膨胀系数的材料、尤其带有在0°至50°的温度范围中小于1.5x10-6K-1、尤其然而小于0.1x10-6K-1的热膨胀系数α的材料构成。这样的材料是玻璃或者玻璃陶瓷(例如微晶玻璃(Zerodur))或金属例如因瓦合金(Invar)。基体20例如由钢构成。
标尺14布置在呈梁状的载体12的纵向侧的各一个上、也就是说在呈梁状的载体12的两个在横向Y上或者在两个在高度方向Z上相对而置的侧上。标尺14相应地充当关联于相应的标尺14的测量刻度16的中间载体(Zwischenträger)。标尺14可被粘贴到呈梁状的载体12的表面上。
备选地，标尺14同样可被移去。在该情况中，测量刻度16直接(也就是说不带有中间载体地)布置在呈梁状的载体12的纵向侧上或者被集成到其中。测量刻度16例如通过激光处理在呈梁状的载体12的表面中形成。
组件10和呈梁状的载体12构成一个结构单元。标尺14的测量刻度16可通过在图1中未显示的围绕呈梁状的载体12的探测单元被探测。
组件10具有构造成固定支承件的第一固定元件22和构造成浮动支承件的第二固定元件24。第一固定元件22和第二固定元件24布置在呈梁状的载体12的在纵向X上相对而置的侧上。第一固定元件22和第二固定元件24如此地构造，即，呈梁状的载体12在其端部处可被第一固定元件22和第二固定元件24侧向上接触。第一固定元件22和第二固定元件24具有与呈梁状的载体12不同的热膨胀系数。例如，第一固定元件22和第二固定元件24由钢构成。
第一固定元件22如此地构造，即，呈梁状的载体12在其面对第一固定元件22的端部处可在纵向X上刚性地相对基体20被承载。第二固定元件24如此地构造，即，呈梁状的载体12在其面对第二固定元件24的端部处可在纵向X上可自由移动地相对基体20被承载。如在图1中所显示的那样，第一固定元件22和第二固定元件24可被固定在基体20的安装面18处。
第一和第二固定元件22,24的更进一步的细节借助图2至6(与图7至10相联系)进行说明。
图2显示了第一固定元件22的透视视图。第一固定元件22具有呈角状构造的可与基体20刚性连接的第一主区段26和可与呈梁状的载体12刚性连接的第一组部分区段32.1至32.4。第一主区段26至少部分在第一平面S1中横向于纵向X延伸。第一组的部分区段31.2至32.4沿着处在第一平面S1中的呈圆形的周缘C1围绕第一中心P1分布地布置(参见图2和7或者9)。
关于图2和7或者9，在第一主区段26与第一组的部分区段32.1至32.4之间相应地布置有第一连接区段34.1至34.4。第一连接区段34.1至34.4如此地构造，即，其允许在第一主区段26与第一组的部分区段32.1至32.4之间在径向R1上关于第一中心P1的运动，然而不允许在第一主区段26与第一组的部分区段32.1至32.4之间在周缘方向T1上关于第一中心P1的运动。
图3显示了第二固定元件24的透视视图。第二固定元件24具有呈角状构造的可与基体20刚性连接的第二主区段36和可与呈梁状的载体12刚性连接的第二组部分区段42.1至42.4。第二主区段36至少部分在第二平面S2中横向于纵向X延伸。第二组的部分区段42.1至42.4沿着处在第二平面S2中的呈圆形的周缘C2围绕第二中心P2分布地布置(参见图3和8或者10)。
关于图3和8或者10，在第二主区段36与第二组的部分区段42.1至42.4之间相应地布置有第二连接区段44.1至44.4。第二连接区段44.1至44.4如此地构造，即，其允许在第二主区段36与第二组的部分区段42.1至42.4之间在径向R2上关于第二中心P2的运动，然而不允许在第二主区段36与第二组部分区段42.1至42.4之间在周缘方向T2上关于第二中心P2的运动。
如下是有利的，当第一和第二中心P1,P2在纵向X上彼此相对而置(也就是说第一和第二中心P1,P2处在纵轴线上)时。由此尤其如此地实现镜像对称的布置，即，第一和第二组部分区段32.1至32.4、42.1至42.4相应地在纵向X上彼此相对而置。这尤其当在径向R1上在第一组部分区段32.1至32.4与第一中心P1之间的间距和在径向R2上在第二组部分区段42.1至42.4与第二中心P2之间的间距相同大小地来选择时才是这种情况。
通过第一和第二连接区段34.1至34.4、44.1至44.4引起呈梁状的载体12在其端部处的解耦，也就是说其实现在呈梁状的载体12与相应的构造成固定支承件或者浮动支承件的固定元件22,24之间的由不同热膨胀系数所引起的相对膨胀的补偿。在此，相对膨胀的解耦或者补偿在径向R1,R2上在第一或者第二平面S1,S2(也就是说在YZ平面)中相应地由第一或者第二中心P1,P2出发实现。同时，通过第一和第二连接区段34.1至34.4、44.1至44.4引起在周缘方向T1,T2上在呈梁状的载体12与相应的固定元件22,24之间的相对运动的相应端侧的止动。由此得出组件10的抗扭刚度和固有频率的提高。
第一主区段26具有固定区段28.1和呈方形的区段28.2。固定区段28.1包括一对凹口30.1,30.2(尤其参见图2和5)。呈方形的区段28.2由第一平面S1在纵向X上延伸至与第一平面S1平行地相对而置的第三平面S2。呈方形的区段28.2包括另一对凹口30.3,30.4。凹口30.1至30.4用于容纳固定螺纹紧固件。通过固定螺纹紧固件，第一固定元件22可被固定在基体20处。
第二主区段36具有固定区段38.1和呈方形的区段38.2。固定区段38.1包括一对凹口(其中，在图3和6中相应地仅一个凹口40.1可见)。呈方形的区段38.2由第二平面S2在纵向X上延伸至与第二平面S2平行地相对而置的第四平面S4。呈方形的区段38.2包括另一对凹口40.3,40.4。凹口40.1至40.4用于容纳固定螺纹紧固件。通过固定螺纹紧固件，第二固定元件24可被固定在基体20处。
关于图2，第一固定元件22附加于第一组部分区段32.1至32.4具有另一部分区段32.5，其可与呈梁状的载体12刚性连接。另一部分区段32.5在第一平面S1中布置在第一中心P1上(参见图2和7或者9)。第一主区段26和另一部分区段32.5经由凹口接合部(Kerbgelenk)34.5(例如球接合部)如此地彼此连接，即，在第一主区段26与另一部分区段32.5之间在纵向X上的运动被阻止。由此实现承载标尺14的呈梁状的载体12相对基体20的(局部的)位置固定的紧固。
如在图2中所显示的那样，第一组部分区段32.1至32.4和另一部分区段32.5平行于第一平面S1延伸。第一组部分区段32.1至32.4和另一部分区段32.5相应呈盘片状地构造。如在图3中所显示的那样，第二组部分区段42.1至42.4平行于第二平面S2延伸。第二组部分区段42.1至42.4相应呈盘片状地构造。
根据图2，第一组部分区段32.1至32.4和另一部分区段32.5具有用于施覆用于将呈梁状的载体12的面对第一固定元件22的端部与第一组部分区段32.1至32.4和另一部分区段32.5材料配合地连接的粘合剂的第一表面。根据图3，第二组部分区段42.1至42.4具有用于施覆用于将呈梁状的载体12的面对第二固定元件24的端部与第二组部分区段42.1至42.4材料配合地连接的粘合剂的第二表面。该粘合剂尤其是粘稠的结构粘合剂。通过粘合连接可取消在呈梁状的载体12中的螺纹孔。这使得组件10的紧凑的结构成为可能。
如在图2中显示的那样，相应呈桥接部状(stegförmig)构造的第一连接区段34.1至34.4平行于第一平面S1延伸。如在图3中所显示的那样，相应呈桥接部状构造的第二连接区段44.1至44.4平行于第二平面S2延伸。第一连接区段34.1至34.4相应地由第一组部分区段32.1至32.4出发在周缘方向T1上朝向第一主区段26(参见图2和7或者9)伸延。第二连接区段44.1至44.4相应地由第二组部分区段42.1至42.4出发在周缘方向T2上朝向第二主区段36伸延(参见图3和8或者10)。第一和第二连接区段34.1至34.4、44.1至44.4尤其在径向R1,R2上可偏转，而其在周缘方向T1,T2上不可偏转且因此防止呈梁状的载体12围绕平行于X轴线(纵轴线)伸延的转动轴的旋转。也就是说，旋转自由度RX被大致阻止。
另一方面，通过第一和第二连接区段34.1至34.4、44.1至44.4使得呈梁状的载体12的两个端部相应围绕平行于Y轴线或者平行于Z轴线伸延的转动轴的旋转成为可能。由此避免呈梁状的载体12的弯曲。此外，通过第一和第二连接区段34.1至34.4、44.1至44.4实现在横向(Y方向)或者高度方向(Z方向)上相对较高的刚度。
根据图2,4和5，第一主区段26包括关联于第一组部分区段32.1至32.4的第一凹口35.1至35.4。第一凹口35.1至35.4在纵向X上穿过第一主区段26由第一平面S1延伸直至第三平面S3。在图4中尤其地关联于部分区段32.1的凹口35.1良好可见。第一组部分区段32.1至32.4通过第一连接区段34.1至34.4在纵向X上的弯曲在第一凹口35.1至35.4内可自由移动。由此实现如下，即，呈梁状的载体12的面对第一固定元件22的端部的旋转自由度RY和RZ不被阻止。
尤其地，第一连接区段34.1至34.4如此地构造，即，其允许在第一主区段26与第一组部分区段32.1至32.4之间在纵向X上的运动。
此外，第一主区段26包括关联于另外的部分区段32.5的另外的凹口35.5。该另外的凹口35.5在纵向X上至少部分穿过第一主区段26由第一平面S1在第三平面S3的方向上延伸。另外的部分区段32.5通过凹口接合部34.5围绕转动点Q的转动在另外的凹口35.5内至少围绕平行于Y方向或者平行于Z方向延伸的转动轴可自由转动。转动点Q在图5中被显示。
根据图3和6，第二主区段36包括关联于第二组部分区段42.1至42.4的第二凹口45.1至45.4。第二凹口45.1至45.4在纵向X上穿过第二主区段36由第二平面S2延伸直至第四平面S4。在图6中，尤其地关联于部分区段42.1的凹口45.1良好可见。第二组部分区段42.1至42.4通过第二连接区段44.1至44.4在纵向X上的弯曲在第二凹口45.1至45.4内在纵向X上可自由移动。由此实现如下，即，呈梁状的载体12的面对第二固定元件24的端部的旋转自由度RY和RZ不被阻止。
尤其地，第二连接区段44.1至44.4如此地构造，即，其允许在第二主区段36与第二组部分区段42.1至42.4之间在纵向X上的运动。
在图7至10中显示了用于图解说明在第一或者第二固定元件22,24的相应组的部分区段32.1至32.4、42.1至42.4与呈梁状的载体12之间的不同的相对布置的示意性图示。
参考图7，呈梁状的载体12的面对第一固定元件22的端部的横截面的第一中心P1和第一重心N1(例如与中性轴线重合的重心)在视线方向上垂直于第一平面S2重叠地被定位。参考图8，呈梁状的载体12的面对第二固定元件24的端部的横截面的第二中心P2和第二重心N2(例如与中性轴线重合的重心)在视线方向上垂直于第二平面S2重叠地被定位。根据图7和8的相对布置示出了关于重心N1,N2对称的布置。该对称的布置是优选的。
根据图9和10的相对布置通过如下方式区别于根据图7和8的相对布置，即，第一重心N1和第一共同的点P1在视线方向上垂直于第一平面S1彼此间隔地被定位(参见图9)而第二重心N2和第二共同的点P2在视线方向上垂直于第二平面S2彼此间隔地被定位(参见图10)。根据图9和10的相对布置示出了关于重心N1,N2非对称的布置且可备选地被使用。
关于图7和8(或者图9和10)，第一和第二组部分区段32.1至32.4、42.1至42.4相应地构成关于第一或者第二中心P1,P2对称的布置。第一组部分区段32.1至32.4和第二组部分区段42.1至42.4相应地包括四个部分区段，其彼此以相同的角间距(例如
Figure DEST_PATH_IMAGE002
)布置。第一组部分区段32.1至32.4在径向R1上具有相同的与第一中心P1的间距(参见图7或者9)。第二组部分区段42.1至42.4在径向R2上具有相同的与第二中心P2的间距(参见图8或者10)。
通过该对称的布置，在径向R1,R2上引起在周缘上均匀分布的、也就是说对于每个角度而言相同的刚度。此外，该对称的布置引起在宽度和高度上相同的横向刚度、也就是说在Y或者Z方向上的刚度。
通过根据本发明的组件10实现如下，即，旋转刚度RX相比旋转刚度RY或者RZ不仅在固定支承件侧而且在浮动支承件侧上相对较大。此外实现相对较高的横向刚度、也就是说在Y或者Z方向上的刚度。这一方面使得较高的固有频率且另一方面使得良好的解耦成为可能。
第一和第二连接区段34.1至34.4、44.1至44.4以有利的方式构造成屈戎接合部(Festkörpergelenke，有时称为固体接合部)、尤其板簧接合部(Blattfedergelenke)、或可弯曲的线材(Draht)。
本发明不被限制于光电探测原理。测量刻度16尤其同样能够磁性或感应可探测地构造。

Claims (16)

1.用于将在纵向(X)上延伸的带有用于至少在纵向(X)上进行位置测量的测量刻度(16.1)的载体(12)端侧地固定在基体(20)的安装面(18)处的组件(10)，
其中，所述组件(10)具有第一固定元件(22)和第二固定元件(24)，其中，所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)可被定位在所述载体(12)的在纵向(X)上相对而置的侧上，且其中，所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)如此地构造，即，所述载体(12)在其端部处可被所述第一固定元件(22)和所述第二固定元件(24)侧向上接触，
其中，所述第一固定元件(22)如此地构造，即，所述载体(12)在其面对所述第一固定元件(22)的端部处可在纵向(X)上刚性地相对所述基体(20)被承载，且其中，所述第二固定元件(24)如此地构造，即，所述载体(12)在其面对所述第二固定元件(24)的端部处可在纵向(X)上可自由移动地相对所述基体(20)被承载，
其特征在于，所述第一固定元件(22)具有可与所述基体(20)刚性连接的第一主区段(26)和可与所述载体(12)刚性连接的第一组部分区段(32.1至32.4)，其中，所述第一主区段(26)至少部分在第一平面(S1)中横向于所述纵向(X)延伸，且其中，第一组部分区段(32.1至32.4)沿着处在所述第一平面(S1)中的呈圆形的周缘(C1)围绕第一中心(P1)分布地布置，
其中，在所述第一主区段(26)与所述第一组部分区段(32.1至32.4)之间相应地布置有第一连接区段(34.1至34.4)，其中，所述第一连接区段(34.1至34.4)如此地构造，即，其允许在所述第一主区段(26)与所述第一组部分区段(32.1至32.4)之间在径向(R1)上关于所述第一中心(P1)的运动，然而不允许在所述第一主区段(26)与所述第一组部分区段(32.1至32.4)之间在周缘方向(T1)上关于所述第一中心(P1)的运动，且
所述第二固定元件(24)具有可与所述基体(20)刚性连接的第二主区段(36)和可与所述载体(12)刚性连接的第二组部分区段(42.1至42.4)，其中，所述第二主区段(36)至少部分在第二平面(S2)中横向于所述纵向(X)延伸，且其中，所述第二组部分区段(42.1至42.4)沿着处在所述第二平面(S2)中的呈圆形的周缘(C2)围绕第二中心(P2)分布地布置，
其中，在所述第二主区段(36)与所述第二组部分区段(42.1至42.4)之间相应地布置有第二连接区段(44.1至44.4)，其中，所述第二连接区段(44.1至44.4)如此地构造，即，其允许在所述第二主区段(36)与所述第二组部分区段(42.1至42.4)之间在径向(R2)上关于所述第二中心(P2)的运动，然而不允许在所述第二主区段(36)与所述第二组部分区段(42.1至42.4)之间在周缘方向(T2)上关于所述第二中心(P2)的运动。
2.根据权利要求1所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)平行于所述第一平面(S1)延伸，且其中，所述第二组部分区段(42.1至42.4)平行于所述第二平面(S2)延伸。
3.根据权利要求1或2所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)和所述第二组部分区段(42.1至42.4)相应地呈盘片状地构造。
4.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)具有用于施覆用于将所述载体(12)的面对所述第一固定元件(22)的端部与所述第一组部分区段(32.1至32.4)材料配合地连接的粘合剂的第一表面，且其中，所述第二组部分区段(42.1至42.4)具有用于施覆用于将所述载体(12)的面对所述第二固定元件(24)的端部与所述第二组部分区段(42.1至42.4)材料配合地连接的粘合剂的第二表面。
5.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)和所述第二组部分区段(42.1至42.4)相应地包括至少三个部分区段。
6.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)和所述第二组部分区段(42.1至42.4)相应地彼此以相同的角间距布置。
7.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一组部分区段(32.1至32.4)在径向(R1)上具有相同的与所述第一中心(P1)的间距，且其中，所述第二组部分区段(42.1至42.4)在径向(R2)上具有相同的与所述第二中心(P2)的间距。
8.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一连接区段(34.1至34.4)平行于所述第一平面(S1)延伸，且其中，所述第二连接区段(44.1至44.4)平行于所述第二平面(S2)延伸。
9.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一连接区段(34.1至34.4)和所述第二连接区段(44.1至44.4)相应地呈桥接部状地构造，其中，所述第一连接区段(34.1至34.4)相应地由所述第一组部分区段(32.1至32.4)出发在周缘方向(T1)上朝向所述第一主区段(26)伸延，且其中，所述第二连接区段(44.1至44.4)相应地由所述第二组部分区段(42.1至42.4)出发在周缘方向(T2)上朝向所述第二主区段(36)伸延。
10.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一连接区段(34.1至34.4)如此地构造，即，其允许在所述第一主区段(26)与所述第一组部分区段(32.1至32.4)之间在纵向(X)上的运动，且其中，所述第二连接区段(44.1至44.4)如此地构造，即，其允许在所述第二主区段(36)与所述第二组部分区段(42.1至42.4)之间在纵向(X)上的运动。
11.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一连接区段(34.1至34.4)构成第一屈戎接合部，经由其将所述第一主区段(26)和所述第一组部分区段(32.1至32.4)彼此连接，且其中，所述第二连接区段(44.1至44.4)构成第二屈戎接合部，经由其将所述第二主区段(36)和所述第二组部分区段(42.1至42.4)彼此连接。
12.根据权利要求11所述的组件(10)，其特征在于，所述第一屈戎接合部(34.1至34.4)和所述第二屈戎接合部(44.1至44.4)相应地是板簧接合部。
13.根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)，其特征在于，所述第一固定元件(22)附加于所述第一组部分区段(32.1至32.4)具有另外的可与所述载体(12)刚性连接的部分区段(32.5)，其中，所述另外的部分区段(32.5)在所述第一平面(S1)中布置在第一中心(P1)上，且其中，所述第一主区段(26)和所述另外的部分区段(32.5)经由连接器件(34.5)被如此地彼此连接，即，在所述第一主区段(26)与所述另外的部分区段(32.5)之间在纵向(X)上的运动被阻止。
14.根据权利要求13所述的组件(10)，其特征在于，所述连接器件(34.5)是屈戎接合部、尤其是凹口接合部。
15.带有根据前述权利要求中任一项所述的组件(10)和载体(12)的结构单元，其特征在于，所述载体(12)具有用于至少在纵向(X)上进行位置测量的测量刻度(16.1)。
16.根据权利要求15所述的结构单元，其特征在于，所述载体(12)具有至少一个标尺(14.1)，其中，所述标尺(14.1)在纵向(X)上延伸，且其中，所述标尺(14.1)构造成所述测量刻度(16.1)的中间载体。
CN202010382111.9A 2019-05-08 2020-05-08 将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件 Pending CN111912363A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP19173237.9A EP3736542B1 (de) 2019-05-08 2019-05-08 Anordnung zum endseitigen befestigen eines sich in einer längsrichtung erstreckenden trägers mit einer messteilung zur positionsmessung zumindest in längsrichtung an einer anbaufläche eines grundkörpers
EP19173237.9 2019-05-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111912363A true CN111912363A (zh) 2020-11-10

Family

ID=66542016

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010382111.9A Pending CN111912363A (zh) 2019-05-08 2020-05-08 将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件

Country Status (6)

Country Link
EP (1) EP3736542B1 (zh)
JP (1) JP7481864B2 (zh)
KR (1) KR20200130646A (zh)
CN (1) CN111912363A (zh)
DE (1) DE102020201798A1 (zh)
ES (1) ES2884310T3 (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3804503A1 (de) * 1988-02-13 1989-08-24 Uhlmann Maschf Josef Vorrichtung zum messen der hoehe von laengs einer foerderbahn bewegten gegenstaenden
CN107478146A (zh) * 2016-06-07 2017-12-15 约翰内斯·海德汉博士有限公司 量具以及位置测量机构
JP6281664B1 (ja) * 2017-02-01 2018-02-21 中国電力株式会社 距離測定装置
CN109059728A (zh) * 2018-08-02 2018-12-21 江苏理工学院 一种圆周孔位置尺寸误差检测工具
DE102018111368B3 (de) * 2018-05-14 2019-04-25 Carl Mahr Holding Gmbh Werkstückhalter, Messvorrichtung und Messverfahren zum Messen eines Werkstücks

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD224655A1 (de) 1984-05-02 1985-07-10 Zeiss Jena Veb Carl Gekapselte laengenmesseinrichtung
US6612047B1 (en) * 2002-02-19 2003-09-02 Acu-Rite, Inc. Length measuring device
US9791254B2 (en) 2014-12-27 2017-10-17 Mitutoyo Corporation Scale fixating device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3804503A1 (de) * 1988-02-13 1989-08-24 Uhlmann Maschf Josef Vorrichtung zum messen der hoehe von laengs einer foerderbahn bewegten gegenstaenden
CN107478146A (zh) * 2016-06-07 2017-12-15 约翰内斯·海德汉博士有限公司 量具以及位置测量机构
JP6281664B1 (ja) * 2017-02-01 2018-02-21 中国電力株式会社 距離測定装置
DE102018111368B3 (de) * 2018-05-14 2019-04-25 Carl Mahr Holding Gmbh Werkstückhalter, Messvorrichtung und Messverfahren zum Messen eines Werkstücks
CN109059728A (zh) * 2018-08-02 2018-12-21 江苏理工学院 一种圆周孔位置尺寸误差检测工具

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
仇健等: "基于球杆仪的卧式五坐标加工中心圆度误差诊断", 制造技术与机床, no. 8, 2 August 2013 (2013-08-02), pages 39 - 42 *

Also Published As

Publication number Publication date
ES2884310T3 (es) 2021-12-10
JP7481864B2 (ja) 2024-05-13
EP3736542A1 (de) 2020-11-11
JP2020183936A (ja) 2020-11-12
EP3736542B1 (de) 2021-07-07
DE102020201798A1 (de) 2020-11-12
KR20200130646A (ko) 2020-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9772204B2 (en) Length-measuring device
US7934324B2 (en) Linear scale
US8001839B2 (en) Sensor unit
US7429705B2 (en) Parallel-guiding mechanism for compact weighing system
US6525888B2 (en) Radially adjustable lens mounting
US6571486B1 (en) Linear measuring device
CN107305215B (zh) 经由磁极片减少加速度计中的偏置
US20130019489A1 (en) Length measuring device
JP7154879B2 (ja) 門形構造の位置決め装置
US11519763B2 (en) Assembly including a main support, an intermediate support disposed on the main support, and a scale disposed on the intermediate support
US8988691B2 (en) Position-measuring device
EP1308765A1 (en) Mount for ultra-high performance of optical components under thermal and vibrational distortion conditions
CN111912363A (zh) 将带有测量刻度的载体端侧地固定在基体安装面处的组件
JPH1137746A (ja) 測定器
US11169036B2 (en) Monolithic flexure based, triaxial dynamometer using photointerrupters
US11733019B2 (en) Assembly for position measurement
EP3614204B1 (en) Imaging device
JP7402108B2 (ja) 位置測定装置
US20240167845A1 (en) Method for adjusting an inertial sensor component by means of a calibration device, calibration device, base device and inertial sensor component
US20230392914A1 (en) Assembly for position measurement
JP2008146084A (ja) 位置測定および配置方法
KR20060131003A (ko) 레이저 트랙커의 리플렉터 어댑터

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination