CN111854953A - 一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,包括入射狭缝(1)、自由曲面棱镜(2)和像面(3),所述的自由曲面棱镜(2)包括入瞳平面(201)、准直区域(202)、聚焦区域(204)和出射面(205),所述的准直区域(202)和聚焦区域(204)上设有反射镜,所述的自由曲面棱镜(2)上还设有平面衍射光栅(203),入射光线由入射狭缝(1)出射,经入瞳平面(201)入射后经准直区域(202)反射至平面衍射光栅(203),衍射分光后的光线经聚焦区域(204)反射并经出射面(205)出射,聚焦在像面(3)成像。与现有技术相比,本发明具有高性能、构型紧凑和低成本等优点。

Description

一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统
技术领域
本发明涉及光学系统和器件设计领域,尤其是涉及一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统。
背景技术
二十世纪70年代开始已经出现色散型成像光谱仪器,其探测目标并能获取图像信息和光谱信息,广泛应用于遥感和勘探等科学研究,如进行矿物识别、农林监测、军事侦察、海色及大气探测等。成像光谱仪器的光学系统通常由望远物镜和光谱仪组成,其光谱探测功能的主要核心是光谱仪,便携式光谱仪优先考虑的是小巧体积和重量,而非超高的分辨率。微型光谱仪系统在航天遥感和军事侦察等军用领域有十分重要的意义,而在手持式光谱仪、手机、笔记本电脑等便携设备中具有广阔的商用前景。但是,传统的光谱仪设计采用多片组合的折射或反射结构设计,其系统体积大,机械结构设计复杂,因而不利于复杂多变的环境应用。
公开号为CN104406691A的发明专利,公开了一种基于单个自由曲面的成像光谱仪分光系统,系统由入射狭缝,自由曲面反射镜,平面闪耀光栅以及像面组成。本发明的特点在于两次使用一个非旋转对称的自由曲面反射镜分别充当准直镜和成像镜,配以高性能且加工工艺成熟的平面闪耀光栅,实现结构简单、紧凑,小像差、低畸变、高效率的光谱仪分光系统。但其光学系统仍有多部分组成需要镜片与光栅的安装与调试,并需要外部的定位结构设计。公开号为CN110470394A的发明专利,公开了一种超紧凑光谱仪光学系统,由视场光栏、光栅、复合透镜、第一反射镜、第二反射镜和滤光片组成,光学系统为折反射式,光栅为平面反射光栅,复合透镜被光线四次经过,但其本身仍是需要多片反射镜片和透镜组合调试并定位安装,其外部结构设计会比较复杂。
发明内容
本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,低成本、高性能且构型紧凑。
本发明的目的可以通过以下技术方案来实现:
一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,包括入射狭缝、自由曲面棱镜和像面,所述的自由曲面棱镜包括入瞳平面、准直区域、聚焦区域和出射面,所述的准直区域和聚焦区域上设有反射镜,所述的自由曲面棱镜上还一体化设置有平面衍射光栅,入射光线由入射狭缝出射,经入瞳平面入射后经准直区域反射至平面衍射光栅,衍射分光后的光线经聚焦区域反射并经出射面出射,聚焦在像面成像。
进一步地,所述的入瞳平面与出射面为自由曲面棱镜上的同一非旋转对称的表面,所述的表面为自由曲面或平面。
进一步地,所述的准直区域与聚焦区域为自由曲面棱镜上的同一非旋转对称的表面,所述的表面为自由曲面。
进一步地,所述的平面衍射光栅直接设计和加工在自由曲面棱镜上且与入瞳平面、出射面互不干涉。
进一步地,所述的自由曲面棱镜的基底材质为氟系玻璃、光学塑料、硒化锌或硫系材料,若光谱仪用于可见近红外波段,则自由曲面棱镜的基底材质可选用氟系玻璃或PMMA、E48R等光学塑料;若光谱仪用于短波红外波段,则自由曲面棱镜的基底材质可选用硒化锌或氟系玻璃,若光谱仪用于中长波红外波段,则自由曲面棱镜的基底材质可选用硒化锌或硫系材料。
进一步地,所述的入射狭缝的尺寸为2mm×16μm,所述的平面衍射光栅的光栅刻线密度为300line/mm。
进一步地,该光学系统的F数为5,光谱范围0.4~1μm,像元的光谱分辨率3.5nm。
与现有技术相比,本发明具有以如下有益效果:
(1)本发明通过在单个自由曲面棱镜一体化设计平面衍射光栅和反射镜,反射镜设置在自由曲面棱镜的准直区域与聚焦区域上,易于加工,结构紧凑,低成本,同时自由曲面具有足够的优化参量,易优化校正系统的轴外像差,且可适用于不同结构参数,具有小像差、低畸变和高效率的优点;
(2)本发明采用的入瞳平面与出射面为自由曲面棱镜上的同一非旋转对称的表面,该表面可设为平面或自由曲面,将准直区域与聚焦区域位于自由曲面棱镜上的同一非旋转对称的自由曲面上,相邻两面均采用同一面形,利于一体化的注塑模压成型,设计紧凑。
附图说明
图1为实施例1的光谱仪光路系统示意图;
图2为实施例2的光谱仪光路系统的示意图;
图3为实施例1中不同波长下的点列图RMS半径随视场的变化曲线;
图4为实施例1中不同视场下的点列图RMS半径随波长的变化曲线;
图5为实施例2中不同波长下的点列图RMS半径随视场的变化曲线;
图6为实施例2中不同视场下的点列图RMS半径随波长的变化曲线。
图中标号说明:
1.入射狭缝,2.自由曲面棱镜,3.像面,201.入瞳平面,202.准直区域,203.平面衍射光栅,204.聚焦区域,205.出射面。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。本实施例以本发明技术方案为前提进行实施,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
实施例1
一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,如图1,包括入射狭缝1、自由曲面棱镜2和像面3,自由曲面棱镜2包括入瞳平面201、准直区域202、聚焦区域204和出射面205,准直区域202和聚焦区域204上设有反射镜,自由曲面棱镜2上还一体化设置有平面衍射光栅203,入射光线由入射狭缝1出射,经入瞳平面201入射后经准直区域202反射至平面衍射光栅203,衍射分光后的光线经聚焦区域204反射并经出射面205出射,聚焦在像面3成像。
入瞳平面201与出射面205为自由曲面棱镜2上的同一非旋转对称的平面,准直区域202与聚焦区域204为自由曲面棱镜2上的同一非旋转对称的自由曲面,平面衍射光栅203直接设计和加工在自由曲面棱镜2上且与入瞳平面201、出射面205互不干涉,自由曲面棱镜2上的自由曲面设计为易于单点金刚石车削加工的多项式形式。
自由曲面棱镜2具有设计优化变量多、结构灵活和系统高度集成的特性,将自由曲面棱镜2引入微型光谱仪光学系统可压缩光学系统的尺寸,实现微小型结构设计并可模块化生产。
光学系统的F数为5,光谱范围0.4~1μm,像元的光谱分辨率3.5nm,入射狭缝1的尺寸为2mm×16μm,光栅刻线为300line/mm,探测器像元尺寸16μm×16μm,自由曲面棱镜的基底材质为PMMA,光学系统的各个光学面的参数和间距如表1所示:
表1光谱仪光学系统参数表一
Figure BDA0002556598180000041
Figure BDA0002556598180000051
图3为光学系统在不同视场下的点列图RMS半径随波长的变化曲线,图4光学系统在不同视场下的点列图RMS半径随波长的变化曲线,该曲线展示了像面3上的不同波长的弥散斑大小分布。
实施例2
本实施例中入瞳平面201与出射面205为自由曲面棱镜2上的同一非旋转对称的自由曲面,如图2,增强了光学系统在轴外视场的像差校正能力,使系统具有更高的空间分辨率,所有波长和视场的弥散斑均接近探测器分辨的衍射极限,其它与实施例1相同,光学系统的各个光学面的参数和间距如表2所示:
Figure BDA0002556598180000052
Figure BDA0002556598180000061
图5为光学系统在不同视场下的点列图RMS半径随波长的变化曲线,图6光学系统在不同视场下的点列图RMS半径随波长的变化曲线,该曲线展示了像面3上的不同波长的弥散斑大小分布。
实施例1和实施例2提出了一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,一体化设计,便捷携带,可直接采用单点金刚石车削工艺加工或压模制造出自由曲面棱镜2,制造成本低,适用性好。
以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解,本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此,凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案,皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,包括入射狭缝(1)、自由曲面棱镜(2)和像面(3),所述的自由曲面棱镜(2)包括入瞳平面(201)、准直区域(202)、聚焦区域(204)和出射面(205),所述的准直区域(202)和聚焦区域(204)上设有反射镜,所述的自由曲面棱镜(2)上还设有平面衍射光栅(203),入射光线由入射狭缝(1)出射,经入瞳平面(201)入射后经准直区域(202)反射至平面衍射光栅(203),衍射分光后的光线经聚焦区域(204)反射并经出射面(205)出射,聚焦在像面(3)成像。
2.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的入瞳平面(201)与出射面(205)为同一非旋转对称的表面。
3.根据权利要求2所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的表面为自由曲面。
4.根据权利要求2所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的表面为平面。
5.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的准直区域(202)与聚焦区域(204)为同一非旋转对称的表面。
6.根据权利要求5所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的表面为自由曲面。
7.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的平面衍射光栅(203)与入瞳平面(201)、出射面(205)互不干涉。
8.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的自由曲面棱镜的基底材质为氟系玻璃、光学塑料、硒化锌或硫系材料。
9.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,所述的入射狭缝(1)的尺寸为2mm×16μm,所述的平面衍射光栅(203)的光栅刻线密度为300line/mm。
10.根据权利要求1所述的一种基于自由曲面棱镜的一体式微型光谱仪光学系统,其特征在于,该光学系统的F数为5,光谱范围0.4~1μm,像元的光谱分辨率3.5nm。
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Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5026160A (en) * 1989-10-04 1991-06-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Monolithic optical programmable spectrograph (MOPS)
JPH09329747A (ja) * 1996-06-11 1997-12-22 Olympus Optical Co Ltd 結像光学系
US6303934B1 (en) * 1997-04-10 2001-10-16 James T. Daly Monolithic infrared spectrometer apparatus and methods
US6862092B1 (en) * 1999-01-08 2005-03-01 Ibsen Photonics A/S Spectrometer
US20080165424A1 (en) * 1998-12-07 2008-07-10 Olympus Corporation Image-forming optical system
CN101432605A (zh) * 2006-04-28 2009-05-13 康宁股份有限公司 单片欧浮纳分光计
CN101900872A (zh) * 2010-07-27 2010-12-01 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 双片式自由曲面头戴显示器光学系统
CN102410878A (zh) * 2011-12-02 2012-04-11 中国科学院光电研究院 一种成像光谱仪
US8203710B1 (en) * 2006-06-12 2012-06-19 Wavefront Research, Inc. Compact wide field fast hyperspectral imager
US8390806B1 (en) * 2009-05-21 2013-03-05 Lockheed Martin Corporation MEMS spectrometer and sensing systems therefrom
CN105334608A (zh) * 2015-12-05 2016-02-17 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种棱镜光学系统
CN109781257A (zh) * 2018-12-27 2019-05-21 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种自由曲面棱镜光谱仪光学系统
CN110186563A (zh) * 2019-06-13 2019-08-30 浙江溯源光科技有限公司 基于柱面光栅的分光波导模块和集成光谱仪及制作方法
US20190339129A1 (en) * 2016-07-12 2019-11-07 Oto Photonics Inc. Spectrometer and manufacturing method thereof
CN110470394A (zh) * 2019-07-10 2019-11-19 中国科学院上海技术物理研究所 一种超紧凑光谱仪光学系统

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5026160A (en) * 1989-10-04 1991-06-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Monolithic optical programmable spectrograph (MOPS)
JPH09329747A (ja) * 1996-06-11 1997-12-22 Olympus Optical Co Ltd 結像光学系
US6303934B1 (en) * 1997-04-10 2001-10-16 James T. Daly Monolithic infrared spectrometer apparatus and methods
US20080165424A1 (en) * 1998-12-07 2008-07-10 Olympus Corporation Image-forming optical system
US6862092B1 (en) * 1999-01-08 2005-03-01 Ibsen Photonics A/S Spectrometer
CN101432605A (zh) * 2006-04-28 2009-05-13 康宁股份有限公司 单片欧浮纳分光计
US8203710B1 (en) * 2006-06-12 2012-06-19 Wavefront Research, Inc. Compact wide field fast hyperspectral imager
US8390806B1 (en) * 2009-05-21 2013-03-05 Lockheed Martin Corporation MEMS spectrometer and sensing systems therefrom
CN101900872A (zh) * 2010-07-27 2010-12-01 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 双片式自由曲面头戴显示器光学系统
CN102410878A (zh) * 2011-12-02 2012-04-11 中国科学院光电研究院 一种成像光谱仪
CN105334608A (zh) * 2015-12-05 2016-02-17 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种棱镜光学系统
US20190339129A1 (en) * 2016-07-12 2019-11-07 Oto Photonics Inc. Spectrometer and manufacturing method thereof
CN109781257A (zh) * 2018-12-27 2019-05-21 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种自由曲面棱镜光谱仪光学系统
CN110186563A (zh) * 2019-06-13 2019-08-30 浙江溯源光科技有限公司 基于柱面光栅的分光波导模块和集成光谱仪及制作方法
CN110470394A (zh) * 2019-07-10 2019-11-19 中国科学院上海技术物理研究所 一种超紧凑光谱仪光学系统

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