CN111883469A - 一种湿法处理用晶圆浸泡装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种湿法处理用晶圆浸泡装置，包括挡板、电动推杆和箱体，本发明通过设置了格挡密封机构于箱体后端，通过挤压板和微型弹簧对挡板施加压力，使得挡板对密封片施加压力而使得密封片更加稳定的贴合在箱体的后端面上，挡板在使用完毕后向上移动，当仍然有浸泡液流下时，通过限位板和延伸板将浸泡液导流至底板顶端面开设的透孔内侧，并且通过透孔进入到收集盒内进行收集，达到了提高整体的密封性防止浸泡液泄露，并且对流出的浸泡液进行收集而防止浸泡液浪费和污染环境的有益效果。

Description

一种湿法处理用晶圆浸泡装置
技术领域
本发明涉及浸泡装置相关领域，具体是一种湿法处理用晶圆浸泡装置。
背景技术
目前，对于半导体行业中晶片湿法处理工艺经常需要使用化学液对晶圆进行浸泡处理；现有的晶圆浸泡方式一般是采用整盒晶圆同时放入化学液槽中浸泡，到达预定时间后再整盒取出进行下一步的工艺处理。
当晶圆于浸泡装置内进行浸泡时，由于浸泡过程容易产生一定的振动，或者在进行转动浸泡时，浸泡液容易溅起于开关挡板上，当挡板在再次开启时浸泡液容易向外流出而形成浪费和污染环境。
发明内容
因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种湿法处理用晶圆浸泡装置。
本发明是这样实现的，构造一种湿法处理用晶圆浸泡装置，该装置包括挡板、电动推杆、箱体和格挡密封机构，所述挡板安装于第二气缸底部输出轴上，所述电动推杆锁固于底座顶端面前端，所述格挡密封机构设置于箱体后端，所述格挡密封机构包括底板、延伸板、限位板、收集机构、密封片、固定板、海绵片、L型板、挤压板、橡胶片和微型弹簧，所述底板紧固于箱体后端面中下部，且底板左右两端设置有延伸板，所述延伸板和底板后端顶部设置有限位板，所述收集机构设置于底板底部，所述密封片粘贴于挡板前端面，且密封片贴合于箱体后端面，所述固定板嵌入于箱体后端面中上部，且固定板后端面粘贴有海绵片，所述L型板对称安装有两个于箱体后端面中部，且两个L型板左右对立面分别用于贴合于挡板左右端面，所述挤压板通过微型弹簧连接于L型板内侧后端面，且挤压板前端面紧固有橡胶片，所述橡胶片用于紧贴于挡板后端面。
优选的，所述电动推杆顶部输出轴紧固于滑动架顶端面，所述滑动架滑动安装于底座顶端面前端锁合的支撑架上，且滑动架顶端面中部和底端面后端分别安装有第一气缸和连接杆，所述第一气缸底部输出轴穿过滑动架顶端面后固定连接于转杆顶端面，所述连接杆穿过箱体顶端面后铰接于片盒顶端面中部，所述转杆穿过箱体顶端面后铰接于片盒顶端面前端，所述箱体顶端面左侧和后端面中部分别开设有进液口和窗口，且箱体内侧底端开设有浸泡槽，所述第二气缸通过L型刚件锁固安装于箱体后端顶部，所述浸泡槽内侧前端嵌入有加热板，且浸泡槽顶部后端设置有进风管，所述进风管安装于箱体内侧后端面中下部。
优选的，所述收集机构包括收集盒、凸块、凹槽、卡块、卡槽、透明板和透孔，所述收集盒贴合于底板底端面，所述凸块紧固于收集盒前端面中部，且凸块沿着箱体后端面中下部开设的凹槽内侧左右滑动，所述卡块设置于凸块上下端面中部，且凸块活动伸入于卡槽内侧，所述卡槽开设于凹槽内侧上下两端，所述透明板嵌入于收集盒后端面中下部，所述透孔贯通于底板上下两端中部，且透孔落入到收集盒内侧范围内。
优选的，所述延伸板呈倾斜向上延伸状，且两个延伸板左右对立面与底板顶端面呈120°夹角。
优选的，所述橡胶片前端面顶部呈由下而上渐缩的斜面状，且橡胶片前端面为光滑无毛刺。
优选的，所述微型弹簧等间距设置有三个于挤压板后端面，且三个微型弹簧分别位于挤压板后端面上下两端和中部。
优选的，所述密封片为方状外形，且密封片侧表面相齐平于挡板侧表面。
优选的，所述底板顶端面呈由外向内渐缩的弧形状，且底板顶端面设置有光滑薄膜层。
优选的，所述密封片材质为硅胶材质。
优选的，所述微型弹簧材质为不锈钢材质。
本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种湿法处理用晶圆浸泡装置，与同类型设备相比，具有如下改进：
优点1：本发明所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，本发明通过设置了格挡密封机构于箱体后端，通过挤压板和微型弹簧对挡板施加压力，使得挡板对密封片施加压力而使得密封片更加稳定的贴合在箱体的后端面上，同时挡板在使用完毕后向上移动，同时当仍然有浸泡液流下时，通过限位板和延伸板将浸泡液导流至底板顶端面开设的透孔内侧，并且通过透孔进入到收集盒内进行收集，达到了提高整体的密封性防止浸泡液泄露，并且对流出的浸泡液进行收集而防止浸泡液浪费和污染环境的有益效果。
优点2：本发明所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，本发明通过延伸板呈倾斜向上延伸状，且两个延伸板左右对立面与底板顶端面呈120°夹角，便于两个延伸板将进行更大角度的对浸泡液进行收集。
附图说明
图1是本发明结构示意图；
图2是本发明的箱体右视剖面结构示意图；
图3是本发明的格挡密封机构结构示意图；
图4是本发明的微型弹簧连接结构示意图；
图5是本发明的图3中A处结构放大示意图；
图6是本发明的电动推杆与滑动架的配合图。
其中：挡板-1、电动推杆-2、滑动架-3、支撑架-4、第一气缸-5、连接杆-6、转杆-7、进液口-8、窗口-10、第二气缸-11、底座-12、片盒-13、浸泡槽-14、加热板-15、进风管-16、箱体-17、L型刚件-18、格挡密封机构-9、底板-91、延伸板-92、限位板-93、收集机构-94、密封片-95、固定板-96、海绵片-97、L型板-98、挤压板-99、橡胶片-910、微型弹簧-911、收集盒-941、凸块-942、凹槽-943、卡块-944、卡槽-945、透明板-946、透孔-947。
具体实施方式
下面将结合附图1-6对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明通过改进在此提供一种湿法处理用晶圆浸泡装置，请结合参考图1至图5，其包括挡板1、电动推杆2、箱体17和格挡密封机构9。挡板1安装于第二气缸11底部输出轴上，电动推杆2锁固于底座12顶端面前端，格挡密封机构9设置于箱体17后端。
如图1，第二气缸11通过L型刚件18锁固安装在箱体17顶部侧边，并且是靠近箱体17后端的侧边，从而使得第二气缸11悬空在箱体17后表面斜上方，进而使得第二气缸11能够上下拉动位于箱体17后表面的挡板1。
如图3，格挡密封机构9包括底板91、延伸板92、限位板93、收集机构94、密封片95、固定板96、海绵片97、L型板98、挤压板99、橡胶片910和微型弹簧911。
如图3，底板91紧固于箱体17后端面中下部，且底板91左右两端设置有延伸板92，本实施例中，底板91和两端的延伸板92为一体化结构。延伸板92和底板91后端顶部设置有限位板93，本实施例中，延伸板92和底板91与限位板93为一体化结构，此时限位板93同时位于延伸板92和底板91后端顶部，可结合参考图1和图3。
如图3，收集机构94设置于底板91底部，密封片95粘贴于挡板1前端面，且密封片95贴合于箱体17后端面，提高了挡板1的密封性。固定板96嵌入于箱体17后端面中上部，且固定板96后端面粘贴有海绵片97，即固定板96通过海绵片97粘贴在箱体17后端面。L型板98对称安装有两个，且安装于箱体17后端面中部，并且两个L型板98左右对立面用于分别贴合于挡板1左右端面。需要说明的是，当挡板1下降至相应位置时才会贴合，而图3中，挡板1处于上升状态，挡板1未下降至两个L型板98之间，因此，未显示两个L型板98左右对立面分别贴合于挡板1左右端面的状态。
结合参考图1、图3和图4，挤压板99通过微型弹簧911连接于L型板98内侧后端面，便于对挡板1施加弹力，且挤压板99前端面紧固有橡胶片910，橡胶片910用于紧贴于挡板1后端面。
进一步的，请结合参考图1、图2和图3，所述电动推杆2顶部活塞杆紧固于滑动架3顶端面(结合参考图6，顶端面包括顶端下表面)，所述滑动架3滑动安装于底座12顶端面前端锁合的支撑架4上，且滑动架3顶端面中部和底端面后端分别安装有第一气缸5和连接杆6。所述第一气缸5底部输出轴穿过滑动架3顶端面后固定连接于转杆7顶端面。所述连接杆6穿过箱体17顶端面后铰接于片盒13顶端面中部。所述转杆7穿过箱体17顶端面后铰接于片盒13顶端面前端。
如图2，所述箱体17顶端面左侧和后端面中部分别开设有进液口8和窗口10，且箱体17内侧底端开设有浸泡槽14。所述第二气缸11安装于箱体17后端顶部，所述浸泡槽14内侧前端嵌入有加热板15，且浸泡槽14顶部后端设置有进风管16，所述进风管16安装于箱体17内侧后端面中下部。
进一步的，所述收集机构94包括收集盒941、凸块942、凹槽943、卡块944、卡槽945、透明板946和透孔947。所述收集盒941贴合于底板91底端面，所述凸块942紧固于收集盒941前端面中部，且凸块942沿着箱体17后端面中下部开设的凹槽943内侧左右滑动。
所述卡块944设置于凸块942上下端面中部，图5中由于角度问题，仅显示了卡块944位于凸块942的下端面中部，而需要知道，还有一部分卡块944会位于凸块942上端面中部。并且，本实施例中，卡块944和凸块942为一体化结构。
卡块944活动伸入于卡槽945内侧，所述卡槽945开设于凹槽943内侧上下两端。同样因为角度的原因，图中仅显示了卡块944活动伸入于下端的卡槽945内侧。
所述透明板946嵌入于收集盒941后端面中下部，所述透孔947贯通于底板91上下两端中部，且透孔947落入到收集盒941内侧范围内，便于将透孔947流出的浸泡液进行收集。
进一步的，所述延伸板92呈倾斜向上延伸状，且两个延伸板92左右对立面与底板91顶端面呈120°夹角，便于延伸板92进行更大面积的浸泡液收集。
进一步的，所述橡胶片910前端面顶部呈由下而上渐缩的斜面状，且橡胶片910前端面为光滑无毛刺，便于使得挡板1在垂直向下移动的过程中对橡胶片910施加推力而使得橡胶片910向后移动。
进一步的，所述微型弹簧911等间距设置有三个于挤压板99后端面，且三个微型弹簧911分别位于挤压板99后端面上下两端和中部，便于使得挤压板99进行快速稳定的复位。
进一步的，所述密封片95为方状外形，且密封片95侧表面相齐平于挡板1侧表面，提高了挡板1整体的密封性。
进一步的，所述底板91顶端面呈由外向内渐缩的弧形状，且底板91顶端面设置有光滑薄膜层，便于浸泡液流动进入到透孔947内侧。
进一步的，所述密封片95材质为硅胶材质，材质较软，密封性较好。
进一步的，所述微型弹簧911材质为不锈钢材质，不易生锈腐蚀，使用寿命长。
本发明通过改进提供一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其工作原理如下；
第一，首先将该装置整体放置于指定的位置，并且将该设备与外部的控制器进行连接，然后通过进液口8于箱体17内的浸泡槽14内注入一定量的浸泡液；
第二，然后可通过设置相对应的工作机械臂将晶圆穿过窗口10内侧后放置于片盒13内侧，当片盒13内达到一定量的晶圆时停止继续放置晶圆；
第三，然后可通过控制第二气缸11带动挡板1垂直向下移动，而挡板1在垂直向下移动的过程中带动密封片95向下移动，同时挡板1对橡胶片910施加压力，而橡胶片910受到压力带动挤压板99向后移动而微型弹簧911受力压缩，当挡板1完全将窗口覆盖后第二气缸11停止工作；
第四，通过连接杆6和旋杆7的共同作用下，此时控制电动推杆2带动滑动架3和片盒13向下移动，然后控制第一气缸5带动转杆7移动，当旋杆7向上移动时，片盒倾斜，开口向下，片盒内的晶圆下落至浸泡槽内，当整个pai滑动架向下移动时，整个片盒进入到浸泡槽14内进行浸泡，有效防止晶体粘附在片盒内，可以通过旋杆7的调节，调节片盒的角度，同时通过加热板15对浸泡液进行加热；
第五，而该浸泡装置在使用的过程中，通过挤压板99和微型弹簧911对挡板1施加压力，使得挡板1对密封片95施加压力而使得密封片95更加稳定的贴合在箱体17的后端面上，从而提高了挡板1和窗口10的密封性而防止浸泡液向外泄露，同时挡板1在使用完毕后向上移动，通过海绵片97接触挡板前端面而将浸泡液进行吸收，同时当仍然有浸泡液流下时，通过限位板93和延伸板92将浸泡液导流至底板91顶端面开设的透孔947内侧，并且通过透孔947进入到收集盒941内进行收集。
本发明通过改进提供一种湿法处理用晶圆浸泡装置，通过挤压板99和微型弹簧911对挡板1施加压力，使得挡板1对密封片95施加压力而使得密封片95更加稳定的贴合在箱体17的后端面上，从而提高了挡板1和窗口10的密封性而防止浸泡液向外泄露，同时挡板1在使用完毕后向上移动，通过海绵片97接触挡板前端面而将浸泡液进行吸收，同时当仍然有浸泡液流下时，通过限位板93和延伸板92将浸泡液导流至底板91顶端面开设的透孔947内侧，并且通过透孔947进入到收集盒941内进行收集，达到了提高整体的密封性防止浸泡液泄露，并且对流出的浸泡液进行收集而防止浸泡液浪费和污染环境的有益效果，通过延伸板92呈倾斜向上延伸状，且两个延伸板92左右对立面与底板91顶端面呈120°夹角，便于两个延伸板92将进行更大角度的对浸泡液进行收集。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种湿法处理用晶圆浸泡装置，包括挡板(1)、电动推杆(2)和箱体(17)，所述挡板(1)安装于第二气缸(11)底部输出轴上，所述电动推杆(2)锁固于底座(12)顶端面前端；
其特征在于：还包括格挡密封机构(9)，所述格挡密封机构(9)设置于所述箱体(17)后端，所述格挡密封机构(9)包括底板(91)、延伸板(92)、限位板(93)、收集机构(94)和密封片(95)，所述底板(91)紧固于所述箱体(17)后端面中下部，且所述底板(91)左右两端设置有所述延伸板(92)，所述延伸板(92)和所述底板(91)后端顶部设置有所述限位板(93)，所述收集机构(94)设置于所述底板(91)底部，所述密封片(95)粘贴于所述挡板(1)前端面，且所述密封片(95)贴合于所述箱体(17)后端面。
2.根据权利要求1所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述格挡密封机构(9)还包括固定板(96)、海绵片(97)、L型板(98)、挤压板(99)、橡胶片(910)和微型弹簧(911)；所述固定板(96)嵌入于所述箱体(17)后端面中上部，且所述固定板(96)后端面粘贴有所述海绵片(97)，所述L型板(98)对称安装有两个，所述L型板(98)安装于所述箱体(17)后端面中部，且两个所述L型板(98)左右对立面分别用于贴合于所述挡板(1)左右端面，所述挤压板(99)通过所述微型弹簧(911)连接于所述L型板(98)内侧后端面，且所述挤压板(99)前端面紧固有所述橡胶片(910)，所述橡胶片(910)用于紧贴于所述挡板(1)后端面。
3.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述电动推杆(2)顶部输出轴紧固于滑动架(3)顶端面，所述滑动架(3)滑动安装于所述底座(12)顶端面前端锁合的支撑架(4)上，且所述滑动架(3)顶端面中部和底端面后端分别安装有第一气缸(5)和连接杆(6)，所述第一气缸(5)底部输出轴穿过所述滑动架(3)顶端面后固定连接于转杆(7)顶端面，所述连接杆(6)穿过所述箱体(17)顶端面后铰接于片盒(13)顶端面中部，所述转杆(7)穿过所述箱体(17)顶端面后铰接于所述片盒(13)顶端面前端。
4.根据权利要求3所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述箱体(17)顶端面左侧和后端面中部分别开设有进液口(8)和窗口(10)，且所述箱体(17)内侧底端开设有浸泡槽(14)，所述第二气缸(11)通过L型刚件(18)锁固安装于所述箱体(17)后端顶部，所述浸泡槽(14)内侧前端嵌入有加热板(15)，且所述浸泡槽(14)顶部后端设置有进风管(16)，所述进风管(16)安装于所述箱体(17)内侧后端面中下部。
5.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述收集机构(94)包括收集盒(941)、凸块(942)、凹槽(943)、卡块(944)、卡槽(945)、透明板(946)和透孔(947)，所述收集盒(941)贴合于底板(91)底端面，所述凸块(942)紧固于所述收集盒(941)前端面中部，且所述凸块(942)沿着所述箱体(17)后端面中下部开设的所述凹槽(943)内侧左右滑动，所述卡块(944)设置于所述凸块(942)上下端面中部，且所述卡块(944)活动伸入于卡槽(945)内侧，所述卡槽(945)开设于所述凹槽(943)内侧上下两端，所述透明板(946)嵌入于所述收集盒(941)后端面中下部，所述透孔(947)贯通于所述底板(91)上下两端中部，且所述透孔(947)落入到所述收集盒(941)内侧范围内。
6.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述延伸板(92)呈倾斜向上延伸状，且两个所述延伸板(92)左右对立面与所述底板(91)顶端面呈120°夹角。
7.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述橡胶片(910)前端面顶部呈由下而上渐缩的斜面状，且所述橡胶片(910)前端面为光滑无毛刺。
8.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述微型弹簧(911)等间距设置有三个于所述挤压板(99)后端面，且三个所述微型弹簧(911)分别位于所述挤压板(99)后端面上下两端和中部。
9.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述密封片(95)为方状外形，且所述密封片(95)侧表面相齐平于所述挡板(1)侧表面。
10.根据权利要求2所述一种湿法处理用晶圆浸泡装置，其特征在于：所述底板(91)顶端面呈由外向内渐缩的弧形状，且所述底板(91)顶端面设置有光滑薄膜层。
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CN113725128A (zh) * 2021-11-01 2021-11-30 天霖(张家港)电子科技有限公司 一种半导体浸泡装置
CN113725128B (zh) * 2021-11-01 2022-03-04 天霖(张家港)电子科技有限公司 一种半导体浸泡装置

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