CN111740202A - 基于液态金属的类电磁诱导透明高q值温度感知谐振结构 - Google Patents

基于液态金属的类电磁诱导透明高q值温度感知谐振结构 Download PDF

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Abstract

本发明公开一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，应用于温度感知探测领域，为解决现有传感器灵敏度低的问题，本发明根据类电磁诱导透明理论，结合液态金属的热膨胀性、流动性等特性设计而成，使该谐振单元具有高Q值特性，能实现较高的温度感知分辨率。同时为了提高温度感知能力，在结构中添加了储液结构，以及减小液态金属谐振结构的线径，从而实现较高的温度感知灵敏度。

Description

基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构
技术领域
本发明属于感知探测、辐射控制领域，特别涉及一种温度感知探测技术。
背景技术
电磁超材料(Electromagnetic Metamaterials)是一类人工合成的具有奇异电磁特性的结构型材料，不仅在电磁学、光学、材料学等领域有着广泛应用前景亦为感知、识别、定位、通信等信息学应用领域新型器件设计与制备提供了有效途径。电磁超材料的谐振频率/强度等与单元结构参数、介质材料特性、周围环境因素存在强关联关系，据此可发展出基于电磁超材料的新型传感技术与实现方法，并可广泛用于感知和探测环境中介质、压力、湿度、温度、化学与生物等特性及变化。
在基于电磁超材料的传感应用领域，已经发展出了多种高性能的新型传感技术与设计方法。其感知原理为：在金属结构电磁超材料谐振工作频率处，电磁超材料基本单元内部聚集着大量的电场/磁场分量，由此电磁超材料的宏观谐振频率/强度特性将跟随单元内部的结构参数、介质材料特性与周围环境变化而产生相应改变，通过外部检测电路与处理算法，即可灵活地实现生物、化学、气体、压力、湿度、温度等传感监测。
高Q值，即低能量损耗，Q＝W_总/W_损耗，其中W指能量，但是通常由S参数使用Q＝f0/f3dB，即中心频率/半功率带宽，来计算Q的数值。同等工作中心频率下，Q值越高，意味着半功率带宽越窄，S参数曲线越尖锐，中心频率以外功率变化越大。因此当对传感器S参数输出数据进行采集时，经过数模转换器DAC后，采样得到的数据区分度越大，越易分辨出工作中心频率，误差越小，即拥有更高的频率分辨率，可根据公式转换为对应的温度分辨率。
电磁诱导透明简称EIT，源自于光场与介质原子系统相互作用过程中发生的量子干涉效应，当电磁波穿过介质时具有低损耗、高透明度、强色散等传播特性。利用电磁超材料可模拟产生EIT效应，类EIT超材料结构通常包含两种谐振单元：一种是能直接与入射电磁场相耦合的高辐射谐振单元，称为“明模”，这种谐振结构由于辐射损耗较大，一般具备较低的Q值；另一种是不能直接被入射电磁场激发但可以通过“明模”诱导而产生耦合的非辐射谐振单元，称为“暗模”，由于暗模与自由空间耦合作用很弱，辐射损耗低，因此Q值较大。当电磁波分别照射到明暗模谐振单元结构时，它们都表现为对电磁波的阻滞，并且它们形成的阻滞有相同或者比较接近的中心频率。而将明暗模结构组合成单元结构，在电磁波照射下，高辐射的“明模”与低辐射的“暗模”间发生相互耦合激发电磁能量传输到“暗模”，使得电磁场产生相消干涉，于是在阻滞的中心频率处产生一个锐利的透明窗口。在EIT产生的过程中，由于暗模式参与耦合，抑制了材料的辐射损耗，因此可获得高Q值。
基于热膨胀系数差异性的温度感知技术结构设计巧妙、具有新颖性，但由于异质复合材料热膨胀系数差异性引起的形变量较为微弱，亦存在温度传感分辨率、灵敏度低以及动态范围小等机理缺陷，目前仅处于理论分析和可行性研究阶段。
汞(Hg，俗称水银)，作为一种人们熟知的天然温度敏感金属材料，具有稳定的体积热膨胀系数(0.18×10-3/℃)，已广泛应用于温度传感等领域(如水银柱温度计、水银开关等)。同时，汞的电导率为1.04×106S/m，是一种良好的导电金属材料。
结合热膨胀理论：
ΔV＝V0·ΔT·γ
ΔV：膨胀体积 V0：初始体积
ΔT：温度变化量 γ：膨胀系数
由上述公式，可得V0∝ΔV，每单位温度变化造成的膨胀体积与初始体积有直接的正相关线性关系，即初始体积越大，每单元温度变化产生膨胀体积越大，对应的谐振结构的形变就越大，采用适当结构时，如线形，环形等，表现为结构中细杆的长度增加越多，即V0∝ΔV，ΔV∝l，然后根据经典偶极子(被介质包裹下)谐振理论：
Figure BDA0002534106340000021
f0：偶极子谐振频率 C0：3·108m/s
l：偶极子长度 εr:介质板相对介电常数
结构的长度增加越多，对应的谐振频率的偏移也就越大，结构也就具有更高的灵敏度。
传感技术的工作原理、实现机理、设计方法、测试技术和降噪技术等，设计出高性能的有线/无线基于汞基超材料的温度传感器件样品，实验验证/标定其温度传感灵敏度、分辨率和感知范围等性能参数，探索其在高精度传感、物联网、智能制造等技术领域中的应用途径和技术方案，具有更高的灵敏度和分辨率特性，同时其设计方法更为简单、制作成本更低。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提出一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，利用该种结构能够制作高精度高灵敏度的温度传感器。
本发明采用的技术方案为：一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，包括周期排列的谐振单元，各谐振单元包裹在介质层中，各谐振单元的结构为：在介质层中产生两个空心储液立体结构，每个空心储液立体结构各连接一中空柱状结构；所述谐振单元中填充液态金属。
本发明的有益效果：本发明研究基于液态金属的高Q值高灵敏度谐振结构，通过研究EIT理论和设计方法，结合液态金属的膨胀性、流动性等特性设计而成，使该谐振单元具有高Q值特性，能实现较高的感知分辨率，同时为了提高温度感知能力，在结构中添加了一个储液结构，从而实现较高的感知灵敏度。
附图说明
图1是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构示意图，其在初始温度条件下谐振在6.5GHz，谐振深度达到-35dB，具有高Q值特性；
图2是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构单个单元三视图；
图3是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的S参数(Q值)数据图；
图4是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的灵敏度数据图；
图5是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的电场幅值和电场矢量方向图；
图6是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的磁场幅值和磁场矢量方向图；
图7是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的电流方向图；
图8是本发明提供的基于液态金属类电磁诱导透明的高Q值温度感知谐振结构的Q值仿真数据图；
图9是本发明提供的基于液态金属类电磁诱导透明的高Q值温度感知谐振结构的温度-频率偏移量和温度-灵敏度变化特性；
其中，图9(a)为温度-频率偏移量，图9(b)为温度-频率变化特性图。
具体实施方式
为便于本领域技术人员理解本发明的技术内容，下面结合附图对本发明内容进一步阐释。
本发明的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，由电磁诱导透明(EIT)理论和液态金属的膨胀性、流动性等特性共同设计而来，所有阵列单元(由液态金属注入构成)被包裹在介质中，液态金属通过在介质成型前或者介质上的通孔注入到介质中。本发明的谐振结构能在随着温度变化在1.8～40GHz产生有21～111的Q值，15～16MHz/℃的灵敏度。
本发明的谐振结构，包括周期排列的谐振单元，各谐振单元包裹在介质层中，各谐振单元的结构为：在介质层中产生两个空心储液立体结构，每个空心储液立体结构各连接一中空柱状结构；所述空心储液球体结构中存储有液态金属。
如图1所示，两个空心储液立体结构为球体，中空柱状结构为细圆柱体，介质层为介电常数为3.2，厚度为12mm的介质板。
如图2所示，本发明的谐振单元的结构参数包括：(1)谐振单元安装周期阵列排列方式；(2)阵列间距；(3)阵列中单元之间的间距；(4)单元形状；(5)单元尺寸；(6)单元中储液球半径R；(7)单元中谐振杆半径r；(8)单元中长谐振杆长度l；(9)阵列单元中的两谐振杆之间的长度差d。通过调节这9个结构参数实现对谐振结构的感知灵敏度的调节。
本实施例单元谐振结构尺寸为：48mm*48mm。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元排列方式为方形阵列排布。
根据本发明的优选实例，所述阵列间距为48mm(2GHz)、9.6mm(10GHz)、4.8mm(20GHz)、2.4mm(40GHz)。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元之间的间距为48mm(2GHz)、9.6mm(10GHz)、4.8mm(20GHz)、2.4mm(40GHz)。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元形状为球形储液结构和圆柱形谐振结构组合而成。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元尺寸为48mm(2GHz)、9.6mm(10GHz)、4.8mm(20GHz)、2.4mm(40GHz)。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元中储液球半径R为4mm(2GHz)、0.8mm(10GHz)、0.4mm(20GHz)、0.2mm(40GHz)。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元中谐振杆半径r为0.2mm(2GHz)、0.04mm(10GHz)、0.02mm(20GHz)、0.01mm(40GHz)。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元中长谐振杆长度l为18mm(2GHz)、6mm(10GHz)、3mm(20GHz)、1.5mm(40GHz)。。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元中的两谐振杆之间的长度差d为4mm(2GHz)、0.8mm(10GHz)、0.4mm(20GHz)、0.2mm(40GHz)。
根据本发明的优选实例，所述阵列单元的理论长度推导和计算公式为：
ΔV＝V0·ΔT·γ
Figure BDA0002534106340000051
Figure BDA0002534106340000052
参照图3-图7，本实施例采用的液态金属为汞(Hg，俗称水银)，其作为一种人们熟知的天然温度敏感金属材料，具有稳定的体积热膨胀系数(0.18×10-3/℃)，已广泛应用于温度传感等领域(如水银柱温度计、水银开关等)。同时，汞的电导率为1.04×106S/m，是一种良好的导电金属材料。以下为本实施例优选提升基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的感知灵敏度的计算过程。
根据热膨胀理论：
△V＝V0·△T·γ (1)
其中，△V：膨胀体积；V0：初始体积；△T：温度变化量；γ：膨胀系数。
由上述公式，可得V0∝ΔV，每单位温度变化造成的膨胀体积与初始体积有直接的正相关线性关系，即初始体积越大，每单元温度变化产生膨胀体积越大，对应的单元结构的形变就越大，采用适当结构时，如线形，环形等，表现为单元结构中细杆的长度增加越多，即V0∝ΔV，ΔV∝l。
本实施例中，初始体积V0可根据下式计算：
Figure BDA0002534106340000053
其中，V0：初始体积；R：储液球体的半径；r：细杆的直径；l：横向细杆的长度；
根据长度随温度的变化，计算长度变化Δl：
Figure BDA0002534106340000054
其中，ΔV：膨胀体积；ΔT：温度变化量；γ：膨胀系数；
然后根据谐振理论：
Figure BDA0002534106340000055
其中，f0：谐振频率；c：3·108m/s；εr：介质板相对介电常数。
单元结构的长度增加越多，对应的谐振频率的偏移也就越大，单元结构也就具有更高的灵敏度。
为了提升谐振结构的感知灵敏度，方法有4种：
方法1：加大结构初始储液体积V0；
方法2：减小单元结构的细杆的直径；
方法3：降低单元结构的细杆的初始长度；
方法4：采用低介电常数εr的介质基板。
根据上述四种方法，恰当的优化结构便可提升谐振结构的感知灵敏度。
同时，由于谐振结构的尺寸是有限的，不能无限放大，在一定的尺寸下，大幅提升灵敏度，意味着每摄氏度的温度变化，带来了较大的细杆长度变化，但是结构可填充的用于汞基膨胀的部分是有限的，那么，谐振结构的感知温度范围必定随着感知灵敏度的提升而降低。
分辨率即谐振结构能获得的最小温度变化精度，其基本计算公式为：
Figure BDA0002534106340000061
其中，tmeas是积分时间，δΩm是在对应积分时间内仪器能分辨出的最小频率偏移量。δΩm的计算可通过直接测试机械谐振频率信号的频率稳定性来获得。
综上所述，本发明实例结合液态金属的膨胀性、流动性等特性设计而成，通过单元结构的尺寸、形状、间隔、介质基板来进行调节，使本发明的谐振结构具有高Q值特性，能实现较高的感知分辨率，同时为了提高温度感知能力，在结构中添加了一个储液结构，从而实现较高的感知灵敏度。
如图3所示是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的S参数(Q值)数据图，其在2.25GHz频率处出现一个透明窗口，证明本发明设计的结构确实出现了类电磁诱导透明现象。
如图4所示是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的灵敏度数据图，表明当本发明结构中的液态金属受环境温度变化导致膨胀时，类电磁诱导透明窗口对应的频率发生快速偏移，证明其具有高度温度敏感性。
如图5所示是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的电场幅值和电场矢量方向图，进一步说明本发明的谐振结构在类电磁诱导透明频率处的电场能量聚集程度，说明其高Q值特性。
如图6所示是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的磁场幅值和磁场矢量方向图，进一步说明本发明的谐振结构在类电磁诱导透明频率处的磁场能量聚集程度，说明其高Q值特性。
如图7所示是本发明提供的基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构的电流方向图，进一步说明本发明的谐振结构在类电磁诱导透明频率处的能量聚集程度，说明其高Q值特性。
如图8所示是本发明提供的基于液态金属类电磁诱导透明的高Q值温度感知谐振结构的Q值仿真数据图，说明本发明的谐振结构随温度变化时的Q值变化特性。图8中横坐标Temperature表示温度，纵坐标表示Q值。
如图9所示是本发明提供的基于液态金属类电磁诱导透明的高Q值温度感知谐振结构的温度-频率偏移量和温度-灵敏度变化特性；图9(a)为温度-频率偏移量，图9(b)为温度-频率变化特性图，可见本发明的谐振结构具有较高的灵敏度。图9(a)中横坐标Temperature表示温度，纵坐标Frequency shift表示频移，图9(b)中横坐标Temperature表示温度，纵坐标sensitivity表示灵敏度。
本领域的普通技术人员将会意识到，这里所述的实施例是为了帮助读者理解本发明的原理，应被理解为本发明的保护范围并不局限于这样的特别陈述和实施例。对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，包括周期排列的谐振单元，各谐振单元包裹在介质层中，各谐振单元的结构为：在介质层中产生两个空心储液立体结构，每个空心储液立体结构各连接一中空柱状结构；所述谐振单元中填充液态金属。
2.根据权利要求1所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，所述空心储液立体结构为正方体、长方体、球体中的一种。
3.根据权利要求2所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，中空的柱状结构为圆柱体或长方体。
4.根据权利要求3所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，所述介质层介电常数为2.5。
5.根据权利要求3所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，所述液态金属为汞、镓铟合金、镓铟锡合金中的一种。
6.根据权利要求3所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，所述周期排列的谐振单元为方形阵列或多边形阵列。
7.根据权利要求6所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，阵列间距为0.5～48mm。
8.根据权利要求7所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，阵列中谐振单元之间的间距为0.5～48mm。
9.根据权利要求7所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，谐振单元尺寸为1～48mm。
10.根据权利要求2所述的一种基于液态金属的类电磁诱导透明高Q值温度感知谐振结构，其特征在于，当空心储液立体结构为球体时，球体半径为0.2～4mm，优选的，当中空的柱状结构为圆柱体时，半径为0.01～0.4mm；优选的，两中空柱状结构之间的长度差为-4～+4mm；优选的，较长的这个中空柱状结构长度为1.5～30mm。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105161858A (zh) * 2015-10-10 2015-12-16 复旦大学 一种基于可调超表面的圆极化旋向调控器及其设计方法
CN107834207A (zh) * 2017-11-28 2018-03-23 电子科技大学 一种汞基温度可调谐电磁超材料及制造方法
CN110416736A (zh) * 2019-07-23 2019-11-05 电子科技大学 一种基于温敏液态金属的可编码电磁超材料

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105161858A (zh) * 2015-10-10 2015-12-16 复旦大学 一种基于可调超表面的圆极化旋向调控器及其设计方法
CN107834207A (zh) * 2017-11-28 2018-03-23 电子科技大学 一种汞基温度可调谐电磁超材料及制造方法
CN110416736A (zh) * 2019-07-23 2019-11-05 电子科技大学 一种基于温敏液态金属的可编码电磁超材料

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
HUALONG YU等: "Study on the Characteristics of Mercury-based Electromagnetic Metamaterials and Its Temperature Sensing Technology", 《2019 PHOTONICS & ELECTROMAGNETICS RESEARCH SYMPOSIUM-FALL》 *
吴之淏: "可编码电磁超结构关键技术研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库工程科技辑》 *

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