CN111872005A - 一种全方位吹淋风淋室 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种全方位吹淋风淋室，包括带互锁闭门器的洁净门、风淋室内隔板、风淋室外墙彩钢板、静压箱上隔板、导轨、电机、高效过滤器、软接风管、风机、初效、中效过滤器、万向喷淋嘴、圆形移动导轨、旋转支架和控制面板。本发明可以应用于微电子、光电、半导体、医药、食品、化工、航空、汽车、印刷、实验室等各个无尘车间与非无尘车间、阶梯洁净度车间中，气密性，全方位吹淋，洁净度高，效果显著。

Description

一种全方位吹淋风淋室

技术领域：

本发明属于建筑技术领域，适用于净化车间的洁净设备，具体涉及一种全方位吹淋风淋室。

背景技术：

随着大规模集成电路（芯片）超小纳米化，保障净化车间（洁净室）洁净度的稳定更加重要，这直接影响芯片生产的成品率和产品的综合性能。

人的流动是净化车间最大的污染源和不稳定因素，所以减轻人体对净化车间的污染尤为重要。在进入洁净室生产车间中，需要经过风淋带走人体上附着的颗粒物，风淋室是一种通用性较强的局部净化设备，安装于洁净室与非洁净室之间。当人与货物要进入洁净区时需经风淋室吹淋，其吹出的洁净空气可去除人与货物所携带的尘埃，能有效的阻断或减少尘源进入洁净区。风淋室的前后两道门为电子互锁，又可起到气闸的作用，阻止未净化的空气进入洁净区域。目前行业中的风淋室均采用固定风嘴吹淋方式，会存在吹淋死角。

发明内容：

本发明旨在解决上述缺陷，提供了一种全方位吹淋风淋室。

为了克服背景技术中存在的缺陷，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种全方位吹淋风淋室，包括带互锁闭门器的洁净门、风淋室内隔板、风淋室外墙彩钢板、静压箱上隔板、导轨、电机、高效过滤器、软接风管、风机、初效、中效过滤器、万向喷淋嘴、圆形移动导轨、旋转支架和控制面板，所述风淋室外墙彩钢板通过膨胀螺丝固定于地面,所述带互锁闭门器的洁净门与风淋室外墙彩钢板通过自攻螺丝连接，所述风淋室内隔板通过暗藏式铰链和暗藏式按压锁安装，固定在风淋室外墙彩钢板上，所述静压箱上隔板通过自攻螺丝固定在风淋室内隔板和风淋室外墙彩钢板上，所述电机通过螺丝固定在风淋室外墙彩钢板上，所述导轨通过螺丝固定在风淋室外墙彩钢板上，所述风机通过膨胀螺丝固定于地面，所述软接风管通过螺栓固定在风机出风口处，所述高效过滤器通过螺丝固定于静压箱上隔板上，所述初效、中效过滤器通过螺丝固定于风淋室内隔板上，所述万向喷淋嘴通过螺丝固定于风淋室内隔板上，所述圆形移动导轨配合固定于导轨上，所述旋转支架配合固定于导轨和电机轴上，所述控制面板通过螺丝固定于风淋室内隔板上。

优选的，上述万向喷淋嘴可移动。使用移动风嘴均流吹淋，保证风淋室内无死角。

优选的，上述连接件如锁具，铰链，螺丝等采用暗藏式连接。有利于保证表面的平整度，不积尘。

本发明的有益效果是：本发明万向喷淋嘴可按照轨道移动，风淋室内部不存在死角和气流不均匀情况，风淋室内部无凸台，不积尘，不产尘，无自攻螺丝等影响洁净度的部分，安装完成后，保证了气密性，防止泄露，可以应用于微电子、光电、半导体、医药、食品、化工、航空、汽车、印刷、实验室等各个无尘车间与非无尘车间、阶梯洁净度车间中，用于从低洁净度房间进入高洁净度房间过程中除去人各部位大于0.3微米粉尘颗粒，以免进入洁净房后带去污染，同时也起到气流缓冲作用，因为在开门的过程中，附带有空气的流动，风淋室很好的把气流流动停于风淋室内部，很好的避免了空气流动所带来的空气污染。

附图说明：

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的俯视图。

图2为本发明的主视图。

图3为内隔板的主视图。

图中：1带互锁闭门器的洁净门、2风淋室内隔板、3风淋室外墙彩钢板、4静压箱上隔板、5导轨、6电机、7高效过滤器、8软接风管、9风机、10初效、中效过滤器、11万向喷淋嘴、12圆形移动导轨、13旋转支架、14控制面板。

具体实施方式：

下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。

如图1,2,3所示，风淋室外墙彩钢板3通过膨胀螺丝固定于地面，带互锁闭门器的洁净门1与风淋室外墙彩钢板3通过自攻螺丝连接，风淋室内隔板2通过暗藏式铰链和暗藏式按压锁安装，固定在风淋室外墙彩钢板3上，静压箱上隔板4通过自攻螺丝固定在风淋室内隔板2和风淋室外墙彩钢板3上，电机6通过螺丝固定在风淋室外墙彩钢板3上，导轨5通过螺丝固定在风淋室外墙彩钢板3上，风机9通过膨胀螺丝固定于地面，软接风管8通过螺栓固定在风机9出风口处，高效过滤器7通过螺丝固定于静压箱上隔板4上，初效、中效过滤器10通过螺丝固定于风淋室内隔板2上，万向喷淋嘴11通过螺丝固定于风淋室内隔板2上，圆形移动导轨12配合固定于导轨5上，旋转支架13配合固定于导轨5和电机6轴上，,控制面板14通过螺丝固定于风淋室内隔板2上。

工作原理：带互锁闭门器的洁净门，用于进出使用，单通，即只能由非洁净区向洁净区进入，反向无法通行。只有在极特殊情况下人员才能反向出入。人员在进入风淋室后，带互锁闭门器的洁净门自动关闭，吹淋等待时间过了以后，另一扇门才能开启。风淋室内隔板，单侧吹淋为1套，双侧吹淋为2套。安装移动式导轨，吹淋过程中电机带动万向喷淋嘴沿圆形移动导轨运动，风淋室外墙彩钢板主要功能是将风淋室隔成单独的空间，并且提供气密环境，静压箱上隔板经过高效过滤网，初效、中效过滤网过滤的洁净风与其他未过滤的空气隔离。电机主要功能是为万向喷淋运动提供动力，风淋室内隔板内隔板固定在外墙板上，用暗藏式铰链和暗藏式按压锁安装，用于安装万向喷淋嘴、导轨、电机。高效过滤器主要过滤空气中的粉尘、颗粒，微生物。软接风管连接风机和高效过滤器。风机作用为使风淋室形成循环风，使各个部分达到应有的压差。初效、中效过滤器，用于捕集1-55μm 的颗粒灰尘及各种悬浮物，对高效过滤器起一定的保护作用。万向喷淋嘴经过过滤的洁净风通过万向喷淋嘴增压、均流后吹出，对进入风淋室的人员进行吹淋，消除人体上附着的颗粒物。圆形移动导轨针对双侧吹和顶吹都可使用，设置为圆形轨迹。旋转支架用于带动喷淋嘴旋转，控制面板用于控制电源、灯具、互锁、吹淋时间、导轨启停等动作。

由互锁系统控制电插锁，将靠近洁净室内侧的门设置为常闭，靠近外侧非洁净区的门常开，当人员由非洁净区进入风淋室时，门自动关闭，风机开始工作，抽取风淋室内部的非洁净风经过初效、中效过滤器以及高效过滤器过滤后变为洁净风，通过万向喷淋嘴吹出，带走人体上的粉尘、颗粒，微生物，吹淋时间完成后，靠近洁净区的洁净门打开，靠近非洁净区门关闭，人员走出后，靠近洁净区洁净门关闭，设备恢复到初始状态，即将靠近洁净室内侧的门常闭，靠近外侧非洁净区的门常开，上述设备全自动控制，电子互锁，吹淋时双门锁闭，红外线感应自动吹淋，带视窗洁净门自动闭门， LED显示及设置吹淋时间，吹淋时间可调。

以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (3)

1.一种全方位吹淋风淋室，其特征在于：包括带互锁闭门器的洁净门、风淋室内隔板、风淋室外墙彩钢板、静压箱上隔板、导轨、电机、高效过滤器、软接风管、风机、初效、中效过滤器、万向喷淋嘴、圆形移动导轨、旋转支架和控制面板，所述风淋室外墙彩钢板通过膨胀螺丝固定于地面,所述带互锁闭门器的洁净门与风淋室外墙彩钢板通过自攻螺丝连接，所述风淋室内隔板通过暗藏式铰链和暗藏式按压锁安装，固定在风淋室外墙彩钢板上，所述静压箱上隔板通过自攻螺丝固定在风淋室内隔板和风淋室外墙彩钢板上，所述电机通过螺丝固定在风淋室外墙彩钢板上，所述导轨通过螺丝固定在风淋室外墙彩钢板上，所述风机通过膨胀螺丝固定于地面，所述软接风管通过螺栓固定在风机出风口处，所述高效过滤器通过螺丝固定于静压箱上隔板上，所述初效、中效过滤器通过螺丝固定于风淋室内隔板上，所述万向喷淋嘴通过螺丝固定于风淋室内隔板上，所述圆形移动导轨配合固定于导轨上，所述旋转支架配合固定于导轨和电机轴上，所述控制面板通过螺丝固定于风淋室内隔板上。

2.根据权利要求1所述一种全方位吹淋风淋室，其特征在于：所述万向喷淋嘴可移动。

3.根据权利要求1所述一种全方位吹淋风淋室，其特征在于：所述连接件锁具，铰链，螺丝等均采用暗藏式连接。

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