CN111855179A - 流体质量流量控制器的标定方法及标定装置 - Google Patents

流体质量流量控制器的标定方法及标定装置 Download PDF

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CN111855179A CN202010730611.7A CN202010730611A CN111855179A CN 111855179 A CN111855179 A CN 111855179A CN 202010730611 A CN202010730611 A CN 202010730611A CN 111855179 A CN111855179 A CN 111855179A
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Abstract

本发明提供一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其中，流体质量流量控制器的标定方法包括：向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。本发明提供的流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。

Description

流体质量流量控制器的标定方法及标定装置
技术领域
本发明涉及流体控制装置技术领域，具体地，涉及一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置。
背景技术
数字式气体质量流量控制器(Digital Mass Flow Controller，简称DMFC)，广泛应用于光伏、燃料电池及半导体等领域，其能够通过数字信号实时监控流体流量，并对流体流量进行实时调节。而数字式气体质量流量控制器的精度以及精度的可靠性，又是影响其所应用的领域中的工艺的准确性及稳定性的关键因素。因此，决定数字式气体质量流量控制器的精度及精度的可靠性的标定方法就变得尤为重要。
现有的标定方法，主要是依靠人为控制相关设备来完成数字式质量流量控制器的标定和检验，其耗时相对较长，且标定过程过多地依靠人工采集瞬时数据，而受到人工的主观因素影响，人工采集的瞬时数据参差不齐，导致标定出的产品质量参差不齐，一致性和可靠性相对较差，使得在客户端应用具有很高的质量风险。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，其能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。
为实现本发明的目的而提供一种流体质量流量控制器的标定方法，包括：
向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，其中，所述第二参数与所述第一参数相关联；
根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系；
根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定。
优选的，所述功能单元包括模数转换单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述模数转换单元发送模拟电压值，并获取所述模数转换单元转换反馈的与所述模拟电压值对应的数字量；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述模拟电压值、所述数字量和关于二者的第一预设关系式进行拟合运算，获得第一拟合函数，所述第一拟合函数表示所述模拟电压值和所述数字量的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第一拟合函数写入所述模数转换单元，以实现通过输入所述模拟电压值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
优选的，所述功能单元包括数模转换单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述数模转换单元发送数字量，并获取所述数模转换单元反馈的与所述数字量对应的模拟电压值；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述数字量、所述模拟电压值和关于二者的第二预设关系式进行拟合运算，获得第二拟合函数，所述第二拟合函数表示所述数字量和所述模拟电压值的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第二拟合函数写入所述数模转换单元，以实现通过输入所述数字量来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
优选的，所述功能单元包括流量控制单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述流量控制单元发送开度值，并获取所述流量控制单元反馈的与所述开度值对应的流量输出值；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述开度值、所述流量输出值和关于二者的第三预设关系式进行拟合运算，获得第三拟合函数，所述第三拟合函数表示所述流量输出值和所述开度值的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第三拟合函数写入所述流量控制单元，以实现通过输入所述开度值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
优选的，所述功能单元包括流量控制单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述流量控制单元发送开度值，并获取所述开度值对应的流量输出值与所述流量控制单元的满量程流量值的比值以及实际响应时长；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
计算所述开度值和所述比值的差值的绝对值，获得实际过冲值，并确定所述实际过冲值和预设的与所述开度值对应的标准过冲值的大小关系，以及所述实际响应时长和预设的与所述开度值对应的标准响应时长的大小关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
若所述实际过冲值小于或等于所述标准过冲值，且所述实际响应时长小于或等于所述标准响应时长，则标定所述流量控制单元的响应时长合格，若所述实际过冲值大于所述标准过冲值，或所述实际响应时长大于所述标准响应时长，则对所述流量控制单元进行调节，直至所述实际过冲值小于或等于所述标准过冲值，且所述实际响应时长小于或等于所述标准响应时长。
优选的，在所述将所述第三拟合函数写入所述流量控制单元，以实现通过输入所述开度值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，还包括：
向所述流量控制单元发送至少一个校验开度值，并获取与所述校验开度值对应的校验流量输出值；
若任意一个所述校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对所述流量控制单元进行标定，直至每个所述校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
优选的，在所述将所述第一拟合函数写入所述模数转换单元，以实现通过输入所述模拟电压值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，还包括：
向所述模数转换单元发送至少一个校验模拟电压值，并获取与所述校验模拟电压值对应的所述流体质量流量控制器的校验流量输出值；
若任意一个所述校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对所述模数转换单元进行标定，直至每个所述校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
优选的，在所述将所述第二拟合函数写入所述数模转换单元，以实现通过输入所述数字量来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，还包括：
向所述数模转换单元发送至少一个校验数字量，并获取与所述校验数字量对应的所述流体质量流量控制器的校验流量输出值；
若任意一个所述校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对所述数模转换单元进行标定，直至每个所述校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
本发明还提供一种流体质量流量控制器的标定装置，包括控制组件，所述控制组件用于向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，其中，所述第二参数与所述第一参数相关联；根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系；根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定。
优选的，所述功能单元包括模数转换单元，所述控制组件包括控制单元和供电单元，其中，
所述模数转换单元用于将模拟电压值转换生成与所述模拟电压值对应的数字量；
所述控制单元用于控制所述供电单元向所述模数转换单元发送所述模拟电压值，并获取所述模数转换单元转换反馈的与所述模拟电压值对应的所述数字量；根据所述模拟电压值、所述数字量和关于二者的第一预设关系式进行拟合运算，以获得第一拟合函数，所述第一拟合函数表示所述模拟电压值和所述数字量的对应关系；且将所述第一拟合函数写入所述模数转换单元，以实现通过输入所述模拟电压值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
优选的，所述功能单元包括数模转换单元，所述控制组件包括控制单元以及与所述数模转换单元相连的电压检测单元，其中，
所述数模转换单元用于将数字量转换生成与所述数字量对应的模拟电压值；
所述电压检测单元用于检测所述数模转换生成的与所述数字量对应的所述模拟电压值；
所述控制单元用于向所述数模转换单元发送所述数字量，并获取所述电压检测单元检测到的与所述数字量对应的所述模拟电压值；根据所述数字量、所述模拟电压值和关于二者的第二预设关系式进行拟合运算，以获得第二拟合函数，所述第二拟合函数表示所述数字量和所述模拟电压值的对应关系；且将所述第二拟合函数写入所述数模转换单元，以实现通过输入所述数字量来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
优选的，所述功能单元包括流量控制单元，所述控制组件包括控制单元和流量检测单元，其中，
所述流量控制单元用于根据开度值调整其流量输出值；
所述流量检测单元用于检测与所述开度值对应的所述流量控制单元的所述流量输出值；
所述控制单元用于向所述流量控制单元发送所述开度值，并获取由所述流量检测单元检测到的与所述开度值对应的所述流量控制单元的所述流量输出值；根据所述开度值、所述流量输出值和关于二者的第三预设关系式进行拟合运算，获得第三拟合函数，所述第三拟合函数表示所述流量输出值和所述开度值的对应关系；且将所述第三拟合函数写入所述流量控制单元，以实现通过输入所述开度值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
优选的，所述功能单元包括流量控制单元，所述控制组件包括控制单元，其中，
所述流量控制单元用于根据开度值调整其流量输出值；
所述控制单元用于向所述流量控制单元发送开度值，并获取所述开度值对应的流量输出值与所述流量控制单元的满量程流量值的比值以及实际响应时长；计算所述开度值和所述比值的差值的绝对值，获得实际过冲值，并确定所述实际过冲值和预设的与所述开度值对应的标准过冲值的大小关系，以及所述实际响应时长和预设的与所述开度值对应的标准响应时长的大小关系；且根据比较结果对所述流量控制单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的响应时长的标定。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的流体质量流量控制器的标定方法，通过向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；并根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；且根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。在本发明提供的流体质量流量控制器的标定方法中，由于第一参数的参数值是预先设置的，与各第一参数的参数值对应的第二参数的参数值是自动获取的，并根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系，且根据对应关系对相应的功能单元进行标定，即整个标定过程自动实现，因此能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。
本发明提供的流体质量流量控制器的标定装置，借助控制组件向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；并借助控制组件根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；且借助控制组件根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。由于第一参数的参数值是预先设置的，与各第一参数的参数值对应的第二参数的参数值是自动获取的，并根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系，且根据对应关系对相应的功能单元进行标定，即整个标定过程自动实现，因此能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。
附图说明
图1为本发明实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法的一种流程框图；
图2为本发明实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法的另一种流程框图；
图3为本发明实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法的又一种流程框图；
图4为本发明实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法的再一种流程框图；
图5为本发明实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法的还一种流程框图；
图6为本发明实施例提供的流体质量流量控制器的标定装置的结构示意图；
附图标记说明：
1-流体质量流量控制器；2-控制单元；3-供电单元；4-电压检测单元；5-流量检测单元；6-压力控制单元；7-流体源。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的流体质量流量控制器的标定方法及标定装置进行详细描述。
如图1所示，本实施例提供一种流体质量流量控制器的标定方法，包括：
S1，向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联。
S2，根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系。
S3，根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。
本实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法，通过向流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；并根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；且根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。在本实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法中，由于第一参数的参数值是预先设置的，与各第一参数的参数值对应的第二参数的参数值是自动获取的，并根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系，且根据对应关系对相应的功能单元进行标定，即整个标定过程自动实现，因此能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器的质量。
下面以本实施例提供的流体质量流量控制器可以采用的四种不同的功能单元，分别对本实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法进行说明。但是，在实际应用中，由于流体质量流量控制器的类型不同，流体质量流量控制器所采用的功能单元也不同，对流体质量流量控制器的标定形式也不同，因此，本实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法，并不限于对采用下述四种不同功能单元的流体质量流量控制器的标定。
在本发明一优选实施例中，功能单元可以包括模数转换单元(Analog to DigitalConverter，简称ADC或A/D转换单元)，如图2所示，对流体质量流量控制器的标定方法包括：
S1101，向模数转换单元发送模拟电压值，并获取模数转换单元转换反馈的与模拟电压值对应的数字量。
S2101，根据模拟电压值、数字量和关于二者的第一预设关系式进行拟合运算，获得第一拟合函数，第一拟合函数表示模拟电压值和数字量的对应关系。
S3101，将第一拟合函数写入模数转换单元，以实现通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。
通过将表示模拟电压值和数字量的对应关系的第一拟合函数写入模数转换单元，以实现通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定，从而可以在流体质量流量控制器的使用过程中，通过向流体质量流量控制器输入模拟电压值，使模数转换单元能够根据第一拟合函数转换生成与输入的模拟电压值对应的数字量，进而使流体质量流量控制器，可以根据预设在其中的数字量与流量的对应关系，产生与输入的模拟电压值对应的流量，以能够通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量进行准确的控制。
可选的，第一预设关系式包括：
V＝aY+b
其中，Y为数字量；V为模拟电压值；a和b均为拟合常数。但是，在实际应用中，第一预设关系式并不以此为限。
下面举例来说明，如何采用第一预设关系式，实现通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。在进行标定时，可以通过供电单元向模数转换单元提供供电电压值，并且可以向模数转换单元发送两个模拟电压值，分别是第一模拟电压值和第二模拟电压值，其中，供电电压值可以是24V，以使模数转换单元可以工作，第一模拟电压值和第二模拟电压值可以分别是1.002V和3.998V。模数转换单元在接收到第一模拟电压值和第二模拟电压值之后，就会自动转换反馈分别与第一模拟电压值和第二模拟电压值对应的第一数字量和第二数字量，在本实施例中，假设模数转换单元转换反馈的第一数字量为1267031，第二数字量为5062188。
在获取模数转换单元转换反馈的分别与第一模拟电压值和第二模拟电压值对应的第一数字量和第二数字量之后，可以根据第一模拟电压值与对应的第一数字量、第二模拟电压值与对应的第二数字量和第一预设关系式Y＝aV+b，采用最小二乘法进行直线拟合运算，以获得模拟电压值和数字量的拟合直线，从而获得第一预设关系式V＝aY+b中拟合常数a和b的具体值，这样就可以得到V与Y的对应关系，即，表示模拟电压值与数字量的对应关系的第一拟合函数。本实施例采用最小二乘法进行直线拟合后，得到拟合常数a和b的具体值分别是4639280和3381528，因此，第一拟合函数即为Y＝4639280V-3381528，最后将Y＝4639280V-3381528写入至模数转换单元，就实现了通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。
在本实施例中，由于第一预设关系式为一次函数关系式V＝aY+b，因此，在采用最小二乘法进行拟合运算时，是进行直线拟合，但是，在实际应用中，第一预设关系式也可以是多次函数关系式，这样在采用最小二乘法进行拟合运算时，就需要进行曲线拟合。另外，在获取模数转换单元转换反馈的第一数字量和第二数字量之后，还可以通过将第一模拟电压值和第一数字量，以及第二模拟电压值和第二数字量分别直接代入预设函数关系式V＝aY+b中联立方程组，以获得拟合常数a和b的具体值，这样也可以得到V与Y的对应关系，即，表示模拟电压值与数字量的对应关系的第一拟合函数。
采用最小二乘法进行直线或曲线拟合，可以提高第一预设关系式V＝aY+b中拟合常数a和b的准确性，从而提高表示模拟电压值与数字量的对应关系的第一拟合函数的准确性，进而提高流体质量流量控制器在通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量进行控制时的准确度。
在本发明一优选实施例中，功能单元可以包括数模转换单元(Digital to AnalogConverter，简称DAC或D/A转换单元)；如图3所示，对流体质量流量控制器的标定方法包括：
S1201，向数模转换单元发送数字量，并获取数模转换单元转换反馈的与数字量对应的模拟电压值。
S2201，根据数字量、模拟电压值和关于二者的第二预设关系式进行拟合运算，获得第二拟合函数，第二拟合函数表示数字量和模拟电压值的对应关系。
S3201，将第二拟合函数写入数模转换单元，以实现通过输入数字量来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。
通过将表示数字量和模拟电压值的对应关系的第二拟合函数写入数模转换单元，以实现通过输入数字量来对流体质量流量控制器的流量值进行标定，从而可以在流体质量流量控制器的使用过程中，通过向流体质量流量控制器输入数字量，使模数转换单元能够根据第二拟合函数转换生成与输入的数字量对应的模拟电压值，进而使流体质量流量控制器，可以根据预设在其中的模拟电压值与流量的对应关系，产生与输入的数字量对应的流量，以能够通过输入数字量来对流体质量流量控制器的流量进行准确的控制。
可选的，第二预设关系式包括：
V＝cY+d
其中，V为模拟电压值；Y为数字量；c和d均为拟合常数。但是，在实际应用中，第二预设关系式并不以此为限。
下面举例来说明，如何采用第二预设关系式，实现通过输入数字量来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。在进行标定时，可以通过供电单元向数模转换单元提供供电电压值，并可以同时向数模转换单元发送两个数字量，分别是第一数字量和第二数字量，其中，供电电压值可以是24V，以使数模转换单元可以工作，第一数字量和第二数字量可以分别是15000和40960。数模转换单元在接收到第一数字量和第二数字量之后，就会自动转换反馈分别与第一数字量和第二数字量对应的第一模拟电压值和第二模拟电压值，在本实施例中，假设数模转换单元转换反馈的第一模拟电压值为1V，第二模拟电压值为3.868V。
在获取数模转换单元转换反馈的分别与第一数字量和第二数字量对应第一模拟电压值和第二模拟电压值之后，可以根据第一数字量与对应的第一模拟电压值、第二数字量与对应的第二模拟电压值和第二预设关系式V＝cY+d，采用最小二乘法进行直线拟合运算，以获得数字量和模拟电压值的拟合直线，从而获得第二预设关系式V＝cY+d中，拟合常数c和d的具体值，这样就可以得到Y与V的对应关系，即，表示数字量与模拟电压值的对应关系的第二拟合函数。本实施例采用最小二乘法进行直线拟合后，得到拟合常数c和d的具体值分别是0.00011和0.65，因此，第一拟合函数即为V＝4639280Y-3381528，最后将V＝4639280Y-3381528写入至数模转换单元，就实现了通过输入数字量来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。
在本实施例中，由于第二预设关系式为一次函数关系式V＝cY+d，因此，在采用最小二乘法进行拟合运算时，是进行直线拟合，但是，在实际应用中，第一预设关系式也可以是多次函数关系式，这样在采用最小二乘法进行拟合运算时，就需要进行曲线拟合。另外，在获取数模转换单元转换反馈的第一模拟电压值和第二模拟电压值之后，还可以通过将第一数字量和第一模拟电压值，以及第二数字量和第二模拟电压值分别直接代入预设函数关系式V＝cY+d中联立方程组，以获得拟合常数c和d的具体值，这样也可以得到Y与V的对应关系，即，表示数字量与模拟电压值的对应关系的第二拟合函数。
采用最小二乘法进行直线或曲线拟合，可以提高第二预设关系式V＝cY+d中拟合常数c和d的准确性，从而提高表示数字量与模拟电压值的对应关系的第二拟合函数的准确性，进而提高流体质量流量控制器在通过输入数字量来对流体质量流量控制器的流量进行控制时的准确度。
当流体质量流量控制器既采用模数转换单元又采用数模转换单元，且既对模数转换单元进行标定，又对数模转换单元进行标定后，则能够实现既可以通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量进行准确的控制，又可以通过输入数字量来对流体质量流量控制器的流量进行准确的控制。
在本发明一优选实施例中，功能单元可以包括流量控制单元，如图4所示，对流体质量流量控制器的标定方法包括；
S1301，向流量控制单元发送开度值，并获取流量控制单元反馈的与开度值对应的流量输出值。
S2301，根据开度值、流量输出值和关于二者的第三预设关系式进行拟合运算，获得第三拟合函数，第三拟合函数表示流量输出值和开度值的对应关系。
S3301，将第三拟合函数写入流量控制单元，以实现通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。
通过将表示流量输出值和开度值的对应关系的第三拟合函数写入至流量控制单元，以实现通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定，从而可以在流体质量流量控制器的使用过程中，通过向流体质量流量控制器输入开度值，使流量控制单元能够根据第三拟合函数转换生成与开度值对应的流量输出值，进而使流体质量流量控制器，可以产生与输入的开度值对应的流量，以能够通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量进行准确的控制。
可选的，第一预设关系式包括：
M＝eN3+fN2+gN+h
其中，M为开度值；N为与开度值对应的流量输出值与流量控制单元的满量程流量值的比值；e、f、g和h均为拟合常数。
下面举例来说明，如何采用第三预设关系式，实现通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。在进行标定时，可以向流量控制单元依次发送五个开度值，分别是第一开度值、第二开度值、第三开度值、第四开度值和第五开度值，其中，第一开度值可以是5％。第二开度值可以是25％、第三开度值可以是50％、第四开度值可以是75％，第五开度值可以是100％。流量控制单元在接收到第一开度值、第二开度值、第三开度值、第四开度值和第五开度值之后，就会自动转换反馈分别与第一开度值、第二开度值、第三开度值、第四开度值和第五开度值对应的第一流量输出值、第二流量输出值、第三流量输出值、第四流量输出值和第五流量输出值，在本实施例中，假设流量控制单元转换反馈的第一流量输出值为121，第二模拟电压值为1138，第三流量输出值为1902，第四流量输出值为2422，第五流量输出值为3033。
在获取流量控制单元转换反馈的分别与第一开度值、第二开度值、第三开度值、第四开度值和第五开度值对应的第一流量输出值、第二流量输出值、第三流量输出值、第四流量输出值和第五流量输出值之后，可以分别计算第一流量输出值、第二流量输出值、第三流量输出值、第四流量输出值和第五流量输出值与流量控制单元的满量程流量值的比值，以获得第一比值、第二比值、第三比值、第四比值和第五比值，在本实施例中，假设流量控制单元的满量程流量值为3000，从而得到第一比值为121/3000，第二比值为1138/3000，第三比值为1902/3000，第四比值为2422/3000，第五比值为3033/3000，之后，可以根据第一开度值与对应的第一比值、第二开度值与对应的第二比值、第三开度值与对应的第三比值、第四开度值与对应的第四比值、第五开度值与对应的第五比值和第三预设关系式M＝eN3+fN2+gN+h，采用最小二乘法进行曲线拟合运算，以获得比值和开度值的拟合曲线，从而获得了流量输出值和开度值的对应关系第三预设关系式M＝eN3+fN2+gN+h中，拟合常数e、f、g和h的具体值，这样就可以得到N与M的对应关系，即，比值和开度值的对应关系，由于比值为流量输出值与流量控制单元的满量程流量值的比值，因此，就获得了表示流量输出值和开度值的对应关系的第三拟合函数。本实施例采用最小二乘法进行曲线拟合后，得到拟合常数e、f、g和h的具体值分别是-0.597003、0.643811、0.930325和0.007036，因此，比值和开度值的对应关系即为M＝-0.597003N3+0.643811N2+0.930325N+0.007036，即，表示流量输出值和开度值的对应关系的第三拟合函数，最后将M＝-0.597003N3+0.643811N2+0.930325N+0.007036写入至流量控制单元，就实现了通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定。
但是，在实际应用中，在获取流量控制单元转换反馈的与开度值对应的流量输出值之后，也可以不计算流量输出值与流量控制单元的满量程流量值的比值，而是直接根据开度值、流量输出值和关于二者的第三预设关系式进行拟合运算，从而获得直接表示流量输出值和开度值的对应关系的第三拟合函数。
在本实施例中，由于第三预设关系式为三次函数关系式M＝eN3+fN2+gN+h，因此，在采用最小二乘法进行拟合运算时，是进行曲线拟合，但是，在实际应用中，第三预设关系式也可以是一次函数关系式、二次函数关系式或多次函数关系式，当第三预设关系式为一次函数关系式时，采用最小二乘法是进行拟合运算时，是进行直线拟合，其余的均是进行曲线拟合。另外，在获取第一流量输出值、第二流量输出值、第三流量输出值、第四流量输出值和第五流量输出值之后，还可以通过将第一开度值与对应的第一比值、第二开度值与对应的第二比值、第三开度值与对应的第三比值、第四开度值与对应的第四比值和第五开度值与对应的第五比值分别直接代入第三预设关系式M＝eN3+fN2+gN+h中联立方程组，以获得拟合常数e、f、g和h的具体值，这样也可以得到N与M的对应关系，即，表示流量输出值和开度值的对应关系的第三拟合函数。
采用最小二乘法进行直线或曲线拟合，可以降低第三预设关系式M＝eN3+fN2+gN+h中，拟合常数e、f、g和h与流量控制单元实际情况的误差，从而提高表示流量输出值和开度值的对应关系的第三拟合函数的准确性，进而提高流体质量流量控制器在通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量值进行控制时的准确度。
在本发明一优选实施例中，功能单元可以包括流量控制单元，如图5所示，对流体质量流量控制器的标定方法包括；
S1401，向流量控制单元发送开度值，并获取开度值对应的流量输出值与流量控制单元的满量程流量值的比值以及实际响应时长。
S2401，计算开度值和比值的差值的绝对值，获得实际过冲值，并确定实际过冲值和预设的与开度值对应的标准过冲值的大小关系，以及实际响应时长和预设的与开度值对应的标准响应时长的大小关系。
S3401，若实际过冲值小于或等于标准过冲值，且实际响应时长小于或等于标准响应时长，则标定流量控制单元的响应时长合格，若实际过冲值大于标准过冲值，或实际响应时长大于标准响应时长，则对流量控制单元进行调节，直至实际过冲值小于或等于标准过冲值，且实际响应时长小于或等于标准响应时长。
这样可以确定流量控制单元在流量输出值满足要求的前提下，在响应时长方面，对于流量的控制是否满足工艺的要求，以保证流体质量流量控制器在流量输出值满足要求的前提下，在响应时长方面能够满足工艺的要求。
具体的，在确定实际过冲值和预设的与开度值对应的标准过冲值的大小关系，以及实际响应时长和预设的与开度值对应的标准响应时长的大小关系时，可以向流量控制单元发送开度值，这里开度值以10％为例进行说明，流量控制单元在接收到10％开度值之后，就会在一段时间内产生与10％开度值对应的流量输出值，从而可以获得开度值对应的流量输出值与流量控制单元的满量程流量值的比值，这段时长被称为与10％开度值对应的实际响应时长，在本实施例中，假设流量控制单元产生的比值为11％，实际响应时长为0.7s。
在获取比值和实际响应时长之后，计算开度值和比值的差值的绝对值，获得实际过冲值，即，实际过冲值＝|10％-11％|＝1％，并对实际过冲值和预设的与开度值对应的标准过冲值的大小关系，本实施例中的流量控制单元的预设的与10％开度值对应的标准过冲值为2％，由于，实际过冲值为1％，而标准过冲值为2％，因此，实际过冲值小于标准过冲值，本实施例中的流量控制单元的预设的与10％开度值对应的标准响应时长为1s，而与10％开度值对应的实际响应时长为0.7s，因此，实际响应时长小于标准响应时长。由于，实际过冲值小于标准过冲值，并且，实际响应时长小于标准响应时长，因此，标定流量控制单元的响应时长合格。
在本实施例中，若实际过冲值大于差标准过冲值，或实际响应时长大于标准响应时长，则对流量控制单元进行调节，并在调节之后重新进行上述步骤，直至实际过冲值小于或等于标准过冲值，且实际响应时长小于或等于标准响应时长。
在本实施例中，可以通过向流量控制单元发送多个大小不同的开度值，并对各开度值均进行上述步骤，若流量控制单元在各开度值下均满足实际过冲值小于标准过冲值，并且，实际响应时长小于标准响应时长，则标定流量控制单元的响应时长合格，这样可以提高标定的准确度。
在本发明一优选实施例中，在将第三拟合函数写入流量控制单元，以实现通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，可以还包括：
向流量控制单元发送至少一个校验开度值，并获取与校验开度值对应的校验流量输出值；
若任意一个校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对流量控制单元进行标定，直至每个校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
这样可以确定流量控制单元在流量输出值方面，对于流量的控制是否满足工艺的要求，以保证流体质量流量控制器，在流量输出值方面能够满足工艺的要求。并且，基于流量控制单元的工作稳定性的考虑，流量控制单元在一段时间之后，其工作效果可能会与之前的工作效果出现偏差，因此，在将第三拟合函数写入流量控制单元，以实现通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，再对流量控制单元进行校验，以能够及时的选出出现偏差的流量控制单元，从而能够及时地对出现偏差的流量控制单元进行重新标定，以降低流体质量流量控制器出现问题的概率。
具体的，在对流量控制单元进行校验时，可以向流量控制单元发送一个校验开度值，这里校验开度值以20％为例，第三拟合函数以M＝-0.597003N3+0.643811N2+0.930325N+0.007036为例进行说明，根据第三拟合函数，可以获取与20％校验开度值对应的校验流量输出值为600，这里以与20％校验开度值对应的标准流量输出范围为600±10为例，由于，校验流量输出值600属于标准流量输出范围600±10之内，则对流量控制单元的校验结束。
在实际应用中，可以只向流量控制单元发送一个校验开度值，也可以向流量控制单元发送多个校验开度值，以提高检测的准确度。在向流量控制单元发送多个校验开度值时，可以是先向流量控制单元发送第一个校验开度值，并对第一个校验开度值校验之后，再发送第二个校验开度值，并对第二校验开度值进行校验，这样依次进行校验，在这个过程中，若某个校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对流量控制单元进行标定，待标定之后，再从第一校验开度值开始重新进行校验，直至每个校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
在本发明一优选实施例中，在实现通过输入开度值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定时，在向流量控制单元发送开度值，并获取流量控制单元反馈的与开度值对应的流量输出值之前，还可以对流向流体质量流量控制器的流量控制单元的流体的压力进行调节，以能够使流体质量流量控制器的流量控制单元在满足工艺要求的压力下进行标定，从而能够提高流体质量流量控制器标定的准确度。
具体的，在进行压力调节时，可以向压力控制单元发送压力值，压力控制单元分别与流体质量流量控制器的流量控制单元和用于提供流体的流体源连接，压力控制单元在接收到压力值后，就会根据该压力值对自流体源流向流体质量流量控制器的流体的压力进行调节，此时，可以获取与压力值对应的压力控制单元的压力输出值，在获取压力输出值之后，判断压力输出值是否处于满足工艺要求的标准压力值范围内，若压力输出值处于标准压力值范围内，或与标准压力值范围的端值相等，则结束压力调节；若压力输出值低于标准压力值范围，可以向压力控制单元发送大于之前压力值的压力值，并再次判断压力输出值是否处于标准压力值范围内，或与标准压力值范围的端值相等，直至压力输出值处于标准压力值范围内，或与标准压力值范围的端值相等，则结束压力调节；若压力输出值超出标准压力值范围，可以向压力控制单元发送小于之前压力值的压力值，并再次判断压力输出值是否处于标准压力值范围内，或与标准压力值范围的端值相等，直至压力输出值处于标准压力值范围内，或与标准压力值范围的端值相等，则结束压力调节。
下面举例来说明，如何对流向流体质量流量控制器的流体的压力进行调节。例如可以向压力控制单元发送0.2Mpa的压力值，并获取与0.2Mpa的压力值对应的压力输出值，之后判断压力输出值是否处于标准压力范围(例如，标准压力范围为0.18Mpa-0.22Mpa)内，若压力输出值处于0.18Mpa-0.22Mpa内，或者等于0.18Mpa或0.22Mpa，则结束压力调节；若压力输出值低于0.18Mpa，则可以向压力控制单元发送0.3Mpa的压力值，并再次判断压力输出值是否处于0.18Mpa-0.22Mpa内，或者等于0.18Mpa或0.22Mpa，直至压力输出值处于0.18Mpa-0.22Mpa内，或者等于0.18Mpa或0.22Mpa，则结束压力调节；若压力输出值高于0.22Mpa，则可以向压力控制单元发送0.1Mpa的压力值，并再次判断压力输出值是否处于0.18Mpa-0.22Mpa内，或者等于0.18Mpa或0.22Mpa，直至压力输出值处于0.18Mpa-0.22Mpa内，或者等于0.18Mpa或0.22Mpa，则结束压力调节。
在本发明一优选实施例中，在将第一拟合函数写入模数转换单元，以实现通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，可以还包括：
向模数转换单元发送至少一个校验模拟电压值，并获取与校验模拟电压值对应的流体质量流量控制器的校验流量输出值；
若任意一个校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对模数转换单元进行标定，直至每个校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
在该实施例中，在通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，再对模数转换单元进行校验，以能够及时的选出出现偏差的模数转换单元，从而能够及时的对出现偏差的模数转换单元进行重新标定，以降低流体质量流量控制器出现问题的概率。
在本发明一优选实施例中，在将第二拟合函数写入数模转换单元，以实现通过输入数字量来对流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，可以还包括：
向数模转换单元发送至少一个校验数字量，并获取与校验数字量对应的流体质量流量控制器的校验流量输出值；
若任意一个校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对数模转换单元进行标定，直至每个校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
在该实施例中，在通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，再对数模转换单元进行校验，以能够及时的选出出现偏差的数模转换单元，从而能够及时的对出现偏差的数模转换单元进行重新标定，以降低流体质量流量控制器出现问题的概率。
如图6所示，作为另一个技术方案，本实施例还提供一种流体质量流量控制器的标定装置，包括控制组件，该控制组件用于向流体质量流量控制器1的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器的标定。
本实施例提供的流体质量流量控制器的标定装置，借助控制组件向流体质量流量控制器1的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的功能单元反馈的与各参数值对应的第二参数的参数值，其中，第二参数与第一参数相关联；并借助控制组件根据第一参数的参数值和对应的第二参数的参数值，确定第一参数和第二参数的对应关系；且借助控制组件根据对应关系对相应的功能单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器1的标定。由于各第一参数的参数值是预先设置在控制组件中的，并且与各第一参数的参数值对应的第二参数的参数值是借助控制组件自动获取的，因此能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器1的质量。
在本发明一优选实施例中，功能单元可以包括模数转换单元，控制组件可以包括控制单元2和供电单元3，其中，模数转换单元用于将模拟电压值转换生成与模拟电压值对应的数字量；控制单元2用于控制供电单元3向模数转换单元发送模拟电压值，并获取模数转换单元转换反馈的与模拟电压值对应的数字量；根据模拟电压值、数字量和关于二者的第一预设关系式进行拟合运算，以获得第一拟合函数，第一拟合函数表示模拟电压值和数字量的对应关系；且将第一拟合函数写入模数转换单元，以实现通过输入模拟电压值来对流体质量流量控制器1的流量值进行标定。
优选的，供电单元3可以采用可编程多通道自动调节电源，以能够在向模数转换单元提供电电压值的同时，向模数转换单元发送两个模拟电压值。
在本发明一优选实施例中，功能单元可以包括数模转换单元，控制组件可以包括控制单元2以及与数模转换单元相连的电压检测单元4，其中，数模转换单元用于将数字量转换生成与数字量对应的模拟电压值；电压检测单元4用于检测数模转换生成的与数字量对应的模拟电压值；控制单元2用于向数模转换单元发送数字量，并获取电压检测单元4检测到的与数字量对应的模拟电压值；根据数字量、模拟电压值和关于二者的第二预设关系式进行拟合运算，以获得第二拟合函数，第二拟合函数表示数字量和模拟电压值的对应关系；且将第二拟合函数写入数模转换单元，以实现通过输入数字量来对流体质量流量控制器1的流量值进行标定。
在本发明一优选实施例中，功能单元可以包括流量控制单元，控制组件包括控制单元2和流量检测单元5，其中，流量控制单元用于根据开度值调整其流量输出值；流量检测单元5用于检测与开度值对应的流量控制单元的流量输出值；控制单元2用于向流量控制单元发送开度值，并获取由流量检测单元5检测到的与开度值对应的流量控制单元的流量输出值；根据开度值、流量输出值和关于二者的第三预设关系式进行拟合运算，获得第三拟合函数，第三拟合函数表示流量输出值和开度值的对应关系；且将第三拟合函数写入流量控制单元，以实现通过输入开度值来对流体质量流量控制器1的流量值进行标定。
在本发明一优选实施例中，功能单元可以包括流量控制单元，控制组件可以包括控制单元2，其中，流量控制单元用于根据开度值调整其流量输出值；控制单元2用于向流量控制单元发送开度值，并获取开度值对应的流量输出值与流量控制单元的满量程流量值的比值以及实际响应时长；计算开度值和比值的差值的绝对值，获得实际过冲值，并确定实际过冲值和预设的与开度值对应的标准过冲值的大小关系，以及实际响应时长和预设的与开度值对应的标准响应时长的大小关系；且根据比较结果对流量控制单元进行标定，以实现对流体质量流量控制器1的响应时长的标定。
在本发明一优选实施例中，控制组件可以包括控制单元2和压力控制单元6时，其中，压力控制单元6分别与流体质量流量控制器1的流量控制单元和用于提供流体的流体源7连接，控制单元2用于向压力控制单元6发送压力值，压力控制单元6用于在控制单元2的控制下调节自流体源7流向流体质量流量控制器1的流体的压力。
借助压力控制单元6可以在实现通过输入开度值来对流体质量流量控制器1的流量值进行标定时，在向流量控制单元发送开度值，并获取流量控制单元反馈的与开度值对应的流量输出值之前，还可以对流向流体质量流量控制器1的流量控制单元的流体的压力进行调节，以能够使流体质量流量控制器1的流量控制单元在满足工艺要求的压力下进行标定，从而能够提高流体质量流量控制器1标定的准确度。
可选的，压力控制单元6可以通过流量检测单元5与流体质量流量控制器1的流量控制单元连接。
综上所述，本实施例提供的流体质量流量控制器的标定方法及标定装置，能够提高标定的一致性和可靠性，并提高标定效率，从而提高流体质量流量控制器1的质量。
可以解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (13)

1.一种流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，包括：
向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，其中，所述第二参数与所述第一参数相关联；
根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系；
根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定。
2.根据权利要求1所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，所述功能单元包括模数转换单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述模数转换单元发送模拟电压值，并获取所述模数转换单元转换反馈的与所述模拟电压值对应的数字量；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述模拟电压值、所述数字量和关于二者的第一预设关系式进行拟合运算，获得第一拟合函数，所述第一拟合函数表示所述模拟电压值和所述数字量的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第一拟合函数写入所述模数转换单元，以实现通过输入所述模拟电压值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
3.根据权利要求1所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，所述功能单元包括数模转换单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述数模转换单元发送数字量，并获取所述数模转换单元反馈的与所述数字量对应的模拟电压值；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述数字量、所述模拟电压值和关于二者的第二预设关系式进行拟合运算，获得第二拟合函数，所述第二拟合函数表示所述数字量和所述模拟电压值的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第二拟合函数写入所述数模转换单元，以实现通过输入所述数字量来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
4.根据权利要求1所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，所述功能单元包括流量控制单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述流量控制单元发送开度值，并获取所述流量控制单元反馈的与所述开度值对应的流量输出值；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
根据所述开度值、所述流量输出值和关于二者的第三预设关系式进行拟合运算，获得第三拟合函数，所述第三拟合函数表示所述流量输出值和所述开度值的对应关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
将所述第三拟合函数写入所述流量控制单元，以实现通过输入所述开度值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
5.根据权利要求1所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，所述功能单元包括流量控制单元；
所述向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，包括：
向所述流量控制单元发送开度值，并获取所述开度值对应的流量输出值与所述流量控制单元的满量程流量值的比值以及实际响应时长；
所述根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系，包括：
计算所述开度值和所述比值的差值的绝对值，获得实际过冲值，并确定所述实际过冲值和预设的与所述开度值对应的标准过冲值的大小关系，以及所述实际响应时长和预设的与所述开度值对应的标准响应时长的大小关系；
所述根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定，包括：
若所述实际过冲值小于或等于所述标准过冲值，且所述实际响应时长小于或等于所述标准响应时长，则标定所述流量控制单元的响应时长合格，若所述实际过冲值大于所述标准过冲值，或所述实际响应时长大于所述标准响应时长，则对所述流量控制单元进行调节，直至所述实际过冲值小于或等于所述标准过冲值，且所述实际响应时长小于或等于所述标准响应时长。
6.根据权利要求4所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，在所述将所述第三拟合函数写入所述流量控制单元，以实现通过输入所述开度值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，还包括：
向所述流量控制单元发送至少一个校验开度值，并获取与所述校验开度值对应的校验流量输出值；
若任意一个所述校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对所述流量控制单元进行标定，直至每个所述校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
7.根据权利要求2所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，在所述将所述第一拟合函数写入所述模数转换单元，以实现通过输入所述模拟电压值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，还包括：
向所述模数转换单元发送至少一个校验模拟电压值，并获取与所述校验模拟电压值对应的所述流体质量流量控制器的校验流量输出值；
若任意一个所述校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对所述模数转换单元进行标定，直至每个所述校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
8.根据权利要求3所述的流体质量流量控制器的标定方法，其特征在于，在所述将所述第二拟合函数写入所述数模转换单元，以实现通过输入所述数字量来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定之后，还包括：
向所述数模转换单元发送至少一个校验数字量，并获取与所述校验数字量对应的所述流体质量流量控制器的校验流量输出值；
若任意一个所述校验流量输出值未位于对应的标准流量输出范围内，则重新对所述数模转换单元进行标定，直至每个所述校验流量输出值均位于对应的标准流量输出范围内。
9.一种流体质量流量控制器的标定装置，其特征在于，包括控制组件，所述控制组件用于向所述流体质量流量控制器的相应功能单元发送第一参数的参数值，并获取相应的所述功能单元反馈的与各所述参数值对应的第二参数的参数值，其中，所述第二参数与所述第一参数相关联；根据所述第一参数的参数值和对应的所述第二参数的参数值，确定所述第一参数和所述第二参数的对应关系；根据所述对应关系对相应的所述功能单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的标定。
10.根据权利要求9所述的流体质量流量控制器的标定装置，其特征在于，所述功能单元包括模数转换单元，所述控制组件包括控制单元和供电单元，其中，
所述模数转换单元用于将模拟电压值转换生成与所述模拟电压值对应的数字量；
所述控制单元用于控制所述供电单元向所述模数转换单元发送所述模拟电压值，并获取所述模数转换单元转换反馈的与所述模拟电压值对应的所述数字量；根据所述模拟电压值、所述数字量和关于二者的第一预设关系式进行拟合运算，以获得第一拟合函数，所述第一拟合函数表示所述模拟电压值和所述数字量的对应关系；且将所述第一拟合函数写入所述模数转换单元，以实现通过输入所述模拟电压值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
11.根据权利要求9所述的流体质量流量控制器的标定装置，其特征在于，所述功能单元包括数模转换单元，所述控制组件包括控制单元以及与所述数模转换单元相连的电压检测单元，其中，
所述数模转换单元用于将数字量转换生成与所述数字量对应的模拟电压值；
所述电压检测单元用于检测所述数模转换生成的与所述数字量对应的所述模拟电压值；
所述控制单元用于向所述数模转换单元发送所述数字量，并获取所述电压检测单元检测到的与所述数字量对应的所述模拟电压值；根据所述数字量、所述模拟电压值和关于二者的第二预设关系式进行拟合运算，以获得第二拟合函数，所述第二拟合函数表示所述数字量和所述模拟电压值的对应关系；且将所述第二拟合函数写入所述数模转换单元，以实现通过输入所述数字量来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
12.根据权利要求9所述的流体质量流量控制器的标定装置，其特征在于，所述功能单元包括流量控制单元，所述控制组件包括控制单元和流量检测单元，其中，
所述流量控制单元用于根据开度值调整其流量输出值；
所述流量检测单元用于检测与所述开度值对应的所述流量控制单元的所述流量输出值；
所述控制单元用于向所述流量控制单元发送所述开度值，并获取由所述流量检测单元检测到的与所述开度值对应的所述流量控制单元的所述流量输出值；根据所述开度值、所述流量输出值和关于二者的第三预设关系式进行拟合运算，获得第三拟合函数，所述第三拟合函数表示所述流量输出值和所述开度值的对应关系；且将所述第三拟合函数写入所述流量控制单元，以实现通过输入所述开度值来对所述流体质量流量控制器的流量值进行标定。
13.根据权利要求9所述的流体质量流量控制器的标定装置，其特征在于，所述功能单元包括流量控制单元，所述控制组件包括控制单元，其中，
所述流量控制单元用于根据开度值调整其流量输出值；
所述控制单元用于向所述流量控制单元发送开度值，并获取所述开度值对应的流量输出值与所述流量控制单元的满量程流量值的比值以及实际响应时长；计算所述开度值和所述比值的差值的绝对值，获得实际过冲值，并确定所述实际过冲值和预设的与所述开度值对应的标准过冲值的大小关系，以及所述实际响应时长和预设的与所述开度值对应的标准响应时长的大小关系；且根据比较结果对所述流量控制单元进行标定，以实现对所述流体质量流量控制器的响应时长的标定。
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