CN102023634A

CN102023634A - 质量流量控制器的自动检验系统和方法

Info

Publication number: CN102023634A
Application number: CN2010105471506A
Authority: CN
Inventors: 杨宇; 赵迪; 吴薇
Original assignee: Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Current assignee: Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd; Beijing Sevenstar Huachuang Electronics Co Ltd
Priority date: 2010-11-16
Filing date: 2010-11-16
Publication date: 2011-04-20

Abstract

本发明公开了一种质量流量控制器的自动检验系统和方法，在检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流量控制器，质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。可以利用数字通讯技术完成对质量流量控制器进行自动检验，该方法突破了传统的手工记录、等待数据、计算最终结果的方法，大大提高了结果可靠性和生产效率。

Description

质量流量控制器的自动检验系统和方法

技术领域

本发明涉及一种自动检验数字型气体质量流量控制器的装置，尤其涉及一种质量流量控制器的自动检验系统和方法。

背景技术

目前，检验质量流量控制器大都采用人工定时记录各个点的精度，根据记录的数据进行手工计算得到这台质量流量控制器的精度、线性以及重复性的图标。这样做大大浪费了人力物力，结果可靠性和生产效率也因此大大降低。

发明内容

本发明的目的是提供一种可靠性高、效率高的质量流量控制器的自动检验系统和方法。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的质量流量控制器的自动检验系统，包括检验气路，所述检验气路包括气源和减压装置，所述的减压装置之后的检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流量控制器，所述质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。

本发明的上述的质量流量控制器的自动检验系统进行质量流量控制器检验的方法，包括步骤：

首先，设定相关的参数，包括在质量流量控制器的量程内设置多个读取点，并设置各点的读取次数和读取间隔时间；

之后，分别读取质量流量标准测量单元在每个读取点的流量值，并将该值与质量流量控制器设定的读取点的值进行比较；

然后，根据检测的数据计算相应的精度、线性、重复性的值，并绘制图表和打印。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的质量流量控制器的自动检验系统和方法，由于检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流量控制器，质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。可以利用数字通讯技术完成对质量流量控制器进行自动检验，该方法突破了传统的手工记录、等待数据、计算最终结果的方法，大大提高了结果可靠性和生产效率。

附图说明

图1为本发明中质量流量控制器的结构示意图；

图2为本发明的质量流量控制器的自动检验系统的结构示意图；

图3为本发明的质量流量控制器的自动检验方法的流程图。

具体实施方式

本发明的质量流量控制器的自动检验系统，其较佳的具体实施方式如图2所示，包括检验气路，检验气路包括气源和减压装置，所述的减压装置之后的检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流量控制器，所述质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。

本发明的上述的质量流量控制器的自动检验系统进行质量流量控制器检验的方法，其较佳的具体实施方式如图3所示，包括步骤：

所述质量流量控制器的量程内的多个读取点可以包括：

25％、50％、75％处的点。

所述质量流量控制器的量程内的多个读取点的设定顺序可以为：

25％、50％、75％、75％、50％、25％。

所述的读取次数大于或等于1次。

本发明的质量流量控制器的自动检验系统，是一种针对数字型气体质量流量的精度，线性，重复性检测的装置。利用数字通讯技术完成了对质量流量控制器进行自动检验，该方法突破了传统的手工记录、等待数据，计算最终结果的方法。大大提高了生产效率。

下面对本发明进行详细的描述：

首先介绍一下质量流量控制器的工作原理和测量原理：

工作原理：质量流量控制器(MFCs)用于对气体质量流量进行精密测量及控制。其测量及控制精度不受一定范围的气压及温度变化影响。质量流量计(MFMs)用于对气体的质量流量进行精密测量。

如图1所示，质量流量控制器包括分流器、传感器、电路板及调节阀等部分。

分流器、传感器及电路板的测量部分组成了质量流量控制器的流量测量单元，它们也组成了质量流量计。

调节阀与电路板的控制部分组成了质量流量控制器的控制单元，它们只存在于质量流量控制器中。因此，每台质量流量控制器都包含一台质量流量计。

测量原理：气流由传感器一分为二：气体的一部分流入传感器，其质量流量的实际大小由传感器测量；气体的其它部分流过分流器，其大小由分流器限制。

分流器的规格与量程范围的大小成比例。

传感器输出的电压与流经传感器的气体质量流量大小成正比，该流量的大小与分流器的设计有关，与通过质量流量计或质量流量控制器的总流量成正比。

电路板放大了传感器测得的信号并将其线性化，所以电路板的输出值也就是显示值，与通过质量流量控制器或质量流量计的气体的质量流量大小成比例。输出信号为0-5V电压：当信号为零时，表示没有气体流过；当信号为5V时，表示流过的气体质量流量达到满量程。满量程为设计及标定时的最大质量流量大小。

根据上面对工作原理和测量原理的描述，可以看出流量检测输出和设定信号的输入均可以从电路板获得。本发明设计了一个自动检测系统，通过获得的流量检测信号和软件设定来完成自动完成。

具体的气路实现如图2所示，在减压器的后端接质量流量标准测量单元(DHI)，然后接质量流量控制器(MFC)产品。

其中质量流量标准测量单元和质量流量控制器都可以进行数字通讯，并分别与计算机连接。通过串口通讯可实时获取MFC的流量检测数据和DHI的流量检测数据。这样就省去了人工定时记录瞬时流量值的工作，直接用计算机来进行，进行反复多次测量取值后，完成对质量流量控制器的数据记录，接下来的步骤就是利用记录的数据自动计算质量流量控制器的精度、线性和重复性。最后将结果的图表直接通过打印机输出。这样又省去了人工根据记录的数据计算质量流量控制器的精度、线性和重复性。

如图3所示，具体的检测步骤包括：

首先，设定相关的参数：

为了保证最终数据的准确度，一般不会只读取一遍从0％到100％的数据，作为最终结果的计算依据，所以在这里要设置读取数据的遍数，一般不少于1遍；对于需要读取的25％，50％，75％各点，也需要设置各点的读取次数和读取间隔时间。

之后，对流量计分别设定为25％，50％，75％。分别读取DHI在设定为25％，50％，75％各点的值，并记录此时DHI的流量读数。

注：对于流量计设定顺序为：25％，50％，75％，75％、50％、25％从0％到0％为一个完整的检测过程。此文档所说的读取数据的遍数就是上述的检测过程。一遍为一个完整的检测过程。

根据检测的数据计算相应的精度，线性，重复性的值，然后绘制图表，最后通过打印机打印图表。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种质量流量控制器的自动检验系统，包括检验气路，所述检验气路包括气源和减压装置，其特征在于，所述的减压装置之后的检验气路上依次连接有质量流量标准测量单元和待检验的质量流量控制器，所述质量流量标准测量单元和质量流量控制器分别设有数字通讯单元，并分别通过串口与计算机连接。

2.一种权利要求1所述的质量流量控制器的自动检验系统进行质量流量控制器检验的方法，其特征在于，包括步骤：

3.根据权利要求2所述的进行质量流量控制器检验的方法，其特征在于，所述质量流量控制器的量程内的多个读取点包括：

25％、50％、75％处的点。

4.根据权利要求3所述的进行质量流量控制器检验的方法，其特征在于，所述质量流量控制器的量程内的多个读取点的设定顺序为：

25％、50％、75％、75％、50％、25％。

5.根据权利要求2、3或4所述的进行质量流量控制器检验的方法，其特征在于，所述的读取次数大于或等于1次。