CN111703084A - 接合设备 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了接合设备。接合设备包括第一台、第二台和辊构件，其中，第一台上布置有第一衬底，第二台上布置有与第一衬底面对的第二衬底，并且辊构件包括辊部和进气部。辊部包括在一个方向上延伸的内孔和连接内孔与外部空间的多个开口并且配置成通过按压第一衬底来接合第一衬底与第二衬底。进气部连接到辊部并且配置成吸入内孔的空气。
Description
相关申请的交叉引用
本专利申请要求于2019年3月18日提交的第10-2019-0030749号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的整个内容通过引用并入本文。
技术领域
本公开涉及接合设备，并且更具体地，涉及用于接合衬底的设备以及使用该设备接合衬底的方法。
背景技术
已开发出在诸如电视机、便携式电话、平板电脑、导航系统和游戏机的多媒体设备中使用的各种显示装置。例如，显示装置可包括有机发光显示(OLED)装置、液晶显示(LCD)装置、电泳显示(ED)装置、表面传导电子发射显示(SED)装置和真空荧光显示(VFD)装置。
另外，显示装置可包括用于显示图像的显示面板、用于感测外部输入的输入感测单元和窗。显示面板、输入感测单元和窗可设置为单独的部件，并且可通过它们之间的接合工艺彼此联接。
发明内容
本公开可提供能够使用包括开口的辊构件来接合两个衬底的接合设备、以及使用该接合设备接合衬底的方法。
在本发明概念的实施方式中，接合设备包括第一台、第二台和辊构件，其中，第一台上布置有第一衬底，第二台上布置有与第一衬底面对的第二衬底，并且辊构件包括辊部和进气部。辊部包括在一个方向上延伸的内孔和连接内孔与外部空间的多个开口并且配置成接合第一衬底与第二衬底。进气部连接到辊部并且配置成吸入内孔的空气。
在实施方式中，辊部可包括支承部和按压部，其中，支承部中限定有内孔，并且按压部布置在支承部上。开口中的每个可为穿透支承部和按压部的孔。
在实施方式中，支承部可包括第一侧表面和第二侧表面、以及外表面，其中，第一侧表面和第二侧表面将内孔暴露于外部，并且外表面中限定有开口并且连接第一侧表面与第二侧表面。进气部与从第一侧表面暴露的内孔完全重叠并且连接到第一侧表面。
在实施方式中，辊构件还可包括对齐部，其中，对齐部连接到第二侧表面并且配置成使支承部旋转。
在实施方式中，对齐部可包括盖部和杆部，其中，盖部与内孔完全重叠并且连接到第二侧表面，并且杆部连接到盖部。
在实施方式中，按压部可布置在外表面的整个部分上。
在实施方式中，支承部可由金属形成，并且按压部可由聚氨酯形成。
在实施方式中，当在辊部的剖面图中观察时，支承部的厚度可大于按压部的厚度。
在实施方式中，开口可包括在辊构件的长度方向上彼此不重叠的第一开口和第二开口。当在辊部的剖面图中观察时，支承部可具有第一部分和第二部分彼此由第一开口和第二开口间隔开的形状。
在实施方式中，开口可包括第一开口和第二开口。第一开口可在辊构件的长度方向上不与第二开口重叠。
在实施方式中，第一开口可分别在辊构件的厚度方向上与第二开口重叠。
在实施方式中，开口可彼此间隔开并且可在一个方向上排列。
在本发明概念的实施方式中，接合衬底的方法包括：通过包括在辊构件中的开口将布置在第一台上的第一衬底的一端部吸附到辊构件上；使第一衬底的一端部与布置在第二台上的第二衬底的一端部对齐；使吸附在辊构件上的第一衬底的一端部与第二衬底的一端部接触；以及在通过辊构件按压第一衬底的期间使辊构件在一个方向上滚动。
在实施方式中，该方法还可包括：在将第一衬底的一端部吸附到辊构件上之前，使开口与第一衬底的一端部对齐，以使得开口与第一衬底的一端部面对。
在实施方式中，辊构件可通过连接到辊构件的端部的对齐部来旋转，以使得开口与第一衬底的一端部对齐。
在实施方式中，辊构件可包括通过开口连接到外部空间的内孔。
在实施方式中，进气部可连接到辊构件的一端部，并且第一衬底的一端部可通过进气部的吸气操作而通过开口吸附在辊构件上。
在实施方式中，第一衬底的一端部与第二衬底的一端部的对齐可在进气部的吸气操作中执行。
在实施方式中，进气部的吸气操作可在第一衬底的一端部与第二衬底的一端部接触之后停止。
附图说明
附图被包括以提供对本发明概念的进一步理解，并且附图被并入并构成本说明书的一部分。附图示出了本发明概念的示例性实施方式，并且与描述一起用于解释本发明概念的原理。在附图中：
图1是示出使用本发明概念的实施方式涉及的接合设备制造的显示装置的立体图；
图2是示出本发明概念的实施方式涉及的接合设备的分解立体图；
图3A是示出本发明概念的实施方式涉及的辊构件的立体图；
图3B是示出本发明概念的实施方式涉及的辊构件的一部分的立体图；
图3C是示出本发明概念的实施方式涉及的辊构件的另一部分的立体图；
图4A是沿着图3A的线I-I'截取以示出本发明概念的实施方式涉及的辊构件的剖面图；
图4B是沿图3A的线I-I'截取以示出本发明概念的另一实施方式涉及的辊构件的剖面图；
图5是示出本发明概念的实施方式涉及的接合衬底的方法的流程图；
图6是示出布置在第一台上的第一衬底的剖面图；以及
图7A至图7E是示出本发明概念的实施方式涉及的接合衬底的方法的剖面图。
具体实施方式
现在，将在下文中参照示出了各种实施方式的附图对本发明概念进行更加完整的描述。然而，本发明概念可以许多不同的形式实施，并且不应被解释为受限于本文中所阐述的实施方式。相反，提供这些实施方式以使得本公开将是彻底和完整的，并且将向本领域技术人员完整地传达本发明概念的范围。在整个说明书中，相同的附图标记指示相同的元件。
应理解，当诸如层、区域或衬底的元件被称为在另一元件“上”时，该元件可直接在另一元件上，或者可存在有中间元件。相反，措辞“直接”是指不存在中间元件。如本文中所使用的，措辞“和/或”包括相关所列项目中的一个或多个的任何和所有组合。
本文中使用的术语是仅出于描述特定实施方式的目的，而不旨在限制。除非内容另有明确说明，否则如本文中所使用的单数形式“一(a)”、“一(an)”和“该(the)”也旨在包括复数形式，并且包括“至少一个”在内。“或(or)”意味着“和/或(and/or)”。如本文中所使用的，措辞“和/或”包括相关所列项目中的一个或多个的任何和所有组合。还应理解，当措辞“包括(comprise)”和/或“包括有(comprising)”或者“包括(include)”和/或“包括有(including)”在本说明书中使用时指示所陈述的特征、区域、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或多个其它特征、区域、整数、步骤、操作、元件、部件和/或其集群的存在或添加。
空间相对措辞诸如“下面(beneath)”、“下方(below)”、“下(lowe r)”、“上方(above)”、“上(upper)”等可在本文中为了描述的便利而使用，以描述如图中所示的一个元件或特征与另一元件或特征的关系。应理解，除了附图中所示的取向以外，空间相对措辞旨在包括装置在使用或操作中的不同取向。例如，如果图中的装置被翻转，则被描述为在其它元件或者特征“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件将随后被取向为在其它元件或特征上方。因此，示例性措辞“下方”可包含上方和下方的取向这两者。装置可以其它方式取向(旋转90度或者在其它取向)，并且本文中所使用的空间相对描述词被相应地解释。
应理解，尽管措辞第一、第二等可在本文中用于描述各种元件、部件、区域、层和/或者部分，但是这些元件、部件、区域、层和/或者部分不应受这些措辞限制。这些措辞仅用于将一个元件、部件、区域、层或者部分与另一个区域、层或者部分区分开。因此，下面讨论的第一元件、部件、区域、层或部分可被称为第二元件、部件、区域、层或部分，而不背离本文中的教导。
考虑到有关测量和与特定数量的测量相关的误差(即，测量系统的限制)，本文所用的“约(about)”或者“约(approximately)”包括在本领域普通技术人员确定的特定值的可接受偏差范围内的所述值和均数。
在本文中参照作为理想化的示例性图示的剖面图和/或平面图来对示例性实施方式进行描述。在附图中，为了清楚起见，层和区的尺寸被放大。相应地，由例如制造技术和/或公差而导致的图示的形状的变化是可预期的。因此，示例性实施方式不应被解释为受限于本文中所示出的区域形状，而是包括由例如制造而导致的形状上的偏差。例如，示出为矩形的蚀刻区域典型地将具有倒圆角或弯曲的特征。因此，图中所示的区域本质上为示意性的，并且它们的形状并不旨在限制区域的实际形状，并且不旨在限制示例性实施方式的范围。
在下文中，将参照附图对本发明概念的示例性实施方式进行详细描述。
图1是示出使用本发明概念的实施方式涉及的接合设备制造的显示装置的立体图。
参照图1，作为示例，示出了使用本发明概念的实施方式涉及的接合设备制造的显示装置DD。显示装置DD可通过显示表面DD-IS显示图像I M。示出时间显示框和应用程序图标来作为图像的示例。显示表面DD-IS可包括显示区域DD-DA和非显示区域DD-NDA，其中，在显示区域DD-DA中显示图像IM，并且非显示区域DD-NDA与显示区域DD-DA相邻。在非显示区DD-NDA中可不显示图像。
显示表面DD-IS可具有在第一方向DR1和与第一方向DR1相交的第二方向DR2上延伸的形状。显示表面DD-IS的法线方向(即，显示装置DD的厚度方向)可由第三方向DR3指示。本文中使用的表述“当在平面图中观察时”或“在平面图中”可意味着表述“在第三方向DR3上观察时”。在下文中，层或单元中的每个的前表面(或顶表面)和后表面(或底表面)可由第三方向DR3限定。然而，由第一方向DR1、第二方向DR2和第三方向DR3指示的方向可为相对概念，并且可改变为其它方向(例如，相反的方向)。
在本实施方式中示出可应用于移动电话的显示装置DD来作为示例。即使未在附图中示出，也可将安装在主板上的电子模块、相机模块和电源模块与显示装置DD一起放置在支架和/或壳体中以构成移动电话。本发明概念涉及的显示装置DD可应用于大型电子设备(例如，电视和监视器)以及中小型电子设备(例如，平板电脑、汽车导航单元、游戏机和智能手表)。
图2是示出本发明概念的实施方式涉及的接合设备的分解立体图。图3A是示出本发明概念的实施方式涉及的辊构件的立体图。图3B是示出本发明概念的实施方式涉及的辊构件的一部分的立体图。图3C是示出本发明概念的实施方式涉及的辊构件的另一部分的立体图。
参照图2，接合设备BD可包括第一台ST1、第二台ST2和辊构件R T。接合设备BD可接合图1中所示的显示装置DD的两个部件。在一些实施方式中，两个部件可为布置在第一台ST1上的第一衬底P1和布置在第二台ST2上的第二衬底P2。
例如，第一衬底P1和第二衬底P2可分别为用于显示图像的显示面板和用于感测外部输入的输入感测单元。再例如，第一衬底P1和第二衬底P2中的每个可为包括在显示面板中的显示衬底。在某些实施方式中，第一衬底P1和第二衬底P2中的一个可为窗。在本实施方式中，接合设备BD可用于接合包括在显示装置DD中的两个部件。然而，本发明概念的实施方式不限于此。在某些实施方式中，接合设备BD可用于接合各种装置的两个衬底。
第一台ST1和第二台ST2中的每个可具有在第一方向DR1和与第一方向DR1相交的第二方向DR2上延伸的形状。第一台ST1可具有用于支承第一衬底P1的部分区域的形状，并且第二台ST2可具有用于支承第二衬底P2的整个区域的形状。另外，第一台ST1和第二台ST2可分别具有比第一衬底P1和第二衬底P2的厚度大的厚度，并且可分别支承第一衬底P1和第二衬底P2。
辊构件RT可包括辊部RD、进气部VD、对齐部AD、第一固定部FD1和第二固定部FD2。辊构件RT可在按压第一衬底P1和第二衬底P2中的一个的期间在第二方向DR2上滚动。在本实施方式中，辊构件RT可在第三方向DR3上从第一衬底P1朝向第二衬底P2地按压第一衬底P1。另外，辊构件RT可在第二方向DR2上滚动。
根据图2，布置在第一台ST1上的第一衬底P1可包括在第三方向DR3上与第一台ST1重叠的第一部分P1a和在第三方向DR3上不与第一台ST1重叠的第二部分P1b。由辊构件RT按压的第一衬底P1的第二部分P1b可不与第一台ST1重叠。
参照图3A，辊部RD可具有在第一方向DR1上延伸的形状，并且当在剖面图中观察时可具有圆形的形状。措辞“剖面图”可意味着沿着辊部RD的厚度方向(即，第三方向DR3)截取的辊部RD的剖面图。在按压第一衬底P1的期间在第二方向DR2上滚动的辊构件RT的上述操作可基本上由辊部RD执行。换言之，第一衬底P1和第二衬底P2可通过辊部RD的按压运动和滚动运动而彼此接合。
辊部RD可包括外表面RD-O、第一侧表面SS1和第二侧表面SS2。外表面RD-O可布置在第一侧表面SS1与第二侧表面SS2之间。在一些实施方式中，辊部RD可包括内孔HO，并且内孔HO可限定辊部RD的内部空间。内孔HO可在第一方向DR1上延伸并且可对应于辊部RD的长度。
第一侧表面SS1和第二侧表面SS2中的每个可将内孔HO暴露于外部。通过第一侧表面SS1和第二侧表面SS2暴露的内孔HO可位于第一侧表面SS1和第二侧表面SS2的中心处。
根据本发明概念的实施方式，辊部RD可包括在第一方向DR1上排列并且彼此间隔开的多个开口OP。开口OP中的每个可具有在第三方向DR3上延伸的形状，并且可将内孔HO连接到外部空间。在本实施方式中，限定在辊部RD的外表面RD-O处的开口OP具有圆形形状。然而，本发明概念的实施方式不限于此。开口OP的形状可进行各种修改。
与此同时，在接合图2的第一衬底P1和第二衬底P2的工艺之前，可执行使第一衬底P1的一端部与第二衬底P2的一端部对齐的工艺。然而，如果第一衬底P1的一端部与由第一方向DR1和第二方向DR2限定的平面不平行，则可能难以使第一衬底P1的一端部与第二衬底P2的一端部对齐。例如，如果第一衬底P1的第二部分P1b从第一衬底P1的第一部分P1a弯曲，则可能难以使第一衬底P1的一端部与第二衬底P2的一端部对齐。
根据本发明概念的实施方式，第一衬底P1的一端部可通过辊部RD的开口OP来控制以使其与由第一方向DR1和第二方向DR2限定的平面平行。在下文中，由第一方向DR1和第二方向DR2限定的平面被定义为对齐平面。
详细地，进气(或吸气)可通过辊部RD的开口OP执行，因此，第一衬底P1的一端部可吸附在辊部RD上。开口OP的进气可通过包括在辊部R D中的内孔HO的进气(或吸气)来执行。第一衬底P1的第二部分P1b可通过开口OP来吸附，因此，第一衬底P1的第二部分P1b可与对齐平面平行。其结果是，可容易地使第一衬底P1的一端部与第二衬底P2的一端部对齐。将在稍后对辊部RD进行更详细的描述。
参照图3B，进气部VD可连接到辊部RD的第一侧表面SS1。进气部V D可与通过第一侧表面SS1暴露的内孔HO完全重叠。换言之，进气部VD可完全覆盖内孔HO，并且可连接到第一侧表面SS1。上述的开口OP的进气(或吸气)可通过进气部VD执行。例如，进气部VD可使用电能来进行控制，以使得进气部VD的气压低于内孔HO的气压。其结果是，当进气部VD进行操作时，内孔HO的空气可被吸入到进气部VD中。在下文中，由进气部VD进行的操作可被定义为吸气操作。
参照图3C，对齐部AD可连接到辊部RD的第二侧表面SS2。对齐部A D可与通过第二侧表面SS2暴露的内孔HO完全重叠，并且可连接到第二侧表面SS2。
对齐部AD可包括直接连接到第二侧表面SS2的盖部PN和连接到盖部PN的杆部CN。盖部PN可完全覆盖内孔HO，并且可连接到第二侧表面SS2。杆部CN可与内孔HO的一部分重叠，并且可连接到盖部PN的一部分。辊部RD可通过杆部CN的移动而滚动或旋转。
再次参照图2，第一固定部FD1可联接到辊部RD的一端部。第一固定部FD1可包括第一联接孔FOP1，并且辊部RD的一端部可插入在第一联接孔FOP1中。
第二固定部FD2可联接到辊部RD的另一端部。第二固定部FD2可包括第二联接孔FOP2，并且辊部RD的另一端部可插入在第二联接孔FOP2中。
即使未在附图中示出，第一固定部FD1和第二固定部FD2以及第一台ST1也可联接在主台上。例如，第一固定部FD1和第二固定部FD2可为在主台上在第二方向DR2上可倾斜或可移动的。因此，联接到第一固定部FD1和第二固定部FD2的辊部RD也可为在第二方向DR2上可倾斜或可移动的。
图4A是沿着图3A的线I-I'截取以示出本发明概念的实施方式涉及的辊构件的剖面图。图4B是沿图3A的线I-I'截取以示出本发明概念的另一实施方式涉及的辊构件的剖面图。
在图4A和图4B中分别示出了辊部RD和辊部RDa，其中在辊部RD和辊部RDa中示出了图3A的开口OP。
参照图4A，辊部RD可包括支承部H1和按压部A1。支承部H1可包括内孔HO。支承部H1可包括第一侧表面、第二侧表面、以及布置在第一侧表面与第二侧表面之间的外表面。上述的辊部RD的第一侧表面SS1和第二侧表面SS2可分别对应于支承部H1的第一侧表面和第二侧表面。换言之，进气部VD可连接到支承部H1的第一侧表面，并且对齐部AD可连接到支承部H1的第二侧表面。例如，支承部H1可由诸如金属的刚性材料形成。
按压部A1可布置在支承部H1上。按压部A1可覆盖支承部H1的整个外表面。在一些实施方式中，开口OP可为穿透支承部H1和按压部A1的孔，并且内孔HO可通过开口OP连接到外部空间。在一些实施方式中，按压部A1的厚度可小于支承部H1的厚度，并且按压部A1可由例如聚氨酯形成。
例如，当通过参照图3B描述的进气部VD执行吸气操作时，内孔HO的空气可被吸入到进气部VD中。在这种情况下，外部空间的空气也可通过开口OP和内孔HO被吸入。换言之，外部空间的空气可通过开口OP吸入，并且通过开口OP吸入的空气可通过内孔HO吸入到进气部VD中。
例如，当在进气部VD的吸气操作中图2的第一衬底P1和第二衬底P2中的一个衬底与开口OP相邻时，该一个衬底可被吸附到辊部RD的外表面RD-O上。
参照图4B，示出了本发明概念的另一实施方式涉及的辊部RDa。开口OP可包括在第一方向DR1上排列的多个第一开口OP1和在第一方向DR1上排列的多个第二开口OP2。第一开口OP1可在辊部RDa的长度方向(即，第一方向DR1)上不与第二开口OP2重叠。
根据本发明概念的实施方式，第一开口OP1可在辊部RDa的厚度方向(即，第三方向DR3)上分别与第二开口OP2重叠。内孔HO可通过第一开口OP1和第二开口OP2连接到外部空间。另外，在进气部VD的吸气操作期间，外部物体可通过第一开口OP1和第二开口OP2吸附到辊部RDa上。
在上述实施方式中，第一开口OP1可在第三方向DR3上与第二开口O P2重叠。然而，本发明概念的实施方式不限于此。在某些实施方式中，第一开口OP1可在第三方向DR3上不与第二开口OP2重叠，并且/或者在第一方向DR1上彼此不重叠的开口OP的数量可被各种改变。
另外，根据图4B，当在辊部RDa的剖面图中观察时，支承部H1可具有第一部分H1a和第二部分H1b彼此由第一开口OP1和第二开口OP2间隔开的形状。当在辊部RDa的剖面图中观察时，按压部A1z可具有第一部分A1a和第二部分A1b彼此由第一开口OP1和第二开口OP2间隔开的形状。
图5是示出本发明概念的实施方式涉及的接合衬底的方法的流程图。图6是示出布置在第一台上的第一衬底的剖面图。图7A至图7E是示出本发明概念的实施方式涉及的接合衬底的方法的剖面图。
图5示出了参照图2描述的接合设备BD的操作。如上所述，图2的第一衬底P1和第二衬底P2可通过辊构件RT彼此接合。即使未在附图中示出，第一衬底P1与第二衬底P2之间还可布置有粘合构件。在将第一衬底P1接合到第二衬底P2之前，粘合构件可布置在第一衬底P1和第二衬底P2中的一个上。
与此同时，根据图6，布置在第一台ST1上的第一衬底P1的第一部分P1a可由第一台ST1进行固定，并因此可与对齐平面平行。然而，不与第一台ST1重叠的第一衬底P1的第二部分P1b可从第一部分P1a弯曲，并因此可不与对齐平面平行。如果第一衬底P1的一端部和第二衬底P2的一端部彼此不对齐，则衬底之间的接合可靠性会劣化。
根据本发明概念的实施方式，辊构件RT可控制第一衬底P1的第二部分P1b，以使得第二部分P1b与对齐平面平行。
如图5中所示，可使包括在辊部RD中的开口OP与布置在第一台ST1上的第一衬底P1的一端部P1-E对齐，以使得开口OP与第一衬底P1的一端部P1-E面对(S110)。第一衬底P1的一端部P1-E可对应于第二部分P1b的一端部，并且可为第一衬底P1的端部。第二衬底P2的一端部P2-E可为第二衬底P2的与第一衬底P1的一端部P1-E相邻的端部。
详细地，参照图7A和图7B，辊部RD可旋转为使得辊部RD的开口O P与第一衬底P1的一端部P1-E面对。这可由在上面参照图3C描述的对齐部AD来控制。例如，可通过使对齐部AD的杆部CN在顺时针方向上旋转预定角度而使辊部RD在顺时针方向上旋转预定角度。其结果是，如图7B中所示，辊部RD的开口OP可以与第一衬底P1的一端部P1-E面对的方式对齐。
在图7A和图7B中示出了图4A的辊部RD。然而，本发明概念的实施方式不限于此。在某些实施方式中，图4B的辊部RDa可应用于操作接合设备的方法。例如，图4B的辊部RDa可包括在辊部RDa的长度方向上彼此不重叠的至少两个或更多个开口。两个开口中的一个可与第一衬底P1的一端部P1-E对齐，因此，可使开口与第一衬底P1的一端部P1-E对齐的工艺更容易。
此后，可通过开口OP将第一衬底P1的一端部P1-E吸附在辊部RD上(S120)。这可由在上面参照图3B描述的进气部VD来控制。例如，在进气部VD的吸气操作中，第一衬底P1可通过辊部RD的开口OP而被吸附，因此，第一衬底P1的第二部分P1b可与对齐平面平行。
可使第一衬底P1的一端部P1-E与第二衬底P2的一端部P2-E对齐(S130)。特别地，吸附在辊部RD上的第一衬底P1与第二衬底P2之间的对齐可在进气部VD的吸气操作期间执行。由于第一衬底P1的一端部P1-E吸附在辊部RD上，因此可维持第一衬底P1的第二部分P1b与对齐平面平行的状态。
随后，可使通过开口OP吸附的第一衬底P1的一端部P1-E与第二衬底P2的一端部P2-E接触(S140)。参照图7D，辊部RD可竖直地移动并且第一衬底P1可倾斜预定角度az，因此，第一衬底P1的一端部P1-E可接合到第二衬底P2的一端部P2-E。此时，可持续地维持进气部VD的吸气操作。另外，第一台ST1还可基于辊部RD的移动而相对于对齐平面倾斜，但是第二台ST2可保持与对齐平面平行。
接着，可在按压第一衬底P1的期间使辊部RD在第二方向DR2上滚动(S150)。参照图7D和图7E，第一衬底P1可由辊部RD的按压部A1在朝向第二衬底P2的方向上按压。另外，由于辊部RD在第二方向DR2上滚动，因此第一衬底P1可整体地接合到第二衬底P2。第一衬底P1可与第一台ST1分离并且可布置在第二衬底P2上。
另外，根据本发明概念，可在辊部RD的按压运动和滚动运动的期间停止辊部RD的吸气操作。换言之，在第一衬底P1的一端部P1-E通过开口O P与第二衬底P2的一端部P2-E接触之后，可停止进气部VD的操作。
根据本发明概念的实施方式，两个衬底中的第一衬底的一端部可通过包括在辊构件中的开口而被吸附在辊构件上。在第一衬底吸附在辊构件上的状态下，第一衬底和第二衬底可被彼此对齐。
因此，在接合第一衬底和第二衬底之前，可容易地执行将第一衬底与第二衬底对齐的工艺。
虽然已参照示例性实施方式描述了本发明概念，但是对于本领域技术人员显而易见的是，在不背离本发明概念的精神和范围的情况下可进行各种改变和修改。因此，应理解，上述实施方式不受限制，而是说明性的。因此，本发明概念的范围由所附权利要求书及其等同物的最宽泛的可允许解释来确定，并且不应受前述描述的约束或限制。
Claims (12)
1.一种接合设备，其包括：
第一台，所述第一台上布置有第一衬底；
第二台，所述第二台上布置有与所述第一衬底面对的第二衬底；以及
辊构件，所述辊构件包括辊部和进气部，其中，所述辊部包括在一个方向上延伸的内孔和连接所述内孔与外部空间的多个开口并且配置成接合所述第一衬底与所述第二衬底，并且所述进气部连接到所述辊部并且配置成吸入所述内孔的空气。
2.如权利要求1所述的接合设备，其中，
所述辊部包括：
支承部，所述支承部中限定有所述内孔；以及
按压部，所述按压部布置在所述支承部上，并且
其中，所述开口中的每个为穿透所述支承部和所述按压部的孔。
3.如权利要求2所述的接合设备，其中，
所述支承部包括：
第一侧表面和第二侧表面，所述第一侧表面和所述第二侧表面将所述内孔暴露于外部；以及
外表面，所述外表面中限定有所述开口并且连接所述第一侧表面与所述第二侧表面，并且
其中，所述进气部与从所述第一侧表面暴露的所述内孔完全重叠并且连接到所述第一侧表面。
4.如权利要求3所述的接合设备，其中，
所述辊构件还包括：
对齐部，所述对齐部连接到所述第二侧表面并且配置成使所述支承部旋转。
5.如权利要求4所述的接合设备，其中，
所述对齐部包括：
盖部，所述盖部与所述内孔完全重叠并且连接到所述第二侧表面；以及
杆部，所述杆部连接到所述盖部。
6.如权利要求3所述的接合设备，其中，
所述按压部布置在所述外表面的整个部分上。
7.如权利要求2所述的接合设备，其中，
所述支承部由金属形成，并且所述按压部由聚氨酯形成。
8.如权利要求2所述的接合设备，其中，
当在所述辊部的剖面图中观察时，所述支承部的厚度大于所述按压部的厚度。
9.如权利要求2所述的接合设备，其中，
所述开口包括在所述辊构件的长度方向上彼此不重叠的第一开口和第二开口，并且
其中，当在所述辊部的剖面图中观察时，所述支承部具有第一部分和第二部分彼此由所述第一开口和所述第二开口间隔开的形状。
10.如权利要求1所述的接合设备，其中，
所述开口包括第一开口和第二开口，并且
其中，所述第一开口在所述辊构件的长度方向上不与所述第二开口重叠。
11.如权利要求10所述的接合设备，其中，
所述第一开口分别在所述辊构件的厚度方向上与所述第二开口重叠。
12.如权利要求1所述的接合设备，其中，
所述开口彼此间隔开并且在所述一个方向上排列。
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