CN111900072A - 一种pecvd用石墨舟页叠加装配用销钉及其安装方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，属于石墨舟页装配销钉及安装领域，包括石墨舟页、安装硅片、石墨销钉、销钉主体和石墨基材，所述石墨舟页上开设有固定孔；本发明在石墨销钉的顶部安装的销钉帽上设置有绝缘顶套，该绝缘顶套可有效提高石墨销钉的绝缘效果，在石墨销钉使用安装后，当石墨轴液上有电流时，电流不会导至石墨销钉上，在拆装时，可有效保障安全，同时在石墨销钉的销钉帽的底面上设置有密封底垫，在石墨销钉安装时，密封底垫可有效与石墨舟页安装面相互贴合并挤压，从而消除了石墨销钉安装后的间隙，大大提高了该石墨销钉安装后的密封性，外部的水渍与空气不易进入石墨舟页内，避免对于石墨舟页造成损伤。

Description

一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉及其安装方法
技术领域
本发明属于石墨舟页装配销钉及安装技术领域，尤其涉及一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉及其安装方法。
背景技术
PECVD一般来说是指等离子体增强化学的气相沉积法，是一种薄膜生产方法，一般是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜，在进行PECVD方法时，需要使用的石墨舟由多片石墨舟页叠加组装而成，每片舟页上均安装有大量的石墨销钉来对于硅片进行固定定位。
传统的固定方法是通过使用三个石墨销钉对于安装硅片进行固定，导致对于安装硅片定位时，需要较多的石墨销钉，石墨销钉的用量大，使用价格成本较高，并不经济，同时普通的石墨销钉在内并未设置有多种材料层，导致石墨销钉的整体使用寿命不高，需要经常更换，同时在石墨销钉在底部并未设置有密封结构，当石墨销钉安装后，销钉与安装面之间具有较小的间隙，导致密封性较差，外界的一些水渍与空气会进入至固定孔内，造成对于固定孔内的损伤，综上所述，亟需一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉与安装方法。
发明内容
本发明的目的在于：为了解决传统的固定方法是通过使用三个石墨销钉对于安装硅片进行固定，导致对于安装硅片定位时，需要较多的石墨销钉，石墨销钉的用电大，价格较高，并不经济，同时普通的石墨销钉在内并未设置有多种材料层，导致石墨销钉的整体使用寿命不高，需要经常更换，同时在石墨销钉在底部并未设置有密封结构，当石墨销钉安装后，销钉与安装面之间具有较小的间隙，导致密封性较差，外界的一些水渍与空气会进入至固定孔内，造成对于固定孔内的损伤的问题，而提出的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，包括石墨舟页、安装硅片、石墨销钉、销钉主体和石墨基材，所述石墨舟页上开设有固定孔，所述固定孔内安装有石墨销钉。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述石墨销钉由销钉主体与销钉帽组成，所述销钉帽的外表面上套装有绝缘顶套，所述销钉帽的底部固定安装有销钉主体。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述销钉主体外侧位于销钉帽的底面上设置有密封底垫，所述密封底垫与销钉主体紧密接触并挤压。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述石墨销钉的内部设置有石墨基材，所述石墨基材的一侧设置有抗氧化材料层，抗氧化材料层为二氧化硅与石墨粉的组合材料。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述抗氧化材料层的一侧设置有耐腐蚀材料层，耐腐蚀材料层为聚四氟乙烯与硬聚氯乙烯的组合材料。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述石墨销钉的外表面上设置有耐磨材料层，耐磨材料层为聚氨酯与聚氯乙烯树脂混合材料。
本发明还提供了一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的安装方法，包括以下步骤：
S1、取来石墨舟页，使用螺丝刀拆卸下原有的一些石墨销钉，并对于拆卸下的石墨销钉进行收集；
S2、利用划线装置，对于S1中拆卸下石墨销钉后的连接孔之间进行划线；
S3、使用刻度尺，对于S2内的划线的连接线量取长度，对于长度数据进行记录；
S4、取S3内划线长度的一截，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取长度的一截，利用记录笔对于划线点进行画叉标记；
S5、取来S1内拆卸下的石墨销钉，使其一端顶在画叉标记处，使用敲击锤，敲击石墨销钉顶端的销钉帽，使石墨销钉的一端径深入石墨舟页内至一定深度，形成钻孔槽；
S6、取出石墨销钉，露出钻孔槽，选择与石墨销钉的直径一致的钻孔装置，利用定位夹具将石墨舟页进行固定夹取；
S7、使用钻孔装置，使钻头对准S5内形成的钻孔槽，竖直向下进行冲孔；
S8、重复上述步骤，对于相邻的安装硅片之间的石墨舟页进行分别冲孔，冲孔后，对于冲孔产生的一些碎屑进行清理；
S9、取S1内收集的石墨销钉，利用螺丝刀将石墨销钉分别装入各个冲孔内，使相邻的安装硅片之间公用一个石墨销钉。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述S1中，使用螺丝刀拆卸下原有的每个安装硅片之间纵置的两个石墨销钉，所述S2中，对拆卸下的两个石墨销钉处位于石墨舟页的两个连接孔之间进行划线。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述S4中，取划线长度的一半，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取长度的一半，利用记录笔对于划线的中点进行画叉标记。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述S5中，使石墨销钉的一端径深入石墨舟页内至10-16mm，形成钻孔槽。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
1、本发明中，通过在石墨销钉的顶部安装的销钉帽上设置有绝缘顶套，该绝缘顶套可有效提高石墨销钉的绝缘效果，在石墨销钉使用安装后，当石墨轴液上有电流时，电流不会导至石墨销钉上，在拆装时，可有效保障安全，同时在石墨销钉的销钉帽的底面上设置有密封底垫，在石墨销钉安装时，密封底垫可有效与石墨舟页安装面相互贴合并挤压，从而消除了石墨销钉安装后的间隙，大大提高了该石墨销钉安装后的密封性，外部的水渍与空气不易进入石墨舟页内，避免对于石墨舟页造成损伤。
2、本发明中，通过在石墨销钉内设置有抗腐蚀材料层与耐腐蚀材料层，在石墨销钉外表面上设置有耐磨材料层，抗腐蚀材料层可有效提高石墨销钉的耐腐蚀性，同时抗氧化材料层可有效提高石墨销钉的抗氧化性，石墨销钉不易断裂，有效保障了该石墨销钉的使用寿命，在石墨销钉外表面设置的耐磨材料层，提高了石墨销钉的表面耐磨性，使石墨销钉使用一段时间后，表面也不会磨损，从而有效保证石墨销钉在固定孔内安装的紧密性，避免出现由于石墨销钉的磨损导致无法良好使用安装的情况发生。
3、本发明中，石墨销钉的安装方法进行有效改变，通过相邻的两个硅片共用一个石墨销钉的方式，相比于传统的石墨销钉安装方式，大大降低了石墨销钉的用量，从而有效降低了使用成本。
附图说明
图1为一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉安装后的局部结构示意图。
图2为一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的结构示意图。
图3为一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的截面材料结构示意图。
图例说明：
1、石墨舟页；2、安装硅片；3、固定孔；4、石墨销钉；41、绝缘顶套；42、密封底垫；43、销钉主体；44、销钉帽；45、耐磨材料层；46、耐腐蚀材料层；47、抗氧化材料层；48、石墨基材。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，包括石墨舟页1、安装硅片2、石墨销钉4、销钉主体43和石墨基材48，所述石墨舟页1上开设有固定孔3，所述固定孔3内安装有石墨销钉4，所述石墨销钉4由销钉主体43与销钉帽44组成，所述销钉帽44的外表面上套装有绝缘顶套41，所述销钉帽44的底部固定安装有销钉主体43，通过使石墨销钉4由销钉主体43与销钉帽44组成，且通过套装有绝缘顶套41，该绝缘顶套可有效提高石墨销钉的绝缘效果，在石墨销钉使用安装后，当石墨轴液上有电流时，电流不会导至石墨销钉上，在拆装时，可有效保障安全，所述石墨销钉4的内部设置有石墨基材48，所述石墨基材48的一侧设置有抗氧化材料层47，抗氧化材料层47为二氧化硅与石墨粉的组合材料，所述抗氧化材料层47的一侧设置有耐腐蚀材料层46，耐腐蚀材料层46为聚四氟乙烯与硬聚氯乙烯的组合材料，所述石墨销钉4的外表面上设置有耐磨材料层45，耐磨材料层45为聚氨酯与聚氯乙烯树脂混合材料，通过设置有耐腐蚀材料层46与抗氧化材料层47，抗腐蚀材料层可有效提高石墨销钉的耐腐蚀性，同时抗氧化材料层可有效提高石墨销钉的抗氧化性，石墨销钉不易断裂，有效保障了该石墨销钉的使用寿命，通过设置有耐磨材料层45，提高了石墨销钉的表面耐磨性，使石墨销钉使用一段时间后，表面也不会磨损，从而有效保证石墨销钉在固定孔内安装的紧密性，避免出现由于石墨销钉的磨损导致无法良好使用安装的情况发生。
本发明还提供了一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的安装方法，包括以下步骤：
S1、取来石墨舟页1，使用螺丝刀拆卸下原有的每个安装硅片2之间纵置的两个石墨销钉4，并对于拆卸下的石墨销钉4进行收集；
S2、利用划线装置，对拆卸下的两个石墨销钉4处位于石墨舟页1的两个连接孔之间进行划线；
S3、使用刻度尺，对于S2内的划线的连接线量取长度，对于长度数据进行记录；
S4、取S3内划线长度的一截，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取划线长度的一半，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取长度的一半，利用记录笔对于划线的中点进行画叉标记；
S5、取来S1内拆卸下的石墨销钉4，使其一端顶在画叉标记处，使用敲击锤，敲击石墨销钉4顶端的销钉帽44，使石墨销钉4的一端径深入石墨舟页1内至10mm，形成钻孔槽；
S6、取出石墨销钉4，露出钻孔槽，选择与石墨销钉4的直径一致的钻孔装置，利用定位夹具将石墨舟页1进行固定夹取；
S7、使用钻孔装置，使钻头对准S5内形成的钻孔槽，竖直向下进行冲孔；
S8、重复上述步骤，对于相邻的安装硅片2之间的石墨舟页1进行分别冲孔，冲孔后，对于冲孔产生的一些碎屑进行清理；
S9、取S1内收集的石墨销钉4，利用螺丝刀将石墨销钉4分别装入各个冲孔内，使相邻的安装硅片2之间公用一个石墨销钉4。
实施例2
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，包括石墨舟页1、安装硅片2、石墨销钉4、销钉主体43和石墨基材48，所述石墨舟页1上开设有固定孔3，所述固定孔3内安装有石墨销钉4，所述石墨销钉4由销钉主体43与销钉帽44组成，所述销钉帽44的外表面上套装有绝缘顶套41，所述销钉帽44的底部固定安装有销钉主体43，通过使石墨销钉4由销钉主体43与销钉帽44组成，且通过套装有绝缘顶套41，该绝缘顶套可有效提高石墨销钉的绝缘效果，在石墨销钉使用安装后，当石墨轴液上有电流时，电流不会导至石墨销钉上，在拆装时，可有效保障安全，所述石墨销钉4的内部设置有石墨基材48，所述石墨基材48的一侧设置有抗氧化材料层47，抗氧化材料层47为二氧化硅与石墨粉的组合材料，所述抗氧化材料层47的一侧设置有耐腐蚀材料层46，耐腐蚀材料层46为聚四氟乙烯与硬聚氯乙烯的组合材料，所述石墨销钉4的外表面上设置有耐磨材料层45，耐磨材料层45为聚氨酯与聚氯乙烯树脂混合材料，通过设置有耐腐蚀材料层46与抗氧化材料层47，抗腐蚀材料层可有效提高石墨销钉的耐腐蚀性，同时抗氧化材料层可有效提高石墨销钉的抗氧化性，石墨销钉不易断裂，有效保障了该石墨销钉的使用寿命，通过设置有耐磨材料层45，提高了石墨销钉的表面耐磨性，使石墨销钉使用一段时间后，表面也不会磨损，从而有效保证石墨销钉在固定孔内安装的紧密性，避免出现由于石墨销钉的磨损导致无法良好使用安装的情况发生。
本发明还提供了一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的安装方法，包括以下步骤：
S1、取来石墨舟页1，使用螺丝刀拆卸下原有的每个安装硅片2之间纵置的两个石墨销钉4，并对于拆卸下的石墨销钉4进行收集；
S2、利用划线装置，对拆卸下的两个石墨销钉4处位于石墨舟页1的两个连接孔之间进行划线；
S3、使用刻度尺，对于S2内的划线的连接线量取长度，对于长度数据进行记录；
S4、取S3内划线长度的一截，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取划线长度的一半，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取长度的一半，利用记录笔对于划线的中点进行画叉标记；
S5、取来S1内拆卸下的石墨销钉4，使其一端顶在画叉标记处，使用敲击锤，敲击石墨销钉4顶端的销钉帽44，使石墨销钉4的一端径深入石墨舟页1内至13mm，形成钻孔槽；
S6、取出石墨销钉4，露出钻孔槽，选择与石墨销钉4的直径一致的钻孔装置，利用定位夹具将石墨舟页1进行固定夹取；
S7、使用钻孔装置，使钻头对准S5内形成的钻孔槽，竖直向下进行冲孔；
S8、重复上述步骤，对于相邻的安装硅片2之间的石墨舟页1进行分别冲孔，冲孔后，对于冲孔产生的一些碎屑进行清理；
S9、取S1内收集的石墨销钉4，利用螺丝刀将石墨销钉4分别装入各个冲孔内，使相邻的安装硅片2之间公用一个石墨销钉4。
实施例3
请参阅图1-3，本发明提供一种技术方案：一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，包括石墨舟页1、安装硅片2、石墨销钉4、销钉主体43和石墨基材48，所述石墨舟页1上开设有固定孔3，所述固定孔3内安装有石墨销钉4，所述石墨销钉4由销钉主体43与销钉帽44组成，所述销钉帽44的外表面上套装有绝缘顶套41，所述销钉帽44的底部固定安装有销钉主体43，通过使石墨销钉4由销钉主体43与销钉帽44组成，且通过套装有绝缘顶套41，该绝缘顶套可有效提高石墨销钉的绝缘效果，在石墨销钉使用安装后，当石墨轴液上有电流时，电流不会导至石墨销钉上，在拆装时，可有效保障安全，所述石墨销钉4的内部设置有石墨基材48，所述石墨基材48的一侧设置有抗氧化材料层47，抗氧化材料层47为二氧化硅与石墨粉的组合材料，所述抗氧化材料层47的一侧设置有耐腐蚀材料层46，耐腐蚀材料层46为聚四氟乙烯与硬聚氯乙烯的组合材料，所述石墨销钉4的外表面上设置有耐磨材料层45，耐磨材料层45为聚氨酯与聚氯乙烯树脂混合材料，通过设置有耐腐蚀材料层46与抗氧化材料层47，抗腐蚀材料层可有效提高石墨销钉的耐腐蚀性，同时抗氧化材料层可有效提高石墨销钉的抗氧化性，石墨销钉不易断裂，有效保障了该石墨销钉的使用寿命，通过设置有耐磨材料层45，提高了石墨销钉的表面耐磨性，使石墨销钉使用一段时间后，表面也不会磨损，从而有效保证石墨销钉在固定孔内安装的紧密性，避免出现由于石墨销钉的磨损导致无法良好使用安装的情况发生。
本发明还提供了一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的安装方法，包括以下步骤：
S1、取来石墨舟页1，使用螺丝刀拆卸下原有的每个安装硅片2之间纵置的两个石墨销钉4，并对于拆卸下的石墨销钉4进行收集；
S2、利用划线装置，对拆卸下的两个石墨销钉4处位于石墨舟页1的两个连接孔之间进行划线；
S3、使用刻度尺，对于S2内的划线的连接线量取长度，对于长度数据进行记录；
S4、取S3内划线长度的一截，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取划线长度的一半，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取长度的一半，利用记录笔对于划线的中点进行画叉标记；
S5、取来S1内拆卸下的石墨销钉4，使其一端顶在画叉标记处，使用敲击锤，敲击石墨销钉4顶端的销钉帽44，使石墨销钉4的一端径深入石墨舟页1内至16mm，形成钻孔槽；
S6、取出石墨销钉4，露出钻孔槽，选择与石墨销钉4的直径一致的钻孔装置，利用定位夹具将石墨舟页1进行固定夹取；
S7、使用钻孔装置，使钻头对准S5内形成的钻孔槽，竖直向下进行冲孔；
S8、重复上述步骤，对于相邻的安装硅片2之间的石墨舟页1进行分别冲孔，冲孔后，对于冲孔产生的一些碎屑进行清理；
S9、取S1内收集的石墨销钉4，利用螺丝刀将石墨销钉4分别装入各个冲孔内，使相邻的安装硅片2之间公用一个石墨销钉4。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，包括石墨舟页(1)、安装硅片(2)、石墨销钉(4)、销钉主体(43)和石墨基材(48)，其特征在于：所述石墨舟页(1)上开设有固定孔(3)，所述固定孔(3)内安装有石墨销钉(4)。
2.根据权利要求1所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，其特征在于，所述石墨销钉(4)由销钉主体(43)与销钉帽(44)组成，所述销钉帽(44)的外表面上套装有绝缘顶套(41)，所述销钉帽(44)的底部固定安装有销钉主体(43)。
3.根据权利要求1所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，其特征在于，所述销钉主体(43)外侧位于销钉帽(44)的底面上设置有密封底垫(42)，所述密封底垫(42)与销钉主体(43)紧密接触并挤压。
4.根据权利要求1所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，其特征在于，所述石墨销钉(4)的内部设置有石墨基材(48)，所述石墨基材(48)的一侧设置有抗氧化材料层(47)，抗氧化材料层(47)为二氧化硅与石墨粉的组合材料。
5.根据权利要求4所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，其特征在于，所述抗氧化材料层(47)的一侧设置有耐腐蚀材料层(46)，耐腐蚀材料层(46)为聚四氟乙烯与硬聚氯乙烯的组合材料。
6.根据权利要求1所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉，其特征在于，所述石墨销钉(4)的外表面上设置有耐磨材料层(45)，耐磨材料层(45)为聚氨酯与聚氯乙烯树脂混合材料。
7.根据权利要求1-6所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的安装方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、取来石墨舟页(1)，使用螺丝刀拆卸下原有的一些石墨销钉(4)，并对于拆卸下的石墨销钉(4)进行收集；
S2、利用划线装置，对于S1中拆卸下石墨销钉(4)后的连接孔之间进行划线；
S3、使用刻度尺，对于S2内的划线的连接线量取长度，对于长度数据进行记录；
S4、取S3内划线长度的一截，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取长度的一截，利用记录笔对于划线点进行画叉标记；
S5、取来S1内拆卸下的石墨销钉(4)，使其一端顶在画叉标记处，使用敲击锤，敲击石墨销钉(4)顶端的销钉帽(44)，使石墨销钉(4)的一端径深入石墨舟页(1)内至一定深度，形成钻孔槽；
S6、取出石墨销钉(4)，露出钻孔槽，选择与石墨销钉(4)的直径一致的钻孔装置，利用定位夹具将石墨舟页(1)进行固定夹取；
S7、使用钻孔装置，使钻头对准S5内形成的钻孔槽，竖直向下进行冲孔；
S8、重复上述步骤，对于相邻的安装硅片(2)之间的石墨舟页(1)进行分别冲孔，冲孔后，对于冲孔产生的一些碎屑进行清理；
S9、取S1内收集的石墨销钉(4)，利用螺丝刀将石墨销钉(4)分别装入各个冲孔内，使相邻的安装硅片(2)之间公用一个石墨销钉(4)。
8.根据权利要求7所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的安装方法，其特征在于，所述S1中，使用螺丝刀拆卸下原有的每个安装硅片(2)之间纵置的两个石墨销钉(4)，所述S2中，对拆卸下的两个石墨销钉(4)处位于石墨舟页(1)的两个连接孔之间进行划线。
9.根据权利要求7所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的安装方法，其特征在于，所述S4中，取划线长度的一半，再利用刻度尺对于划线进行量取，量取长度的一半，利用记录笔对于划线的中点进行画叉标记。
10.根据权利要求7所述的一种PECVD用石墨舟页叠加装配用销钉的安装方法，其特征在于，所述S5中，使石墨销钉(4)的一端径深入石墨舟页(1)内至10-16mm，形成钻孔槽。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114508943A (zh) * 2022-03-01 2022-05-17 湖南裕钧贸易有限公司 一种组合式石墨匣钵及成型方法

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