CN111863682A - 机械手臂和半导体处理设备 - Google Patents

Abstract

一种机械手臂和半导体处理设备，机械手臂包括第一手臂、第二手臂以及固定块，所述固定块中且贯穿所述固定块的部分所述底部表面的第一凹槽，所述第一凹槽的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔；位于所述固定块中且分别贯穿所述固定块的两相对的侧面的部分表面的第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽的两侧；所述第一手臂的端部和所述第二手臂的端部分别位于第一凹槽两侧的第二凹槽中，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂分别固定。本申请的机械手臂防止了第一手臂和第二手臂在左右方向上和向前的方向上松动，提高被传送晶圆的位置精度。

Description

机械手臂和半导体处理设备

技术领域

本发明涉及半导体制作领域，尤其涉及一种机械手臂和半导体处理设备。

背景技术

在半导体制造工艺中，通常将半导体设备的各个腔室(如预装载腔室、传送腔室、工艺处理腔室)排置为群集式、直列式或群集式/直列式的组合，以处理晶圆。这些系统可以采用单一基板或批式基板的方式来处理晶圆。在处理过程中，晶圆会在腔室之间传送，比如利用机械手臂将晶圆从传送腔室传递到工艺处理腔进行工艺制程。

刻蚀设备是半导体制作过程中的重要设备，常用于对晶圆上形成的材料层进行刻蚀，现有的刻蚀设备中机械手臂通常包括两个相对设置的第一手臂和第二手臂，第二手臂和第二手臂均可以用于传送晶圆。

但是现有的具有双手臂的机械手臂在传送晶圆时容易出现晶圆传送位置的偏差。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是怎样防止具有双手臂的机械手臂在传送晶圆时出现晶圆传送位置的偏差。

本发明提供了一种机械手臂，包括：

第一手臂、第二手臂以及固定块；

其中所述第一手臂、第二手臂均具有端部和与端部连接的支撑部，所述固定块包括底部表面和相对的顶部表面，以及位于所述顶部表面和顶部表面之间至少两相对的侧面；

位于所述固定块中且贯穿所述固定块的部分所述底部表面的第一凹槽，所述第一凹槽的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔；

位于所述固定块中且分别贯穿所述固定块的两相对的侧面的部分表面的第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽的两侧；

所述第一手臂的端部和所述第二手臂的端部分别位于第一凹槽两侧的第二凹槽中，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂分别固定。

可选的，所述第二凹槽与第一凹槽相互贯穿，所述螺丝安装孔位于第一凹槽的侧壁上。

可选的，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有凸起部，所述凸起部凸出于端部的表面，所述第一手臂和第二手臂的凸起部位于第一凹槽中与第一凹槽的侧壁接触，所述若干螺丝从第一凹槽中穿过凸起部和螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂固定。

可选的，所述第一凹槽的数量为两个，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上凸起部的数量为一个，第一手臂和第二手臂的凸起部分别固定于不同的第一凹槽的侧壁。

可选的，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上具有的若干凸起部，所述第一凹槽的数量为若干，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上具有的若干凸起部分别固定于若干第一凹槽的侧壁上。

可选的，所述第二凹槽与第一凹槽未相互贯通，所述螺丝安装孔位于第二凹槽底部和第一凹槽两侧的相交的侧壁上，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂端部分别固定。

可选的，所述第一手臂和第二手臂的端部的侧壁上具有与螺丝对应的螺纹孔。

可选的，所述第一凹槽两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔，所述固定螺丝安装孔贯穿固定块的顶部表面并连通第二凹槽，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有对应的螺纹孔。

可选的，所述第一手臂和第二手臂的端部分别置于对应的第二凹槽中，若干固定螺丝从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔，固定于相应的螺纹孔中，将第一手臂和第二手臂固定。

可选的，所述第一凹槽两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔，所述固定螺丝安装孔贯穿固定块的顶部表面并连通第二凹槽，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有对应的穿孔，所述固定块的底部上具有相应的螺丝孔。

可选的，所述第一手臂和第二手臂的端部分别置于对应的第二凹槽中，若干固定螺丝从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔和穿孔，固定于固定块底部的相应的螺丝孔中，将第一手臂和第二手臂固定。

可选的，所述第二凹槽的宽度大于或等于第一手臂和第二手臂端部的厚度。

本发明还提供了一种半导体处理设备，包括：前述所述的机械手臂。

与现有技术相比，本发明技术方案具有以下优点：

本发明的机械手臂包括第一手臂、第二手臂以及固定块，所述固定块中且贯穿所述固定块的部分所述底部表面的第一凹槽，所述第一凹槽的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔；位于所述固定块中且分别贯穿所述固定块的两相对的侧面的部分表面的第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽的两侧；所述第一手臂的端部和所述第二手臂的端部分别位于第一凹槽两侧的第二凹槽中，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂分别固定。本发明中通过在固定块中设置前述所述的第一凹槽和第二凹槽，使得置于第二凹槽中的第一手臂和第二手臂通过螺丝被固定，同时第一手臂和第二手臂被限制在第二凹槽中，因而防止了第一手臂和第二手臂在左右方向上和向前的方向上松动，提高被传送晶圆的位置精度。

进一步，所述第二凹槽与第一凹槽相互贯穿，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有凸起部，所述凸起部凸出于端部的表面，所述第一手臂和第二手臂的凸起部位于第一凹槽中与第一凹槽的侧壁接触，所述若干螺丝从第一凹槽中穿过凸起部和螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂固定，进一步提高了第一手臂和第二手臂被固定的牢固度，防止了第一手臂和第二手臂在左右方向上和向前的方向上松动，提高被传送晶圆的位置精度。

进一步，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上具有的若干凸起部，所述第一凹槽的数量为若干，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上具有的若干凸起部分别固定于若干第一凹槽的侧壁上，将第一手臂和第二手臂上的多个凸起部固定于若干第一凹槽的侧壁，从而对第一手臂和第二手臂多重固定，进一步防止第一手臂和第二手臂松动(前后、上下、左右移动)。

进一步，所述第一手臂和第二手臂的端部的侧壁上具有与螺丝对应的螺纹孔，第一凹槽的每个侧壁上螺丝安装孔的数量至少为两个，所述第一手臂和第二手臂的端部上的螺纹孔的数量与侧壁上螺丝安装孔的数量相同，且相邻螺纹孔之间的距离与相邻螺丝安装孔之间的距离相等，因而需要通过至少两个螺丝将第一手臂和第二手臂固定，进一步提高第一手臂和第二手臂固定的牢固度，进一步防止第一手臂和第二手臂松动(前后、上下、左右移动)。

进一步，所述第一凹槽两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔，所述固定螺丝安装孔贯穿固定块的顶部表面并连通第二凹槽，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有对应的螺纹孔，第一手臂和第二手臂的端部分别置于对应的第二凹槽中，若干固定螺丝从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔，固定于相应的螺纹孔中，将第一手臂和第二手臂固定。这种固定方式与前述通过螺丝将第一手臂和第二手臂的端部的侧壁进行固定的方式的结合，使得第一手臂和第二手臂从多个方向以及多个位置被固定，更进一步提高第一手臂和第二手臂固定的牢固度，更进一步防止第一手臂和第二手臂松动(前后、上下、左右移动)。

进一步，所述第一凹槽两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔，所述固定螺丝安装孔贯穿固定块的顶部表面并连通第二凹槽，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有对应的穿孔，所述固定块的底部上具有相应的螺丝孔，第一手臂和第二手臂的端部分别置于对应的第二凹槽中，若干固定螺丝从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔和穿孔，固定于固定块顶部的相应的螺纹孔中，将第一手臂和第二手臂固定。这种固定方式使得第一手臂和第二手臂从多个方向以及多个位置被固定，更进一步提高第一手臂和第二手臂固定的牢固度，更进一步防止第一手臂和第二手臂松动(前后、上下、左右移动)。

具有前述所述的机械手臂的半导体处理设备在传送晶圆时，由于机械手臂上的第一手臂和第二手臂相对于固定块不容易产生松动(前后、上下、左右移动)，因而晶圆的位置不会产生偏移，提高了工艺的稳定性。

附图说明

图1-6为本发明一实施例机械手臂的结构示意图；

图7-12为本发明另一实施例机械手臂的结构示意图。

具体实施方式

如背景技术所言，但是现有的具有双手臂的机械手臂在传送晶圆时容易出现晶圆传送位置的偏差。

研究发现，现有的双手臂固定方式为：在手臂上设置若干穿孔；将双手臂分别放置于具有螺丝孔的固定块的两侧表面；通过螺丝将双手臂分别固定在一个固定块两侧表面。现有的双手臂的固定方式，随着手臂的长时间使用，手臂容易产生松动(比如左右方向和前进方向上会松动)，从而使得手臂上传送的晶圆的位置出现了偏差，影响后后续工艺的进行。

为此，本发明提供了一种机械手臂和半导体处理设备，机械手臂包括第一手臂、第二手臂以及固定块，所述固定块中且贯穿所述固定块的部分所述底部表面的第一凹槽，所述第一凹槽的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔；位于所述固定块中且分别贯穿所述固定块的两相对的侧面的部分表面的第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽的两侧；所述第一手臂的端部和所述第二手臂的端部分别位于第一凹槽两侧的第二凹槽中，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂分别固定。本发明中通过在固定块中设置前述所述的第一凹槽和第二凹槽，使得置于第二凹槽中的第一手臂和第二手臂通过螺丝被固定，同时第一手臂和第二手臂被限制在第二凹槽中，因而防止了第一手臂和第二手臂在左右方向上和向前的方向上松动，提高被传送晶圆的位置精度。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在详述本发明实施例时，为便于说明，示意图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明的保护范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

图1-6为本发明一实施例机械手臂的结构示意图。

结合参考图1-图4，图1为固定块的结构示意图，图2为图1沿切割线 AB方向的剖面结构示意图，图3为第一手臂和第二手臂安装在固定块中的结构示意图，图4为第一手臂和第二手臂的结构示意图，所述机械手臂包括：第一手臂201、第二手臂202以及固定块300；

其中所述第一手臂201、第二手臂202均具有端部203和与端部203连接的支撑部204(参考图4)，所述固定块(参考图1-3)包括底部表面301和相对的顶部表面302，以及位于所述顶部表面301和顶部表面302之间至少两相对的侧面303；

位于所述固定块300中且贯穿所述固定块的部分所述底部表面301的第一凹槽304，所述第一凹槽304的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔305；

位于所述固定块300中且分别贯穿所述固定块的两相对的侧面303的部分表面的第二凹槽308，所述第二凹槽308位于第一凹槽304的两侧；

所述第一手臂201的端部和所述第二手臂202的端部分别位于第一凹槽 304两侧的第二凹槽308中，若干螺丝401(参考图3)从第一凹槽304中穿过相应的螺丝安装孔305将第一手臂201和第二手臂202分别固定。

所述第一手臂201、第二手臂202均可以用于传送晶圆。在一实施例中，所述第一手臂201和第二手臂202可以设置用于吸附晶圆的吸盘或吸嘴。

在一实施例中，请参考图4，所述第一手臂201和第二手臂202均具有端部203和与端部203连接的支撑部204，所述端部203用于与固定块300(参考图1)进行固定，所述支撑部204用于放置和/或吸附晶圆。图4中为了方便示意将端部203和支撑部204通过虚线分隔开，在具体的实施例中，所述端部 203和支撑部204为一体的结构。

本实施例中，所述第二凹槽309与第一凹槽304相互贯穿(参考图2或图3)，所述螺丝安装孔305位于第一凹槽204的侧壁上。第二凹槽309与第一凹槽304相互贯穿是指第一凹槽304的底部与第二凹槽309完全相通。

本实施例中，所述第一手臂201和第二手臂202的端部203(参考图4) 上具有凸起部206(参考图3或图4)，所述凸起部206凸出于端部203的表面，将第一手臂201和第二手臂202安装与固定块300中时，所述第一手臂201的端部和所述第二手臂202的端部分别位于第一凹槽304两侧的第二凹槽308中，所述第一手臂201和第二手臂202的凸起部206位于第一凹槽304中与第一凹槽304的侧壁接触，所述若干螺丝401从第一凹槽304中穿过凸起部206和螺丝安装孔305将第一手臂201和第二手臂202固定。本实施例中在固定块300 中设置前述所述的第一凹槽304和第二凹槽308，使得置于第二凹槽中的第一手臂201和第二手臂202凸起部206通过螺丝被固定在第一凹槽304的侧壁上，并且第一手臂201和第二手臂202被限定在第二凹槽308中，进一步提高了第一手臂201和第二手臂202被固定的牢固度，防止了第一手臂201和第二手臂202在左右方向上和向前的方向上松动，提高被传送晶圆的位置精度。

在另一实施例中，请参考图5，所述第一凹槽304的数量为两个，所述第一手臂201的端部上和第二手臂202的端部上凸起部206的数量为一个，第一手臂201和第二手臂202的凸起部206分别固定于不同的第一凹槽304的侧壁。如图5所示，所述第一手臂201的凸起部206固定于左边的一个第一凹槽304 中，所述第二手臂202的凸起部206固定于右边的一个第一凹槽304中。

在又一实施例中，请参考图6，所述第一手臂201的端部上和第二手臂202 的端部上具有的若干凸起部206，所述第一凹槽304的数量为若干，所述第一手臂201的端部上和第二手臂202的端部上具有的若干凸起部206分别固定于若干第一凹槽304的侧壁上，将第一手臂201和第二手臂202上的多个凸起部固定于若干第一凹槽304的侧壁，从而对第一手臂201和第二手臂202多重固定，进一步防止第一手臂201和第二手臂202松动(前后、上下、左右移动)。具体的，所述第一手臂201上的凸起部206为若干(大于等于2个)时，第一手臂201上的每一个凸起部206均固定于一个第一凹槽304的侧壁，或者第一手臂201上的两个相邻的凸起部206可以固定于同一个第一凹槽304的两个相对或相邻侧壁上。所述第二手臂202上的凸起部206为若干(大于等于2个) 时，第二手臂202上的每一个凸起部206均固定于一个第一凹槽304的侧壁，或者第二手臂202上的两个相邻的凸起部206可以固定于同一个第一凹槽304 的两个相对或相邻侧壁上。

在一实施例中，所述第二凹槽308的开口宽度尺寸需大于或等于所述第一手臂201和第二手臂202的端部厚度尺寸以及所述凸起部206的宽度尺寸之和。各所述第一凹槽304的开口宽度尺寸需大于或等于所述若干螺丝401的长度尺寸以及位于各所述第一凹槽304中的各所述凸起部206厚度尺寸之和，以便于所述第一手臂201和第二手臂202的端部在所述固定块300内的安装。

在一实施例中，所述第一凹槽304两侧的固定块300的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔309(参考图1、图3、图5、图6)，所述固定螺丝安装孔309 贯穿固定块300的顶部表面302并连通第二凹槽308，所述第一手臂201和第二手臂202的端部上具有对应的穿孔，所述固定块300的底部还具有若干对应的螺丝孔310，所述第一手臂201和第二手臂202的端部分别置于对应的第二凹槽308中，若干固定螺丝402从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔、第一手臂201和第二手臂202上的穿孔，固定于固定块的底部相应的螺纹孔310 中，将第一手臂201和第二手臂202进一步固定。需要说明的是，所述螺丝孔 310可以位于固定块的底部中或者贯穿固定块的底部。

图7-12为本发明另一实施例机械手臂的结构示意图，图8为固定块的结构示意图，图9为图8沿切割线AC方向的剖面结构示意图。

结合参考图7、图8、图9和图11，所述机械手臂，包括：

第一手臂201、第二手臂202以及固定块300；

其中所述第一手臂201、第二手臂202均具有端部和与端部连接的支撑部，所述固定块300包括底部表面301和相对的顶部表面302，以及位于所述底部表面301和顶部表面302之间至少两相对的侧面303(参考图8)；

位于所述固定块300中且贯穿所述固定块300的部分底部表面的第一凹槽304，所述第一凹槽304的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔305；

位于所述固定块300中且分别所述贯穿固定块300的两相对的侧面303的部分表面的第二凹槽308，两个第二凹槽308对称的位于第一凹槽304的两侧，第二凹槽308底部和第一凹槽304两侧的相应的侧壁通过螺丝安装孔305连通；

所述第一手臂201的端部位于其中一个第二凹槽308中，所述第二手臂202 的端部位于另一个第二凹槽308中，若干螺丝401从第一凹槽304中穿过相应的螺丝安装孔305将第一手臂201和第二手臂202分别固定。

所述第一手臂201和第二手臂202的端部的侧壁上具有与螺丝对应的螺纹孔，所述螺纹孔与对应的螺丝配合，使得第一手臂201和第二手臂202从端部的侧壁被固定。

参考图8和图9，本实施例中，所述固定块300包括底部表面301和相对的顶部表面302，以及位于所述底部表面301和顶部表面302之间至少两相对的侧面303，所述固定块300中具有贯穿固定块300的部分底部表面的第一凹槽304，所述第一凹槽304的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔305；位于固定块 300中且分别贯穿固定块300的两相对的侧面303的部分表面的第二凹槽308，两个第二凹槽308对称的位于第一凹槽304的两侧，所述第二凹槽308与第一凹槽304未相互贯通，第二凹槽308底部和第一凹槽304两侧的相应的侧壁通过螺丝安装孔305连通。

所述第一凹槽304便于螺丝401(参考图12)的安装，所述第二凹槽308 适于限定置于第二凹槽308中的第一手臂201和第二手臂202的位置，通过设置第一凹槽304和第二凹槽308，使得置于第二凹槽308中的第一手臂201和第二手臂202的端部侧壁通过螺丝401被固定，同时第一手臂201和第二手臂 202被限制在第二凹槽308中，因而防止了第一手臂201和第二手臂202在左右方向上和向前的方向上松动，提高被传送晶圆的位置精度。

在一实施例中，第一凹槽304的每个侧壁上螺丝安装孔305的数量至少为两个，对应的，所述第一手臂201和第二手臂202的端部203上的螺纹孔206 的数量与第一凹槽304侧壁上螺丝安装孔305的数量相同，且相邻螺纹孔305 之间的距离与相邻螺丝安装孔305之间的距离相等，因而需要通过至少两个螺丝401将第一手臂201和第二手臂202固定，进一步提高第一手臂201和第二手臂202固定的牢固度，进一步防止第一手臂201和第二手臂202松动(前后、上下、左右移动)。

在一实施例中，所述第二凹槽308的开口宽度尺寸大于或等于第一手臂 201和第二手臂202端部的厚度尺寸。各所述第一凹槽304的开口宽度尺寸需大于或等于所述若干螺丝401的长度尺寸，以便于所述第一手臂201和第二手臂202的端部在所述固定块300内的安装。请参考图9和图11，所述第一凹槽 304两侧的固定块301的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔209，所述固定螺丝安装孔209贯穿固定块的顶部表面302并连通第二凹槽208，所述第一手臂 201和第二手臂202的端部上具有对应的穿孔207，所述固定块的顶部303上具有相应的螺丝孔310。

因而将第一手臂201和第二手臂202的端部分别置于对应的第二凹槽308 中，若干固定螺丝402从固定块的顶部表面302穿过固定螺丝安装孔309和穿孔207，固定于固定块底部的相应的螺丝孔310中，将第一手臂201和第二手臂202固定。这种固定方式与前述通过螺丝401将第一手臂201和第二手臂202 的端部的侧壁进行固定的方式的结合，使得第一手臂201和第二手臂202从多个方向以及多个位置被固定，更进一步提高第一手臂201和第二手臂202固定的牢固度，更进一步防止第一手臂201和第二手臂202松动(前后、上下、左右移动)。

在另一实施例中，参考图10和12，所述第一凹槽304两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔309，所述固定螺丝安装孔309贯穿固定块的顶部表面302并连通第二凹槽308，所述第一手臂201和第二手臂202的端部 203上具有对应的螺丝孔205(参考图12)。固定螺丝安装孔309和螺纹孔205 根据实际需要进行设定，本实施例中，固定螺丝安装孔309和螺纹孔205的数量均为3个。

因而，将第一手臂201和第二手臂202的端部分别置于对应的第二凹槽308 中，若干固定螺丝402从固定块的顶部表面302穿过固定螺丝安装孔309，固定于相应的螺丝孔205中，将第一手臂201和第二手臂202固定。这种固定方式与前述通过螺丝401将第一手臂201和第二手臂202的端部的侧壁进行固定的方式的结合，使得第一手臂201和第二手臂202从多个方向以及多个位置被固定，更进一步提高第一手臂201和第二手臂202固定的牢固度，更进一步防止第一手臂201和第二手臂202松动(前后、上下、左右移动)。

需要说明的是，前述机械手臂均安装在驱动装置上进行使用，所述驱动装置能驱动所述机械手臂多自由度移动，进行晶圆的传递。

本发明实施例中还提供了一种半导体处理设备，包括：前述所述的机械手臂。具有前述所述的机械手臂的半导体处理设备在传送晶圆时，由于机械手臂上的第一手臂和第二手臂相对于固定块不容易产生松动(前后、上下、左右移动)，因而晶圆的位置不会产生偏移，提高了工艺的稳定性。

本实施例与前述实施例中相同或相似结构的限定或描述，在本实施例中不再赘述，具体请参考前述实施例中相应部分的限定或描述。

本发明虽然已以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出可能的变动和修改，因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化及修饰，均属于本发明技术方案的保护范围。

Claims (13)

1.一种机械手臂，其特征在于，包括：

第一手臂、第二手臂以及固定块；

其中所述第一手臂、第二手臂均具有端部和与端部连接的支撑部，所述固定块包括底部表面和相对的顶部表面，以及位于所述顶部表面和顶部表面之间至少两相对的侧面；

位于所述固定块中且贯穿所述固定块的部分所述底部表面的第一凹槽，所述第一凹槽的两侧侧壁具有若干螺丝安装孔；

位于所述固定块中且分别贯穿所述固定块的两相对的侧面的部分表面的第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽的两侧；

所述第一手臂的端部和所述第二手臂的端部分别位于第一凹槽两侧的第二凹槽中，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂分别固定。

2.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第二凹槽与第一凹槽相互贯穿，所述螺丝安装孔位于第一凹槽的侧壁上。

3.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有凸起部，所述凸起部凸出于端部的表面，所述第一手臂和第二手臂的凸起部位于第一凹槽中与第一凹槽的侧壁接触，所述若干螺丝从第一凹槽中穿过凸起部和螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂固定。

4.如权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述第一凹槽的数量为两个，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上凸起部的数量为一个，第一手臂和第二手臂的凸起部分别固定于不同的第一凹槽的侧壁。

5.如权利要求3所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上具有的若干凸起部，所述第一凹槽的数量为若干，所述第一手臂的端部上和第二手臂的端部上具有的若干凸起部分别固定于若干第一凹槽的侧壁上。

6.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第二凹槽与第一凹槽未相互贯通，所述螺丝安装孔位于第二凹槽底部和第一凹槽两侧的相交的侧壁上，若干螺丝从第一凹槽中穿过相应的螺丝安装孔将第一手臂和第二手臂端部分别固定。

7.如权利要求6所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂的端部的侧壁上具有与螺丝对应的螺纹孔。

8.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第一凹槽两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔，所述固定螺丝安装孔贯穿固定块的顶部表面并连通第二凹槽，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有对应的螺纹孔。

9.如权利要求8所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂的端部分别置于对应的第二凹槽中，若干固定螺丝从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔，固定于相应的螺纹孔中，将第一手臂和第二手臂固定。

10.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第一凹槽两侧的固定块的顶部上还具有若干固定螺丝安装孔，所述固定螺丝安装孔贯穿固定块的顶部表面并连通第二凹槽，所述第一手臂和第二手臂的端部上具有对应的穿孔，所述固定块的底部上具有相应的螺丝孔。

11.如权利要求10所述的机械手臂，其特征在于，所述第一手臂和第二手臂的端部分别置于对应的第二凹槽中，若干固定螺丝从固定块的顶部表面穿过固定螺丝安装孔和穿孔，固定于固定块底部的相应的螺丝孔中，将第一手臂和第二手臂固定。

12.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述第二凹槽的宽度大于或等于第一手臂和第二手臂端部的厚度。

13.一种半导体处理设备，其特征在于，包括：如权利要求1-12任一项所述的机械手臂。

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