CN111744874A - 一种半导体产品生产加工用清洗装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种半导体产品生产加工用清洗装置,包括承载底座、清洗单元和滤液单元,所述清洗单元和滤液单元均设于承载底座上,清洗单元包括清洗箱和刷洗组件,刷洗组件设于清洗箱内,该装置结构布局合理,操作简单,使用方便,能够将半导体产品机械化进行清洗,清洁效果好且具备快速烘干功能,大大提高半导体产品生产加工效率及质量,非常具有实用性。

Description

一种半导体产品生产加工用清洗装置
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,具体是一种半导体产品生产加工用清洗装置。
背景技术
半导体,指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,其在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。
半导体产品在生产加工时其表面会沾附上硅粉粉尘、金属粉尘等颗粒物,在后续加工之前,需要对其进行清洗,现有的方式通常是人工手持刷子,一边蘸清洗液,一边刷洗,费时费力的同时清洁效果还较差,因此,本发明提出一种半导体产品生产加工用清洗装置来解决上述问题。
发明内容
本发明的实施例目的在于提供一种半导体产品生产加工用清洗装置,以解决上述问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种半导体产品生产加工用清洗装置,包括承载底座、清洗单元和滤液单元,所述清洗单元和滤液单元均设于承载底座上,清洗单元包括清洗箱和刷洗组件,刷洗组件设于清洗箱内。
在一种可选方案中:所述清洗箱通过多根支撑杆固定设于承载底座上方,清洗箱顶部设有产品投放口,清洗箱底部设有用于将清洗好的半导体产品取出的产品出口,产品出口上设有阀门。
在一种可选方案中:所述刷洗组件包括两根转管,清洗箱内壁上固定贴设有一层毛刷垫,毛刷垫毛刷面朝向清洗箱中心,两根转管通过轴承转动安装于清洗箱内,两根转管上均由上到下环向等距设有多根翻动管,两根转管的上的翻动管呈相互交错设置,每根翻动管均与转管内部相通,每根翻动管上均环向等距嵌设有多根毛刷条和多个出风嘴,多根毛刷条与多组横向成排的出风嘴之间相互交替设置,两根转管其中一根下端延伸至清洗箱下方并固定设有第一锥齿轮,清洗箱底部通过电机支架固定安装有伺服电机,伺服电机的输出轴上固定连接有第二锥齿轮,第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合,两根转管之间通过皮带传动机构相连接。
在一种可选方案中:两根所述转管上端之间设有输风管,输风管与两根转管之间均通过密封轴承转动连接且两根转管与输风管均内部相通,输风管两端均设有管堵,清洗箱侧壁上通过支座固定安装有鼓风机,鼓风机的输出端上固定连接有导风管,导风管远离鼓风机的一端延伸至输风管内,导风管内设有用于将待输入清洗箱内的空气中灰尘过滤清除干净的滤尘网。
在一种可选方案中:所述滤液单元包括过滤网板和滤箱,滤箱固定安装于承载底座上,滤箱上部为敞口式结构,过滤网板通过卡槽卡设于滤箱内,清洗箱侧壁上部设有进液管,进液管上设有进液阀,清洗箱侧壁下部设有出液管,出液管远离清洗箱的一端延伸至滤箱内且位于过滤网板上方,出液管上设有出液阀,滤箱侧壁下部设有返液管,返液管远离滤箱的一端与进液管连通,返液管上连接有抽液泵,抽液泵固定安装于承载底座上,过滤网板上对称设有便于将其从滤箱内拉出以对其进行清理的拉环。
在一种可选方案中:所述输风管内设有多道电热网。
在一种可选方案中:所述承载底座底部对称设有多个移动轮,移动轮为自锁式滚轮。
相较于现有技术,本发明实施例的有益效果如下:
1、该装置结构布局合理,操作简单,使用方便,能够将半导体产品机械化进行清洗,清洁效果好且具备快速烘干功能,大大提高半导体产品生产加工效率及质量,非常具有实用性。
附图说明
图1为本发明第一实施例的结构示意图。
图2为本发明第一实施例中滤箱和过滤网板之间的连接示意图。
图3为本发明第二实施例的结构示意图。
附图标记注释:1-承载底座、2-抽液泵、3-返液管、4-过滤网板、5-滤箱、6-进液管、7-进液阀、8-产品投放口、9-输风管、10-皮带传动机构、11-电热网、12-管堵、13-导风管、14-滤尘网、15-鼓风机、16-清洗箱、17-毛刷垫、18-转管、19-翻动管、20-毛刷条、21-出风嘴、22-支撑杆、23-伺服电机、24-第一锥齿轮、25-第二锥齿轮、26-产品出口、27-出液管、28-拉环、29-卡槽、30-移动轮。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
实施例1
请参阅图1和图2,本发明实施例中,一种半导体产品生产加工用清洗装置,包括承载底座1、清洗单元和滤液单元,所述清洗单元和滤液单元均设于承载底座1上,清洗单元包括清洗箱16和刷洗组件,刷洗组件设于清洗箱16内,清洗单元用于将半导体产品进行清洗,滤液单元用于将使用过的清洗液过滤净化后再次输送至清洗箱16实用以达到循环使用的目的,进而降低企业生产成本。
清洗箱16通过多根支撑杆22固定设于承载底座1上方,清洗箱16顶部设有产品投放口8,清洗箱16底部设有用于将清洗好的半导体产品取出的产品出口26,产品出口26上设有阀门,刷洗组件包括两根转管18,清洗箱16内壁上固定贴设有一层毛刷垫17,毛刷垫17毛刷面朝向清洗箱16中心,两根所述转管18通过轴承转动安装于清洗箱16内,两根转管18上均由上到下环向等距设有多根翻动管19,两根转管18的上的翻动管19呈相互交错设置,每根翻动管19均与转管18内部相通,每根翻动管19上均环向等距嵌设有多根毛刷条20和多个出风嘴21,多根毛刷条20与多组横向成排的出风嘴21之间相互交替设置,两根转管18其中一根下端延伸至清洗箱16下方并固定设有第一锥齿轮24,清洗箱16底部通过电机支架固定安装有伺服电机23,伺服电机23的输出轴上固定连接有第二锥齿轮25,所述第二锥齿轮25与第一锥齿轮24啮合,两根转管18之间通过皮带传动机构10相连接。
两根转管18上端之间设有输风管9,输风管9与两根转管18之间均通过密封轴承转动连接且两根转管18与输风管9均内部相通,输风管9两端均设有管堵12使其构成密闭结构,清洗箱16侧壁上通过支座固定安装有鼓风机15,鼓风机15的输出端上固定连接有导风管13,导风管13远离鼓风机15的一端延伸至输风管9内,进一步的,导风管13内设有用于将待输入清洗箱16内的空气中灰尘过滤清除干净的滤尘网14。
滤液单元包括过滤网板4和滤箱5,所述滤箱5固定安装于承载底座1上,滤箱5上部为敞口式结构,过滤网板4通过卡槽29卡设于滤箱5内,清洗箱16侧壁上部设有进液管6,进液管6上设有进液阀7,清洗箱16侧壁下部设有出液管27,出液管27远离清洗箱16的一端延伸至滤箱5内且位于过滤网板4上方,出液管27上设有出液阀,滤箱5侧壁下部设有返液管3,返液管3远离滤箱5的一端与进液管6连通,返液管3上连接有抽液泵2,抽液泵2固定安装于承载底座1上,当清洗箱16内半导体产品清洗完成时,打开出液阀,清洗箱16内使用过的清洗液在重力作用下流至滤箱5中,随后经过滤网板4过滤洁净后暂存于滤箱5内,用于下一批次半导体产品清洗,进一步的,过滤网板4上对称设有便于将其从滤箱5内拉出以对其进行清理的拉环28。
进一步的,清洗后的半导体产品表面会残留清洗液,为了将其充分快速烘干,所述输风管9内设有多道电热网11。
进一步的,承载底座1上设有用于给该装置各个用电器供电的电源接口以及用于控制该装置运行的控制面板。
在使用时,先将半导体产品通过产品投放口8放入到清洗箱16内,然后打开进液阀7向清洗箱16内注入适量的清洗液,随后启动鼓风机15和伺服电机23,伺服电机23带动两根转管18转动从而使得多根翻动管19拨动半导体产品并使之与多个皮带传动机构10以及毛刷垫17上刷毛挤压接触,从而达到将半导体产品表面充分刷洗的目的,在此同时,鼓风机15将空气加压并通过滤尘网14过滤洁净后输送至输风管9内,随后再分流至两根转管18内并最终通过多根翻动管19上的多个出风嘴21喷出从而进一步促进清洗液与半导体产品翻动,进而使得半导体产品被进一步清洗干净,清洗完后打开出液阀使清洗箱16内的清洗液排出,在此同时,鼓风机15和伺服电机23不停机,然后在此基础是接着启动多个电热网11,将输送至清洗箱16内的气流加热成热风从而快速均匀将半导体产品上残留的清洗液烘干,操作简单,使用方便,非常具有实用性。
实施例2
请参阅图3,本发明实施例与实施例1的不同之处在于,进一步的,为了便于移动该装置,所述承载底座1底部对称设有多个移动轮30,移动轮30为自锁式滚轮,工作人员通过移动轮30可轻松便捷地移动该装置,简单省事,方便实用。
本发明的工作原理是:本发明在使用时,先将半导体产品通过产品投放口8放入到清洗箱16内,然后打开进液阀7向清洗箱16内注入适量的清洗液,随后启动鼓风机15和伺服电机23,伺服电机23带动两根转管18转动从而使得多根翻动管19拨动半导体产品并使之与多个皮带传动机构10以及毛刷垫17上刷毛挤压接触,从而达到将半导体产品表面充分刷洗的目的,在此同时,鼓风机15将空气加压并通过滤尘网14过滤洁净后输送至输风管9内,随后再分流至两根转管18内并最终通过多根翻动管19上的多个出风嘴21喷出从而进一步促进清洗液与半导体产品翻动,进而使得半导体产品被进一步清洗干净,清洗完后打开出液阀使清洗箱16内的清洗液排出,在此同时,鼓风机15和伺服电机23不停机,然后在此基础是接着启动多个电热网11,将输送至清洗箱16内的气流加热成热风从而快速均匀将半导体产品上残留的清洗液烘干,操作简单,使用方便,非常具有实用性。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种半导体产品生产加工用清洗装置,包括承载底座(1)、清洗单元和滤液单元,其特征在于,所述清洗单元和滤液单元均设于承载底座(1)上,清洗单元包括清洗箱(16)和刷洗组件,刷洗组件设于清洗箱(16)内。
2.根据权利要求1所述的半导体产品生产加工用清洗装置,其特征在于,所述清洗箱(16)通过多根支撑杆(22)固定设于承载底座(1)上方,清洗箱(16)顶部设有产品投放口(8),清洗箱(16)底部设有用于将清洗好的半导体产品取出的产品出口(26),产品出口(26)上设有阀门。
3.根据权利要求1所述的半导体产品生产加工用清洗装置,其特征在于,所述刷洗组件包括两根转管(18),清洗箱(16)内壁上固定贴设有一层毛刷垫(17),毛刷垫(17)毛刷面朝向清洗箱(16)中心,两根转管(18)通过轴承转动安装于清洗箱(16)内,两根转管(18)上均由上到下环向等距设有多根翻动管(19),两根转管(18)的上的翻动管(19)呈相互交错设置,每根翻动管(19)均与转管(18)内部相通,每根翻动管(19)上均环向等距嵌设有多根毛刷条(20)和多个出风嘴(21),多根毛刷条(20)与多组横向成排的出风嘴(21)之间相互交替设置,两根转管(18)其中一根下端延伸至清洗箱(16)下方并固定设有第一锥齿轮(24),清洗箱(16)底部通过电机支架固定安装有伺服电机(23),伺服电机(23)的输出轴上固定连接有第二锥齿轮(25),第二锥齿轮(25)与第一锥齿轮(24)啮合,两根转管(18)之间通过皮带传动机构(10)相连接。
4.根据权利要求3所述的半导体产品生产加工用清洗装置,其特征在于,两根所述转管(18)上端之间设有输风管(9),输风管(9)与两根转管(18)之间均通过密封轴承转动连接且两根转管(18)与输风管(9)均内部相通,输风管(9)两端均设有管堵(12),清洗箱(16)侧壁上通过支座固定安装有鼓风机(15),鼓风机(15)的输出端上固定连接有导风管(13),导风管(13)远离鼓风机(15)的一端延伸至输风管(9)内,导风管(13)内设有用于将待输入清洗箱(16)内的空气中灰尘过滤清除干净的滤尘网(14)。
5.根据权利要求1所述的半导体产品生产加工用清洗装置,其特征在于,所述滤液单元包括过滤网板(4)和滤箱(5),滤箱(5)固定安装于承载底座(1)上,滤箱(5)上部为敞口式结构,过滤网板(4)通过卡槽(29)卡设于滤箱(5)内,清洗箱(16)侧壁上部设有进液管(6),进液管(6)上设有进液阀(7),清洗箱(16)侧壁下部设有出液管(27),出液管(27)远离清洗箱(16)的一端延伸至滤箱(5)内且位于过滤网板(4)上方,出液管(27)上设有出液阀,滤箱(5)侧壁下部设有返液管(3),返液管(3)远离滤箱(5)的一端与进液管(6)连通,返液管(3)上连接有抽液泵(2),抽液泵(2)固定安装于承载底座(1)上,过滤网板(4)上对称设有便于将其从滤箱(5)内拉出以对其进行清理的拉环(28)。
6.根据权利要求4所述的半导体产品生产加工用清洗装置,其特征在于,所述输风管(9)内设有多道电热网(11)。
7.根据权利要求1所述的半导体产品生产加工用清洗装置,其特征在于,所述承载底座(1)底部对称设有多个移动轮(30),移动轮(30)为自锁式滚轮。
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