CN111707291A - 一种星敏感器焦平面自动装校装置及自动装校方法 - Google Patents
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Abstract
一种星敏感器焦平面自动装校装置及自动装校方法，采用三坐标测量仪对星敏感器探测组件中的机械元件进行定位，采用视觉检测系统对星敏感器探测组件中的光学元件进行定位，控制器计算星敏感器探测组件中的光学元件和机械元件的位置差，并控制姿态自动调节系统根据位置差调整星敏感器探测组件中光学元件和机械元件之间的相对位置，最终完成校准安装。本发明可以高效和高精度地完成星敏感器焦平面的装校，有效提高装校精度和生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种星敏感器焦平面自动装校装置及自动装校方法，属于光电检测技术领域中对光学原件和机械元件进行检测和定位的设备及方法。
背景技术
星敏感器是一种以恒星为参照，为空间工作对象提供高精度姿态定位的仪器，其广泛应用于航空航天领域，比如卫星、导弹、空间站等。星敏感器的高精度正是其区别于传统导航方法的优势所在，而如果星敏感器焦平面装校精度低的话，那么将对星敏感的总体精度有着严重的影响，从而降低了其优势。
针对于星敏感器焦平面的装校，现有的方法中所涉及的专利和文章如下：《一种面阵CCD靶面与安装定位面平行度的光学检测方法》，专利号ZL201010529683，此方法中用工具显微镜进行读取CCD靶面四个顶点和机械面的数值进而对CCD靶面进行调整；《基于光学望远镜成像系统的CCD中心及焦平面调整方法》，专利号ZL201110103700，此方法采用目镜和光学分划板十字丝配合的方式来进行检测，进而对焦平面进行调整；梅贵，翟岩，苗健宇等.星载离轴多光普相机焦平面的装调与检测[J].中国光学,2016,9(04):491-500，此文中主要采用了ZYGO干涉仪和自准直经纬仪来进行检测。
当前星敏感器的装校主要是采用相应的干涉仪、自准直仪、显微镜等进行检测，然后通过人工调整这样的方法进行，此过程存在着效率低、精度差且人工装校同一批产品精度差异大等问题，无法满足星敏感器对高精度的要求。除此以外，面对着航天航空向着民用方面发展，对星敏感器的需求更加的广泛和需要数量也更加的多，现有的星敏感器焦平面的装校方法已无法满足星敏感器对精度和生产效率的需求。
发明内容
本发明提供一种星敏感器焦平面自动装校装置及自动装校方法，可以高效和高精度地完成星敏感器焦平面的装校，有效提高装校精度和生产效率。
为了达到上述目的，本发明提供一种星敏感器焦平面自动装校装置，包含：
姿态自动调节系统，其用于调整星敏感器探测组件中各个元件之间的相对位置；
三坐标测量仪，其用于测量星敏感器探测组件中的机械元件的位置；
视觉检测系统，其用于测量星敏感器探测组件中的光学元件的位置；
控制器，其分别连接三坐标测量仪、视觉检测系统和姿态自动调节系统，用于根据三坐标测量仪和视觉检测系统的测量结果，计算星敏感器探测组件中的光学元件和机械元件的位置差，并控制姿态自动调节系统根据位置差调整星敏感器探测组件中光学元件和机械元件之间的相对位置，完成校准安装。
所述的姿态自动调节系统包含：
六维调节器，其设置在所述的三坐标测量仪的平台上，可以实现上下左右前后移动；
夹具，其固定在六维调节器上，用于夹持待校装的元件；
基座，其设置在所述的三坐标测量仪的平台上，用于固定待校装的元件。
本发明还提供一种星敏感器焦平面自动装校方法，采用所述的星敏感器焦平面自动装校装置对星敏感器焦平面进行自动装校，所述的星敏感器焦平面自动装校方法采用三坐标测量仪对星敏感器探测组件中的机械元件进行定位，采用视觉检测系统对星敏感器探测组件中的光学元件进行定位，控制器计算星敏感器探测组件中的光学元件和机械元件的位置差，并控制姿态自动调节系统根据位置差调整星敏感器探测组件中光学元件和机械元件之间的相对位置，最终完成校准安装。
所述的星敏感器焦平面自动装校方法包含以下步骤：
步骤1、将致冷器焊接在基准块上，然后将此整体放在基座上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪测量此时基准块的空间坐标并反馈给控制器；
将探测器固定在夹具上，通过视觉检测系统测量此时探测器的空间坐标并反馈给控制器；
控制器计算基准块的空间坐标和探测器的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统中的六维调节器；
六维调节器根据坐标差值带动夹具移动，调整探测器的空间位置使其与基准块的空间位置匹配，并将探测器胶装到致冷器上，形成探测器单元；
步骤2、将底座放在基座上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪测量此时底座的空间坐标并反馈给控制器；
将探测器单元固定在夹具上，通过视觉检测系统测量此时探测器单元的空间坐标并反馈给控制器；
控制器计算底座的空间坐标和探测器单元的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统中的六维调节器；
六维调节器根据坐标差值带动夹具移动，调整探测器单元的空间位置使其与底座的空间位置匹配，并将探测器单元固定安装到底座上；
步骤3、将底座放在基座上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪测量此时底座的空间坐标并反馈给控制器；
将棱镜固定在夹具上，通过视觉检测系统测量此时棱镜的空间坐标并反馈给控制器；
控制器计算底座的空间坐标和棱镜的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统中的六维调节器；
六维调节器根据坐标差值带动夹具移动，调整棱镜的空间位置使其与底座的空间位置匹配，并将棱镜胶装到底座上。
在自动装校之前，通过控制器将三坐标测量仪、视觉检测系统和姿态自动调节系统的初始位置设置成零位。
本发明通过三坐标测量仪和视觉检测系统对需要装校的机械元件和光学元件进行空间位置标定，并通过六维调节器对需要调节空间位置的元件进行自动调节，可以高效和高精度地完成星敏感器焦平面的装校，有效提高装校精度和生产效率。
附图说明
图1是星敏感器探测组件的结构示意图。
图2是探测器单元的结构示意图。
图3是本发明提供的一种星敏感器焦平面自动装校装置的结构示意图。
图4是姿态自动调节系统的结构示意图。
具体实施方式
以下根据图1～图4，具体说明本发明的较佳实施例。
如图1所示，所述的星敏感器探测组件包含：探测器单元9、底座10和棱镜11，所述的探测器单元9和棱镜11都是安装在其底座10上。如图2所示，在探测器单元9中，致冷器13焊接在基准块14上，探测器12通过胶沾在致冷器13上。
如图3所示，为了解决现在星敏感器焦平面装校精度差和效率低等问题，本发明提供一种星敏感器焦平面自动装校装置，包含：
姿态自动调节系统3，其用于调整星敏感器探测组件中各个元件之间的相对位置；
三坐标测量仪1，其用于测量星敏感器探测组件中的机械元件的位置；
视觉检测系统2，其用于测量星敏感器探测组件中的光学元件的位置；
控制器4，其分别连接三坐标测量仪1、视觉检测系统2和姿态自动调节系统3，用于根据三坐标测量仪1和视觉检测系统2的测量结果，计算星敏感器探测组件中的光学元件和机械元件的位置差，并控制姿态自动调节系统3根据位置差调整星敏感器探测组件中光学元件和机械元件之间的相对位置，完成校准安装。
在本发明的一个实施例中，所述的视觉检测系统2集成在三坐标测量仪1上，姿态自动调节系统3固定在三坐标测量仪1的平台上。所述的控制器4可以采用任何具有计算功能的个人计算机，或移动终端，或CPU，或DSP等等。
如图4所示，所述的姿态自动调节系统3包含：
六维调节器5，其设置在所述的三坐标测量仪1的平台上，可以实现上下左右前后移动；
夹具6，其固定在六维调节器5上，用于夹持待校装的元件；
基座8，其设置在所述的三坐标测量仪1的平台上，用于固定待校装的元件。
本发明还提供一种星敏感器焦平面自动装校方法，采用三坐标测量仪对星敏感器探测组件中的机械元件进行定位，采用视觉检测系统对星敏感器探测组件中的光学元件进行定位，控制器计算星敏感器探测组件中的光学元件和机械元件的位置差，并控制姿态自动调节系统根据位置差调整星敏感器探测组件中光学元件和机械元件之间的相对位置，最终完成校准安装。
如图1、图2和图4所示，所述的一种星敏感器焦平面自动装校方法包含以下步骤：
步骤S1、搭建星敏感器焦平面自动装校装置；
将三坐标测量仪1、视觉检测系统2和姿态自动调节系统3与控制器4进行连通；
步骤S2、初始化；
通过控制器4将三坐标测量仪1、视觉检测系统2和姿态自动调节系统3初始位置设置成零位；
步骤S3、将星敏感器探测组件中待校装的机械元件固定在基座8上，将星敏感器探测组件中待校装的光学元件夹持在夹具6上；
步骤S4、通过三坐标测量仪1测量星敏感器探测组件中待校装的机械元件的空间位置，通过视觉检测系统2测量星敏感器探测组件中待校装的光学元件的空间位置；
步骤S5、控制器4计算星敏感器探测组件中待校装的光学元件和机械元件的位置差；
步骤S6、控制器4根据位置差控制夹持在夹具6上的待校装的光学元件相对于固定在基座8上的待校装的机械元件的姿态调整，从而完成光学元件和机械元件的校准安装。
在本发明的一个实施例中，采用星敏感器焦平面自动装校装置对星敏感器探测组件进行自动装校，该星敏感器焦平面自动装校方法具体包含以下步骤：
步骤1、将致冷器13焊接在基准块14上，然后将此整体放在基座8上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪1测量此时基准块14的空间坐标并反馈给控制器4；
将探测器12固定在夹具6上，通过视觉检测系统2测量此时探测器12的空间坐标并反馈给控制器4；
控制器4计算基准块14的空间坐标和探测器12的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统3中的六维调节器5；
六维调节器5根据坐标差值带动夹具6移动，调整探测器12的空间位置使其与基准块14的空间位置匹配，并将探测器12胶装到致冷器13上，形成探测器单元9；
步骤2、将底座10放在基座8上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪1测量此时底座10的空间坐标并反馈给控制器4；
将探测器单元9固定在夹具6上，通过视觉检测系统2测量此时探测器单元9的空间坐标并反馈给控制器4；
控制器4计算底座10的空间坐标和探测器单元9的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统3中的六维调节器5；
六维调节器5根据坐标差值带动夹具6移动，调整探测器单元9的空间位置使其与底座10的空间位置匹配，并将探测器单元9固定安装到底座10上；
步骤3、将底座10放在基座8上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪1测量此时底座10的空间坐标并反馈给控制器4；
将棱镜11固定在夹具6上，通过视觉检测系统2测量此时棱镜11的空间坐标并反馈给控制器4；
控制器4计算底座10的空间坐标和棱镜11的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统3中的六维调节器5；
六维调节器5根据坐标差值带动夹具6移动，调整棱镜11的空间位置使其与底座10的空间位置匹配，并将棱镜11胶装到底座10上。
在本发明的实施例中，在待装校的两元件(机械元件或光学元件)的接触面点胶后，仍然可以进行装配和校定。
本发明通过三坐标测量仪和视觉检测系统对需要装校的机械元件和光学元件进行空间位置标定，并通过六维调节器对需要调节空间位置的元件进行自动调节，可以高效和高精度地完成星敏感器焦平面的装校，有效提高装校精度和生产效率，可以广泛应用于军用和民用领域中涉及光机装校领域。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。
Claims (5)
1.一种星敏感器焦平面自动装校装置，其特征在于，包含：
姿态自动调节系统，其用于调整星敏感器探测组件中各个元件之间的相对位置；
三坐标测量仪，其用于测量星敏感器探测组件中的机械元件的位置；
视觉检测系统，其用于测量星敏感器探测组件中的光学元件的位置；
控制器，其分别连接三坐标测量仪、视觉检测系统和姿态自动调节系统，用于根据三坐标测量仪和视觉检测系统的测量结果，计算星敏感器探测组件中的光学元件和机械元件的位置差，并控制姿态自动调节系统根据位置差调整星敏感器探测组件中光学元件和机械元件之间的相对位置，完成校准安装。
2.如权利要求1所述的星敏感器焦平面自动装校装置，其特征在于，所述的姿态自动调节系统包含：
六维调节器，其设置在所述的三坐标测量仪的平台上，可以实现上下左右前后移动；
夹具，其固定在六维调节器上，用于夹持待校装的元件；
基座，其设置在所述的三坐标测量仪的平台上，用于固定待校装的元件。
3.一种星敏感器焦平面自动装校方法，采用如权利要求1或2所述的星敏感器焦平面自动装校装置对星敏感器焦平面进行自动装校，其特征在于，所述的星敏感器焦平面自动装校方法采用三坐标测量仪对星敏感器探测组件中的机械元件进行定位，采用视觉检测系统对星敏感器探测组件中的光学元件进行定位，控制器计算星敏感器探测组件中的光学元件和机械元件的位置差，并控制姿态自动调节系统根据位置差调整星敏感器探测组件中光学元件和机械元件之间的相对位置，最终完成校准安装。
4.如权利要求3所述的星敏感器焦平面自动装校方法，其特征在于，所述的星敏感器焦平面自动装校方法包含以下步骤：
步骤1、将致冷器焊接在基准块上，然后将此整体放在基座上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪测量此时基准块的空间坐标并反馈给控制器；
将探测器固定在夹具上，通过视觉检测系统测量此时探测器的空间坐标并反馈给控制器；
控制器计算基准块的空间坐标和探测器的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统中的六维调节器；
六维调节器根据坐标差值带动夹具移动，调整探测器的空间位置使其与基准块的空间位置匹配，并将探测器胶装到致冷器上，形成探测器单元；
步骤2、将底座放在基座上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪测量此时底座的空间坐标并反馈给控制器；
将探测器单元固定在夹具上，通过视觉检测系统测量此时探测器单元的空间坐标并反馈给控制器；
控制器计算底座的空间坐标和探测器单元的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统中的六维调节器；
六维调节器根据坐标差值带动夹具移动，调整探测器单元的空间位置使其与底座的空间位置匹配，并将探测器单元固定安装到底座上；
步骤3、将底座放在基座上并进行夹紧固定，通过三坐标测量仪测量此时底座的空间坐标并反馈给控制器；
将棱镜固定在夹具上，通过视觉检测系统测量此时棱镜的空间坐标并反馈给控制器；
控制器计算底座的空间坐标和棱镜的空间坐标的坐标差值，将此坐标差值发送给姿态自动调节系统中的六维调节器；
六维调节器根据坐标差值带动夹具移动，调整棱镜的空间位置使其与底座的空间位置匹配，并将棱镜胶装到底座上。
5.如权利要求4所述的星敏感器焦平面自动装校方法，其特征在于，在自动装校之前，通过控制器将三坐标测量仪、视觉检测系统和姿态自动调节系统的初始位置设置成零位。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112629523A (zh) * | 2020-12-12 | 2021-04-09 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） | 星敏感器测量基准固定装置及其制备方法 |
| CN115112150A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-27 | 长光卫星技术股份有限公司 | 一种焦平面的指示棱镜标定方法 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4944587A (en) * | 1988-03-17 | 1990-07-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Star sensor |
| CN101275843A (zh) * | 2007-03-29 | 2008-10-01 | 北京控制工程研究所 | 中高轨道航天器的可见光成像式自主导航敏感器系统 |
| CN102261905A (zh) * | 2011-04-25 | 2011-11-30 | 西安北方光电有限公司 | 基于光学望远成像系统的ccd中心及焦平面调整方法 |
| CN102679999A (zh) * | 2012-01-13 | 2012-09-19 | 南京航空航天大学 | 星敏感器安装误差四位置标定与补偿方法 |
| CN203365815U (zh) * | 2013-07-05 | 2013-12-25 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种红外成像系统高精度组合调校、对接机构 |
| US20150185009A1 (en) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | National University Of Defense Technology | Dynamic attitude measurement method of star sensor based on gyro's precise angular correlation |
| CN105318891A (zh) * | 2014-07-25 | 2016-02-10 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种星敏感器基准立方镜安装误差的标定装置 |
| CN105979158A (zh) * | 2016-07-14 | 2016-09-28 | 上海航天控制技术研究所 | 一种星敏感器焦平面组件 |
| CN106184821A (zh) * | 2016-08-12 | 2016-12-07 | 上海卫星工程研究所 | 一种高精度高稳定的遥感仪器与星敏感器一体化构型 |
| CN107270939A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-10-20 | 上海航天控制技术研究所 | 一种星敏感器相对安装标定方法及系统 |
| CN110260886A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-09-20 | 上海航天控制技术研究所 | 一种空间用光电敏感器智能化测试系统 |
-
2020
- 2020-06-23 CN CN202010580709.9A patent/CN111707291B/zh active Active
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4944587A (en) * | 1988-03-17 | 1990-07-31 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Star sensor |
| CN101275843A (zh) * | 2007-03-29 | 2008-10-01 | 北京控制工程研究所 | 中高轨道航天器的可见光成像式自主导航敏感器系统 |
| CN102261905A (zh) * | 2011-04-25 | 2011-11-30 | 西安北方光电有限公司 | 基于光学望远成像系统的ccd中心及焦平面调整方法 |
| CN102679999A (zh) * | 2012-01-13 | 2012-09-19 | 南京航空航天大学 | 星敏感器安装误差四位置标定与补偿方法 |
| CN203365815U (zh) * | 2013-07-05 | 2013-12-25 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种红外成像系统高精度组合调校、对接机构 |
| US20150185009A1 (en) * | 2013-12-26 | 2015-07-02 | National University Of Defense Technology | Dynamic attitude measurement method of star sensor based on gyro's precise angular correlation |
| CN105318891A (zh) * | 2014-07-25 | 2016-02-10 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种星敏感器基准立方镜安装误差的标定装置 |
| CN105979158A (zh) * | 2016-07-14 | 2016-09-28 | 上海航天控制技术研究所 | 一种星敏感器焦平面组件 |
| CN106184821A (zh) * | 2016-08-12 | 2016-12-07 | 上海卫星工程研究所 | 一种高精度高稳定的遥感仪器与星敏感器一体化构型 |
| CN107270939A (zh) * | 2017-06-20 | 2017-10-20 | 上海航天控制技术研究所 | 一种星敏感器相对安装标定方法及系统 |
| CN110260886A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-09-20 | 上海航天控制技术研究所 | 一种空间用光电敏感器智能化测试系统 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 卫雅欣: "星敏感器成像平面装校方法的研究", 《，中国优秀博硕士学位论文全文数据库(硕士) 工程科技Ⅱ辑》 * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112629523A (zh) * | 2020-12-12 | 2021-04-09 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） | 星敏感器测量基准固定装置及其制备方法 |
| CN112629523B (zh) * | 2020-12-12 | 2023-10-13 | 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） | 星敏感器测量基准固定装置及其制备方法 |
| CN115112150A (zh) * | 2022-06-29 | 2022-09-27 | 长光卫星技术股份有限公司 | 一种焦平面的指示棱镜标定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN111707291B (zh) | 2022-04-08 |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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