CN111735776A - 基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于高光谱偏振成像技术领域，具体公开了一种基于微纳法布里‑珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，包括：沿入射光方向依次设置的第一光学镜组、电控检偏模块、微纳法布里‑珀罗谐振腔阵列、第二光学镜组和探测器，及数据采集控制和处理系统；第一光学镜组，用于收集二维空间目标发出的光作为入射光；电控检偏模块，用于将不完全偏振光检偏为不同检偏方向的线偏振光；微纳法布里‑珀罗谐振腔阵列，用于获得每个方向的线偏振光的多个波段的光谱；第二光学镜组，用于各波段光谱分别汇聚至探测器；本发明能够实现画幅式偏振高光谱图像信息高速、高分辨率和高精度的采集。

Description

基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置

技术领域

本发明属于光学遥感探测技术，特别是一种基于微纳法布里-珀罗谐振腔 的偏振高光谱成像装置。

背景技术

物体辐射的电磁波中含有目标的空间、光谱和偏振等重要遥感信息，不仅 能用于反演目标的形态及物理化学等特性，还能去除背景噪声提供高对比度的 表面、形貌、阴影和粗糙度等信息。为使空间、光谱和偏振三维信息优势互补， 增强探测复杂背景中目标的能力，应运而生了集三维信息获取技能于一体的新 型前沿遥感探测技术：偏振光谱成像技术。

偏振高光谱成像技术是融合了光谱测量、偏振测量和成像技术的一种新型 光电成像探测技术，它可以同时获取目标反射光的强度信息、光谱信息和偏振 信息等三种本征信息。该技术能够反演目标在不同光谱波段下的强度特性和偏 振特性，较大提高光对目标本征信息的描述能力，使目标探测识别更准确。

偏振高光谱成像技术是由偏振成像技术和高光谱分光技术融合而成，后两 者自身工作特点决定着前者的特性。现有的偏振成像技术通常为调整偏振分析 器、分孔径偏振成像、分振幅偏振成像、分光偏振成像、分像素偏振成像之一 实现，现有的高光谱成像技术通常借助不同的光谱处理机制实现二维场景的高 光谱图像，常见的光谱处理机制例如：色散型光谱处理机制、干涉型光谱处理 机制、滤光片型光谱处理机制。

色散型光谱处理机制是基于狭缝和色散元件，采用推扫方式获取二维场景 的光谱图像。整体存在着光谱分辨率和光通量受到狭缝制约，且需要推扫才能 实现二维场景图像信息的采集的不足。

干涉式光谱处理机制通过干涉仪分光，对干涉结果进行傅里叶变换后得到 光谱信息。整体存在着干涉仪内部大多需要运动部件产生干涉，抗震能力较差， 且同样需要推扫才能实现二维场景图像信息的采集的不足。

滤光片型光谱处理机制通过滤光片实现分谱。整体存在着一个滤光片只能 获得一个单个光谱波段的二维场景图像信息采集，全光谱成像需要通过切换滤 光片分时获取的不足。

整体的，采用现有技术搭建的偏振高光谱成像装置存在着结构、光谱获取 速度、偏振成像精度、光谱覆盖范围、光谱分辨率之间的相互制衡，很难同时 优化结构、偏振成像精度、光谱覆盖范围、光谱分辨率各项指标。

发明内容

本发明的目的是提供一种基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像 装置，以解决现有技术中的不足。

本发明采用的技术方案如下：

一种基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，包括：

沿入射光方向依次设置的第一光学镜组、电控检偏模块、微纳法布里-珀 罗谐振腔阵列、第二光学镜组和探测器，及数据采集控制和处理系统；

所述第一光学镜组，用于收集二维空间目标发出的光作为入射光，其中， 所述入射光为不完全偏振光；所述电控检偏模块，用于将所述不完全偏振光检 偏为不同检偏方向的线偏振光；所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列，用于获得 每个方向的所述线偏振光的多个波段的光谱；第二光学镜组，用于各波段所述 光谱分别汇聚至所述探测器；所述数据采集控制和处理系统，用于控制所述电 控检偏模块获得不同检偏方向，且控制所述探测器快照所述待探测光谱得到每 个偏振方向的高光谱数据立方体，和处理所述高光谱数据立方体。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述第一光学镜组包括望远物镜、显微物镜和普通物镜之一。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述电控检偏模块包括第一偏振片和第一电机；所述第一电机控 制所述第一偏振片的旋转获得不同检偏方向的偏振片；所述第一电机的输入端 连接所述数据采集控制和处理系统的输出端。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述第一偏振片为宽带高消光比偏振片。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述第一电机为高速高精度步进电机。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述电控检偏模块还包括退偏器；所述退偏器沿入射光的方向设 置，且设置在所述第一偏振片和所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列之间。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列包括多个法布里-珀罗谐振腔单 元；各所述法布里-珀罗谐振腔单元的两相对设置的反射件之间的距离不一样。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述第二光学镜组为微透镜阵列；所述微透镜阵列与所述微纳法 布里-珀罗谐振腔阵列一一对应设置。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述探测器为SCMOS传感器。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述不同检偏方向包括0°检偏方向、60°检偏方向和120°检偏 方向。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述偏振高光谱成像装置还包括：沿入射光方向设置的第一带通 滤波器；所述第一带通滤波器设置在所述第一光学镜组远离所述电控检偏模块 的一侧。

如上所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其中， 优选的是，所述第一带通滤波器包括高通滤光片和近红外滤光片。

与现有技术相比，本发明通过借助光学镜组收集二维空间目标发出的光作 为入射光，通过电控检偏模块将入射光检偏为不同检偏方向的线偏振光，而对 于每个方向的线偏振光借助微纳法布里-珀罗谐振腔阵列获得该线偏振光多个 波段的光谱，之后对该线偏振光多个波段的光谱进行汇聚、探测和处理，进而 获得二维空间目标的高光谱斯托克斯参量数据立方体(英文名称：Stokes Parameters，包括S0、S1、S2)和高光谱线偏振度数据立方体(英文名称： Degree of Line Polarization，简称：DoLP)，进而实现了画幅式偏振高光谱 图像信息高速、高分辨率和高精度的采集。

附图说明

图1是本申请提供的一种基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像 装置的原理图；

图2是本申请提供的一种基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像 装置的实物图；

图3是法布里-珀罗谐振腔单元原理示意图；

图4是本申请提供的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置 在使用的时候，按像素采集不同波段的偏振信息的简图；

图5是本申请提供的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置 在使用的时候，单像素单波段成像过程的简图；；

图6是数据采集控制和处理系统处理0°、60°和120°偏振方向的高光 谱数据立方体的流程示意图。

图7是处理得到的各波段斯托克斯参量数据(以S0参量为例)；

图8是处理得到的各波段DoLP参数数据。

具体实施方式

下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能 解释为对本发明的限制。

本发明的实施例提供了一种基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成 像装置，如图1所示，该基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置 包括：沿入射光方向依次设置的第一光学镜组、电控检偏模块、微纳法布里- 珀罗谐振腔阵列、第二光学镜组和探测器，及数据采集控制和处理系统。

所述第一光学镜组，用于收集二维空间目标发出的光作为入射光，其中， 所述入射光为不完全偏振光；所述电控检偏模块，用于将所述不完全偏振光检 偏为不同检偏方向的线偏振光；所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列，用于获得 每个方向的所述线偏振光的多个波段的光谱；第二光学镜组，用于各波段所述 光谱分别汇聚至所述探测器；所述数据采集控制和处理系统，用于控制所述电 控检偏模块获得不同检偏方向，且控制所述探测器快照所述待探测光谱得到每 个偏振方向的高光谱数据立方体，和处理所述高光谱数据立方体。

本申请通过借助光学镜组收集二维空间目标发出的光作为入射光，通过电 控检偏模块将入射光检偏为不同检偏方向的线偏振光，而对于每个方向的线偏 振光借助微纳法布里-珀罗谐振腔阵列获得该线偏振光多个波段的光谱，之后 对该线偏振光多个波段的光谱进行汇聚、探测和处理，进而获得二维空间目标 的高光谱斯托克斯参量数据立方体(英文名称：Stokes Parameters，包括S0、 S1、S2)和高光谱线偏振度数据立方体(英文名称：Degree of Line Polarization，简称：DoLP)，进而实现了画幅式偏振高光谱图像信息高速、 高分辨率和高精度的采集。

在具体实施的时候，以上所描述的第一光学镜组、电控检偏模块、微纳法 布里-珀罗谐振腔阵列、第二光学镜组、探测器和数据采集控制和处理系统各 单元之间围绕高空间分辨率、高光谱分辨率和高偏振测量精度的数据采集效果 以及整套装置的小型化由本申请人精心设计，这也是诸如本申请的基于微纳法 布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置的光学系统设计的难点，性能良好的 光学系统是有机整体配合才能达到预设效果，是围绕某一部件改进而牵一发动 全身的设计工作量，而不是系统各光学部件简单叠加的，这是光学系统的基础 但是难点的地方，所以图2提供提供本申请的一种基于微纳法布里-珀罗谐振 腔的偏振高光谱成像装置的实物图，以基于实物配合达到本申请预设效果。

请进一步参考图2所示，在本申请中，所述第一光学镜组包括望远物镜、 显微物镜和普通物镜之一。望远物镜、显微物镜和普通物镜作为二维空间目标 的观测工具，具有很强的实用性。本申请中，考虑到遥感探测的应用场景，本 申请优选望远物镜。同时，考虑装置的集成和小尺寸需求，采用Nikon-F卡口 镜头作为望远镜的物镜。

再者，只是如果单纯只使用望远物镜捕获二维空间目标发射的光(即入射 光)，此时得到的入射光是复色不完全偏振光，包含了自然界的各个波段，所 以，在具体实施的时候，需要在望远镜的物镜上加设第一带通滤光片(即图2 的带通滤光片)，使得望远镜捕获的入射光为指定宽波段的复色不完全偏振光， 即所述偏振高光谱成像装置还包括：沿入射光方向设置的第一带通滤波器(即 图2的带通滤光片)；所述第一带通滤波器设置在所述第一光学镜组远离所述 电控检偏模块的一侧。在具体实施的时候，所述第一带通滤波器可以通过高通 滤光片和近红外滤光片的组合实现。

另外，本申请的所述电控检偏模块用于将所述不完全偏振光检偏为不同检 偏方向的线偏振光，所以设置所述电控检偏模块包括第一偏振片(即图2的宽 带高消光比偏振片)和第一电机(即图2的高速高进度步进电机)；所述第一 电机控制所述第一偏振片的旋转获得不同检偏方向的偏振片；所述第一电机的 输入端连接所述数据采集控制和处理系统(对应图2的控制采集单元和数据处 理系统两部分，第一电机的输入端连接控制采集单元)的输出端。

在具体实施的时候，第一偏振片为宽带高消光比偏振片，宽带高消光比偏 振片将经过第一光学镜组，具体的，经过高通滤光片、近红外滤光片、望远镜 的物镜之后的入射光进行检偏，将从物镜射出的复色不完全偏振光变为线偏振 光。其中：线偏振光的方向与第一偏振片，即宽带高消光比偏振片，的偏置方 向有关。本实施例中，宽带高消光比偏振片的偏振方向由第一电机(即图2 的高速高进度步进电机)控制，所述第一电机(即图2的高速高进度步进电机) 控制所述第一偏振片的旋转获得的不同检偏方向有0°、60°和120°；为实现所述第一偏振片旋转和采样时间的平衡，本实施例的第一电机需要采用高速 高进度的步进电机。

另外，本申请在该系统的搭建、测试和使用过程中，经过大量实验发现， 从第一偏振片射出的线偏振光如果不做处理，直接进入微纳法布里-珀罗谐振 腔阵列，则线偏振光会在微纳法布里-珀罗谐振腔阵列内，在微纳法布里-珀罗 谐振腔阵列的各微纳法布里-珀罗谐振腔作用下，出现偏振状态改变，进而使 得微纳法布里-珀罗谐振腔存在较大随机噪声的情况。为克服这一现象，本申 请独特性的在第一偏振片和微纳法布里-珀罗谐振腔阵列之间设置退偏器，即 所述电控检偏模块还包括退偏器；所述退偏器沿入射光的方向设置，且设置在 所述第一偏振片和所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列之间。退偏器使线偏振光 变成伪随机偏振的不完全偏振光，保留了入射线偏振光的振幅信息，且不会在 F-P谐振腔中产生随机噪声。

而本申请用于用于获得每个方向的所述线偏振光的多个波段的光谱的微 纳法布里-珀罗谐振腔阵列是由不同透过光谱的法布里-珀罗谐振腔(即法布里 -珀罗谐振腔单元，或F-P谐振腔)构成的滤光组件阵列，设置F-P谐振腔的 数量决定波段数量。示例性的，如图4所示，本实施例的微纳法布里-珀罗谐 振腔阵列是由5×5个不同透过光谱的F-P谐振腔组成的，因此可以在5×5 个像素区域内采集25个波段的光谱信息。

进一步，参考图3所示，每个F-P谐振腔是一种由两块平行的反射件(包 括但不限于玻璃板)组成的多光束干涉仪，其中两块反射件相对的内表面都具 有高反射率。当入射光的频率满足其共振条件时，其透射频谱会出现很高的峰 值，对应着很高的透射率。如图3所示，通过调整两片玻璃板的距离L，实现 不同波长光的调制。其分谱公式为：

kλ＝2nLcosθ

式中k为谐波阶数，n为谐振腔内壁反射率，θ为出射夹角，L为谐振腔两 反射件之间的间距。

当固定n、θ和L时，入射复色光在腔内多次反射产生干涉，从而实现特定 波长λ的透射。在微纳F-P谐振腔阵列中各个F-P谐振腔通过控制内部间距L实现 不同波长透过。在波长选通过程中，F-P谐振腔产生多阶谐波，其中一阶和二 阶谐波能量较强，且一阶和二阶谐波峰值波长存在一定的间隔，为了在一定光 谱范围内抑制谐波间的干扰，在光入射F-P谐振腔之前采用由可见光高通滤光 片和近红外低通滤光片组合而成的带通滤光片抑制谐波干扰。光谱选通后的光 通过第二光学镜组汇聚至所述探测器。

其中，所述第二光学镜组为微透镜阵列，微透镜阵列与所述微纳法布里- 珀罗谐振腔阵列一一对应设置，同时，微透镜阵列将光谱能量汇聚到探测器， 探测器选用SCMOS成像传感器表面。所以光谱选通后的光通过微透镜阵列将能 量汇聚到SCMOS成像传感器表面。相比普通的CMOS成像传感器，SCMOS成像 传感器具备量子效率高、读出噪声低等特性；相比CCD成像传感器，SCMOS成 像传感器具备功耗低、体积小、结构简单等特性。所以，在偏振高光谱信息获 取过程中，光经过检偏和分谱模块后能量衰减较多，使用高量子效率和低读出 噪声的SCMOS成像传感器可实现弱信号检测。

在具体实施的时候，数据采集控制和处理系统，一方面，制所述探测器快 照所述待探测光谱得到每个偏振方向的高光谱数据立方体(即图2的控制采集 单元)，具体为控制SCMOS成像传感器的光谱快照，另一方面控制所述电控检 偏模块获得不同检偏方向，具体为控制上述的宽带高消光比偏振片获得不同方 向的偏振片(即图2的控制采集单元)，在本实施例中，在完成一个偏振方向 信息采集后，由高速高精度步进电机(即第一电机)将偏振片(即宽带高消光 比偏振片)快速切换至下一个角度(约50ms)，完成三个偏振角度的信息采集 (在单幅图像积分时间15ms情况下，约200ms可完成三个偏振角度高光谱数 据采集，每分钟可采集5组偏振高光谱图像数据。)；再一方面，处理0°、60° 和120°偏振方向的高光谱数据立方体(即图2的数据处理系统)，如图6所 示，具体处理流程如下：

(1)0°、60°和120°偏振方向高光谱数据立方体首先经过高光谱数据 立方体解算模块，将高光谱数据立方体解算成0°、60°和120°偏振方向单 波段图像数据。

(2)根据光谱定标系数将单波段图像数据赋予正确的中心波长参数实现 光谱校正。

(3)根据辐射定标系数将各波段图像数据中的图像灰度值转换为定量化 的辐亮度图像和反射率图像实现辐射校正。

(4)根据偏振定标系数校正整个光学系统的偏振测量误差，以及校正偏 振片的偏振方向安装和转动误差实现偏振校正。

(5)通过斯托克斯公式对光谱偏振信息进行解算，得出高光谱斯托克斯 参量数据立方体(包括S0、S1、S2参量)、高光谱偏振度数据立方体(DoLP)， 具体计算公式如下所示。

需要说明的是，上述的控制采集单元和数据梳理系统共同构成数据采集控 制和处理系统，数据采集控制和处理系统可以通过软硬件结合的方式实现，在 此并不做具体展开说明。

本申请提供的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，在使 用的时候，按像素采集不同波段的偏振信息，采集装置简图如图4所示，具体 步骤如下：

(1)从空间二维目标捕获的入射光为复色不完全偏振光，该光首先通过 带通滤光片获得波段选通的复色不完全偏振光。

(2)该复色不完全偏振光通过偏振分析器中的高消光比偏振片(即第一 偏振片)，实现了检偏过程，转变为复色线偏振光。为了减少后续光学器件对 线偏振光性质的影响，将复色线偏振光通过偏振分析器中的退偏器，保留线偏 振光中的振幅分量，将复色线偏振光转换为复色伪随机不完全偏振光。

(3)该复色伪随机不完全偏振光继续通过5×5的微纳F-P谐振腔阵列， 获得单色光。由于在5×5的微纳F-P谐振腔阵列中不同位置光谱选通波段不 一样，因此获得的单色光为不同波段的。

(4)经过检偏后的不同波段的单色光汇聚至SCMOS成像传感器单个像素 后完成了单波段偏振信息的采集。当5×5阵列同时完成分谱和汇聚后，即完 成了对二维场景某一点的25个波段偏振信息的采集，单像素单波段成像过程 如图5所示。

(5)基于数据采集控制和处理系统不采集到的光谱进行如图6所示的处 理，获得如图7和图8的处理结果。

综上，本申请提供的基于微纳F-P谐振腔阵列的画幅式偏振高光谱成像装 置，具有以下优势：

(1)该装置可实现画幅式偏振高光谱图像信息高速采集。

(2)由于采用了微纳F-P谐振腔阵列，使得光谱覆盖范围包含可见光到 近红外(600nm-1000nm)，可进行快速偏振信息和实时光谱信息的采集，其采 集的偏振高光谱数据具备高空间分辨率、光谱分辨率和高偏振测量精度。

(3)该装置采用高速旋转的宽带高消光比偏振片和退偏器组合而成，既 实现了0°、60°和120°快速检偏的功能，又解决了检偏后线偏振光受后续 光学器件干扰的问题。

(4)该装置采用带通滤光片、微纳F-P谐振腔阵列和微透镜阵列等器件 组合而成，在微米数量级实现了像素级光谱选通，结构紧凑小巧。

(5)该装置中成像模块采用SCMOS成像传感器，使整个装置在小体积低 功耗条件下保持较高的探测效率。

整体上，在光学系统上，本发明提供一种结构简单、偏振成像精度高、光 谱覆盖范围广、光谱分辨率高的画幅式偏振高光谱成像装置，解决了快速获取 二维空间目标的偏振高光谱图像信息、高速处理偏振高光谱图像信息等难题； 本发明在偏振成像技术基础上融合微纳F-P谐振腔阵列快速像素级分谱技术， 极大简化高光谱成像结构。

以上依据图式所示的实施例详细说明了本发明的构造、特征及作用效果， 以上所述仅为本发明的较佳实施例，但本发明不以图面所示限定实施范围，凡 是依照本发明的构想所作的改变，或修改为等同变化的等效实施例，仍未超出 说明书与图示所涵盖的精神时，均应在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，包括：

沿入射光方向依次设置的第一光学镜组、电控检偏模块、微纳法布里-珀罗谐振腔阵列、第二光学镜组和探测器，及数据采集控制和处理系统；

所述第一光学镜组，用于收集二维空间目标发出的光作为入射光，其中，所述入射光为不完全偏振光；

所述电控检偏模块，用于将所述不完全偏振光检偏为不同检偏方向的线偏振光；

所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列，用于获得每个方向的所述线偏振光的多个波段的光谱；

第二光学镜组，用于各波段所述光谱分别汇聚至所述探测器；

所述数据采集控制和处理系统，用于控制所述电控检偏模块获得不同检偏方向，且控制所述探测器快照所述待探测光谱得到每个偏振方向的高光谱数据立方体，和处理所述高光谱数据立方体。

2.根据权利要求1所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述第一光学镜组包括望远物镜、显微物镜和普通物镜之一。

3.根据权利要求1所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述电控检偏模块包括第一偏振片和第一电机；

所述第一电机控制所述第一偏振片的旋转以获得不同检偏方向的偏振片；

所述第一电机的输入端连接所述数据采集控制和处理系统的输出端。

4.根据权利要求3所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述电控检偏模块还包括退偏器；

所述退偏器沿入射光的方向设置，且设置在所述第一偏振片和所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列之间。

5.根据权利要求1所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列包括多个法布里-珀罗谐振腔单元；

各所述法布里-珀罗谐振腔单元的两相对设置的反射件之间的距离不一样。

6.根据权利要求1所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述第二光学镜组为微透镜阵列；

所述微透镜阵列与所述微纳法布里-珀罗谐振腔阵列一一对应设置。

7.根据权利要求1所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述探测器为SCMOS传感器。

8.根据权利要求1所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述不同检偏方向包括0°检偏方向、60°检偏方向和120°检偏方向。

9.根据权利要求1-8任一项所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述偏振高光谱成像装置还包括：

沿入射光方向设置的第一带通滤波器；

所述第一带通滤波器设置在所述第一光学镜组远离所述电控检偏模块的一侧。

10.根据权利要求9所述的基于微纳法布里-珀罗谐振腔的偏振高光谱成像装置，其特征在于，所述第一带通滤波器包括高通滤光片和近红外滤光片。

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