CN111871161A - 一种惰性气体净化设备及回收净化系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种惰性气体净化设备，所述惰性气体净化设备包括第一净化组件、第二净化组件及第三净化组件，所述第一净化组件、第二净化组件及第三净化组件依次通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀，所述第一净化组件用于对通过气体进行脱氧、脱氮处理，所述第二净化组件用于对通过气体进行脱水、脱碳烃、脱一氧化碳、脱二氧化碳处理，所述第三净化组件用于对通过气体进行脱氮处理。本发明还提供了一种惰性气体回收净化系统。本发明对通过气体进行三级脱除杂质，纯化处理，保证净化后的氩气、氦气达到使用要求，本发明所提供的架构简单，设备的占地面积少，且操作、维修简便，缩短了净化流程，提高了净化效率。

Description

一种惰性气体净化设备及回收净化系统
技术领域：
本发明技术领域气体净化技术领域，尤其涉及一种惰性气体净化设备及回收净化系统。
背景技术：
在现有的单晶行业的工业生产中，单晶炉每天需要用大量的高纯惰性气体，如氩气、氦气等，且高纯惰性气体本身价格昂贵，如果使用后的高纯惰性气体得不到回收再利用，生产企业不仅需要支付巨大的成本，还会造成惰性气体的浪费。而回收之后的惰性气体需要进行重新的纯化处理，不进行再纯化处理，是不能再被利用的。
如在传统的气体净化技术中，以硅芯炉排出的氩气尾气为原料气，需要进行加氢脱氧及并通过深冷液化过程进行净化，其净化过程中很难避免加氢装置，如防爆厂房及防爆电气等设备的使用，净化设备占地面积大，且净化过程中存在较高安全风险，且易出现由于回收气体的流量不均衡造成塌塔停车现象。
因此，本领域亟需一种惰性气体净化设备及回收净化系统。
有鉴于此，提出本发明。
发明内容：
本发明的目的在于提供一种具有更好使用效果的惰性气体净化设备及回收净化系统，以解决现有技术中的至少一项技术问题。
具体的，本发明的第一方面，提供了一种惰性气体净化设备，所述惰性气体净化设备包括第一净化组件、第二净化组件及第三净化组件，所述第一净化组件、第二净化组件及第三净化组件依次通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀，所述第一净化组件用于对通过气体进行脱氧、脱氮处理，所述第二净化组件用于对通过气体进行脱水、脱碳烃、脱一氧化碳、脱二氧化碳处理，所述第三净化组件用于对通过气体进行脱氮处理。
采用上述结构，对通过气体进行三级脱除杂质，纯化处理，保证净化后的氩气、氦气达到使用要求，本发明所提供的架构简单，设备的占地面积少，且操作、维修简便，故障率低，能够有效降低氩气、氦气净化工作的能耗，降低了整体净化运行成本，且净化过程中不需要进行加氢脱氧及深冷液化处理，显著的优化了氩气、氦气的净化工艺，缩短了净化流程，提高了净化效率。
优选地，所述第一净化组件包括预热罐及脱氧罐，所述预热罐与脱氧罐相连接，通过气体依次经过预热罐及脱氧罐。
进一步地，所述脱氧罐可设置有多个，且脱氧罐串联设置。
进一步地，所述第一净化组件还包括热交换罐，所述热交换罐用于进入第一净化组件的气体与离开第一净化组件的气体间进行热交换。
进一步地，所述热交换罐包括第一通路及第二通路，所述第一通路与第二通路间不相互连通，且第一通路与第二通路间能够进行热交换，所述第一通路设置在进气管道与预热罐的连通管路上，所述第二通路设置在脱氧罐与第二净化组件的连通管路上。
采用上述结构，本发明所提供第一净化组件采用高温金属填充物对通过气体进行过滤，能够有效去除通过气体所携带的含氧、含氮组分，其次，第一净化组件的架构优良，能够充分利用通过气体所携带的热量，能够促进处理前后气体进行热量交换，有效的降低了预热罐的工作负荷，充分对第一净化组件内的能源流向进行调控，提供第一净化组件内的能源利用率，并降低第一净化组件及第二净化组件间连接管路的工作负荷。
优选地，所述第一净化组件及第二净化组件间还设置有气体调整罐，所述气体调整罐用于调整流入第二净化组件的气体温度，使其符合第二净化组件的工作需求。
进一步地，所述气体调整罐为冷却罐，用于降低流入第二净化组件气体的温度。
进一步地，所述气体调整罐能够将通过气体的温度降低至室温。
采用上述结构，对第一净化组件及第二净化组件间的连接管路进行调整，保证实际使用时第一净化组件与第二净化组件能够相互配合，提高了净化装置整体的工作效率及工作质量。
优选地，所述第二净化组件包括干燥罐及加热器，所述干燥罐及加热器依次相连通，通过气体依次经过干燥罐及加热器。
进一步地，所述干燥罐可设置有多个。
进一步地，所述干燥罐可分为多个过滤组，每个过滤组间并联设置。
进一步地，所述过滤组内至少包括两个干燥罐，所述过滤组内的干燥罐并联设置。
采用上述结构，第二净化组件内的架构得到了有效的优化，具有大流量状态下的气体净化能力，能够满足多种工作环境下工作需要。
优选地，所述第三净化组件包括脱氮罐。
进一步地，所述脱氮罐可设置有多个，所述脱氮罐并联设置。
采用上述结构，能够有效去除通过气体中的含有氮成分。
具体的，本发明的第二方面，还提供了一种惰性气体回收净化系统，所述惰性气体回收净化系统包括压力调整组件及净化装置，所述压力调整组件及净化装置依次通过管路相连接，所述净化装置采用上述净化装置，所述惰性气体回收净化系统还包括存储缓冲罐，所述存储缓冲罐与压力调整组件及净化装置通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀。
采用上述结构，具有优良的设备架构，能够满足实际的生产所需，且整体设备的占地面积少，操作、维修简便，设备整体的容错率较高，且有效的解决了传统深冷法回收氩气过程中由于回收气体的流量不均衡造成塌塔停车现象。
优选地，所述压力调整组件之前的管路上还设置有第一过滤器，所述第一过滤器用于过滤通过气流中所携带的粉尘颗粒。
采用上述结构，能够有效提高压力调整组件的使用寿命，并提高惰性气体回收净化系统处理效率。
优选地，所述存储缓冲罐包括有第一缓冲罐、第二缓冲罐及第三缓冲罐，所述第一缓冲罐设置在第一过滤器之前的管路上，所述第二缓冲罐设置在压力调整组件与净化装置之间的管路上，所述第三缓冲罐设置在净化装置之后的管路上。
采用上述结构，能够有效调节惰性气体回收净化系统中各处管路的压力水平，提高系统的容错率，防止出现局部压力过大的情况发生。
优选地，所述压力调整组件包括气体压缩机。
进一步地，所述气体压缩机至少设置有两个，且所述气体压缩机并联设置。
进一步地，所述压力调整组件与第二缓冲罐之间的管路上还依次设置有第二过滤器及单向阀。
采用上述结构，所述压力调整组件至少设置有两个，保证可以一备一用，使本发明能够进行不间断的生产工作，且所述单向阀的设置，能够有效防止气流向压力调整组件回流。
优选地，所述净化装置可设置有多个，且所述净化装置并联设置。
进一步地，所述净化装置与第三缓冲罐间的管路上还设置有检测组件，所述检测组件用于检测净化装置中流出的气流。
进一步地，所述检测组件与第三缓冲罐间的管路上还设置有第三过滤器。
进一步地，所述检测组件包括氧气检测仪及水分检测仪。
采用上述结构，能够保证惰性气体回收净化系统的净化效率及净化质量。
优选地，所述第三缓冲罐之后的管路上设置有减压阀。
优选地，所述第一缓冲罐及第二缓冲罐通过平衡管路相连通，所述平衡管路上设置有电磁阀。
采用上述结构，能够有效平衡第一缓冲罐及第二缓冲罐间的压力，防止出现进入压力调整组件的气流出现压力不足的情况，影响正常生产使用。
优选地，所述惰性气体回收净化系统还包括系统控制器，所述系统控制器与压力调整组件电性相连，所述系统控制器用于控制压力调整组件开启或关闭。
进一步地，所述系统控制器还与检测组件、减压阀、单向阀及电磁阀电性连接，用于控制减压阀、单向阀及电磁阀开启或关闭。
进一步地，所述系统控制器包括显示装置，所述显示装置能够显示检测组件所传输的数据信息。
采用上述结构，惰性气体回收净化系统运行由检测组件检测，并通过显示装置实时显示检测组件所得数据，反映惰性气体回收净化系统的运行状态，使惰性气体回收净化系统能够实现自主运行，操作人员通过系统控制器能够实现对惰性气体回收净化系统的远程控制。
优选地，所述惰性气体回收净化系统中适用的惰性气体包括氩气、氦气、氮气。
综上所述，本发明具有以下有益效果：
1.本发明对通过气体进行三级脱除杂质，纯化处理，保证净化后的氩气、氦气达到使用要求，本发明所提供的架构简单，设备的占地面积少，且操作、维修简便，故障率低，能够有效降低氩气、氦气净化工作的能耗，降低了整体净化运行成本，且净化过程中不需要进行加氢脱氧及深冷液化处理，显著的优化了氩气、氦气的净化工艺，缩短了净化流程，提高了净化效率；
2.本发明对第一净化组件及第二净化组件间的连接管路进行调整，保证实际使用时第一净化组件与第二净化组件能够相互配合，提高了净化装置整体的工作效率及工作质量；
3.本发明具有优良的设备架构，能够满足实际的生产所需，且整体设备的占地面积少，操作、维修简便，设备整体的容错率较高，且有效的解决了传统深冷法回收氩气过程中由于回收气体的流量不均衡造成塌塔停车现象。
附图说明：
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明惰性气体回收净化系统的立体图；
图2为本发明惰性气体回收净化系统一种实施方式的管路连接示意图；
图3为本发明惰性气体净化设备的管路连接示意图；
图4为本发明惰性气体回收净化系统另一种实施方式的管路连接示意图。
附图标记说明：
通过上述附图标记说明，结合本发明的实施例，可以更加清楚的理解和说明本发明的技术方案。
1、第一净化组件；11、预热罐；12、脱氧罐；13、热交换罐；2、第二净化组件；21、干燥罐；22、加热器；3、第三净化组件；31、脱氮罐；41、气体调整罐；100、压力调整组件；200、净化装置；300、存储缓冲罐；301、第一缓冲罐；302、第二缓冲罐；303、第三缓冲罐；401、第一过滤器；402、单向阀；403、检测组件；404、减压阀；405、平衡管路；406、第二过滤器；407、第三过滤器；500、系统控制器。
具体实施方式：
这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本发明相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本发明的一些方面相一致的装置和方法的例子。
在本发明使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本发明。在本发明和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。
以下将通过实施例对本发明进行详细描述。
如图3所示，本发明的第一方面，提供了一种惰性气体净化设备，所述惰性气体净化设备包括第一净化组件1、第二净化组件2及第三净化组件3，所述第一净化组件1、第二净化组件2及第三净化组件3依次通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀，所述第一净化组件1用于对通过气体进行脱氧、脱氮处理，所述第二净化组件2用于对通过气体进行脱水、脱碳烃、脱一氧化碳、脱二氧化碳处理，所述第三净化组件3用于对通过气体进行脱氮处理。
采用上述结构，对通过气体进行三级脱除杂质，纯化处理，保证净化后的氩气、氦气达到使用要求，本发明所提供的架构简单，设备的占地面积少，且操作、维修简便，故障率低，能够有效降低氩气、氦气净化工作的能耗，降低了整体净化运行成本，且净化过程中不需要进行加氢脱氧及深冷液化处理，显著的优化了氩气、氦气的净化工艺，缩短了净化流程，提高了净化效率。
如图3所示，所述第一净化组件1包括预热罐11及脱氧罐12，所述预热罐11与脱氧罐12相连接，通过气体依次经过预热罐11及脱氧罐12，所述第一净化组件1还包括热交换罐13，所述热交换罐13用于进入第一净化组件1的气体与离开第一净化组件1的气体间进行热交换，所述热交换罐13包括第一通路及第二通路，所述第一通路与第二通路间不相互连通，且第一通路与第二通路间能够进行热交换，所述第一通路设置在进气管道与预热罐11的连通管路上，所述第二通路设置在脱氧罐12与第二净化组件2的连通管路上。
采用上述结构，本发明所提供第一净化组件1采用高温金属填充物对通过气体进行过滤，能够有效去除通过气体所携带的含氧、含氮组分，其次，第一净化组件1的架构优良，能够充分利用通过气体所携带的热量，能够促进处理前后气体进行热量交换，有效的降低了预热罐11的工作负荷，充分对第一净化组件1内的能源流向进行调控，提升第一净化组件1内的能源利用率，并降低第一净化组件1及第二净化组件2间连接管路的工作负荷。
在本发明的一些优选实施方式中，所述脱氧罐12设置有2个，且脱氧罐12串联设置。
如图3所示，所述第一净化组件1及第二净化组件2间还设置有气体调整罐41，所述气体调整罐41用于调整流入第二净化组件2的气体，使其符合第二净化组件2的工作需求，所述气体调整罐41为冷却罐，用于降低流入第二净化组件2气体的温度。采用上述结构，对第一净化组件1及第二净化组件2间的连接管路进行调整，保证实际使用时第一净化组件1与第二净化组件2能够相互配合，提高了净化装置200整体的工作效率及净化质量。
在本发明的一些优选实施方式中，所述气体调整罐41采用水冷却罐，用于对通过气体进行降温。
如图3所示，所述第二净化组件2包括干燥罐21及加热器22，所述干燥罐21及加热器22依次相连通，通过气体依次经过干燥罐21及加热器22，采用上述结构，第二净化组件2内的架构得到了有效的优化，具有大流量状态下的气体净化能力，能够满足多种工作环境下工作需要。
在本发明的一些优选实施方式中，所述干燥罐21可设置有4个，所述干燥罐21可分为2个过滤组，每个过滤组间并联设置，所述过滤组内的干燥罐21并联设置。
如图3所示，所述第三净化组件3包括脱氮罐31，所述脱氮罐31可设置有2个，且所述脱氮罐31并联设置。
采用上述结构，能够有效去除通过气体中的含有氮成分。
具体实施过程中，所述第一净化组件1的流程如下：需要纯化的气体进入热交换罐13，然后再进入预热器对气体进行加热，加热的热气体进入脱氧罐12，气体中的大部分氧被脱除，经过二级脱氧罐12加深脱氧的程度，脱氧后的热氩气再经过热交换罐13，此时气体中热量可以对刚进入纯化器的气体进行加热，冷热气体进行热交换处理，既降低了脱氧后气体的热量，又加热了刚进入的冷气体，节省了加热所需的能量。然后脱氧后的气体再经过冷却罐进一步降温，因热气体经过热交换罐13时一部分热量已被冷气体带走，再经过冷却罐时节省了冷却水的用量。
具体实施过程中，所述第二净化组件2的流程如下：第二级中的加热器22是加热再生用气，用热气体对干燥罐21进行再生处理，净化前含氧量10-100ppm，净化后的含氧量≤0.1-0.5ppm。
具体实施过程中，所述干燥罐21的流程如下：冷却后的气体进入干燥罐21，里面的BY-13XLI吸附剂对气体中的进行脱水、脱碳烃物质、脱一氧化碳、脱二氧化处理。以氩气为例干燥前的氩气露点为-45℃，干燥后氩气的露点为≤-80℃。
具体实施过程中，所述脱氮罐31的流程如下：对经过第一净化组件1、第二净化组件2的气体再进入脱氮罐31，脱氮里吸附剂为BY-702型，对洁净氩气进行精脱氮处理，脱氮前氩气的氮含量为50ppm，净化后的氩气含氮量为0.5-1ppm。
在本发明的一些优选实施方式中，所述脱氧罐12内填充有脱氧剂，所述脱氧剂采用碳钯复合脱氧剂，进一步，所述脱氧剂采用品牌为北京北氧特气工程技术有限公司，型号为BY-402型的吸附剂。
在本发明的一些优选实施方式中，所述干燥罐21内填充有干燥净化剂，所述干燥净化剂采用13X锂型分子筛，进一步，所述干燥净化剂采用品牌为北京北氧特气工程技术有限公司，型号为BY-13XLI型的吸附剂。
在本发明的一些优选实施方式中，所述脱氮罐31内填充有脱氮剂，所述脱氮剂采用锆钒铁锰钛吸附剂，进一步，所述脱氮剂采用品牌为北京北氧特气工程技术有限公司，型号为BY-702型的吸附剂。
在本发明的一些优选实施方式中，本发明也能够应用于氮气的净化，当进行氮气净化时，所述第二净化组件2可直接与出气相连通，氮气不经过净化设备第三净化组件3，通过旁通输出。
如图1及图2所示，本发明的第二方面，还提供了一种惰性气体回收净化系统，所述惰性气体回收净化系统包括压力调整组件100及净化装置200，所述压力调整组件100及净化装置200依次通过管路相连接，所述净化装置200采用上述净化装置200，所述惰性气体回收净化系统还包括存储缓冲罐300，所述存储缓冲罐300与压力调整组件100及净化装置200通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀。
采用上述结构，具有优良的设备架构，能够满足实际的生产所需，且整体设备的占地面积少，操作、维修简便，设备整体的容错率较高，且有效的解决了传统深冷法回收氩气过程中由于回收气体的流量不均衡造成塌塔停车现象。
如图2所示，所述压力调整组件100之前的管路上还设置有第一过滤器401，所述第一过滤器401用于过滤通过气流中所携带的粉尘颗粒。采用上述结构，能够有效提高压力调整组件100的使用寿命，并提高惰性气体回收净化系统处理效率。
如图2所示，所述存储缓冲罐300包括有第一缓冲罐301、第二缓冲罐302及第三缓冲罐303，所述第一缓冲罐301设置在第一过滤器401之前的管路上，所述第二缓冲罐302设置在压力调整组件100与净化装置200之间的管路上，所述第三缓冲罐303设置在净化装置200之后的管路上。采用上述结构，能够有效调节惰性气体回收净化系统中各处管路的压力水平，提高系统的容错率，防止出现局部压力过大的情况发生。
如图2所示，所述压力调整组件100包括气体压缩机，所述气体压缩机至少设置有两个，且所述气体压缩机并联设置，所述压力调整组件100与第二缓冲罐302之间的管路上还依次设置有第二过滤器406及单向阀402。采用上述结构，所述压力调整组件100至少设置有两个，保证可以一备一用，使本发明能够进行不间断的生产工作，且所述单向阀402的设置，能够有效防止气流向压力调整组件100回流。
在本发明的一些优选实施方式中，所述气体压缩机设置有2个，且气体压缩机并联设置的支路上，进气端一侧分别设置有电磁阀。
如图2所示，所述净化装置200与第三缓冲罐303间的管路上还设置有检测组件403，所述检测组件403用于检测净化装置200中流出的气流，所述检测组件403与第三缓冲罐303间的管路上还设置有第三过滤器407，所述检测组件403包括氧气检测仪及水分检测仪。采用上述结构，能够保证惰性气体回收净化系统的净化效率及净化质量。
在本发明的一些优选实施方式中，所述净化装置200可设置有2个，且所述净化装置200并联设置，进一步，所述净化装置200并联设置的支路上，进气端一侧分别设置有电磁阀。
如图2所示，所述第三缓冲罐303之后的管路上设置有减压阀404，所述第一缓冲罐301及第二缓冲罐302通过平衡管路405相连通，所述平衡管路405上设置有电磁阀。采用上述结构，能够有效平衡第一缓冲罐301及第二缓冲罐302间的压力，防止出现进入压力调整组件100的气流出现压力不足的情况，影响正常生产使用。
如图1及图2所示，所述惰性气体回收净化系统还包括系统控制器500，所述系统控制器500与压力调整组件100电性相连，所述系统控制器500用于控制压力调整组件100开启或关闭，所述系统控制器500还与检测组件403、减压阀404、单向阀402及电磁阀电性连接，用于控制减压阀404、单向阀402及电磁阀开启或关闭，所述系统控制器500包括显示装置，所述显示装置能够显示检测组件403所传输的数据信息。采用上述结构，惰性气体回收净化系统运行由检测组件403检测，并通过显示装置实时显示检测组件403所得数据，反映惰性气体回收净化系统的运行状态，使惰性气体回收净化系统能够实现自主运行，操作人员通过系统控制器500能够实现对惰性气体回收净化系统的远程控制。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述第一过滤器401及第一缓冲罐301间的管路上还设置有第一放气管路，所述第一放气管路上设置有阀门，所述第一放气管路用于第一过滤器401及第一缓冲罐301间的管路内气体的排出，进一步，所述第一放气管路上设置有手动阀及电磁阀，采用上述设置，能够提高管路的安全系数，保证正常生产。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述第二过滤器406处还设置有第二保护管路，所述第二保护管路上设置有阀门，第二保护管路上的阀门打开时，气流会通过直接通过第二保护管路通过，能够加大管路的过流速度，对第二过滤器406起到保护作用，进一步，所述第二过滤器406两端还设置有阀门，所述阀门能够直接切断气流进入第二过滤器406的路径，使气流通过第二保护管路通过。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述第二缓冲罐302与第三缓冲罐303间通过连接管路相连通，通过连接管路的设置，能够实现第二缓冲罐302与第三缓冲罐303间存储气体的转移，使第三缓冲罐303内的气体能够再次通过净化装置200，提高系统的净化质量。
在本发明的一些优选实施方式中，所述连接管路上还设置有阀门，所述阀门可设置有多个，进一步，所述连接管路上设置有电磁阀，所述电磁阀设置在靠近第三缓冲罐303一端的管路上，进一步，所述连接管路上设置有手动阀，所述手动阀设置在靠近第二缓冲罐302一端的管路上。
在本发明的一些优选实施方式中，所述连接管路上还设置有放气支路，所述放气支路上设置有阀门，所述放气支路用于放出连接管路、第二缓冲罐302及第三缓冲罐303中的气体。
在本发明的一些优选实施方式中，所述连接管路上还设置有补气支路，所述补气支路上设置有阀门，所述补气支路用于向第二缓冲罐302或第三缓冲罐303内补充气体。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述第三过滤器407处还设置有第三保护管路，所述第三保护管路上设置有阀门，第三保护管路上的阀门打开时，气流会通过直接通过第三保护管路通过，能够加大管路的过流速度，对第三过滤器407起到保护作用，进一步，所述第三过滤器407两端还设置有阀门，所述阀门能够直接切断气流进入第三过滤器407的路径，使气流通过第三保护管路通过。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述检测组件403及第三过滤器407间的管路上还设置有第二放气管路，所述第二放气管路上设置有阀门，所述第二放气管路用于检测组件403及第三过滤器407间的管路内气体的排出，进一步，所述第二放气管路上设置有手动阀及电磁阀，采用上述设置，能够提高管路的安全系数，保证正常生产。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述第一缓冲罐301、第二缓冲罐302及第三缓冲罐303上均设置有压力检测表。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述第二缓冲罐302及净化装置200间还设置有第一流量计，用于检测第二缓冲罐302流出气体的速度，进一步，所述第一流量计的一端还设置有阀门，用于第二缓冲罐302流出气体速度异常时，紧急切断第二缓冲罐302至净化装置200间的通路。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述净化装置200与第三缓冲罐303间还设置有第二流量计，用于检测净化装置200流出气体的速度，进一步，所述第二流量计的一端还设置有阀门，用于净化装置200流出气体速度异常时，紧急切断净化装置200与第三缓冲罐303间的通路。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述单向阀402与第二缓冲罐302间的管路上设置有阀门，上述设置用于单向阀402损坏时，切断第二缓冲罐302与压力调整组件100的通路，防止气体回流。
如图4所示，在本发明的一些优选实施方式中，所述平衡管路405包括第一支路及第二支路，所述第一支路及第二支路上分别设置有阀门，进一步，所述第一支路及第二支路上可分别设置手动阀或者电磁阀，采用上述结构，能够用于对平衡管路405的过流气体量进行调节。
综上所述，本发明具有以下有益效果：本发明对通过气体进行三级脱除杂质，纯化处理，保证净化后的氩气、氦气达到使用要求，本发明所提供的架构简单，设备的占地面积少，且操作、维修简便，故障率低，能够有效降低氩气、氦气净化工作的能耗，降低了整体净化运行成本，且净化过程中不需要进行加氢脱氧及深冷液化处理，显著的优化了氩气、氦气的净化工艺，缩短了净化流程，提高了净化效率；本发明对第一净化组件1及第二净化组件2间的连接管路进行调整，保证实际使用时第一净化组件1与第二净化组件2能够相互配合，提高了净化装置200整体的工作效率及工作质量；本发明具有优良的设备架构，能够满足实际的生产所需，且整体设备的占地面积少，操作、维修简便，设备整体的容错率较高，且有效的解决了传统深冷法回收氩气过程中由于回收气体的流量不均衡造成塌塔停车现象。
应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种惰性气体净化设备，其特征在于：所述惰性气体净化设备包括第一净化组件(1)、第二净化组件(2)及第三净化组件(3)，所述第一净化组件(1)、第二净化组件(2)及第三净化组件(3)依次通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀，所述第一净化组件(1)用于对通过气体进行脱氧、脱氮处理，所述第二净化组件(2)用于对通过气体进行脱水、脱碳烃、脱一氧化碳、脱二氧化碳处理，所述第三净化组件(3)用于对通过气体进行脱氮处理。
2.根据权利要求1所述惰性气体净化设备，其特征在于：所述第一净化组件(1)包括预热罐(11)及脱氧罐(12)，所述预热罐(11)与脱氧罐(12)相连接，通过气体依次经过预热罐(11)及脱氧罐(12)。
3.根据权利要求2所述惰性气体净化设备，其特征在于：所述第一净化组件(1)还包括热交换罐(13)，所述热交换罐(13)用于将进入第一净化组件(1)的气体与离开第一净化组件(1)的气体间进行热交换。
4.根据权利要求3所述惰性气体净化设备，其特征在于：所述第一净化组件(1)及第二净化组件(2)间还设置有气体调整罐(41)，所述气体调整罐(41)用于调整流入第二净化组件的气体温度。
5.根据权利要求1-4任意一项所述惰性气体净化设备，其特征在于：所述第二净化组件(2)包括干燥罐(21)及加热器(22)，所述干燥罐(21)及加热器(22)依次相连通，通过气体依次经过干燥罐(21)及加热器(22)。
6.一种惰性气体回收净化系统，其特征在于：所述惰性气体回收净化系统包括压力调整组件(100)及净化装置(200)，所述压力调整组件(100)及净化装置(200)依次通过管路相连接，所述净化装置(200)采用如权利要求1-5任一种所述的述惰性气体净化设备，所述惰性气体回收净化系统还包括存储缓冲罐(300)，所述存储缓冲罐(300)与压力调整组件(100)及净化装置(200)通过管路相连接，且管路上设置有电磁阀。
7.根据权利要求6所述惰性气体回收净化系统，其特征在于：所述压力调整组件(100)之前的管路上还设置有第一过滤器(401)，所述第一过滤器(401)用于过滤通过气流中所携带的粉尘颗粒。
8.根据权利要求7所述惰性气体回收净化系统，其特征在于：所述存储缓冲罐(300)包括有第一缓冲罐(301)、第二缓冲罐(302)及第三缓冲罐(303)，所述第一缓冲罐(301)设置在第一过滤器(401)之前的管路上，所述第二缓冲罐(302)设置在压力调整组件(100)与净化装置(200)之间的管路上，所述第三缓冲罐(303)设置在净化装置(200)之后的管路上。
9.根据权利要求8所述惰性气体回收净化系统，其特征在于：所述压力调整组件(100)包括气体压缩机。
10.根据权利要求6-9任意一项所述惰性气体回收净化系统，其特征在于：所述惰性气体回收净化系统还包括系统控制器(500)，所述系统控制器(500)与压力调整组件(100)电性相连，所述系统控制器(500)用于控制压力调整组件(100)开启或关闭。
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